KR100316438B1 - 두 기판을 접착시키기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

두 기판을 접착시키기 위한 방법 및 장치 Download PDF

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라스프
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Abstract

본 발명은 접착제가 제 1기판(3,6)의 접착될 표면에 도포되고, 접착될 제 2기판(6,3)이 제 1기판(3,6)의 상부에 놓여지는, 기판 디스크(23)를 형성하기 위해 두 기판(3,6)을 접착시키는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 방법은 접착제가 배출되도록 기판(3,6)이 그들의 중심 축선을 중심으로 회전되기 때문에, 공기 개재물 없이 기판을 양호하고 균일하며 신속하게 접착시키며, 간단한 수단만을 요구한다. 본 발명은 또한 상기한 방법을 수행하기 위한 장치에 관한 것이다.

Description

두 기판을 접착시키기 위한 방법 및 장치 {METHOD AND DEVICE FOR GLUING TWO SUBSTRATES}
이러한 종류의 방법 및 장치는 독일 공개 공보 제 40 41 199호, 더벤트(Derwent) 요약서 94-246139/30, 및 유럽 특허 공개 공보 제 0 744 739호에 개시되어 있는데, 이는 디지털 비디오 디스크(digital video disc, DVD)를 제조하는데 적용된다. 디지털 비디오 디스크는 두 기판 또는 일부 기판에 포함되는데, 기판의 한면 상에 디지털 비디오 정보가 저장되고, 이후 이러한 기판면은 정보가 저장되지 않은 기판면과 서로 접착된다. 두 기판을 기판 디스크, 예컨대 디지털 비디오 디스크에 연결하기 위해서는 매우 정교한 작동 장치가 요구되는데, 이는 기판이 다른 기판상에 정교하게 적층되는 것만이 아니라 공기가 개입되지 않고 접착층의 두께가 상이하지 않으면서 접착 작용이 전체 디스크면에 대해 균일해야 하기 때문이다. 이러한 방법에 의해서만 무결점 기판 디스크가 제조될 것이다. 또한, 두 기판을 접착하기 위한 종래의 장치는 구성이 매우 복잡하고 매우 큰 용적을 요구한다.두 기판의 광학 저장 매개물을 제조하는 방법 및 장치가 미국 특허 제 4,990,208호에 개시되어 있는데, 여기서는 자외선 방사에 의한 경화 공정 동안, 석영 유리판이 압력을 가하기 위해 기판 상에 놓여진다. 광학 저장 매개물을 제조하기 위해 적용된 경화 공정은 미국 특허 제 5,779,855호로부터 공지되어 있다. 이러한 방법에서, 광학 저장 매개물은 경화 공정 동안 자외선 방사에 대해 투명한 두 기판 사이에 위치된다. 자외선 방사에 의해 소성막을 경화시키기 위한 장치는 1994년 9월 20일자로 발행된 일본의 특허 요약서 018판 제 502(M-1676) 및 리코우 주식회사(Ricoh Co. Ltd)에 의해 출원된 1994년 6월 21자 일본 특허 공개 공보 06 17085호에 개시되어 있는데, 여기서는 열분산을 위해 질소가 횡방향으로 공급되고, 중앙 개구를 통해 상방으로 제거된다.1988년 7월 26일자로 발행된 일본의 특허 요약서 012판 제 267(M-722) 및 1988년 3월 2일자 일본 특허 공개 공보 63 049424호에는 접착될 디스크가 직선에 대해 서로 90°까지 굽혀져서 초기 접촉이 오직 한지점에서만 이루어지는 방법이 개시되어 있다.
본 발명은 두 기판을 기판 디스크에 접착시키는 방법 및 장치에 관한 것으로서, 접착될 제 1기판의 표면에 접착제를 적용한 후, 제 1기판 상에 제 2기판의 접착될 표면을 위치시킨 후, 과잉의 접착제를 제거하기 위해 중심 축선을 중심으로 기판을 회전시키는 두 기판을 기판 디스크에 접착시키는 방법 및 장치에 관한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2는 굽힘 장치에 대한 실시예를 도시한 개략도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
3,6 : 기판 10 : 접착 스테이션
11,12 : 접착제 제거 장치 13,14 : 접착제 도포 장치
15,16 : 기판 디스크 에지 정화 장치 17 : 예비코팅 장치
23 : 기판 디스크 26 : 건조 스테이션
29 : 석영 또는 유리판 34 : 검사 스테이션
40 : 굽힘 장치 41 : 내부 그리퍼
42 : 외부 그리퍼 43,46 : 흡입 컵
본 발명의 목적은 최소 불량율을 갖는 양호한 기판 디스크를 얻을 수 있고, 또한 높은 생산성을 얻을 수 있도록 수행이 간단하며 구성이 간단한, 신뢰성 있고 균일하게 기판들을 접착시킬 수 있는 두 기판의 접착 방법 및 장치를 제공하는 것이다.
상기한 목적은 접착될 기판의 적어도 어느 하나의 표면, 바람직하게는 실제 접착제가 적용되는 접착될 기판의 표면을 예비코팅시킴으로써 달성된다. 이러한 방식에서, 기판의 전체 표면 위로 접착제가 보다 신속하고 균일하게 분포되도록 제 1접착제, 즉 제 1래커를 위한 글라이딩 작용은 실질적으로 개선된다. 따라서, 기판은 전체 기판 표면에 걸쳐서 서로 견고하게 접착되고, 기판 디스크는 전체 기판 영역에 걸쳐서 균일한 두께를 갖는다.
접착제는 자외선 방사 처리에 의해 신속하게 경화될 수 있는 자외선 합성 래커가 바람직한데, 이러한 래커는 두 기판 사이를 훌륭하게 접착시킨다. 바람직하게, 접착제는 환형 스트립으로써 접착될 기판 표면 상에 적용되고, 이후 회전에 의해 기판의 전체 표면 위에 분포된다.
바람직하게, 조절가능하고 정교한 압력이 제 1기판 상에 놓여지는 제 2기판 상에 가해지고, 이에 의해 두 기판 사이의 균일한 접착제 분포가 개선된다. 하부기판 상에 놓여질 상부 기판은 바람직하게는 정교하게 구동하는 단일 아암 운반 장치에 의해 제 1기판 상의 중심으로 정교하고 미세하게 조절되는 방식으로 놓여지며, 이후 요구된 압력이 가해진다.
상기한 목적은 접착제층 또는 접착제 내의 기포 또는 다른 개재물이 신뢰성 있고 안전하게 제거될 수 있도록, 하나 이상의 기판이 다른 기판 상에 놓여질 때, 하나 이상의 기판을 굽히기 위해 서로에 대해 이동하는 내부 그리퍼 및 외부 그리퍼를 갖춤으로써 기판의 에지 영역을 다른 기판으로부터 굽힘으로써 달성된다. 이에 의해, 접착제층 또는 접착제내의 기포 또는 다른 개재물이 신뢰성 있고 안전하게 제거될 수 있다. 다른 기판의 상부에 적층될 기판을 굽힐 때, 기판은 먼저 중앙부에서 접촉될 것이며, 완전히 느슨해진 후에만 중앙 내부 영역으로부터 '압연'되며, 이에 의해 접착 링이 내부 영역으로부터 외부 영역으로 기판의 에지를 향해 가압되고 압연되어서 공기 개재물과 기포가 제거된다.
본 발명의 다른 실시예에서는 또한 회전력에 의해 접착제를 제거한 후 접착될 기판들의 에지를 정화시킴으로써 달성된다. 정화 공정에 기인하여, 기판 디스크 에지에는 추가로 최종 완제품의 품질을 향상시키는데 기여하는 신뢰성있는 밀봉이 제공된다. 기판 디스크 에지를 정화하기 위해, 기판 디스크의 에지부 상에 신축성있게 가압되는 접착제 흡입 장치를 제공한다. 생산성을 증가시키기 위해, 기판 에지의 정화는 접착제의 원심 제거 후에 기판 디스크와 기판 에지의 정화 공정을 위한 별도의 정화 스테이션의 부가적인 위치 변화를 요구하지 않으면서 바로 수행된다.
접착된 기판 디스크는 바람직하게는 접착제 건조기에서 건조된다. 예컨대, 자외선 래커를 사용하는 경우에는 자외선 건조기내에서 건조되는데, 이에 의해 제조 공정이 실질적으로 단축된다. 이러한 접착제 건조기는 예컨대 독일 특허 공개공보 제 195 4 843호(현재까지 등록되지 않음)에 개시된 장치로 구현될 수 있다. 반복을 피하기 위해, 상기 독일 특허 공개 공보는 본 발명의 참고 자료로 간주한다. 기판 디스크는 자외선 램프 아래에서 회전 이동하면서 안내될 수 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 한 수단은 석영 또는 유리판이 기판 디스크 상에 위치될 때 건조 공정 동안 기판 자체의 중량에 의해 기판 디스크를 가압하여 기판 디스크를 편평하게 유지하기 때문에 특히 유리하다. 바람직하게는, 건조 공정 동안 가열된 후에, 석영 또는 유리판은 다음의 기판 디스크가 놓여지기 전에 냉각된다. 본 발명의 일실시예에 따르면 석영 또는 유리판의 냉각은 이온화된 공기에 의해 수행되며, 이에 의해 유리판은 기판 디스크의 냉각 공정과 배치 단계 사이에서 각각 변경 시스템에 의해 이동된다. 또한, 질소 분위기 하에서 건조 공정을 수행하는 것이 유리한데, 이는 질소 분위기가 기판 디스크를 보다 신속하고 양호하게 건조시키기 때문이다.
접착 및 건조 공정 후에, 기판 디스크는 검사 단계에서 예컨대 스캐너에 의해 결함 여부를 시험하고, 측정 결과에 따라 불량품으로써 방출되거나 분리된다.
본 발명에 따른 방법은 예컨대 퍼스널 컴퓨터에서 실행되는 데이터 처리 프로그램에 의해 제어되거나 및/또는 가시적으로 표시된다.
상기한 목적은 제조 공정의 이동 방향에서 접착 스테이션의 상류 및 접착제 적용 장치의 상류에 각각 배열되어 있는 코팅 장치 또는 예비분배장치를 포함하는 상기한 종류의 장치를 제공함으로써 달성된다. 예비코팅 장치는 접착될 기판의 어느 하나의 표면, 바람직하게는 다른 기판이 놓여지는 기판의 표면에 접착제 또는주요 래커의 글라이딩 작용을 향상시키는 예비래커링을 제공하며, 이에 의해 회전 공정 동안 주요 래커가 보다 균일하고 신속하게 분포된다. 기판 조정 장치, 특히 정교한 구동 장치가 제공될 때, 기판은 정교하게 중앙에 위치되며, 첫 번째 기판 상에 위치될 기판에 정교하게 조절가능한 압력이 가해져서, 접착 공정 동안 접착제의 분포 및 속도가 향상되거나 분포된다. 상기한 방법으로부터 유도되는 장점은 기판 디스크의 두께를 불균일하게 하고 높은 불량율을 야기하는 기판 사이에 기포와 같은 개재물을 포함시키지 않으면서 접착될 기판의 표면 상에 신속하고 균일하며 신뢰성 있게 도포하는 본 발명의 장치에 의해 달성될 수 있다.
상기한 목적은 접착될 기판의 어느 하나의 표면을 그의 에지에서 다른 기판으로부터 굽히기 위한 굽힘 장치에 의해 달성되는데, 여기서 굽혀질 기판의 내부 영역을 결합하는 내부 그리퍼 및 굽혀질 기판의 외부 영역을 결합하는 외부 그리퍼는 서로에 대해 축선방향으로 이동할 수 있다. 이러한 방식에서, 기포 또는 개재물이 외부로 밀려나서 제거되도록 접착될 두 기판은 초기에 내부로부터 시작하여 연속적으로 외부로 접촉되기 때문에, 접착제층내에 기포 또는 다른 개재물의 개입이 방지되며, 상기한 내부 및 외부 그리퍼는 상부 기판에 대해 하부 기판을 굽히기위해 특별히 제공된다. 또한, 내부 그리퍼 및/또는 외부 그리퍼의 결합을 위해, 흡입 컵들 또는 흡입 컵이 유리하게 제공된다. 외부 그리퍼는 전체 둘레에 걸쳐서 흡입 컵들을 배열시킬 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 기판 디스크 에지를 정화시키기 위한 정화 장치를 제공한다. 정화 장치는 정화와 동시에 기판 디스크 에지를 밀봉시키며, 완제품의 품질을 개선시킨다. 본 발명의 또다른 실시예에 따르면, 정화 장치는 바람직하게는 기판 디스크 에지 상에 탄성식으로 스프링 가압될 수 있는 접착제 흡입 장치를 갖추고 있다. 정화 장치는 기판 디스크가 정화 스테이션으로 이송되지 않고 각각의 소정의 위치에서 회전 공정이 완료된 후에 직접 그의 에지가 정화될 수 있도록 바람직하게는 접착제 원심 장치의 일부분으로 구성된다.
접착 원심 장치 및 기판 디스크 에지 정화 장치 각각은 그의 하류에 건조 스테이션이 제공되어 있는데, 이러한 건조 스테이션은 자외선광에 경화되거나 강화될 수 있는 접착제 또는 래커를 사용할 때 자외선 건조기로서 구현된다.
접착될 디스크의 품질 및 생산성을 개선시키기 위해, 건조 스테이션은 바람직하게는 석영판 또는 유리판 운반 장치를 갖추고 있다. 석영판 또는 유리판은 슬라이딩 시스템 또는 변경 시스템에 의해 기판 디스크와 냉각 영역 사이에서 전후방으로 이동될 수 있다.
건조 스테이션은 바람직하게는 자외선 램프를 갖추고 있으며, 여기서는 유리하게 램프 방사용 반사면이 기판 에지 영역에 제공되어 있다. 따라서, 기판 디스크의 에지 영역 및 림 영역(rim area)에서 건조 및 경화가 신속하고 신뢰성 있게 이루어진다. 본 발명의 또다른 실시예에 따르면, 건조 스테이션의 하류에는 시험 공정의 측정값에 따라 완성된 기판이 방출되거나 또는 거절되는 검사 스테이션이 배열되어 있다.
본 발명에 따른 장치는 특히 구성이 간단하기 때문에 최소의 크기로 구현될수 있으며, 가격 또한 매우 저렴하며, 바람직하게는 도어 및 윈도우를 갖춘 보호성 캐빈이 제공되어 있다. 소위 박스형 유동(flow box)이라고 불리는 실질적인 층류 및 기판 디스크의 제조를 위한 환경과 유사한 청정실이 캐빈내에 생성될 수 있다. 본 발명에 따른 장치는 개별적인 머신으로 사용되거나 또는 제조 라인내에 통합될 수 있다.
본 발명의 개념에서 기판 디스크는 디지털 비디오 뿐만 아니라 일반적으로 둘 이상의 디스크를 접착함으로써 형성된 디스크이다.
이하에 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 장치의 실시예를 도시한 도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 방법은 우측으로부터 좌측으로 연속적으로 진행된다. 제 1공급 스테이션(1)에서, 제 1기판(3)은 공급 테이블(2)에 의해 제공된다. 유사한 방식으로, 제 2공급 테이블(5)을 갖춘 제 2공급 스테이션(4)은 제 1기판(3)의 대응하는 표면과 접촉하는 무정보 표면을 갖는 제 2기판(6)을 이송한다. 제 1공급 스테이션(1)으로부터 제거된 제 1기판(3)은 오버헤드 운반 장치(7)에 의해 180°까지 회전되며, 이에 의해 무정보 표면의 측부가 상방을 향하면서 수용 턴테이블(8)에서 예정된 위치 상에 위치된다. 운반 장치(9)는 하방을 향하는 접착될 측부를 갖는 제 2기판(6)을 기판(6)을 회전시키지 않으면서 턴테이블(8)의 각각의 위치 상으로 이송한다. 수용 턴테이블(8)은 두 개의 특별한 영역으로 분할되어 있는데, 이에 의해 동력이 꺼진 후에도 접착될 두 기판(3,6)에 대한 혼동을 피할 수 있다.
턴테이블(8)은 제 1 및 제 2기판(3,6)을 접착 스테이션(10)으로 공급하는데, 이러한 접착 스테이션(10)은 접착제 원심 장치 또는 공정 포트(11,12), 각각의 접착제 도포기 또는 분배기(13,14), 각각의 기판 디스크 에지 정화 장치(15,16), 예비코팅 장치 또는 예비분배 유닛(17), 및 각각의 운반 장치(18,19)를 포함하고 있다.
접착 스테이션(10)에서의 공정 방법은 다음과 같다. 먼저, 수용 턴테이블(8) 상에 놓여지고 상방을 향하는 접착면을 가지고 있으며 접착 공정 동안 하부 기판으로써 설명되는 제 1기판(3)이 소정의 턴테이블 위치에서 운반 장치(19)에 의해 예비코팅 장치(17)의 테이블(20) 상에 위치되고, 여기서 예비코팅장치(17)에 의해 예비코팅되어서 연속적인 공정 단계에서 도포될 실제 접착제 또는 주요 래커에 대한 최적의 글라이딩 특성을 제공한다. 예비코팅된 제 1기판(3)은 이후 수용 턴테이블(8)로 복귀된다.
이후 정교하게 구동하는 단일 아암 운반 장치(18)가 수용 턴테이블(8)로부터 제 1기판(3)을 두 접착제 제거 장치(11 또는 12)로 이송한다. 연속적인 공정 단계에서, 접착제는 접착제 도포 장치 또는 주요 분배 유닛(13,14)에 의해 예컨대 거의 링 형태의 자외선 합성 래커의 형태로 도포된다. 연속적으로, 제 2상부 기판(6)이 턴테이블(8)로부터 제거되고, 제 1하부 기판(3) 상의 중앙에 정교하게 위치된다. 이후, 기판(3,6)들 사이의 접착제가 원심력에 의해 제거되도록 접착제 원심 장치(11,12)의 판이 회전된다.
접착제 또는 접착 링을 도포하는 동안 형성되는 기포 또는 개재물을 용이하게 제거할 수 있고 또한 접착제의 도포를 향상시키고 가속화시키기 위해 상부 또는 하부 기판(3 또는 6)을 약간 굽히는 방법에 대해 도 2를 참조하여 이하에 상세하게 설명한다. 단일 아암 운반 장치(18)의 정교한 구동을 통해, 제 2상부 기판(6)이 놓여지는 속도 뿐만 아니라 기판(6)이 접착 링 상에 놓여지는 정교한 압력이 제어될 수 있고, 또한 굽혀진 기판의 기판 에지가 풀려지는 속도가 감소된다.
접착제를 원심력으로 제거한 후, 기판 에지 정화 장치(15 또는 16)는 도시된 실시예에서 접착제 흡입 장치가 접착될 기판 디스크의 에지 상에서 탄성식으로 스프링 가압됨으로써 작동될 것이다. 이와 함께 달성된 에지 정화 작용은 부가적으로 기판 디스크 에지를 밀봉시켜서 제품의 품질을 향상시킨다.
이후, 접착될 기판 디스크(23)는 단일 아암 운반 장치(24)에 의해 접착 스테이션(10)으로부터 제거되며, 건조 스테이션(26)의 또다른 턴테이블(25) 상으로 이송되며, 이러한 턴테이블(25)에서 기판 디스크(23)는 주기적으로 자외선 램프에 의해 자외선이 방사되는 자외선 건조기(27) 아래로 안내되며 건조된다. 자외선 건조기(27)는 바람직하게는 하나 또는 두 스테이션으로 둘 내지 네 개의 4HPA 램프가 제공되어 있다.
건조 스테이션(26)은 푸셔 또는 변경 장치 형태의 유리판 운반 장치(28)를 갖추고 있는데, 이에 의해 건조될 접착 디스크(23) 상으로 석영판 또는 유리판(29)이 놓여진다. 유리판(29)은 그자체의 중량에 의해 기판 디스크(23) 상에 놓여진다. 유리판(29)은 연속적으로 다른 기판 디스크(23) 상에 놓일 수 있도록 유리판 운반 장치(28)에 의해 기판 디스크(23)로부터 제거된 후에 이온화된 공기에 의해 냉각된다.
건조된 기판 디스크(23)는 3중 아암 운반 장치(30)에 의해 건조 스테이션(26)의 턴테이블(25)로부터 수용 스테이션(31)으로 공급되는데, 수용 스테이션(31)내에는 완성된 기판(23)의 품질을 검사하는 검사 스테이션(34)이 위치되어 있으며, 이러한 검사 스테이션(34)의 측정값의 함수에 따라, 수용 스테이션(31)은 무결점 기판 디스크(23)가 다른 턴테이블(35) 상에 위치되고, 결점이 있는 기판 디스크(23)가 리젝트 스핀들(36) 상에 위치되도록 3중 아암 운반 장치(30)를 제어한다.
소형 구조에 기인하여, 본 발명에 따른 장치는 2,900mm의 길이, 1,250mm의직경, 및 1,900mm의 높이를 갖는 작은 크기를 가지며, 이는 개별적인 머신으로 사용될 때 뿐만 아니라 제조 라인에 통합될 때 최소 공간으로 사용될 수 있도록 한다.
도 2는 각각의 다른 기판으로부터 떨어져 있는 각각의 에지 영역에서 접착될 기판 중 어느 하나 또는 접착될 기판 모두를 굽히기 위한 굽힘 장치(40)를 개략적인 단면도이다. 굽힘 장치(40)는 유체 실린더(48)에 의해 서로에 대해 이동가능한 내부 그리퍼(41) 및 외부 그리퍼(42)를 갖추고 있다. 내부 그리퍼(41)는 각각의 진공 코넥터(44)에 의해 진공원에 연결된 흡입 컵(43)을 갖추고 있으며, 기판(3 또는 6)을 결합시켜서 상승 및 하강 실린더(45)에 의해 기판을 이송시킨다.
외부 그리퍼(42)는 외부 그리퍼 둘레부를 중심으로 분포된 다수의 흡입 컵(46)을 갖추고 있는데, 이러한 외부 그리퍼는 기판을 굽히기 위해 기판(3 또는 6)의 외부 영역에 결합된다.
굽힘 작용은 실린더(48)를 갖춘 외부 그리퍼(42)가 내부 그리퍼(41)에 대해 상승될 때 이루어진다.
본 발명은 바람직한 실시예를 통해 기술되었지만, 당업자들은 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서 변경 및 개조가 가능함을 이해할 것이다. 본 발명에 따른 장치는 디지털 비디오 디스크의 제조와 관련하여 기술하였다. 그렇지만, 본 발명의 원리는 두 기판이 서로 접착되는 다른 제품을 제조하기 위한 방법 및 장치에 적용될 수 있다.

Claims (29)

  1. 제 1기판(3)의 접착될 표면에 접착제를 도포하고, 접착될 표면을 갖는 제 2기판(6)을 상기 제 1기판(3)상에 위치시키고, 상기 기판(3,6)을 그들의 중심 축선을 중심으로 회전시켜서 상기 접착제를 원심력으로 제거하여, 기판 디스크(23)를 형성하도록 두 기판(3,6)을 접착시키기 위한 방법에 있어서,
    상기 제 1기판(3)의 접착될 표면에 상기 접착제를 도포하기 전에 상기 접착될 표면을 예비코팅하는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 접착제가 자외선 합성 래커인 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 접착제가 상기 제 1기판(3)의 접착될 표면 상에 접착 링으로써 도포되는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 제 2기판을 상기 접착제 상으로 위치시킨 후 조절가능한 압력을 가하는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제 1기판(3)의 접착될 표면에 접착제를 도포하고, 접착될 표면을 갖는 제 2기판(6)을 상기 제 1기판(3)상에 위치시키고, 상기 기판(3,6)을 그들의 중심 축선을 중심으로 회전시켜서 상기 접착제를 원심력으로 제거하며, 상기 기판(3,6) 중 어느 하나가 다른 기판(6,3) 상에 위치될 때 상기 다른 기판(6,3)으로부터 떨어져 있는 에지 영역에서 굽혀지는, 기판 디스크(23)를 형성하도록 두 기판(3,6)을 접착시키는 방법에 있어서,
    내부 그리퍼(41) 및 외부 그리퍼(42)가 상기 기판(6,3) 중 어느 하나를 굽히기 위해 서로에 대해 상기 기판(3,6)의 축선 방향으로 이동하는 방법.
  6. 제 1기판(3)의 접착될 표면에 접착제를 도포하고, 접착될 표면을 갖는 제 2기판(6)을 상기 제 1기판(3)상에 위치시키고, 상기 기판(3,6)을 그들의 중심 축선을 중심으로 회전시켜서 상기 접착제를 원심력으로 제거하며, 건조 공정 동안 상기 기판 디스크(23) 상에 석영 또는 유리판(29)이 위치되는, 기판 디스크(23)를 형성하도록 두 기판(3,6)을 접착시키는 방법에 있어서,
    상기 건조 공정 후에 상기 석영 또는 유리판(29)이 다음의 기판 디스크(23) 상에 위치되기 전에 냉각되는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 석영 또는 유리판(29)이 이온화된 공기로 냉각되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제 6항에 있어서, 상기 건조 공정이 질소 분위기 하에서 수행되는 것을 특징으로 하는 방법..
  9. 제 1항에 있어서, 접착된 기판 디스크(23)의 에지가 상기 접착제를 제거한 후에 정화되는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제 5항, 제 6항, 또는 제 9항에 있어서, 상기 에지의 정화가 상기 기판(3,6)의 접착 공정이 행해지는 스테이션(10)에서 수행되는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제 9항에 있어서, 접착제 흡입 장치가 접착된 기판 디스크(23)의 상기 에지 상으로 탄성식으로 가압되는 특징으로 하는 방법.
  12. 제 1항, 제 5항, 또는 제 6항에 있어서, 접착되고 건조된 상기 디스크 기판(23)이 결함 여부를 조사하기 위해 검사되는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제 1항, 제 5항, 또는 제 6항에 있어서, 상기 방법이 데이터 처리 프로그램에 의해 제어되거나 또는 가시적으로 표시되는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 하나 이상의 접착 스테이션(10), 하나 이상의 접착제 도포 장치(13,14), 및 하나 이상의 접착제 제거 장치(11,12)를 포함하는, 기판 디스크(23)를 형성하도록 두 기판(3,6)을 접착시키기 위한 장치에 있어서,
    예비코팅 장치(17)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 접착 공정 동안 상기 기판 디스크(3,6) 중 어느 하나에 조절가능한 압력을 가하는 가압 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  16. 하나 이상의 접착 스테이션(10), 하나 이상의 접착제 도포 장치(13,14), 및 하나 이상의 접착제 제거 장치(11,12)를 포함하는, 기판 디스크(23)를 형성하도록 두 기판(3,6)을 접착시키기 위한 장치에 있어서,
    다른 기판(6,3)으로부터 떨어져 있는 접착될 상기 기판(3,6) 중 어느 하나의 에지 영역을 굽히기 위한 굽힘 장치(40)를 포함하는 더 포함하며,
    상기 굽힘 장치(40)가 굽혀질 상기 기판(3,6)의 내부 영역을 결합시키는 내부 그리퍼(41)와, 굽혀질 상기 기판(3,6)의 외부 영역을 결합시키는 외부 그리퍼(42)를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  17. 제 16항에 있어서, 상기 내부 그리퍼(41) 및 상기 외부 그리퍼(42)가 서로에 대해 상기 기판(3,6)의 축선 방향으로 이동될 수 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  18. 제 16항에 있어서, 상기 내부 그리퍼(41) 및 상기 외부 그리퍼(42)가 각각 흡입 컵(43,46)을 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  19. 하나 이상의 접착 스테이션(10), 하나 이상의 접착제 도포 장치(13,14), 하나 이상의 접착제 제거 장치(11,12), 및 석영 또는 유리판 운반 장치(28)를 갖춘 건조 스테이션(26)을 포함하는, 기판 디스크(23)를 형성하도록 두 기판(3,6)을 접착시키기 위한 장치에 있어서,
    상기 건조 스테이션(26)이 상기 석영 또는 유리판 냉각 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  20. 제 19항에 있어서, 상기 냉각 매체가 이온화된 공기인 것을 특징으로 하는 장치.
  21. 제 19항에 있어서, 상기 건조 스테이션(26)이 자외선 램프를 포함하고 있으며, 상기 기판 에지의 영역내에 상기 램프 방사용 반사면이 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  22. 제 14항, 제 16항, 또는 제 19항에 있어서, 상기 건조 스테이션(26)의 하류에 배열된 검사 스테이션(34)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  23. 제 14항, 제 16항, 또는 제 19항에 있어서, 기판 디스크 에지 정화 장치(15,16)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  24. 제 23항에 있어서, 상기 기판 디스크 에지 정화 장치(15,16)가 접착제 흡입 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  25. 제 23항에 있어서, 상기 기판 디스크 에지 정화 장치(15,16)가 상기 기판 디스크 에지 상에 탄성식으로 스프링 가압되는 것을 특징으로 하는 장치.
  26. 제 23항에 있어서, 상기 기판 디스크 에지 정화 장치(15,16)가 상기 접착제 제거 장치(11,12)의 일부분인 것을 특징으로 하는 장치.
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