JP2004070976A - 板状体の製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】２枚の部材が貼り合わされて構成され、各部材間への気泡の残存が効果的に抑制された板状体を提供する。
【解決手段】第１部材Ｄａの接着面Ｄａａに液体９６が塗布され、この接着面を上面として第１部材がほぼ水平に配置される。そして、第２部材Ｄｂが第１部材に対向してその上方に所定の位置関係で配置された第１状態から、両部材が液体を介して重ね合わされる第２状態に遷移する。ここで第１状態から第２状態へ遷移する間の、液体が第２部材に接触する瞬間を含む少なくとも一部の時間で両部材間に気体が送り込まれる。これにより、液体に気体による一定の力が加えられるので、第２部材と液体が接触する際には線接触又は点接触に近い状態となり、接触面積が十分に小さくなる。従って、液体中に気泡が入り込むのが抑制され、最終的に得られる板状体を構成する２枚の部材間への気泡の残存を効果的に抑制することができる。
【選択図】　図４

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、板状体の製造方法及び製造装置に係り、更に詳しくは、２枚の部材が貼り合わされて成る板状体を製造する板状体の製造方法及び製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、情報機器のデジタル化とこれに伴うマルチメディア機器の急速な発展によって、取り扱う情報量（データ量）が急増している。そのため、各種情報記録媒体に対しても更なる大容量化の要請がなされている。
【０００３】
例えば、光学式情報記録媒体の場合、光ピックアップの光源であるレーザの短波長化等の技術向上により、従来から広く用いられているコンパクトディスク（Ｃｏｍｐａｃｔ　Ｄｉｓｃ：以下「ＣＤ」と略述する）の約７倍相当のデータをＣＤと同じ直径のディスクに記録可能としたＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ　Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ　Ｄｉｓｃ）がＣＤに代わる次世代の光学式情報記録媒体として注目されている。
【０００４】
しかるに、ＣＤは厚さが１．２ｍｍであるのに対してＤＶＤは厚さが０．６ｍｍである。このため、同一の機器でこれらに対する情報の記録や再生を行うことができるようにするため、ＤＶＤは０．６ｍｍの基板を２枚貼り合わせて成る、貼り合わせ型の光学式情報記録媒体となっている。
【０００５】
従って、ＤＶＤ等の貼り合わせ型の光学式情報記録媒体の製造に際しては、２枚の光ディスク基板を貼り合わせる工程が不可欠であり、このような２枚の基板の貼り合わせに際しては、接着剤中あるいは２枚の基板間に気泡が混入し残存しないことが重要である。これは、気泡がレンズ状となり、光ピックアップによる情報読み取りの際に照射されたレーザビームが屈折して所望の位置に照射されなくなって、情報の読み取り、再生不良が発生する可能性が高いからである。また、相変化記録型の光学式記録媒体においては、貼り合わせ工程後に行われるレーザアニール工程（初期化工程）のレーザ照射による気泡の膨張を生じ記録層破壊という重大な品質欠陥を発生させることになる。すなわち、気泡の存在は、光学式情報記録媒体の製品寿命、物理的及び電気的特性上の欠陥要因の一つとなる。
【０００６】
従来においても、上述した気泡の残存を抑制しようとする方法又は装置に関する技術（又は発明）が種々提案されている。
【０００７】
例えば、特開平９−１９８７２０号公報には、重ね合わせたディスク間中に混入する気泡をより良好に除去することを目的としたディスクの貼り合わせ方法（以下、「従来例１」と呼ぶ）が開示されている。この従来例１の方法は、加圧装置本体に剛体のチャンバにより覆われて形成された密閉空間内に、軸部に固着された上部プレス板と下部プレス板の間に挟まれて重ね合わされたディスクを位置させ、前記密閉空間を真空引管を介して真空引きした際、前記チャンバに対して加わる外部からの圧力によって、チャンバをシールしているＯリングを変形させ、このＯリングの変形に伴う変形分だけ重ね合わせディスクを加圧する。すなわち、上記の真空引きにより上記重ね合わせディスクの接着剤内の気泡を外部に吸引しようとするものである。
【０００８】
また、例えば、特開平１１−６６６４５号公報には、接着剤を介して貼り合わされる２枚の基板の局所的な部位を真空吸引することによる技術（以下、「従来例２」と呼ぶ）が提案されている。この従来例２は、２枚の基板の内、下側基板の面上に接着剤を円環状に吐出しておき、かつ上側基板はその外周近傍部を保持された状態で、これらの２枚の基板を近接させていき、上記上側基板が上記下側基板面上の円環状の接着剤に接触する前に、上側基板面と下側基板面及び接着剤で囲まれる内側空間内の気体を真空引きして該空間の内部圧力を外部空間の大気圧より低くし、この状態にて上側基板と下側基板の円環状の接着剤を接触させることで気泡の発生を低減しようとするものである。
【０００９】
この他、特開２０００−２９０６０２号公報には、２枚の基板の間に電界を形成し、電界の吸引力で接着剤の液膜の頂部を先細り化させて接触面積を小さくする方法により気泡の発生を低減するという技術（以下、「従来例３」と呼ぶ）が開示されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例１では、基板を覆うような大きな容積の真空チャンバを採用しているため、装置構成が大掛かりになりその分装置コストが高くなってしまう。また、この種の真空チャンバは内部容積も大きいことから、真空吸引する吸引力を大きくする必要があるとともに、所定の圧力条件にするまでの吸引時間が長く、作業効率も良くないものであった。
【００１１】
また、従来例２では、上側基板面と下側基板面および接着剤で囲まれる内側空間の圧力を外側空間の大気圧より低くすること、すなわち局所的な真空雰囲気を作ることで、一定の効果を得ることは可能である。しかしながら、上記の真空引きに際して上側基板面と下側基板面及び接着剤で囲まれる内側空間の中央部分に相当する上側基板の中心穴付近が急激に負圧となって接着剤が吸引されてしまうおそれがあった。かかる事態が発生すると、接着剤に混入する気泡を確実に除去する以前の本来の目的である２枚の基板の貼り合わせにおける接合が不十分となってしまう。
【００１２】
さらに、従来例３では、電界の吸引力を利用することで、接着剤の接触面積を小さくでき、気泡発生の低減に大きな効果は見られる。しかしながら、この従来例３では、電界に対する何らかの対策が必要となって装置の生産コストが上昇してしまう。また、通常、接着剤の吐出前には、静電気による塵付着に対する対策（汚染対策）として静電除去及び除塵ブローを施すことが行われているが、従来例３では、基板を帯電させる結果、却って装置内の塵を吸引してしまうという不都合があった。また、帯電された基板を再度除電する必要もあり、装置コスト及び貼り合わせ工程における作業プロセスの増加により生産性を低下させるという不都合も有していた。
【００１３】
本発明は、かかる事情の下になされたもので、その目的は、２枚の部材が貼り合わされて構成され、各部材間に気泡が残存するのを効果的に抑制することが可能で、かつ安価な板状体の製造方法及び製造装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
発明者等は、液体を介した２枚の部材の貼り合わせに際して種々の条件下で、実験を繰り返し行った結果、貼り合わせに際して液体中に気泡が混入する要因として、大きく２つの要因があることが判明した。第１は、液体が部材に接触する際に面接触状態となった場合には、部材と液体との間の空間に存在する気体（通常は空気）が、接触の瞬間に部材と液体との間に閉じ込められてこれが気泡となる（第１の気泡発生要因）。第２は、液体が部材に接触した後、部材同士が接近する方向に押圧され液体が所定の方向に広がり隣接する液体同士が接続される過程で液体相互間の空間に存在した気体（通常は空気）が液体相互間に閉じ込められてこれが気泡になる（第２の気泡発生要因）。
【００１５】
本発明は、かかる発明者等の得た知見（上記の第１、第２の気泡発生要因）に鑑みてなされたもので、以下のような手段を採用する。
【００１６】
請求項１に記載の発明は、第１部材と第２部材とが液体を介して貼り合わされて成る板状体を製造する板状体の製造方法であって、前記第１部材の一方の面に前記液体を塗布する液体塗布工程と；前記一方の面を上面として前記第１部材をほぼ水平に配置し、前記第２部材を前記第１部材に対向してその上方に所定の位置関係で配置した第１状態から、前記第１部材と前記第２部材とが前記液体を介して重ね合わされる第２状態に遷移させるとともに、前記第１状態から前記第２状態へ遷移する間の前記液体が前記第２部材に接触する瞬間を含む少なくとも一部の時間で前記両部材間に気体を送り込む貼り合わせ工程と；を含む板状体の製造方法である。
【００１７】
これによれば、液体塗布工程において第１部材の一方の面に液体が塗布される。そして、貼り合わせ工程において、その液体が塗布された面を上面として第１部材がほぼ水平に配置され、第２部材が第１部材に対向してその上方に所定の位置関係で配置された第１状態から、第１部材と第２部材とが液体を介して重ね合わされる第２状態に遷移する。ここで、第１状態から第２状態へ遷移する間の液体が第２部材に接触する瞬間を含む少なくとも一部の時間で両部材間に気体が送り込まれる。すなわち、この気体の送り込みにより、液体に気体による一定の力を加えることで、液体が第２部材に接触する瞬間に、第２部材と液体が線接触（あるいは点接触）に近い状態となり十分に接触面積が小さくなる。従って、上記第１の気泡発生要因からも明らかなように、本発明によれば、貼り合わせ工程で、第１部材と第２部材とを貼り合わせる液体中に気泡が入り込むのが効果的に抑制され、結果的に最終的に得られる板状体を構成する２枚の部材間に気泡が残存するのを効果的に抑制することができる。また、この場合、前述した真空チャンバ等の特殊な設備が不要であり、その分コストダウンが可能である。なお、第１部材及び第２部材の少なくとも一方は、その一部に曲面を含んでいても良い。従って、本明細書における板状体は、少なくともその一部に曲面を有するものを含む。
【００１８】
この場合において、両部材間への気体の送り込みは、第１状態から第２状態へ遷移する間の液体が第２部材に接触する瞬間を含む少なくとも一部の時間で行われれば足り、請求項２に記載の製造方法の如く、前記両部材間への前記気体の送り込みは、前記第１状態から前記第２状態へ遷移する間の前記液体が前記第２部材に接触する前に開始されることとしても良いし、あるいは請求項３に記載の製造方法の如く、前記両部材間への前記気体の送り込みは、前記第１状態から前記第２状態へ遷移する間の時間中常に行われることとしても良い。後者の場合には、気体の送り込みに際して複雑な制御が不要となる。
【００１９】
上記請求項１〜３に記載の各製造方法において、液体の塗布形状は直線状、曲線状等任意の形状とすることができるが、例えば請求項４に記載の製造方法の如く、前記液体塗布工程では、前記液体を前記第１部材の前記一方の面に環状に塗布することとすることができる。
【００２０】
環状は、いわゆる円環状のみでなく、楕円その他の環のような形の全てを含む。
【００２１】
この場合において、請求項５に記載の製造方法の如く、前記第１及び第２部材の少なくとも一方の中央部に予め開口が形成されている場合、前記貼り合わせ工程では、前記開口を介して前記第１部材の前記一方の面上の前記環状の液体の内側空間に前記気体を送り込むこととすることができる。かかる場合には、開口を介して第１部材の一方の面上の環状の液体の内側空間に送り込まれた気体の圧力により、環状の液体（の少なくとも上方部分）をほぼ放射状にほぼ一律に広げることができ、第２部材と液体との接触領域を線幅の非常に細い環状領域に速やかに設定することが可能になる。
【００２２】
あるいは上記請求項４に記載の製造方法において、請求項６に記載の製造方法の如く、前記貼り合わせ工程では、前記第１部材の前記一方の面上の前記環状の液体の外側の空間に前記気体を送り込むこととすることができる。
【００２３】
上記請求項１〜６に記載の各製造方法において、請求項７に記載の製造方法の如く、前記気体は、前記送り込みに際して圧力、流量、及び温度の少なくとも１つが調整されることとすることができる。
【００２４】
上記請求項１〜７に記載の各製造方法において、請求項８に記載の製造方法の如く、前記気体は、イオン化された気体であることとすることができる。
【００２５】
上記請求項１〜８に記載の各製造方法において、請求項９に記載の製造方法の如く、前記貼り合わせ工程では、前記第２部材は、前記液体に接触するのに先立って一定の形状変化が与えられることとすることができる。
【００２６】
上記請求項１〜９に記載の各製造方法において、請求項１０に記載の製造方法の如く、前記貼り合わせ工程に先だって、前記第１部材及び前記第２部材を電気的に中和する帯電除去工程を更に含むこととすることができる。
【００２７】
上記請求項１〜１０に記載の各製造方法において、請求項１１に記載の製造方法の如く、前記貼り合わせ工程で液体を介して貼り合わせられた前記第１部材と前記第２部材とを一体的に回転させる回転工程を更に含むこととすることができる。
【００２８】
上記請求項１〜１１に記載の各製造方法において、請求項１２に記載の製造方法の如く、前記液体は、接着剤であることとすることができる。
【００２９】
この場合において、請求項１３に記載の製造方法の如く、前記接着剤として紫外線硬化型の接着剤が用いられている場合には、前記貼り合わせ工程で接着剤を介して貼り合わせられた前記第１部材と前記第２部材とに紫外線を照射して前記接着剤を硬化させる紫外線照射工程を更に含むこととすることができる。
【００３０】
上記請求項１〜１３に記載の各製造方法において、請求項１４に記載の製造方法の如く、前記第１及び第２部材はそれぞれ第１基板及び第２基板であり、前記貼り合わされて成る板状体は記録媒体であることとすることができる。
【００３１】
この場合において、請求項１５に記載の製造方法の如く、前記第１及び第２基板のうち少なくとも第１基板が記録層を有する記録基板であることとすることができる。
【００３２】
上記請求項１〜１５に記載の各製造方法において、請求項１６に記載の製造方法の如く、前記貼り合わされて成る板状体は光学式情報記録媒体であることとすることができる。
【００３３】
請求項１７に記載の発明は、請求項１〜１６のいずれか一項に記載の製造方法により製造されたことを特徴とする板状体である。
【００３４】
請求項１８に記載の発明は、第１部材と第２部材とが貼り合わされて成る板状体を製造する板状体の製造装置であって、一方の面に液体が予め塗布された前記第１部材が前記一方の面を上面として載置されるほぼ水平の載置面を有する載置テーブルと；前記載置テーブルの上方で前記第２部材を保持する保持ユニットと；前記載置テーブル上に載置された前記第１部材に対向して前記第２部材が前記載置テーブルの上方で前記保持ユニットによって保持された第１状態で前記載置テーブルと前記保持ユニットとを当該両者が互いに接近する方向に相対的に駆動するとともに、所定距離まで両者が近づいた時点で前記保持ユニットによる部材の保持を解除することにより、前記第１状態から前記第１部材と前記第２部材とが前記液体を介して重ね合わされる第２状態に遷移させる状態遷移手段と；前記第１状態から前記第２状態へ遷移する間の前記液体が前記第２部材に接触する瞬間を含む少なくとも一部の時間で前記両部材間に気体を送り込む気体送り込み手段と；を備える板状体の製造装置である。
【００３５】
これによれば、一方の面に液体が予め塗布された第１部材がその一方の面を上面として載置テーブルのほぼ水平の載置面上に載置される。保持ユニットにより、この載置テーブル上に載置された第１部材に対向して第２部材が載置テーブルの上方で保持される。そして、状態遷移手段により、この状態、すなわち載置テーブル上に載置された第１部材に対向して第２部材が載置テーブルの上方で保持ユニットによって保持された第１状態で載置テーブルと保持ユニットとが当該両者が互いに接近する方向に相対的に駆動されるとともに、所定距離まで両者が近づいた時点で保持ユニットによる第２部材の保持が解除され、第１状態から第１部材と第２部材とが液体を介して重ね合わされる第２状態に状態遷移する。この状態遷移の間に、第１部材と第２部材とが重ね合わされ液体を介して両部材が貼り合わされる。この貼り合わせの際に、気体送り込み手段により、第１状態から第２状態へ遷移する間の液体が第２部材に接触する瞬間を含む少なくとも一部の時間で両部材間に気体が送り込まれる。すなわち、この気体の送り込みにより、液体に気体による一定の力を加えることで、液体が第２部材に接触する瞬間に、第２部材と液体が線接触（あるいは点接触）に近い状態となり十分に接触面積が小さくなる。従って、上記第１の気泡発生要因からも明らかなように、本発明によれば、貼り合わせの際に、第１部材と第２部材とを貼り合わせる液体中に気泡が入り込むのが効果的に抑制され、結果的に最終的に得られる板状体を構成する２枚の部材間に気泡が残存するのを効果的に抑制することができる。また、この場合、前述した真空チャンバ等の特殊な設備が不要であり、その分設備及び製造コストのダウンが可能である。
【００３６】
この場合において、請求項１９に記載の製造装置の如く、前記気体送り込み手段は、前記両部材間への前記気体の送り込みを、前記第１状態から前記第２状態へ遷移する間の時間中常時行うこととすることができる。
【００３７】
上記請求項１８及び１９に記載の各製造装置において、請求項２０に記載の製造装置の如く、前記第１及び第２部材が中心穴を有する円形部材である場合には、前記液体は前記第１部材の前記一方の面に環状に塗布され、前記気体送り込み手段は、前記第２部材の前記中心穴を介して前記第１部材の前記一方の面上の前記環状の液体の内側空間に前記気体を送り込むこととすることができる。
【００３８】
この場合において、請求項２１に記載の製造装置の如く、前記第１及び第２部材の中心穴と嵌合して当該両部材を相対位置合わせするとともに、前記気体の流路を形成する位置決め手段を更に備えることとすることができる。
【００３９】
この場合において、請求項２２に記載の製造装置の如く、前記位置決め手段は位置決め部材を含み、該位置決め部材は、前記気体の送り込みが放射方向でほぼ均一となる流路が形成されるような表面形状を有することとすることができる。
【００４０】
上記請求項２１及び２２に記載の各製造方法において、請求項２３に記載の製造装置の如く、前記位置決め手段は、前記載置テーブルの前記載置面に設けられた位置決め部材であることとすることができる。
【００４１】
上記請求項２１に記載の製造方法において、請求項２４に記載の製造装置の如く、前記位置決め手段は、前記第１状態と前記第２状態とで前記気体の流路の少なくとも一部を変更する流路変更手段を兼ねることとすることができる。
【００４２】
上記請求項２１に記載の製造方法において、請求項２５に記載の製造装置の如く、前記位置決め手段は、アクチュエータと、該アクチュエータによって駆動される可動部材とを含み、前記アクチュエータによる前記可動部材の駆動により前記第１状態と前記第２状態とで前記気体の流路の少なくとも一部が変更されることとすることができる。
【００４３】
この場合において、請求項２６に記載の製造装置の如く、前記可動部材は、前記アクチュエータによって上下方向に駆動される位置決め部材であることとすることができる。
【００４４】
この場合において、請求項２７に記載の製造装置の如く、前記可動部材には、前記第２状態における前記気体の流路の一部を形成する貫通孔が形成されていることとすることができる。
【００４５】
上記請求項２５に記載の製造装置において、請求項２８に記載の製造装置の如く、前記位置決め手段は、前記アクチュエータによって前記可動部材が第１の位置から第２の位置へ駆動された際に、これに連動して位置決め解除状態から位置決め状態に変化する位置決め部材をさらに含むこととすることができる。
【００４６】
上記請求項２０〜２８に記載の各製造装置において、請求項２９に記載の製造装置の如く、前記保持ユニットが、前記第２部材の外周近傍を保持する場合に、前記保持された前記第２部材が前記液体に接触するのに先立って前記第２部材の中心穴の周囲を前記載置テーブルに向けて押圧する押圧手段を更に備えることとすることができる。
【００４７】
上記請求項１８〜２９に記載の各製造装置において、請求項３０に記載の製造装置の如く、前記気体の圧力、流量、及び温度の少なくとも１つを調整する調整手段を更に備えることとすることができる。
【００４８】
上記請求項１８〜３０に記載の各製造装置において、請求項３１に記載の製造装置の如く、前記気体をイオン化するイオン化手段を更に備えることとすることができる。
【００４９】
上記請求項１８〜３１に記載の各製造装置において、請求項３２に記載の製造装置の如く、前記第１及び第２部材を電気的に中和する帯電除去手段を更に備えることとすることができる。
【００５０】
上記請求項１８〜３２に記載の各製造装置において、請求項３３に記載の製造装置の如く、前記気体送り込み手段は、所定の待機位置と前記両部材間に気体を送り込む位置との間で移動可能であることとすることができる。
【００５１】
この場合において、請求項３４に記載の製造装置の如く、前記気体送り込み手段の移動速度を調整する速度調整手段を更に備えることとすることができる。
【００５２】
上記請求項１８〜３４に記載の各製造装置において、請求項３５に記載の製造装置の如く、前記液体は、接着剤であることとすることができる。
【００５３】
上記請求項１８〜３５に記載の各製造装置において、請求項３６に記載の製造装置の如く、前記第１及び第２部材はそれぞれ第１基板及び第２基板であり、前記貼り合わされて成る板状体は記録媒体であることとすることができる。
【００５４】
上記請求項１８〜３６に記載の各製造装置において、請求項３７に記載の製造装置の如く、前記貼り合わされて成る板状体は光学式情報記録媒体であることとすることができる。
【００５５】
請求項３８に記載の発明は、請求項１８〜３７のいずれか一項に記載の板状体の製造装置により製造されたことを特徴とする板状体である。
【００５６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図１〜図７（Ｂ）に基づいて説明する。
【００５７】
図１には、一実施形態に係る記録媒体の製造装置としての光ディスク製造装置１０の概略構成が平面図にて示されている。この光ディスク製造装置１０は、中心部に中心穴（開口）を有する円板状の基板としてのディスク基板を２枚貼り合わせて、光学式情報記録媒体、例えばＤＶＤを製造する装置である。
【００５８】
光ディスク製造装置１０は、図１に示されるように、第１基板としての記録基板Ｄａを多数枚積層状態で保管する第１スタッカ部２２、第２基板としてのカバー基板Ｄｂを多数枚積層状態で保管する第２スタッカ部２４、これら第１スタッカ部２２及び第２スタッカ部２４から記録基板Ｄａ及びカバー基板Ｄｂをそれぞれ取り出すとともに、記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂとを接着剤を用いて貼り合わせる貼り合わせ部３０、該貼り合わせ部３０にて貼り合わされた記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂとの間の接着剤の厚みを調整した後接着剤を硬化させる接着剤硬化部４０、該接着剤硬化部４０を経た貼り合わせ基板の検査及び装置外部への排出を行うための検査・排出部５０、及びこれら各部の動作を統括的に制御する制御装置７０等を備えている。
【００５９】
上記構成各部のうち、第１及び第２スタッカ部２２，２４、貼り合わせ部３０及び接着剤硬化部４０は、床面Ｆ上に設置された第１基台１９Ａ上に設けられ、検査・排出部５０は、第１基台１９Ａの＋Ｘ側に隣接して床面Ｆ上に設置された第２基台１９Ｂ上に設けられている。
【００６０】
前記第１スタッカ部２２は、第１基台１９Ａ上のＸ軸方向一端部（−Ｘ端部）のＹ軸方向の一端部（＋Ｙ側端部）近傍に配置されている。この第１スタッカ部２２は、中心軸２２ａを中心としてＺ軸回りに回転可能な基板保持台２２ｂと該基板保持台上の中心軸２２ａに関して対称な位置に配置された一対のスタッカとを備えている。この一対のスタッカのそれぞれは、記録基板Ｄａの中心穴に挿入される軸を有し、その軸に中心穴を挿入した多数枚の記録基板Ｄａを積層状態で支持する。また、各スタッカには、支持された多数枚の記録基板Ｄａを順次下方から持ち上げる持ち上げ機構（図示省略）も設けられている。
【００６１】
この第１スタッカ部２２で保管される記録基板Ｄａは、中心位置に中心穴Ｄａｃ（図４参照）が形成されたほぼ円形基板である。この記録基板Ｄａは、一例として図２（Ａ）に示されるような断面構造を有している。すなわち、この記録基板Ｄａは、０．６ｍｍポリカーボネート基板１０１と、該ポリカーボネート基板１０１上に順次積層形成された第１誘電体膜（アンダーレイヤー）９１、記録層としての相変化記録膜９２、第２誘電体膜（トップレイヤー）９３、反射膜９４及びＵＶ硬化樹脂保護膜９５等から構成される中間層１０２とを備えている。中間層１０２全体の厚さは例えば１μｍ程度とされている。この記録基板Ｄａは、図１の第１スタッカ部２２を構成する一対のスタッカのそれぞれによって、中間層１０２の上面（接着面）Ｄａａを上側にした状態で支持されている。
【００６２】
図１に戻り、第２スタッカ部２４は、第１スタッカ部２２と同様の構成となっている。この第２スタッカ部２４で保管されるカバー基板Ｄｂは、前記０．６ｍｍポリカーボネート基板１０１と同一形状（中心位置に中心穴Ｄｂｃ（図４参照）が形成された円板状の形状）を有し、図２（Ａ）に示されるようにポリカーボネートから成る板状部材から構成されている。このカバー基板Ｄｂは、図１の第２スタッカ部２４を構成する一対のスタッカのそれぞれによって、図２（Ａ）の下面（接着面）Ｄｂａを上側にした状態で支持されている。
【００６３】
なお、記録基板Ｄａ及びカバー基板Ｄｂは、例えば、オペレータの手作業又は不図示の自動搬送装置等により装置内に搬入される。
【００６４】
図１に戻り、前記貼り合わせ部３０は、前記第１，第２スタッカ部２２，２４それぞれの＋Ｘ側に近接してそれぞれ配置された一対の第１移載装置３１Ａ，３１Ｂと、一方の第１移載装置３１Ａの＋Ｙ側及び他方の第１移載装置３１Ｂの−Ｙ側にそれぞれ配置された一対のクリーナ部３２Ａ、３２Ｂと、一方のクリーナ部３２Ａの＋Ｘ側に配置された接着剤塗布装置３３と、他方のクリーナ部３２Ｂの＋Ｘ側に配置されたリバーサ３４と、接着剤塗布装置３３とリバーサ３４とからＹ軸方向に関してほぼ等距離の位置に配置された貼り合わせ用ターンテーブル３５と、該貼り合わせ用ターンテーブル３５の±Ｙ側にそれぞれ近傍して配置された一対の第２移載装置３６，３７とを備えている。
【００６５】
前記一方の第１移載装置３１Ａは、所定角度に開角された２本のアーム１３１ａ，１３１ｂを有している。一方のアーム１３１ａは、第１スタッカ部２２からクリーナ部３２Ａに記録基板Ｄａを移載するためのアームであり、他方のアーム１３１ｂは、クリーナ部３２Ａから接着剤塗布装置３３に記録基板Ｄａを移載するためのアームである。
【００６６】
また、他方の第１移載装置３１Ｂは、所定角度に開角された２本のアーム１３１ｃ，１３１ｄを有している。一方のアーム１３１ｃは、第２スタッカ部２４からクリーナ部３２Ｂにカバー基板Ｄｂを移載するためのアームであり、他方のアーム１３１ｄは、クリーナ部３２Ｂからリバーサ３４にカバー基板Ｄｂを移載するためのアームである。
【００６７】
前記一対のクリーナ部３２Ａ、３２Ｂは、基板が載置される基板載置部と、該基板載置部に載置された記録基板Ｄａ，カバー基板Ｄｂの接着面Ｄａａ，Ｄｂａ上の塵等を除去するために、各基板の接着面に対して気体を吹き付けるブロー機構１３２Ａ，１３２Ｂをそれぞれ備えている。なお、ブロー機構１３２Ａ，１３２Ｂに代えて、静電気を用いて塵等を除去する静電除去機構を設けることとしても良い。なお、その場合には、塵等を除去した後、帯電により接着剤が基板と接液することを防止するために，基板の帯電を中和し除電するための帯電除去装置を備えるのが好ましい。
【００６８】
前記接着剤塗布装置３３は、図１の貼り合わせ用ターンテーブル３５近傍を拡大して示す図３に示されるように、基板載置台１３３Ａと、接着剤塗布機構１３３Ｂとを備えている。この接着剤塗布機構１３３Ｂには回転式の接着剤吐出ノズル１３９が設けられている。接着剤塗布機構１３３Ｂは、接着剤吐出ノズル１３９をＸ軸方向及びＹ軸方向に駆動する不図示の駆動機構を備えており、この駆動機構によって接着剤吐出ノズル１３９を、その先端部が水平面に対して円弧を描くように駆動（回転駆動）可能になっている。このため、基板載置台１３３Ａ上に載置された記録基板Ｄａの接着面Ｄａａに対して接着剤吐出ノズル１３９から接着剤を吐出しつつ、接着剤吐出ノズル１３９を上述の如く回転駆動することにより、接着面Ｄａａ上に接着剤を円環状に塗布できるようになっている。ここで、接着剤としては、紫外線を照射することにより硬化する性質を有する紫外線硬化型のＵＶ接着剤が用いられている。
【００６９】
ここで、前述したように、第１移載装置３１Ａは、所定角度に開角されＺ軸回りに回転可能な２本のアーム１３１ａ，１３１ｂを有し、これらのアーム１３１ａ，１３１ｂの回転中心を基準とした場合に、第１スタッカ部２２の＋Ｘ側に位置するスタッカの中心、クリーナ部３２Ａの基板載置部の中心及び接着剤塗布装置の基板載置台１３３Ａの中心までの距離は同一距離に設定され、かつそれら３点の中心角の間隔は同一になっている。
【００７０】
このため、第１移載装置３１Ａでは、一方のアーム１３１ａにより第１スタッカ部２２の＋Ｘ側に位置するスタッカからクリーナ部３２Ａの基板載置部に記録基板Ｄａを移載すると同時に、他方のアーム１３１ｂによりクリーナ部３２Ａの基板載置部から接着剤塗布装置３３の基板載置台１３３Ａに記録基板Ｄａを移載することができるようになっている。
【００７１】
前記リバーサ３４は、カバー基板Ｄｂを保持して、該カバー基板Ｄｂを表裏反転する機能を有している。すなわち、リバーサ３４によりカバー基板Ｄｂの接着面Ｄａａを下側に向けることが可能となっている。
【００７２】
ここで、第１移載装置３１Ｂも、前述のように、所定角度に開角されＺ軸回りに回転可能な２本のアーム１３１ｃ，１３１ｄを有し、これらのアーム１３１ｃ，１３１ｄの回転中心を基準とした場合に、第２スタッカ部２４の＋Ｘ側に位置するスタッカの中心、クリーナ部３２Ｂの基板載置部の中心及びリバーサ３４によって保持される基板の中心位置までの距離は同一距離に設定され、かつそれら３点の中心角の間隔は同一になっている。
【００７３】
このため、第１移載装置３１Ｂでは、一方のアーム１３１ｃにより第２スタッカ部２４の＋Ｘ側に位置するスタッカからクリーナ部３２Ｂの基板載置部にカバー基板Ｄｂを移載すると同時に、他方のアーム１３１ｄによりクリーナ部３２Ｂの基板載置部からリバーサ３４にカバー基板Ｄｂを移載することができるようになっている。
【００７４】
前記貼り合わせ用ターンテーブル３５は、図３に示されるように、回転軸１３５Ａを中心として不図示の回転機構により回転駆動される回転板１３５Ｂと、該回転板１３５Ｂの上面にほぼ１２０度の中心角の間隔で配置された３つの載置テーブル２３５Ａ〜２３５Ｃとを備えている。
【００７５】
貼り合わせ用ターンテーブル３５の回転板１３５Ｂには、実際には回転角１２０°毎に停留点が設けられている。このため、図３の状態から回転板１３５Ｂが不図示の回転機構により反時計回り（図３の矢印Ａ方向）に１２０°回転されると、載置テーブル２３５Ｂの存在する位置に載置テーブル２３５Ａが位置付けられ、載置テーブル２３５Ｃの存在する位置に載置テーブル２３５Ｂが位置付けられ、載置テーブル２３５Ａの位置する位置に載置テーブル２３５Ｃが位置付けられるようになっている。
【００７６】
ここで、載置テーブル２３５Ｂを代表的に採り挙げて、その構造につき図４に基づいて説明する。
【００７７】
図４には、貼り合わせ用ターンテーブル３５の載置テーブル２３５Ｂのほぼ真上に第２移載装置３７を構成する後述するアームの先端部分が位置した状態の断面図が示されている。なお、図４においては、載置テーブル２３５Ｂの上面に形成されたほぼ水平の載置面８３上に、前述した接着面に接着剤９６が塗布された記録基板Ｄａが接着面（接着剤塗布面）Ｄａａを上面として載置されている。
【００７８】
図３及び図４を総合するとわかるように、載置テーブル２３５Ｂは、平面視（上から見て）円形で、且つ縦断面が略Ｔ字状の形状を有している。また、載置テーブル２３５Ｂの大部分は、回転板１３５Ｂ内に埋め込まれた状態となっている。載置テーブル２３５Ｂの上面中央部には、記録基板Ｄａ，カバー基板Ｄｂの中心穴とほぼ同径で、かつ上端部の数箇所に切り欠きＣＢａが形成された位置決め手段としての突出部（以下「センタボス」と呼ぶ）ＣＢが形成されている。センタボスＣＢは、記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂとを重ね合わせる際の両基板の位置合わせを行う役目を有している。切り欠きＣＢａは、気体の流路を形成するためのものであり、本実施形態では通過する気体が乱流を起こさないような形状とされている。なお、切り欠きＣＢａによって形成される流路の役割等については後述する。
【００７９】
また、載置テーブル２３５ＢのセンタボスＣＢの周辺部分には、真空排気経路８０が形成され、この真空排気経路８０に接続された不図示の真空ポンプによる真空吸引力により記録基板Ｄａが載置テーブル２３５Ｂに真空吸着されるようになっている。
【００８０】
図３に戻り、前記一方の第２移載装置３６は、接着剤塗布装置３３にて接着剤が塗布された記録基板Ｄａを貼り合わせ用ターンテーブル３５上の所定の位置に位置する載置テーブル、具体的には前述した回転軸１３５Ａから見て−Ｘ側かつ＋Ｙ側に位置する載置テーブル（載置テーブル２３５Ａ〜２３５Ｃのいずれか、例えば図３の場合載置テーブル２３５Ａ）に移載するアーム１３６を備えている。このアーム１３６は、Ｚ軸方向に延びる回転軸１３６ａを中心に３６０°回転が可能な構成となっている。
【００８１】
前記他方の第２移載装置３７は、アーム１３７と、該アーム１３７をその回転軸１３７ａを中心とした少なくとも１８０°の範囲内で回動（往復回転）させ、かつ上下方向（Ｚ軸方向）へ駆動する上下動回転機構８４とを備えている。アーム１３７は、リバーサ３４から表裏反転後のカバー基板Ｄｂを受け取るとともに、貼り合わせ用ターンテーブル３５上の回転軸１３７ａから見て＋Ｙ側に位置する所定の載置テーブル（載置テーブル２３５Ａ〜２３５Ｃのいずれか、例えば図３の場合載置テーブル２３５Ｂ）上に載置された接着剤９６を塗布済みの記録基板Ｄａ上にカバー基板Ｄｂを重ねて両者を貼り合わせ、図２（Ｂ）に示されるような貼り合わせ基板Ｄｃを形成する。
【００８２】
なお、第２移載装置３７による基板の貼り合わせ動作等については、後に詳述するが、ここでは、その前提として移載装置３７のアーム１３７の構成につき、図４に基づいて詳細に説明する。
【００８３】
図４に示されるように、アーム１３７は、アーム本体６１と、アーム本体６１の一端部（前述の回転軸１３７ａとは反対側の端部）の下面に固定された保持ユニットとしてのカバー基板保持部６３とを備えている。
【００８４】
カバー基板保持部６３は、アーム本体６１の下面に固定されその中央部近傍に上下方向に延びるねじ穴６４ａが形成された支持部材６４と、該支持部材６４の下面に図４における紙面直交方向に延びる一対の連結部材６２（図４では紙面手前側の連結部材は不図示）を介して吊り下げ状態で支持された吸着ヘッド６５と、支持部材６４のねじ穴６４ａに対応する雄ねじ部をその一部に有し、その雄ねじ部をねじ穴６４ａに螺合することで支持部材６４に保持された気体送り込みユニット６６とを備えている。
【００８５】
前記吸着ヘッド６５は、その中央部に円形開口６７ａが形成された平面視（上から見て）リング状の板部材から成る支持部材６７と、該支持部材６７の下面の外周部近傍に所定間隔で配置され吊り下げ状態で固定された複数（例えば６個）の吸着パッド６９とを備えている。支持部材６７内部及び吸着パッド６９内部には、不図示の通気経路が形成され、この通気経路に連通するように第１の真空配管７１の一端部が支持部材６７に上面側から接続されている。第１の真空配管７１の他端部は不図示の真空ポンプに接続され、配管７１の途中には圧力センサから成る真空センサ７２が設けられている。この場合、真空センサ７２の出力は制御装置７０に送られており、制御装置７０は、真空センサ７２の計測値に基づいて吸着パッド６９の真空吸引力が、カバー基板Ｄｂを吸着するのに過不足がない適切な値となるように不図示の真空ポンプなどを制御する。なお、この真空ポンプは、前述の真空排気経路８０に接続された不図示の真空ポンプと同一であっても良いし、異なっていても良い。
【００８６】
本実施形態では、カバー基板Ｄｂへのキズなどの影響を考慮して、吸着パッド６９として弾性体（例えばゴムなど）の材料が用いられている。但し、カバー基板へのキズ等の影響を考慮しなくても良い場合には、剛体の材料を用いることも可能である。また、本実施形態では、吸着パッド６９を前述のように６個設けることとしたが、これに限らず、カバー基板Ｄｂをほぼ水平に把持できるのであれば吸着パッド６９の数はいくつでも良い。なお、吸着パッド６９を剛体材料により形成する場合には、吸着孔あるいは吸着溝を支持部材６７の全周に渡って設け、カバー基板をほぼ全面で吸着把持するようにしても良い。また、吸着パッド６９は、支持部材６７の内周部近傍に設けることとしても良い。
【００８７】
前記気体送り込みユニット６６は、図４に示されるように、上下方向に延びる段付の中空部７３ａを有しその下面側が開口した有底円筒状のホルダ７３と、該ホルダ７３の中空部７３ａにその上端部が挿入された略逆Ｔ字状の気体吐出部材７５と、ホルダ７３の下端面に固定され気体吐出部材７５の下方への脱落を防止するストッパ部材８１と、ホルダ７３の中空部７３の内部に配設され気体吐出部材７５を常時下方に付勢する圧縮コイルばね７４とを備えている。
【００８８】
前記ホルダ７３は、その下半部の外周部に前述した支持部材６４のねじ穴６４ａに螺合する雄ねじ部を有し、この雄ねじ部をねじ穴６４ａに螺合させることにより、その長手方向を上下方向として支持部材６４に保持されている。また、このホルダ７３の底部（図４における上部）には中空部７３ａに連通する通気路が形成されており、この通気路に連通するようにホルダ７３の底部に対して上方から気体供給管７６の一端が接続されている。この気体供給管７６の一端部近傍には、内部気体の圧力を所定の設定値に維持するレギュレータ７７及び流量制御弁７８が設けられ、他端部は、気体供給装置１００に接続されている。この場合、気体供給管７６を介してホルダ７３内部に供給する気体として例えば空気を用いる場合には、気体供給装置１００として、例えば空気源としてコンプレッサなどを有する装置を用いることができる。
【００８９】
前記レギュレータ７７、流量制御弁７８及び気体供給装置１００は、制御装置７０に接続されている。すなわち、制御装置７０は、レギュレータ７７を調整することにより、気体の圧力を調整したり、流量制御弁７８の開度を制御することにより流量を調整したり、あるいは不図示の温度センサの計測値に基づいて気体供給装置１００を制御することにより供給される気体の温度を調整したりする。制御装置７０は、接着剤の粘度、カバー基板Ｄｂの重ね合わせ速度に応じて、気体の圧力及び吐出量が最適値となるように、レギュレータ７７及び流量制御弁７８をそれぞれ制御する。また、制御装置７０は、気体の温度を一定の目標温度に制御する。これは、接着剤表層の温度が周辺気体の温度により変動すると、接着剤の粘度が変動し、上記の気体の吐出量の最適値が影響を受けることがあるため、接着剤表層温度を一定温度に保持することが望ましいからである。
【００９０】
前記気体吐出部材７５は、高さ方向の上端部から下端部近傍まで延びる小径部と、その下端部に形成された大径部とを有する段付き円柱状の外観形状を有する。そして、この気体吐出部材７５は、その小径部の上端部が前述の如くホルダ７３の中空部７３ａに挿入されており、その小径部の高さ方向中央位置よりやや上方の位置にフランジ部７５ｃが凸設されている。そして、このフランジ部７５ｃにストッパ部材８１が下方から当接することによって、気体吐出部材７５の下方への脱落が阻止されている。
【００９１】
前記圧縮コイルばね７４は、その一端面がホルダ７３の内部に形成された段部に圧接し、他端面がフランジ部７５ｃの上面に圧接した状態でホルダ７３の内部に設けられている。前記ストッパ部材８１としては、例えばリング状部材をほぼ半分に分割した一対の半円弧状部材が用いられる。
【００９２】
気体送り込みユニット６６の支持部材６４に対する組付けに際しては、まず、気体吐出部材７５を下方からねじ穴６４ａ内部に挿入し、フランジ部７５ｃが支持部材６４の上面より所定距離だけ上方に位置するまで気体吐出部材７５を持ち上げ、その状態で上方から圧縮コイルばね７４を気体吐出部材７５外周に装着し、その後にホルダ７３を上方から被せた後、一対の半円弧状部材から成るストッパ部材８１をホルダ７３の下端面にねじ止め等により固定して気体送り込みユニット６６を組み立てる。そして、その後にホルダ７３外周部の雄ねじ部をねじ穴６４ａに上方から螺合させることによって組み付けが完了する。
【００９３】
前記気体吐出部材７５の大径部の下端面には、所定深さの円形の穴７５ｂが形成されており、この穴の内部に連通する通気路７５ａが前述した小径部の内部に上下方向に形成されている。この場合、気体供給管７６を介して中空部７３ａ内に供給される気体が通気路７５ａを経由して穴７５ｂの下端から外部に吐出されるようになっている。すなわち、穴７５ｂによって気体の吐出口が形成されているので、以下では穴７５ｂを吐出口７５ｂとも呼ぶ。
【００９４】
気体吐出部材７５の下端面の吐出口７５ｂの周囲部分にはゴム等から成る円環状の弾性部材７９が固着されている。
【００９５】
吐出口７５ｂは、図４からも分るように、アーム１３７全体が所定位置まで下降駆動された場合（すなわち、図４に仮想線Ｄｂ’にて示される位置までカバー基板Ｄｂが下降駆動された場合）に、載置テーブル（図４の場合載置テーブル２３５Ｂ）のセンタボスＣＢが入り込むことができる程度の直径及び深さ（大きさ及び形状）を有している。また、吐出口７５ｂの直径は、カバー基板Ｄｂの中心穴の直径より若干大きめに設定されている。但し、載置テーブル２３５Ｂとアーム１３７の中心位置出しを必要とする時等には、吐出口７５ｂの直径は、カバー基板Ｄｂの中心穴の直径と同程度に設定される。
【００９６】
本実施形態では、カバー基板保持部６３がカバー基板Ｄｂを保持した状態では、気体吐出部材７５が、その自重と前述した圧縮コイルばね７４の弾性力（付勢力）とにより、カバー基板Ｄｂの中央部近傍を常時下方に押圧している。すなわち、カバー基板保持部６３は、気体吐出部材７５の下端面を吸着パッド６９の下端面よりも下方に設定することによって、図５（Ａ）の斜視図、及び図５（Ｂ）の縦断面図（側面断面図）に示されるように、カバー基板Ｄｂを湾曲させた状態で保持するようになっている。この場合、カバー基板Ｄｂの湾曲量の調整は、ホルダ７３の支持部材６４に対するねじ込み量の調整により、気体吐出部材７５と吸着パッド６９の高さ方向の位置の差を調整することで、容易に実現される。
【００９７】
なお、図４から分かるように、圧縮コイルばね７４の弾性付勢力に抗して気体吐出部材７５に下方から力を加えることにより、ホルダ７３に対して気体吐出部材７５を上方にスライドさせることができる構造となっている。このため、例えば前述したリバーサ３４により表裏反転された状態で、ほぼ平面であるカバー基板Ｄｂや、図５（Ｂ）と逆向きに湾曲したカバー基板Ｄｂなどを、吸着保持する場合であっても、カバー基板Ｄｂの中心穴Ｄｂｃ周辺部に対して気体吐出部材７５を上側から押し付けることにより、その押圧力の反力により圧縮コイルばね７４の弾性付勢力に抗して気体吐出部材７５が上方にスライドされるので、無理なくカバー基板Ｄｂを保持することができる。また、保持後は、圧縮コイルばね７４による弾性力により、気体吐出部材７５が図４の状態に戻るので、前述したようにカバー基板Ｄｂを図５（Ｂ）の湾曲状態にて保持することが可能となっている。
【００９８】
図１に戻り、前記接着剤硬化部４０は、前記貼り合わせ用ターンテーブル３５の＋Ｘ側に配置されたスピンナ４２と、該スピンナ４２近傍に配置された硬化用ターンテーブル４４と、該硬化用ターンテーブル４４を覆うように設けられた紫外線照射装置４６と、貼り合わせ用ターンテーブル３５とスピンナ４２と硬化用ターンテーブル４４との間で貼り合わせ基板Ｄｃ（カバー基板Ｄｂと記録基板Ｄａとが貼り合わされた基板）を移載する第３移載装置４８とを備えている。
【００９９】
前記スピンナ４２は、第３移載装置４８によって後述するようにして貼り合わせ用ターンテーブル３５の回転板１３５Ｂ上から移載された貼り合わせ基板Ｄｃ（図２（Ｂ）参照）をその上面に保持する円板状の回転板４２ａと、該回転板４２ａをその中心点を中心としてＺ軸回りに高速回転する不図示の回転駆動機構とを備えている。このスピンナ４２は、貼り合わせ基板Ｄｃを保持した回転板４２ａが高速回転されることにより、その回転時に生じる遠心力によって、基板Ｄａ，Ｄｂ間の余剰の接着剤を吹き飛ばして接着剤層の厚みを調整する。
【０１００】
前記硬化用ターンテーブル４４は、円板状の回転板４４ａと、該回転板４４ａをその中心にて下側から支持するとともに図１における時計回りに回転駆動する不図示の回転駆動機構とを備えている。前記回転板４４ａ上には、等角度間隔（中心角９０°の間隔）で４つの基板載置部が設けられている。硬化用ターンテーブル４４の回転板４４ａは、９０°毎に停留点が設定されているため、４つの基板載置部のそれぞれは、それぞれ０時の位置（回転板４４ａの中心から見て＋Ｙ側の位置）→３時の位置（回転板４４ａの中心から見て＋Ｘ側の位置）→６時の位置（回転板４４ａの中心から見て−Ｙ側の位置）→９時の位置（回転板４４ａの中心から見て−Ｘ側の位置）→０時の位置…というように順々に回転移動されるようになっている。
【０１０１】
前記紫外線照射装置４６は、回転板４４ａの上方を覆うように架設されたランプハウジング４１と、回転板４４ａの０時の位置に位置する基板載置部の上方に設けられ、該基板載置部上に載置された貼り合わせ基板Ｄｃに対し紫外線を照射するＵＶランプ４７と、回転板４４ａの６時の位置に位置する基板載置部近傍に設けられ、ＵＶランプ４７の照射により温度が上昇した基板載置部を冷却するためのクーラー４３とを備えている。前記ランプハウジング４１は、その外周が遮光カバーにて覆われ、紫外線の漏洩が防止されている。
【０１０２】
前記第３移載装置４８は、所定角度に開角されＺ軸回りに回転可能な２本のアーム１４８ａ，１４８ｂを有している。これらのアーム１４８ａ，１４８ｂの回転中心を基準とした場合に、回転板４４ａの９時の位置に位置付けられた基板載置部の中心、スピンナ４２の回転中心及び貼り合わせ用ターンテーブル３５の回転板１３５Ｂの３時の位置に位置付けられた基板載置部（回転板１３５Ｂの回転中心から見て＋Ｘ方向に位置する基板載置部）の中心までの距離は同一距離に設定され、かつそれら３点の中心角の間隔は同一になっている。
【０１０３】
このため、第３移載装置４８では、一方のアーム１４８ａにより回転板１３５Ｂの３時の位置に位置付けられた基板載置部からスピンナ４２に貼り合わせ基板Ｄｃを移載すると同時に、他方のアーム１４８ｂによりスピンナ４２から回転板４４ａの９時の位置に位置付けられた基板載置部に貼り合わせ基板Ｄｃを移載することができるようになっている。
【０１０４】
前記検査・排出部５０は、接着剤硬化部４０を経て、接着剤硬化が終了した貼り合わせ基板（以下、便宜上「接着基板Ｄｄ」と呼ぶ）のチルト検査や気泡の有無の検査などを行うための検査装置５２と、検査終了後の接着基板Ｄｄを装置外部に排出する基板排出装置５６と、硬化用ターンテーブル４４と検査装置５２と基板排出装置５６との間で接着基板Ｄｄの移載を行う第４移載装置５４とを備えている。
【０１０５】
前記第４移載装置５４は、２本のアーム１５４ａ，１５４ｂを有しており、一方のアーム１５４ａは、硬化用ターンテーブル４４（回転板４４ａ）から検査装置５２に接着基板Ｄｄを移載するためのアームであり、他方のアーム１５４ｂは、検査装置５２から基板排出装置５６に接着基板Ｄｄを移載するためのアームである。
【０１０６】
前記検査装置５２は、アーム１５４ａによって移載された接着基板Ｄｄを保持して、その接着基板Ｄｄに下方から検出光を照射してディスクチルト計測等の光学的な計測を行う計測装置を備えている。また、この検査装置５２は、接着基板Ｄｄを撮像するＣＣＤカメラと、その撮像信号（画像信号）に所定の処理を施し、その処理結果に基づいて気泡の有無を検出する画像処理装置とを有する、画像処理方式の気泡欠陥検査装置をも備えている。
【０１０７】
前記基板排出装置５６は、アーム１５４ｂによって移載された接着基板Ｄｄを、検査装置５２の検査結果に基づいて良品と不良品とに選別し、検査の結果良品とされた接着基板Ｄｄを排出する。
【０１０８】
前記制御装置７０は、ワークステーション（又はマイクロコンピュータ）から成り、これまでに説明した各部の制御を行う他、装置全体を統括的に制御する。
【０１０９】
ここで、上述のようにして構成された光ディスク製造装置１０による処理の流れについて図１等に基づいて簡単に説明する。なお、各部の動作は制御装置７０により制御されるが、説明の煩雑化を避けるため、制御装置７０についての記載は省略するものとする。
【０１１０】
ａ．まず、一方の第１移載装置３１Ａのアーム１３１ａが第１スタッカ部２２から記録基板Ｄａを受け取り、クリーナ部３２Ａの基板載置部上に移載する。アーム１３１ａは、次の記録基板Ｄａを受け取るため、待機状態（図１に示される状態）に戻る。クリーナ部３２Ａでは、基板載置部に載置された記録基板Ｄａの接着面Ｄａａが、ブロー機構１３２Ａにより防塵ブローされる。防塵ブロー終了後、記録基板Ｄａは第１移載装置３１Ａのアーム１３１ｂによりクリーナ部３２Ａから接着剤塗布装置３３の基板載置台１３３Ａ上に移載され、その接着面Ｄａａに接着剤塗布機構１３３Ｂによって前述の如くして円環状に接着剤９６（図４等参照）が塗布される。なお、アーム１３１ｂによるクリーナ部３２Ａから接着剤塗布装置３３への記録基板Ｄａの移載と同時に、アーム１３１ａにより次の記録基板Ｄａの第１スタッカ部２２からクリーナ部３２Ａへの移載が行われている。次いで、第２移載装置３６により接着剤の塗布された記録基板Ｄａが接着剤塗布装置３３から貼り合わせ用ターンテーブル３５の回転板１３５Ｂ上の図３中の載置テーブル２３５Ａの位置にある所定の載置テーブル（ここでは、載置テーブル２３５Ｂとする）に移載される。
【０１１１】
ｂ．上記ａ．と並行して、他方の第１移載装置３１Ｂのアーム１３１ｃは、第２スタッカ部２４からカバー基板Ｄｂを受け取り、クリーナ部３２Ｂの基板載置部上に移載する。アーム１３１ｃは、次のカバー基板Ｄｂを受け取るため、待機状態（図１に示される状態）に戻る。そして、クリーナ部３２Ｂにおいて、ブロー機構１３２Ｂによってカバー基板Ｄｂの接着面Ｄｂａが防塵ブローされる。防塵ブロー終了後、カバー基板Ｄｂａは移載装置３１Ｂのアーム１３１ｄによりリバーサ３４に移載され、このリバーサ３４によって表裏反転される。なお、このリバーサへのカバー基板Ｄｂの移載と同時に、アーム１３１ｃによって次のカバー基板Ｄｂが第２スタッカ部２４からクリーナ部３２Ｂの基板載置部上に移載されている。次いで、カバー基板Ｄｂは、第２移載装置３７のアーム１３７によってリバーサ３４から搬出され貼り合わせ用ターンテーブル３５の回転板１３５Ｂ上方の所定の待機位置まで搬送され、その位置でアーム１３７はカバー基板Ｄｂを保持して待機する。ここで、待機位置とは、図３中の載置テーブル２３５Ｂの位置のほぼ真上の位置である。
【０１１２】
ｃ．上記ａ．において、回転板１３５Ｂ上の載置テーブル２３５Ｂ上に記録基板Ｄａが載置されると、回転板１３５Ｂが反時計回りに１２０°回転され図３の位置に記録基板Ｄａが載置された載置テーブル２３５Ｂが位置付けられる。
【０１１３】
ｄ．次いで、カバー基板Ｄｂを保持した移載装置３７のアーム１３７が上下動回転機構８４により下降駆動され、記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂが貼り合わされ、貼り合わせ基板Ｄｃ（図２（Ｂ）参照）となる。ここで、この記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂとの貼り合わせ動作について、図４、図６（Ａ）〜図６（Ｄ）、及び図７（Ａ），図７（Ｂ）に基づいて、詳細に説明する。
【０１１４】
図６（Ａ）〜図６（Ｄ）には、記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂとを貼り合せるときのカバー基板保持部６３の動作状態の変化及び接着剤の状態変化の様子が時間の経過とともに示されている。
【０１１５】
まず、上下動駆動機構８４によって図４に示される第１位置でカバー基板Ｄｂを保持したアーム１３７が所定の速度で下降駆動される。図６（Ａ）には、このアーム１３７の下降駆動の動作が開始されて所定時間が経過した状態が示されている。ここで、アーム１３７の下降駆動の開始に先立って、前述のレギュレータ７７の目標圧力が所定の目標値に設定され、流量制御弁７８が適当な開度で開成され、気体送り込みユニット６６によりカバー基板Ｄｂの中心穴Ｄｂｃを介しての下方への気体、例えば空気の吐出（噴き出し）が開始されている。
【０１１６】
上記の空気の吹き出しにより、図６（Ａ）に示される状態までカバー基板Ｄｂが記録基板Ｄａに接近すると、記録基板Ｄａの接着面に円環状に塗布されている接着剤９６と記録基板Ｄａ及びカバー基板Ｄｂによって囲まれる空間（内側空間）１９の圧力が上昇し始めている。その空気の圧力が接着剤９６の粘性力より高くなると接着剤９６は、放射方向（半径方向外側）に移動し始める。しかしながら、空気は外周方向に行くに従い、流速が低下するとともにカバー基板Ｄｂの表面との摩擦による圧力損失の影響を受け始める。この図６（Ａ）の段階では、接着剤９６とカバー基板Ｄｂとの間には、比較的大きな隙間が空いているため、気流が各基板の外周方向に流れ、内側空間１９の圧力はあまり上昇していない。このため、接着剤９６の外周側への偏りは図６（Ａ）に示されるように、然程大きくはなっていない。
【０１１７】
図６（Ｂ）には、図６（Ａ）の状態からカバー基板Ｄｂが更に下降し、記録基板Ｄａに更に接近した状態が示されている。この場合、カバー基板Ｄｂと接着剤９６との間の隙間が狭くなっているため、内側空間１９から各基板の外周方向への気体の流出量が減少し、内側空間１９内の圧力が更に上昇する。この状態では、接着剤の粘性力と気体の圧力とのバランスが取れた部分に接着剤が集積し始め、盛り上がりを形成する。
【０１１８】
盛り上がり部分の頂部とカバー基板Ｄｂとの間隔は他の部分よりも狭くなっているので、この隙間を通過する気体の流速は急激に上昇し、圧力は低下するため、接着剤に対して負圧が発生する。これにより盛り上がり量（盛り上がり高さ）はさらに上昇する。すなわち、エゼクターと同様の原理により、気体の高速流れに起因して隙間内に負圧が発生するのである。この負圧の発生により、盛り上がり量（盛り上がり高さ）はさらに高くなる。
【０１１９】
このとき、カバー基板Ｄｂは、図４中に二点鎖線Ｄｂ’で示されるリリースポイントまで下降しており、この時点でカバー基板Ｄｂを保持したアーム１３７の吸着パッド６９の真空吸着がオフされ、カバー基板Ｄｂがリリースされる。このリリース後、上下動駆動機構８４によって前述の第１位置に向けてアーム１３７が上昇駆動される。
【０１２０】
図６（Ｃ）には、カバー基板Ｄｂのリリース直後の状態が示されている。また、図７（Ａ）は、この図６（Ｃ）の接着剤９６の状態を平面図にて示すものである。図７（Ａ）において、右下がりのハッチング部分は接着剤９６を示し、外周部近傍の左下がりのハッチング部分はカバー基板Ｄｂと接着剤９６との接触部分９６’を示している。
【０１２１】
この場合、接着剤９６の頂上部は前述のように一部が鋭く盛り上がっているため（図６（Ｂ）参照）、カバー基板Ｄｂと接着剤９６の接触部分９６’は図７（Ａ）に示されるようにほぼ線接触することになる。この場合、接着剤の盛り上がり部分の上端面には多少の凹凸があるため、接着部分は必ずしも円形に繋がった状態とはなっていない。
【０１２２】
発明者等は、種々実験を繰り返した結果、図６（Ｂ）のような盛り上がりが形成された直後に、上側の基板（上記のカバー基板Ｄｂに相当）をリリースするとともに、気体の送り込み量を低減若しくは気体の送り込みを停止することで、上側の基板に最初に接触する接着剤の領域は、線接触を起こすことを見出した。
【０１２３】
本実施形態では、送り込みユニット６３（気体の吐出口７５）は、アーム１３７に取り付けてあるため、リリース後アーム１３７が上昇するときに同時に吐出口７５がカバー基板Ｄｂから離れ、前述の内部空間１９内に送り込まれる気体（空気）の量がアーム１３７の上昇とともに減少する。すなわち、本実施形態では気体の吐出を停止したり吐出量を低減したりすることなく、上記の線接触を実現している。このように、本実施形態では、前述の噴き出しの開始から常時同じ流量の気体を吐出し続けるようにすれば良いので、複雑な制御は不要である。なお、アーム１３７の下降及び上昇速度は制御装置７０によって制御される。
【０１２４】
その後、カバー基板Ｄｂの自重を受けて、接触部分９６’が円周方向及び半径方向に広がるが、この場合、円周方向の広がりの方が半径方向の広がりよりも速いため、図７（Ｂ）に示されるように、線接触の部分が円形に繋がった状態となる。
【０１２５】
一方、上記のようにカバー基板Ｄｂがリリースされた後は、内側空間１９に送り込まれる気体の流量は徐々に減少するので、カバー基板Ｄｂの自重を受けて、接着剤は、内側空間１９に溜まっている気体を、センタボスＣＢの切り欠きＣＢａを介して排出しながら、半径方向（中心方向）に接触部分を展延するように広がっていく。このときの状態が図６（Ｄ）に示されている。
【０１２６】
このようにして、記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂの貼り合わせが終了する。上述の如く、本実施形態では、カバー基板Ｄｂと記録基板Ｄａ上の接着剤９６とが最初に線接触状態で接触するので、接触の瞬間にカバー基板Ｄａと接着剤９６との間に気体（空気）が殆ど存在しない。このため、前述した第１の気泡発生要因による気泡の発生のおそれは殆どない。
【０１２７】
また、カバー基板Ｄｂと記録基板Ｄａ上の接着剤９６とが接触した後には、接着剤が広がるが、円周方向の広がりの方が半径方向の広がりよりも速いため、接触後短時間で非常に細い線状の接着剤のリングが形成され、このリングの形成過程においても隣接する円弧状の接着剤相互間には、気体（空気）が殆ど存在しない。このため、前述した第２の気泡発生要因による気泡の発生のおそれは殆どない。
【０１２８】
従って、本実施形態では、カバー基板Ｄｂと記録基板Ｄａの貼り合わせの過程で気泡が発生するおそれは殆どない。ここで、再び、先の光ディスク製造装置１０による処理の流れの説明に戻る。
【０１２９】
ｅ．上述のようにして貼り合わせ動作が終了すると、貼り合わせ用ターンテーブル３５の回転板１３５Ｂが更に１２０°回転され、載置テーブル２３５Ｂ上の貼り合わせ基板Ｄｃが、図３中の載置テーブル２３５Ｃがある位置に移動され、その位置で待機する。
【０１３０】
ｆ．次いで、第３移載装置４８のアーム１４８ａによって貼り合わせ基板Ｄｃが載置テーブル２３５Ｂからスピンナ４２上に移載される。この移載後、アーム１４８ａはスピンナ４２から退避し、次の貼り合わせ基板Ｄｃの移載のため所定の待機位置、例えば図１に示される位置で待機する。
【０１３１】
ｇ．次いで、貼り合わせ基板Ｄｃを保持したスピンナ４２の回転板４２ａが所定時間高速回転される。このとき、回転板４２ａの回転速度及び回転時間は、接着剤９６の粘度、雰囲気の温度等に応じて貼り合わせ基板Ｄｃ中の接着剤層の厚さが所望の厚さになるように制御される。この回転板４２ａの回転終了後には、移載装置４８のアーム１４８ｂにより貼り合わせ基板Ｄｃが回転板４２ａ上から硬化用ターンテーブル４４の回転板４４ａ上の９時の位置にある基板載置部に移載される。ここで、上記の回転板４２ａの回転終了後には、貼り合わせ用ターンテーブル３５の回転板１３５Ｂ上の３時の位置には次の貼り合わせ基板Ｄｃを保持する載置テーブル２３５Ａが待機しており、アーム１４８ｂによる回転板４２ａから回転板４４ａへの貼り合わせ基板Ｄｃの移載と並行して、アーム１４８ａにより回転板１３５Ｂ上の載置テーブル２３５Ａから次の貼り合わせ基板Ｄｃが回転板４２ａ上に移載されている。これらの移載後、アーム１４８ａ、１４８ｂは、スピンナ４２、硬化用ターンテーブル４４から退避し、次の貼り合わせ基板Ｄｃの移載のために待機する。
【０１３２】
ｈ．次いで、回転板４４ａが時計回りに９０°回転され、０時の位置に位置した基板載置部上の貼り合わせ基板Ｄｃに対して紫外線照射装置４６のＵＶランプ４７から紫外線が照射される。これにより、貼り合わせ基板Ｄｃ中の接着剤９６が硬化し、貼り合わせ基板Ｄｃが接着基板Ｄｄとなる。そして、紫外線照射終了後には、回転板４４ａが更に９０°回転されるが、この回転に先立って回転板４４ａ上の９時の位置にある基板載置部には、次の貼り合わせ基板Ｄｃが移載されている。そして、上記の回転板４４ａの９０°回転が行われ、接着基板Ｄｃが載置された基板載置部は回転板４４ａ上の３時の位置に移動してその位置で待機する。この待機中に、回転板４４ａ上の０時の位置に位置した基板載置部上の貼り合わせ基板Ｄｃに対して紫外線照射装置４６による紫外線照射が行われる。
【０１３３】
ｉ．次に、接着基板Ｄｄが、第４移載装置５４のアーム１５４ａにより検査装置５２に移載され、該検査装置５２によりディスクチルト計測や前述の気泡欠陥検査が行われる。次いで、ディスクチルト計測や気泡欠陥検査が行われた接着基板Ｄｄは、アーム１５４ｂによって、検査装置５２から基板排出装置５６に移載される。なお、この基板搬出装置５６への接着基板Ｄｄの移載と並行して次の接着基板Ｄｄが回転板４４ａから検査装置５２に移載することが可能である。
【０１３４】
ｊ．次いで、基板排出装置５６により、ディスクチルト計測の結果及び気泡欠陥検査の結果に基づいて接着基板Ｄｄが良品であるか不良品であるかが判別され、良品である場合には排出され、不良品の場合には回収される。
【０１３５】
以上のようにして、光ディスク製造装置１０では、クリーニング工程（除電ブロー工程）、接着剤塗布工程、基板貼り合わせ工程、スピンナによる回転工程、接着剤硬化工程、検査工程、及び排出工程の一連の処理工程が繰り返し行われ、チルト計測の結果良品と判断された接着基板Ｄｄが基板排出装置５６から排出された後、必要に応じて初期化等の処理が施されて、最終製品であるＤＶＤとして出荷される。
【０１３６】
これまでの説明から明らかなように、本実施形態では、カバー基板保持部６３がその先端部に設けられたアーム１３７、該アーム１３７を上下動する上下動回転機構８４及びこれらを制御する制御装置７０によって状態遷移手段が構成されている。また、気体送り込みユニット６６、気体供給管７６及び気体供給装置１００によって気体送り込み手段が構成されている。更に、レギュレータ７７、流量制御弁７８、気体供給装置１００及びこれらを制御する制御装置７０によって、気体の圧力、流量及び温度を制御する調整手段が実現されている。また、気体送り込みユニット６６は、押圧手段をも構成している。そして、制御装置７０によって、速度調整手段が実現されている。
【０１３７】
以上詳細に説明したように、本実施形態に係る光ディスク製造装置１０及び該装置で行われる板状体の製造方法によると、液体塗布工程では接着剤塗布装置３３の接着剤塗布機構１３３Ｂにより記録基板Ｄａの一方の面（接着面）Ｄａａに接着剤９６が円環状に塗布される。そして、貼り合わせ工程において、その接着剤９６が塗布された面Ｄａａを上面として記録基板Ｄａが貼り合わせ用ターンテーブル３５の載置テーブル（２３５Ａ〜２３５Ｃ）の載置面上に水平に配置され、この載置テーブルが貼り合わせ位置に移動した際に、カバー基板Ｄｂが記録基板Ｄａに対向してその上方で第２移載装置３７のアーム１３７先端に設けられたカバー基板保持部６３によって保持された状態となる。このとき、カバー基板Ｄｂと記録基板Ｄａとは上下に重なるような位置関係にある（第１状態）。
【０１３８】
次いで、第２移載装置３７の上下動回転機構８４によりアーム１３７が所定量下降駆動された後、カバー基板Ｄｂがカバー基板保持部６３からリリースされ、記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂとが接着剤９６を介して重ね合わされる（第２状態）。
【０１３９】
ここで、本実施形態では、アーム１３７の下降駆動の開始に先立って気体送り込みユニット６６の吐出口７５ｂから気体（空気）の噴き出しが開始され、その後カバー基板Ｄｂのリリース後を含めてその噴き出し状態が維持される。このため、カバー基板Ｄｂが記録基板Ｄａに接近を開始すると、カバー基板Ｄｂの中心穴Ｄｂｃを介して両基板Ｄａ，Ｄｂ間（より正確には、両基板と接着剤９６とで囲まれた前述した内側空間１９）に気体が送り込まれる。この気体の送り込みは、接着剤９６がカバー基板Ｄｂに接触する瞬間も続行される。この気体の送り込みにより、接着剤９６に気体による一定の力を加えることで、接着剤９６がカバー基板Ｄｂに接触する瞬間に、カバー基板Ｄｂと接着剤９６が線接触（あるいは点接触）に近い状態となり十分に接触面積が小さくなる。
【０１４０】
しかも、カバー基板Ｄｂと記録基板Ｄａ上の接着剤９６とが接触した後には、気体の送り込み量が減少しカバー基板Ｄｂの自重により接着剤が広がるが、円周方向の広がりの方が半径方向の広がりよりも速いため、接触後短時間で非常に細い線状の接着剤のリングが形成される。このため、前述した第１の気泡発生要因、及び第２気泡発生要因のいずれによっても接着剤９６中に気泡が入り込む可能性が殆どない。従って、貼り合わせ工程で、記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂとを接合する接着剤９６中に気泡が入り込むのが効果的に抑制され、結果的に最終的に得られるＤＶＤ（接着基板Ｄｄ）を構成する２枚の基板間に気泡が残存するのを効果的に抑制することができる。また、この場合、従来例１のように真空チャンバ等の特殊な設備が不要であり、その分コストダウンが可能である。
【０１４１】
また、本実施形態では、記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂとを貼り合わせる際に、カバー基板Ｄｂの中心穴Ｄｂｃを介して記録基板Ｄａの接着面Ｄａａ上に塗布された円環状の接着剤の内側空間１９に気体を送り込むこととしているので、内側空間１９に送り込まれた気体の圧力により、円環状の接着剤（の少なくとも上方部分）をほぼ放射状にほぼ一律に広げることができる。従って、カバー基板Ｄｂと接着剤９６との接触領域を線幅の非常に細い環状領域に速やかに設定することが可能となっている。
【０１４２】
また、本実施形態では、カバー基板Ｄｂをリリースする直前まで中心穴Ｄｂａの周囲を気体送り込みユニット６６を構成する気体吐出部材７５により押圧して、カバー基板Ｄｂを図５（Ａ）に示されるように湾曲させた状態で保持しているので、個々のカバー基板Ｄｂの反りやうねり等を修正できるとともに、常に一定の形状変化、すなわち貼り合わせに適した形状変化を与えた状態で、カバー基板Ｄｂと情報基板Ｄａとを貼り合わせることが可能である。
【０１４３】
また、本実施形態では、貼り合わせ工程で接着剤９６を介して貼り合わせられた記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂとを、回転工程でスピンナ４２の回転板４２ａにて一体的に高速回転することから、その回転中に発生する遠心力により余剰の接着剤を吹き飛ばすことができ、その回転時間、あるいは回転速度などの総合的な調整により、貼り合わせによって形成された貼り合わせ基板Ｄｃ中の接着剤層の厚さを所望の厚さに調整することができる。
【０１４４】
また、本実施形態では、回転工程の後に、紫外線照射工程で、貼り合わせられた記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂとに紫外線を照射して前記接着剤を硬化させるので、短時間で接着剤を硬化させることができる。
【０１４５】
また、本実施形態では、前述の内部空間１９に送り込まれる気体の圧力、流量、温度の全てが、前述した調整手段（レギュレータ７７、流量制御弁７８、気体供給装置１００及び制御装置７０）によって調整される。このため、接着剤表層の温度を一定の状態に維持することにより、接着剤の粘度をほぼ一定の状態に保つことができる。また、気体の送り込み量を一定にすることで、両基板間の接着剤の挙動を常に一定にすることも可能である。
【０１４６】
また、本実施形態に係る光ディスク製造装置１０及び該装置で行われる板状体の製造方法によると、前述の如く、貼り合わせ型の光学式情報記録媒体であるＤＶＤ（接着基板Ｄｄ）が、２枚の基板Ｄａ，Ｄｂ間に気泡が残存するのが効果的に抑制されてかつ安価に製造される。このため、気泡の存在により情報の読み取り、再生不良の発生を効果的に抑制することができ、製品寿命に優れ、物理的、電気的特性の良好なＤＶＤが提供される。特に、相変化型光学式情報記録媒体（ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷなど）の場合には、貼り合わせ工程後に行われるレーザアニール工程（初期化工程）のレーザ照射による気泡の破裂による記録層破壊という重大な品質欠陥の発生を効果的に抑制することも可能となる。
【０１４７】
また、本実施形態では、紫外線照射工程の後に行われる、検査工程においてディスクチルト検査とともに前述の気泡欠陥検査が行われるが、前述の如く、ＤＶＤ（接着基板Ｄｄ）を構成する２枚の基板間に気泡が残存するのを効果的に抑制されているので、気泡欠陥検査における判定結果が不良となるのを格段に低減させることができる。従って、良品率（製品歩留まり）の向上による生産性の向上も可能である。
【０１４８】
なお、上記実施形態では、アーム１３７の下降駆動の開始に先立って気体送り込みユニット６６の吐出口７５ｂから気体（空気）の噴き出しが開始され、その後カバー基板Ｄｂのリリース後を含めてその噴き出し状態が維持されることとしたが、これに限らず、接着剤がカバー基板Ｄｂに接触する前に気体の送り込みを開始しても良く、あるいはカバー基板Ｄｂのリリース後接着剤がカバー基板に接触した直後に気体の送り込みを停止することとしても良い。要は、気体の送り込みは、接着剤とカバー基板Ｄｂとが接触する瞬間を含む少なくとも一部の時間で行われれば足りる。
【０１４９】
また、上記実施形態では、気体送り込みユニット６６が移動（上昇及び下降）可能であるとともに、その移動速度が制御装置７０によって最適化されているために、気体（空気）の噴き出し開始及び噴き出し停止のタイミングを細かく制御しなくても良い。
【０１５０】
なお、上記実施形態では、記録基板Ｄａの接着面Ｄａａ上に接着剤を環状に塗布することとしたが、これに限らず、塗布形状は直線状、曲線状等任意の形状とすることとしても良い。かかる場合であっても、上記実施形態と同様に両基板Ｄａ，Ｄｂ間に気体を送り込むことにより、接着剤に気体による一定の力を加えることで、接着剤が基板に接触する瞬間に、基板と接着剤が線接触（あるいは点接触）に近い状態となり十分に接触面積が小さくなる。従って、前述の第１の気泡発生要因により、第１基板と第２基板とを接合する接着剤中に気泡が入り込むのが効果的に抑制され、結果的に最終的に得られる記録媒体を構成する２枚の基板間に気泡が残存するのを効果的に抑制することができる。
【０１５１】
また、液体塗布工程では、上記実施形態で説明した円環状のみならず、楕円その他の環のような形になるように記録基板Ｄａ上に接着剤を塗布しても良い。
【０１５２】
なお、上記実施形態では、カバー基板Ｄｂの中心穴Ｄｂｃを介してカバー基板Ｄｂと記録基板Ｄａとの間の空間に気体を送り込むこととしたが、これに限らず、記録基板Ｄａの中心穴Ｄａｃを介して上記空間に気体を送り込むこととしても良い。
【０１５３】
また、上記実施形態では、調整手段が、気体の圧力、流量及び温度の全てを調整するものとしたが、これに限らず、気体の圧力、流量及び温度のうちの任意の２つ又は、任意の１つのみを調整することとしても良い。
【０１５４】
なお、上記実施形態のディスク製造装置１０の各部の構成は一例であって、本発明がこれに限定されるものではなく、例えばアーム１３７に代えて、図８（Ａ）に示されるようなアーム構造を採用することも可能である。
【０１５５】
この図８（Ａ）に示されるように、アーム１３７’は、アーム本体６１と該アーム本体６１の先端部に設けられたカバー基板保持部６３’とを備えている。このカバー基板保持部６３’は、基本的には前述したカバー基板保持部６３と同様に構成されているが、円環状の支持部材６７の外周側に内部に通風経路１１１ａを有するリング状の気体吐出ヘッド１１１が設けられている点、及び気体送り込みユニット６６に代えて、気体排出ユニット６６’が設けられている点において相違する。以下、同等の構成部分については前述した実施形態と同一の符号を用いるものとする。
【０１５６】
前記気体吐出ヘッド１１１の通風経路１１１ａには、気体供給管１１２の一端部が接続されている。この気体供給管１１２の気体吐出ヘッド１１１側の一端部近傍には、気体の圧力を設定した値に維持するレギュレータ１１３及び流量制御弁１１４が設けられ、気体供給管１１２の他端部は不図示の気体供給装置に接続されている。
【０１５７】
前記気体排出ユニット６６’は、図４の気体送り込みユニット６６と比較して、ホルダ７３の上部開口に気体供給管が接続されていない点が相違する。この気体排出ユニット６６’は、カバー基板Ｄｂの中心穴Ｄｂｃを介して下方から送り込まれる気体を上方に排出する。
【０１５８】
このアーム１３７’では、前述のアーム１３７と同様に、支持部材６７に設けられた複数の吸着パッド６９によりカバー基板Ｄｂを吸着保持する。そして、基板の貼り合わせに際しては、カバー基板保持部６３’が、貼り合わせ用ターンテーブル３５の例えば載置テーブル２３５Ｂ上に載置された記録基板Ｄａの上方に移動される。そして、アーム１３７’がカバー基板Ｄｂと接着剤９６とが接触する直前位置まで下降駆動される。
【０１５９】
この下降の途中に、流量制御弁１１４が開成され、気体吐出ヘッド１１１からカバー基板Ｄｂの下方の記録基板Ｄａ上の接着剤９６の外側の空間への気体（例えば空気）の噴き出しが開始される。なお、ここで噴き出され気体の大半は、センタボスＣＢの切り欠きＣＢａ及びカバー基板Ｄｂの中心穴Ｄｂｃを介してカバー基板Ｄｂの上面側に排出されるか、カバー基板Ｄｂの下方の空間を介して外部に排出される。
【０１６０】
そして、図８（Ｂ）に示されるように、カバー基板Ｄｂと接着剤９６とが接触する直前の位置では、上記実施形態と同様に、接着剤９６のセンタボスＣＢ周辺に盛り上がりが生じ、この時点で、カバー基板Ｄｂがアーム１３７’からリリースされる。これにより接着剤９６とカバー基板Ｄｂとが線接触する。カバー基板Ｄｂのリリース後は、気体吐出ヘッド１１１から噴き出される気体の流量がアーム１３７’の退避とともに減少するので、リリース後は、カバー基板Ｄｂの自重により、接着剤９６が上側から押圧され、接着剤９６が基板Ｄａ，Ｄｂの間の気体を外側に排出しながら、放射状に展延する。
【０１６１】
このように、図８（Ａ）のような構造のアームを採用しても、上記実施形態と同等の効果を得ることが可能となっている。
【０１６２】
また、発明者等は、種々実験を繰り返した結果、基板貼り合せ工程前の長時間放置や、搬送中における基板同士の接触などによる記録基板Ｄａ及びカバー基板Ｄｂの接着面の局部的な帯電に起因して、正常な線接触状態が得られない場合があることを見出した。これは、電気力学的には、ＥＨＤ（Ｅｌｅｃｔｒｏｈｙｄｒｏｄｙｎａｍｉｃａｌ）現象と呼ばれ、液体表面に強電界が存在すると、その電界に応じたマクスウェル応力が液体に作用することによる。すなわち、本来ならば接着剤とカバー基板Ｄｂとは接触（接液）すべきでない展延中に、基板の帯電箇所でマクスウェル応力を受け、カバー基板Ｄｂとの部分的な接液（発明者等はこれを「先走り付着」と呼称する）が生じる。これにより、カバー基板Ｄｂを記録基板Ｄａに重ね合わせたときに、一例として図９に示されるように、基板の中心側への接着剤の展延速度の均一性が阻害されて、袋小路になりつつある箇所が気泡となるおそれがある。発明者等は、特に記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂとの電位差が２ｋＶを超えると、先走り付着が発生し易いことを見出した。
【０１６３】
そこで、先走り付着を防止するために、例えば図１０に示されるように、気体供給装置１００と流量制御弁７８との間に、気体供給装置１００から供給される気体分子をプラスイオンとマイナスイオンに電離させる放電針を内包した放電式イオン化装置（一般的には「イオナイザー」と呼ばれる）９９を配置しても良い。すなわち、気体供給装置１００からの気体供給動作開始とともに放電式イオン化装置９９を作動させて、気体供給管７６を流れる気体分子をプラスイオンとマイナスイオンに電離させ、そのイオン化した気体を記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂとの間に供給する。本実施形態では、一例として気体の流量８〜１２［Ｎｌ／ｍｉｎ］に対して、放電式イオン化装置９９では商用周波数（５０Ｈｚ）の交流を約５〜８ｋＶに昇圧し、放電針に印加している。これにより、イオン化した気体が帯電している箇所に近づくと、帯電箇所の電荷とは反対極性のイオンが引きつけられて電気的に中和されることとなり、先走り付着を防止することができる。
【０１６４】
これに関連して、接着剤塗布工程に先だって、記録基板Ｄａ及びカバー基板Ｄｂを電気的に中和する帯電除去工程を追加しても良い。この場合には、帯電除去装置が用いられることとなる。
【０１６５】
なお、上記実施形態において、接着剤に対して予め減圧下で脱泡処理を施しておくことが好ましい。これにより、接着剤中に当初から混入されている気泡量が低減し、最終的に接着剤中に気泡が残存する可能性をより低減することができる。
【０１６６】
また、上記実施形態において、ディスク製造装置１０の全体をチャンバで覆い、内部を酸素等が除去された環境、例えばチャンバ内部の空気を窒素ガスで置換し窒素ガス空間にしても良い。この場合、窒素ガスは、波長１５０ｎｍ程度以上の紫外線は良好に透過させるので、例えば、接着剤硬化工程で、貼り合わせ基板Ｄｃに照射される紫外線が殆ど吸収されることがなく、接着剤の硬化をより短時間で実現することができる。
【０１６７】
なお、上記実施形態では、貼り合わされる一方の基板を記録基板とした片面１層型ディスクを製造する場合について説明したが、本発明がこれに限定されるものではなく、例えば、貼り合わされる双方の基板が記録基板である両面１層型ディスクや、一方の基板が２層の記録層を有する記録基板である片面２層型ディスク、あるいは、双方の基板が２層の記録層を有する両面２層型ディスクの製造についても本発明は好適に適用することができる。
【０１６８】
また、ＤＶＤ等の相変化型のディスクのみならず、貼り合わせ型の記録媒体とする必要があるのであれば、光磁気方式のディスクの製造にも本発明の製造方法及び製造装置は適用することが可能であり、従って、本発明の光学式情報記録媒体は、本発明の製造方法又は製造装置によって製造されるこれら全ての光学式情報記録媒体の全てを含む。また、ＤＶＤ−ＲＡＭなどの書き換え型のディスク、ＤＶＤ−Ｒなどの追記型のディスク、ＤＶＤ−ＲＯＭなどの再生専用型のディスク等、いずれについても本発明は適用可能である。
【０１６９】
さらに、記録媒体の製造に限らず、例えば液晶パネルの基板の外面にガラス板などからなる防塵板を貼り付ける場合にも本発明の製造方法及び製造装置は適用することが可能である。従って、本発明の板状体は、本発明の製造方法又は製造装置によって製造される板状体の全てを含む。この板状体は、その貼り合せ部分に存在する気泡の量が極めて少ないために、貼り合せ強度を高めることができる。また、例えば板状体が光学用であれば、その光学特性の劣化を防止することができる。
【０１７０】
また、上記実施形態では、平板状の部材同士を貼り合せる場合について説明したが、これに限らず、貼り合わせ面同士が貼り合わせ可能であれば、必ずしも平板状でなくとも良い。例えば少なくとも一方の部材が半球状のレンズであっても良い。
【０１７１】
さらに、上記実施形態では、２枚の部材を接着剤によって貼り合せる場合について説明したが、これに限らず、接着剤以外の液体を用いて貼り合せても良い。例えば液体の表面張力を利用して２枚の部材を貼り合せることができる。
【０１７２】
通常、記録基板とカバー基板とが接着剤によって貼り合わされた情報記録媒体がドライブ装置に装着されると、例えば図１１に示されるように、情報記録媒体ＩＭはクランプＣＬによって保持されるが、このとき情報記録媒体ＩＭには、矢印で示されるように、情報記録媒体ＩＭを構成する記録基板ＩＭａとカバー基板ＩＭｂとを分離しようとする力がかかる。そして、クランプＣＬの中心から接着剤層ＡＤＬの内周位置までの距離ＬＡが１０ｍｍ以上になると、情報記録媒体ＩＭの中心穴近傍を破損するおそれがある。このために、接着剤層をできるだけ情報記録媒体の内周側にまで形成したいという要求がある。
【０１７３】
通常、記録基板とカバー基板とを貼り合せた後、カバー基板の自重によって接着剤が所定の内周位置まで展延（自然展延）するのを待って、次の膜厚調整及び余剰液の振切りの工程に移行している。すなわち、製造工程において、自然展延のための待ち時間が発生することとなる。これは、生産性の低下を招来し、製造コストの低減に対する障害の一つとなる。しかしながら、待ち時間を短縮する目的で、接着剤をさらに記録基板の内周側に塗布すると、気泡混入の危険性が増加するおそれがある。
【０１７４】
そこで、発明者等はセンタボスの形状について検討した。その結果、図１２（Ａ）に示されるように、カバー基板を記録基板上にガイドするとともに、気体の流路を確保するために、記録基板及びカバー基板の中心穴とほぼ同径で、かつ上端部の数箇所に切り欠きが形成された形状のセンタボスの場合には、接着剤を通常よりも内周側に塗布して、気体を送風すると、一例として図１２（Ｂ）に示されるように、センタボスの形状の影響を顕著に受けて円周方向（放射方向）の風量（矢印で示す）にアンバランスを生じ、記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂとの間にある接着剤９６は偏りをもって移動することが判明した。そして、記録基板Ｄａにカバー基板Ｄｂを重ねる段階（ファーストタッチ）では、接着剤９６とカバー基板Ｄｂとは点接触に近い状態となるため、気泡が混入することはないが、接触後の接着剤の展延動作（展延戻り）では、円周方向への接着剤の偏りにより気泡が混入し易くなることを見出した。例えば、実験によると、接着剤の塗布量１ｇ、気体送風量１０Ｌ／ｍｉｎのときには、塗布半径２２ｍｍまでは気泡の混入は見られないが、同一条件で塗布半径を２０ｍｍ以下とした場合には、気泡の混入が見られるようになった。そこで、一例として図１３（Ａ）に示されるように、切り欠きが形成されていない円錐形状のセンタボス、及び一例として図１３（Ｂ）に示されるように、半球形状のセンタボスを用いたところ、吹き出し気流の風量を円周方向で均一化することができた。要するに、Ｚ軸を回転中心する回転対称体の形状をもつセンタボスを用いることにより吹き出し気流の風量を円周方向で均一化することが可能となる。
【０１７５】
しかしながら、例えば円錐形状のセンタボスの場合には、カバー基板が位置決めされる前にファーストタッチとなるため、記録基板とカバー基板との正確な位置合わせができないことがある。また、例えば半球状のセンタボスの場合には、ファーストタッチ後にセンタボスと接着剤とに囲まれた空間に存在する空気が、その逃げ場を失うために、時間の経過とともに接着剤の尖塔状態が崩壊し、面接触となり気泡を混入するおそれがある。
【０１７６】
そこで、センタボスの形状を吹き出し気流の風量が円周方向で均一となるように設定するとともに、第１状態と第２状態とで気体の流路を変更させるようにした。
【０１７７】
例えば図１４（Ａ）に示されるように、位置決め部材ＴＢ、昇降ロッドＲＤ、及び空圧シリンダＡＳなどから構成されるセンタボスＣＢ１を用いた場合について簡単に説明する。
【０１７８】
前記位置決め部材ＴＢは、その頭頂部が半球形状であり、その内部には頭頂部から側面への貫通孔が複数個形成されている。それらの貫通孔は第２状態における気体の流路として使用される。なお、この流路用の貫通孔（以下「流路孔」ともいう）は円周方向に均一に設けられていることがより望ましい。また、位置決め部材ＴＢは、前記昇降ロッドＲＤを介して前記空圧シリンダＡＳと連結されている。そして、空圧シリンダＡＳの駆動により昇降ロッドＲＤが上下すると、それによって位置決め部材ＴＢが上下方向に移動するようになっている。また、位置決め部材ＴＢと載置テーブル２３５Ｂとの間にはメタルブッシュＭＢが埋めこまれており、位置決め部材ＴＢの上下動が、より円滑かつ正確にガイドされるようになっている。記録基板Ｄａは真空吸着によって吸着ステージＳＴを介して載置テーブル２３５Ｂに保持される。なお、図１４（Ａ）には貼り合せ動作における第１状態が示されている。
【０１７９】
第１状態では、図１４（Ａ）に示されるように、位置決め部材ＴＢは、その頭頂部の半球形状部分のみが吸着ステージＳＴの面上に出ている。この場合には、カバー基板Ｄｂと位置決め部材ＴＢとの間に形成された隙間を流路の一部として、内側空間への気体の供給が行われる。そして、前述の如くして接着剤の集積及び盛り上がりが形成される。なお、第１の状態では、流路孔はその一端がメタルブッシュＭＢによって塞がれた状態となっている。また、記録基板Ｄａ上には、従来よりも内周側に接着剤が塗布されている。
【０１８０】
吸着パッド６９で保持されたカバー基板Ｄｂが更に下降し、リリースポイントに達すると、カバー基板Ｄｂはアームからリリースされ、アームは上昇を開始する。このとき、アームの上昇とともに空圧シリンダＡＳを駆動し、図１４（Ｂ）に示されるように、位置決め部材ＴＢの流路孔が記録基板Ｄａとカバー基板Ｄｂとで囲まれた空間（以下「インナエリア」と呼ぶ）に連通する位置まで位置決め部材ＴＢを上昇させる。これにより、インナエリア内の空気は図１４（Ｂ）において矢印で示されるように、位置決め部材ＴＢの流路孔を通って外部に徐々に排出される。なお、図１４（Ｂ）には貼り合せ動作における第２状態が示されている。このときには、カバー基板Ｄｂは位置決め部材ＴＢの側面をガイドとして下降するため、記録基板Ｄａと精度よく重なり合うことができる。
【０１８１】
従って、記録基板とカバー基板Ｄｂとの正確な位置合わせを行うとともに、自然展延のための待ち時間を従来よりも短縮することが可能となる。すなわち、センタボスＣＢ１は、位置決め手段であるとともに、流路変更手段でもある。
【０１８２】
また、例えば図１５（Ａ）に示されるように、キャップＣＰ、ばねＳＰ、ホールド板ＨＰ、複数の位置決め用爪ＮＬ、ピストンヘッドＰＨ、昇降ロッドＲＤ、及び空圧シリンダＡＳなどから構成されるセンタボスＣＢ２を用いた場合について簡単に説明する。なお、図１５（Ａ）には貼り合せ動作における第１状態が示されている。
【０１８３】
前記キャップＣＰは、その頭頂部が円錐形状であり、その内部空間に前記位置決め用爪ＮＬを位置決め解除状態に保持するための前記ばねＳＰ及び前記ホールド板ＨＰが格納されている。前記ピストンヘッドＰＨは前記昇降ロッドＲＤを介して前記空圧シリンダＡＳと連結されている。そして、空圧シリンダＡＳの駆動によりピストンヘッドＰＨが第１の所定位置（第１の位置）から第２の所定位置（第２の位置）まで上昇すると、ピストンヘッドＰＨによって位置決め用爪ＮＬの姿勢が位置決め解除状態から位置決め状態に変化するようになっている。
【０１８４】
位置決め用爪ＮＬは、リンクピンＬＰを介してキャップＣＰと連結されている。そして、位置決め用爪ＮＬは、リンクピンＬＰを回転軸として揺動可能となっている。すなわち、位置決め用爪ＮＬは、ピストンヘッドＰＨの上下運動に連動してリンクピンＬＰを中心軸とした揺動運動を行なう。
【０１８５】
第１状態では、図１５（Ａ）に示されるように、ピストンヘッドＰＨは第１の所定位置にあり、位置決め用爪ＮＬの姿勢は、位置決め解除状態にある。この場合には、カバー基板Ｄｂと位置決め用爪ＮＬとの間に形成された隙間を流路の一部として、内側空間への気体の供給が行われる。そして、前述の如くして接着剤の集積及び盛り上がりが形成される。なお、記録基板Ｄａ上には、従来よりも内周側に接着剤が塗布されている。
【０１８６】
吸着パッド６９で保持されたカバー基板Ｄｂが更に下降し、リリースポイントに達すると、カバー基板Ｄｂはアームからリリースされ、アームは上昇を開始する。このとき、アームの上昇とともに空圧シリンダＡＳを駆動し、図１５（Ｂ）に示されるように、ピストンヘッドＰＨを第２の所定位置まで上昇させる。これにより、位置決め用爪ＮＬの姿勢は、位置決め状態に遷移する。また、インナエリア内の空気は図１５（Ｂ）において矢印で示されるように、カバー基板ＤｂとキャップＣＰとの間に形成された隙間を流路の一部として、外部に徐々に排出される。なお、図１５（Ｂ）には貼り合せ動作における第２状態が示されている。このときには、カバー基板Ｄｂは位置決め用爪ＮＬをガイドとして下降するため、記録基板Ｄａと精度よく重なり合うことができる。
【０１８７】
従って、記録基板とカバー基板Ｄｂとの正確な位置合わせを行うとともに、自然展延のための待ち時間を従来よりも短縮することが可能となる。すなわち、センタボスＣＢ２は、位置決め手段であるとともに、流路変更手段でもある。
【０１８８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の板状体の製造方法及び製造装置によれば、２枚の部材から構成される板状体を、各部材間に気泡が残存するのを効果的に抑制することが可能で、かつ安価に製造することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施形態に係る光ディスク製造装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】図２（Ａ）は、記録基板とカバー基板との構成を示す断面図であり、図２（Ｂ）は、貼り合わせ基板の構成を示す断面図である。
【図３】図１の貼り合わせ用ターンテーブルの近傍を拡大して示す平面図である。
【図４】貼り合わせ用ターンテーブルの載置テーブル２３５Ｂ及び第２移載装置３７のアームの先端部分が上下方向に対向した状態のこれらの構成部分を示す断面図である。
【図５】図５（Ａ）は、カバー基板と記録基板とを貼り合わせるのに先立って、カバー基板保持部に保持された際のカバー基板の形状を示す斜視図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のカバー基板の縦断面図である。
【図６】図６（Ａ）〜図６（Ｄ）は、記録基板とカバー基板とを貼り合わせるときのカバー基板保持部の動作状態の変化及び接着剤の状態変化の様子を時間の経過とともに示す図である。
【図７】図７（Ａ）は、図６（Ｃ）の接着剤の状態を示す平面図であり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）の直後の接着剤の状態を示す平面図である。
【図８】図８（Ａ）は、図４のアーム１３７の変形例を示す図であり、図８（Ｂ）は、図８（Ａ）のアームを用いた基板の貼り合わせの際に、カバー基板がリリースされる直前の状態を示す図である。
【図９】帯電による先走り付着を説明するための図である。
【図１０】放電式イオン化装置を備えた気体送り込み手段を説明するための図である。
【図１１】貼り合わせ型記録媒体がドライブ装置にセットされたときに、クランプによって貼り合わせ型記録媒体に加わる力を説明するための図である。
【図１２】図１２（Ａ）は気体の流路を確保するための切り欠きが形成されたセンタボスの一例を説明するための図であり、図１２（Ｂ）は図１２（Ａ）のセンタボスを用いた場合の半径方向における接着剤の偏りを説明するための図である。
【図１３】図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）は、それぞれ半径方向への気体の送り込みが均一となるセンタボスの形状例を説明するための図である。
【図１４】図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）は、それぞれセンタボスがアクチュエータと該アクチュエータによって上下方向に駆動される位置決め部材とを備えている場合の貼り合せ動作を説明するための図である。
【図１５】図１５（Ａ）及び図１５（Ｂ）は、それぞれセンタボスがアクチュエータと該アクチュエータに連動して位置決め解除状態から位置決め状態に変化する位置決め部材とを備えている場合の貼り合せ動作を説明するための図である。
【符号の説明】
１０…光ディスク製造装置（板状体の製造装置）、６３…カバー基板保持部（保持ユニット）、６６…気体送り込みユニット（気体送り込み手段の一部、押圧手段）、７０…制御装置（状態遷移手段の一部、調整手段の一部、速度調整手段）、７６…気体供給管（気体送り込み手段の一部）、７７…レギュレータ（調整手段の一部）、７８…流量制御弁（調整手段の一部）、８３…載置面、８４…上下動回転機構（状態遷移手段の一部）、９２…相変化記録膜（記録層）、９６…接着剤、９９…放電式イオン化装置（イオン化手段）、１００…気体供給装置（気体送り込み手段の一部、調整手段の一部）、１３７…アーム（状態遷移手段の一部）、２３５Ａ〜２３５Ｃ…載置テーブル、ＡＳ…空圧シリンダ（アクチュエータの一部）、ＣＢ…センタボス（位置決め部材、位置決め手段）、ＣＢ１，ＣＢ２…センタボス（位置決め手段、流路変更手段）、Ｄａ…記録基板（第１基板）、Ｄｂ…カバー基板（第２基板）、Ｄｄ…接着基板（貼り合わせ型記録媒体）、Ｄａａ…接着面（一方の面）、Ｄａｃ，Ｄｂｃ…中心穴（開口）、ＰＨ…ピストンヘッド（可動部材）、ＲＤ…昇降ロッド（アクチュエータの一部）、ＴＢ…位置決め部材（可動部材）。

Claims (38)

1. 第１部材と第２部材とが液体を介して貼り合わされて成る板状体を製造する板状体の製造方法であって、
   前記第１部材の一方の面に前記液体を塗布する液体塗布工程と；
   前記一方の面を上面として前記第１部材をほぼ水平に配置し、前記第２部材を前記第１部材に対向してその上方に所定の位置関係で配置した第１状態から、前記第１部材と前記第２部材とが前記液体を介して重ね合わされる第２状態に遷移させるとともに、前記第１状態から前記第２状態へ遷移する間の前記液体が前記第２部材に接触する瞬間を含む少なくとも一部の時間で前記両部材間に気体を送り込む貼り合わせ工程と；を含む板状体の製造方法。
2. 前記両部材間への前記気体の送り込みは、前記第１状態から前記第２状態へ遷移する間の前記液体が前記第２部材に接触する前に開始されることを特徴とする請求項１に記載の板状体の製造方法。
3. 前記両部材間への前記気体の送り込みは、前記第１状態から前記第２状態へ遷移する間の時間中常に行われることを特徴とする請求項１に記載の板状体の製造方法。
4. 前記液体塗布工程では、前記液体を前記第１部材の前記一方の面に環状に塗布することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の板状体の製造方法。
5. 前記第１及び第２部材の少なくとも一方の中央部には予め開口が形成され、
   前記貼り合わせ工程では、前記開口を介して前記第１部材の前記一方の面上の前記環状の液体の内側空間に前記気体を送り込むことを特徴とする請求項４に記載の板状体の製造方法。
6. 前記貼り合わせ工程では、前記第１部材の前記一方の面上の前記環状の液体の外側の空間に前記気体を送り込むことを特徴とする請求項４に記載の板状体の製造方法。
7. 前記気体は、前記送り込みに際して圧力、流量、及び温度の少なくとも１つが調整されることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の板状体の製造方法。
8. 前記気体は、イオン化された気体であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の板状体の製造方法。
9. 前記貼り合わせ工程では、前記第２部材は、前記液体に接触するのに先立って一定の形状変化が与えられることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の板状体の製造方法。
10. 前記貼り合わせ工程に先だって、前記第１部材及び前記第２部材を電気的に中和する帯電除去工程を更に含むことを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の板状体の製造方法。
11. 前記貼り合わせ工程で液体を介して貼り合わせられた前記第１部材と前記第２部材とを一体的に回転させる回転工程を更に含むことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の板状体の製造方法。
12. 前記液体は、接着剤であることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の板状体の製造方法。
13. 前記接着剤として紫外線硬化型の接着剤が用いられ、
    前記貼り合わせ工程で接着剤を介して貼り合わせられた前記第１部材と前記第２部材とに紫外線を照射して前記接着剤を硬化させる紫外線照射工程を更に含むことを特徴とする請求項１２に記載の板状体の製造方法。
14. 前記第１及び第２部材はそれぞれ第１基板及び第２基板であり、前記貼り合わされて成る板状体は記録媒体であることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項に記載の板状体の製造方法。
15. 前記第１及び第２基板のうち少なくとも第１基板が記録層を有する記録基板であることを特徴とする請求項１４に記載の板状体の製造方法。
16. 前記貼り合わされて成る板状体は光学式情報記録媒体であることを特徴とする請求項１〜１５のいずれか一項に記載の板状体の製造方法。
17. 請求項１〜１６のいずれか一項に記載の板状体の製造方法により製造されたことを特徴とする板状体。
18. 第１部材と第２部材とが液体を介して貼り合わされて成る板状体を製造する板状体の製造装置であって、
    一方の面に液体が予め塗布された前記第１部材が前記一方の面を上面として載置されるほぼ水平の載置面を有する載置テーブルと；
    前記載置テーブルの上方で前記第２部材を保持する保持ユニットと；
    前記載置テーブル上に載置された前記第１部材に対向して前記第２部材が前記載置テーブルの上方で前記保持ユニットによって保持された第１状態で前記載置テーブルと前記保持ユニットとを当該両者が互いに接近する方向に相対的に駆動するとともに、所定距離まで両者が近づいた時点で前記保持ユニットによる部材の保持を解除することにより、前記第１状態から前記第１部材と前記第２部材とが前記液体を介して重ね合わされる第２状態に遷移させる状態遷移手段と；
    前記第１状態から前記第２状態へ遷移する間の前記液体が前記第２部材に接触する瞬間を含む少なくとも一部の時間で前記両部材間に気体を送り込む気体送り込み手段と；を備える板状体の製造装置。
19. 前記気体送り込み手段は、前記両部材間への前記気体の送り込みを、前記第１状態から前記第２状態へ遷移する間の時間中常時行うことを特徴とする請求項１８に記載の板状体の製造装置。
20. 前記第１及び第２部材は中心穴を有する円形部材であり、
    前記液体は前記第１部材の前記一方の面に環状に塗布され、
    前記気体送り込み手段は、前記第２部材の前記中心穴を介して前記第１部材の前記一方の面上の前記環状の液体の内側空間に前記気体を送り込むことを特徴とする請求項１８又は１９に記載の板状体の製造装置。
21. 前記第１及び第２部材の中心穴と嵌合して当該両部材を相対位置合わせするとともに、前記気体の流路を形成する位置決め手段を更に備えることを特徴とする請求項２０に記載の板状体の製造装置。
22. 前記位置決め手段は位置決め部材を含み、該位置決め部材は、前記気体の送り込みが放射方向でほぼ均一となる流路が形成されるような表面形状を有することを特徴とする請求項２１に記載の板状体の製造装置。
23. 前記位置決め手段は、前記載置テーブルの前記載置面に設けられた位置決め部材であることを特徴とする請求項２１又は２２に記載の板状体の製造装置。
24. 前記位置決め手段は、前記第１状態と前記第２状態とで前記気体の流路の少なくとも一部を変更する流路変更手段を兼ねることを特徴とする請求項２１に記載の板状体の製造装置。
25. 前記位置決め手段は、アクチュエータと、該アクチュエータによって駆動される可動部材とを含み、前記アクチュエータによる前記可動部材の駆動により前記第１状態と前記第２状態とで前記気体の流路の少なくとも一部が変更されることを特徴とする請求項２１に記載の板状体の製造装置。
26. 前記可動部材は、前記アクチュエータによって上下方向に駆動される位置決め部材であることを特徴とする請求項２５に記載の板状体の製造装置。
27. 前記可動部材には、前記第２状態における前記気体の流路の一部を形成する貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項２６に記載の板状体の製造装置。
28. 前記位置決め手段は、前記アクチュエータによって前記可動部材が第１の位置から第２の位置へ駆動された際に、これに連動して位置決め解除状態から位置決め状態に変更される位置決め部材をさらに含むことを特徴とする請求項２５に記載の板状体の製造装置。
29. 前記保持ユニットは、前記第２部材の外周近傍を保持し、前記保持された前記第２部材が前記液体に接触するのに先立って前記第２部材の中心穴の周囲を前記載置テーブルに向けて押圧する押圧手段を更に備えることを特徴とする請求項２０〜２８のいずれか一項に記載の板状体の製造装置。
30. 前記気体の圧力、流量、及び温度の少なくとも１つを調整する調整手段を更に備えることを特徴とする請求項１８〜２９のいずれか一項に記載の板状体の製造装置。
31. 前記気体をイオン化するイオン化手段を更に備えることを特徴とする請求項１８〜３０のいずれか一項に記載の板状体の製造装置。
32. 前記第１及び第２部材を電気的に中和する帯電除去手段を更に備えることを特徴とする請求項１８〜３１のいずれか一項に記載の板状体の製造方法。
33. 前記気体送り込み手段は、所定の待機位置と前記両部材間に気体を送り込む位置との間で移動可能であることを特徴とする請求項１８〜３２のいずれか一項に記載の板状体の製造装置。
34. 前記気体送り込み手段の移動速度を調整する速度調整手段を更に備えることを特徴とする請求項３３に記載の板状体の製造装置。
35. 前記液体は、接着剤であることを特徴とする請求項１８〜３４のいずれか一項に記載の板状体の製造装置。
36. 前記第１及び第２部材はそれぞれ第１基板及び第２基板であり、前記貼り合わされて成る板状体は記録媒体であることを特徴とする請求項１８〜３５のいずれか一項に記載の板状体の製造装置。
37. 前記貼り合わされて成る板状体は光学式情報記録媒体であることを特徴とする請求項１８〜３６のいずれか一項に記載の板状体の製造装置。
38. 請求項１８〜３７のいずれか一項に記載の板状体の製造装置により製造されたことを特徴とする板状体。

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