CN1404050A - 板状体制造方法以及控制气泡进入的装置 - Google Patents

Abstract

一种制造第一和第二元件通过液体粘合到一起而形成的板状体的方法，该方法包括以下步骤：(a)将液体施加到第一元件的一个表面上；以及(b)第二元件叠置到第一元件上时在液体与第二元件接触的瞬间将气体供给到第一和第二元件之间。

Description

板状体制造方法以及控制气泡进入的装置

技术领域

本发明总地来说涉及用于制造板状体的方法和装置，更具体地说，涉及用于制造两个元件粘合到一起而形成的板状体的方法和装置。

背景技术

最近，随着信息设备的数字化以及与之伴随的多媒体设备的快速发展，所处理的信息(数据)量陡然增加，于是进一步要求增大信息记录介质的容量。

在光学信息记录介质的情况下，例如，DVD(数字多用途盘)已经作为替代已经广泛应用的CD(致密盘)的下一代光学记录介质而走到前台。与CD直径相同的DVD可以大约记录CD七倍那么多数据，这是由于缩短作用为光学拾取器光源的激光的波长方面的技术改进实现的。

虽然CD由厚度为1.2mm的单片衬底形成，而DVD由粘合到一起的两片0.6mm厚的衬底形成，从而可以在相同的设备中将信息记录到CD和DVD上以及从他们中读取。

于是，在制造诸如DVD的由粘合到一起的两片衬底形成的光学信息记录介质过程中，将两片光盘衬底粘合到一起的步骤是至关重要的。在将两片衬底粘合到一起时，重要的是不允许气泡进入或驻留于粘结剂或两片衬底之间。这是由于气泡有可能会成为类似透镜，并在读取信息时折射光学拾取器发出的激光束，由此阻止激光束发射到所需位置上，并导致信息读取和再现失败。此外，在相变纪录型光学记录介质的情况下，气泡可以通过粘合过程后进行的激光退火过程(初始化过程)中的激光发射而膨胀，从而损坏记录介质的记录层，由此在记录介质的质量上产生严重缺陷。即，气泡的存在为光学信息记录介质的产品寿命和物理及电子特性的缺陷因素之一。

迄今为止，已经针对方法或装置提出了各种技术或发明，用于控制上述气泡的存在。

例如，日本公开的专利申请9-198720公开了一种将盘片粘合到一起的方法，从而更令人满意地将进入叠置盘片之间的气泡清除(此后，这个方法可以称为第一现有技术)。根据第一现有技术，叠置盘片在气密空间内夹在固定到轴部分上的上压板和下压板之间，该气密空间是由加压装置主体被刚性体的腔室覆盖所形成。当气密空间通过抽空管抽成真空时，施加到腔室上的外部压力将密封腔室的O形圈变形，从而，叠置的盘片通过O形圈的变形而受压。即，叠置盘片之间的粘结剂中的气泡被上述抽真空驱逐到外侧。

例如，日本公开的专利申请11-66645公开了一种采用将通过粘结剂粘合到一起的两片衬底的局部抽真空的技术(此后，该技术被称为第二现有技术)。根据第二现有技术，粘结剂以环形形式设置在两片衬底中下部一片的表面上，并通过上部衬底由其圆周附近的一部分予以固定，两片衬底彼此靠近。然后，在上部衬底与下部衬底表面上以环形形式设置的粘结剂形成接触之前，从由上部衬底表面、下部衬底表面和粘结剂所围绕的内部空间中抽出气体，从而内部空间内的压力低于外部空间的大气压力。在这种状态下，上部衬底与下部衬底表面上以环形形式设置的粘结剂形成接触，由此减少了气泡的生成。

此外，日本公开的专利申请2000-290602公开了一种通过在两片衬底之间形成电场减少气泡生成，并通过利用电场的吸引而使粘结剂的液膜点(liquid film spot)的顶部逐渐变细来导致粘结剂接触面积减小的技术(此后该技术被称为第三现有技术)。

然而，在第一现有技术中，真空腔室具有较大的容积以便覆盖衬底。因此，需要加压装置具有大规模的构型，从而相应地增大了生产成本。此外，由于这种类型的真空腔室具有较大的内部容积，就需要增大用于抽真空的吸力，并且需要很长时间才能通过抽真空达到所需的压力条件，从而导致工作效率较差。

根据第二现有技术，有可能通过使上部和下部衬底表面以及粘结剂所围绕的内部空间内侧的压力低于外部空间内的大气压力，也就是说，通过局部产生真空条件来产生一定的效果。然而，在上述抽真空时，在围绕上部衬底中心孔的部分内突然产生负压，该部分对应于由上部和下部衬底的表面以及粘结剂所围绕的中间部分，因此粘结剂可能会被吸入。这种情况会导致将两片衬底粘合到一起方面的不充分结合，而将两片衬底粘合到一起是优先于确保去除粘结剂中混合的气泡的主要目的。

此外，根据第三现有技术，通过电场的吸引使得粘结剂接触面积减小，从而在减少气泡生成上产生显著效果，然而，对于电场，需要采取一定的措施，从而导致该装置的生产成本增大。此外，通常，在设置粘结剂之前通过静电(抗污染措施)进行作为防止灰尘粘结到衬底上的措施的静电清除和防灰尘鼓风，然而，在第三现有技术中，由于衬底充电，粘合装置中的灰尘会不期望地被吸引到衬底上。此外，被充电的衬底需要放电，这就增大了设备的成本和粘合过程中的操作次数，从而降低了生产率。

发明内容

于是，本发明总地目的是提供一种用于制造板状体的方法和装置，其中消除了上述缺陷。

本发明的更具体的目的是提供一种以低成本制造如下的板状体的方法和装置，该板状体由两个元件粘合到一起而形成，并且在他们之间有效地控制气泡的存在。

由于在各种条件下对通过液体将两个元件粘合到一起反复进行试验，本发明的发明人发现了在元件粘合到一起过程中气泡进入液体内的两个主要因素，第一，在与各元件形成接触时，当液体进入表面接触状态时，存在于元件和液体之间的气体(一般为空气)在接触的瞬间保留在他们之间，而转变为气泡(第一气泡生成因素)。第二，在液体与元件形成接触后，各元件彼此相向地受压，从而导致液体在给定的方向上扩散，使得相邻的液体部分彼此连接。在这个过程中，存在于相邻液体部分之间的空间内的气体(一般为空气)保持在他们之间，而转变为气泡(第二气泡生成因素)。

本发明鉴于上述本发明人获得的发现(第一和第二气泡生成因素)而研制。

本发明的上述目的通过一种制造由液体粘合到一起的第一和第二元件形成的板状体的方法来实现，该方法包括如下步骤，即，(a)将液体施加到第一元件的各表面之一上，以及(b)当第二元件叠置在第一元件上时，在液体与第二元件开始接触的瞬间将气体供给到第一和第二元件之间。

根据上述方法，由气体产生的给定力通过供给气体而施加到液体上，使得在液体与第二元件开始接触的瞬间，第二元件和液体大致形成线或点接触，由此充分地减小接触区域。于是，如从上述第一气泡生成因素中所理解到的，根据本发明，在粘合过程中，气泡进入用于将第一和第二元件粘合到一起的液体中得到有效地控制。于是，有效地防止了气泡残留于形成作为最终产品而获得的板状体的第一和第二元件之间。此外，在这种情况下，不需要包括上述真空腔室的特殊设备，第一和第二元件中至少一个可以包括曲面。于是，根据本发明的板状体可以包括曲面。

本发明的上述目的也可以通过一种用于制造由通过液体粘合到一起的第一和第二元件形成的板状体的装置来实现，该装置包括具有大致水平平面的置放台，第一元件放置于其上，且其各表面中的一个面向上，事先在该表面上施加液体；将第二元件固定于置放台之上的固定单元；移动放置在置放台上的第一元件上方并与其相对的、由固定单元固定的第二元件以使得第二元件通过该液体叠置在第一元件上的状态变化部分；以及将气体供给到第一和第二元件之间的气体供给部分。

根据上述装置，由气体产生的给定力通过供给气体而施加到液体上，从而在液体与第二元件开始接触的瞬间，第二元件与液体大致形成线或点接触，由此充分地减小了接触区域，于是，如从上述第一气泡生成因素中所理解到的，根据本发明，在粘合过程中，气泡进入用于将第一和第二元件粘合到一起的液体中得到有效地控制。于是，有效地防止了气泡残留于形成作为最终产品而获得的板状体的第一和第二元件之间。此外，在这种情况下，不需要包括上述真空腔室的特殊设备，因此可以降低成本。

附图说明

本发明的其他目的、特征和优点可以在联系附图阅读以下详细描述时从以下详细描述中更清楚地理解到。图中：

图1是根据本发明一实施例的光盘制造装置的平面图，示出其构造的概要；

图2A是示出根据本发明的记录衬底和覆盖衬底的结构的剖面图，而图2B是示出根据本发明的分层衬底的结构的剖面图；

图3是图1的光盘制造装置的转台单元及其四周的放大平面图；

图4是图3的转台单元的置放台的剖面图，以及图1的光盘制造装置的第二转换单元的臂的远端部分，该远端部分基本定位在置放台正上方；

图5A是根据本发明的覆盖衬底的透视图，示出了其形状，在覆盖衬底与记录衬底粘合之前，覆盖衬底由图4的臂的覆盖衬底固定部分固定，而图5B是图5A的覆盖衬底的纵剖面图；

图6A到6D是示出根据本发明的一段时间后图5A的覆盖衬底固定部分的工作状态变化和粘结剂状态变化的视图；

图7A是覆盖衬底的平面图，示出了施加到覆盖衬底上的图6C的粘结剂的状态，而图7B是覆盖衬底的平面图，示出了刚好在图7A的状态之后的施加到覆盖衬底上的粘结剂的状态；

图8A是示出图4的臂的变化的视图，而图8B是示出在记录衬底和覆盖衬底利用图8A的臂粘合时覆盖衬底的状态的视图；

图9是用于说明充电导致的提前粘合的视图；

图10是用于说明根据本发明的包括排放型离子化单元的气体供给部分的视图；

图11是用于说明粘合型记录介质固定到盘片单元上时通过夹紧而施加到粘合型记录介质上的力的视图；

图12A是用于说明其上形成确保气体通道的中心凸出部的视图，而图12B是用于说明在采用图12A的中心凸出部的情况下粘结剂在径向上偏离的视图；

图13A和13B分别是用于说明成形为使得气体径向上均匀供给的中心凸出部的形状的视图；

图14A和14B分别是用于说明在采用包括致动器和由致动器垂直驱动的定位元件的中心凸出部的情况下记录衬底和覆盖衬底粘合操作的视图；

图15A和15B分别是用于说明在采用如下的中心凸出部的情况下记录衬底和覆盖衬底粘合操作的视图，其中中心凸出部包括致动器和与致动器一同工作以从定位取消状态向定位装置切换的定位元件。

具体实施方式

参照附图将给出本发明实施例的描述。

图1是根据本发明的作为用于制造记录介质的装置的光盘制造装置10的平面图，其示出了光盘制造装置10构造的概要。光盘制造装置10通过将两片盘形的盘片衬底粘合到一起制造诸如DVD的光学信息记录介质，其中，该盘片衬底在其中心部分具有中心孔(开口)。

如图1所示，光盘制造装置10包括第一叠置器部分22、第二叠置器部分24、粘合部分30、粘结剂硬化部分40、测试和排出部分50、以及控制这些部分22、24、30、40和50工作的控制单元70。第一叠置器部分22以分层状态存储作为第一衬底的多个记录衬底Da，第二叠置器24以分层状态存储作为第二衬底的多个覆盖衬底Db，粘合部分30分别从第一和第二叠置器22和24抽取记录衬底和覆盖衬底Da和Db，并利用粘结剂将每个记录衬底Da粘合到相应的覆盖衬底Db上。粘结剂硬化部分50调节在粘合部分30粘合到一起的每对记录衬底和覆盖衬底Da和Db之间的粘结剂厚度。测试和排出部分50测试通过粘结剂硬化部分40处理的每对粘合的记录衬底和覆盖衬底Da和Db，并将其排出到光盘制造装置10之外。

第一和第二叠置器部分22和24、粘合部分30、以及粘结剂硬化部分40安装到底板表面F上设置的第一基底19A上，而测试和排出部分50安装在底板表面F上设置成其X₂侧与第一基底19A相邻的第二基底19B上。

图1中，第一叠置器22设置在第一基底19A的左上角(X₂端部的Y₁端部)附近。第一叠置器22包括中心轴22a、围绕沿Z轴延伸的中心轴22a可旋转的衬底固定器22b、以及相对于中心轴22a设置在衬底固定器22b上的对称位置处的一对叠置器22c。该对叠置器22c中每一个具有插入每个记录衬底Da中心孔中的轴，并通过轴插入记录衬底的中心孔中而支撑多个分层的记录衬底Da。每个叠置器22c包括提升机构(图中未示出)，该提升机构从下面一个接一个地提升记录衬底Da。

存储在第一叠置器部分22中的每个记录衬底Da为大致圆形的衬底，且在其中心位置形成有中心孔Dac(见图4)。每个记录衬底Da具有如图2A所示的剖面结构。即，每个记录衬底Da包括0.6mm的聚碳酸酯衬底101和其上形成的中间层102。中间层102由第一介电膜(下层)91、作为记录层的相变纪录膜92、第二介电膜(顶层)93、反射膜94、和UV可固化树脂保护膜95形成，他们依次层叠在聚碳酸酯衬底101上。整个中间层102厚度大约为1μm。记录衬底Da由形成图1的第一叠置器部分22的成对的叠置器22c支撑，且他们各自中间层102的上表面(粘合表面)Daa朝上。

回来参照图1，第二叠置器24与第一叠置器22具有相同的结构，并包括中心轴24a、衬底固定器24b和一对叠置器24c。存储在第二叠置器部分24中的每个覆盖衬底Db具有与0.6mm聚碳酸酯衬底101相同的圆形，并具有其中心部分形成的中心孔Dbc(见图4)。如图2A所示，每个覆盖衬底Db由板状聚碳酸酯元件形成。覆盖衬底Db有形成图1的第二叠置器24的成对的叠置器24c支撑，且其相应的下表面(粘合表面)Dba面向上。

记录和覆盖衬底Da和Db由操纵者手工或通过自动传输装置(图中未示出)机械运送到光盘制造装置10中。

回来参照图1，粘合部分30包括一对传输单元31A和31B、一对清洁器部分32A和32B、粘结剂敷料器33、换向器34、用于粘合操作的转台单元35、和一对第二传输单元36和37。

第一传输单元31A和31B分别设置成紧靠近第一和第二叠置器部分22和24的X₁侧，清洁器部分32A和32B分别设置在第一传输单元31A的Y₁侧和第二传输单元31B的Y₂侧。粘结剂敷料器33设置在清洁器部分32A的X₁侧。换向器34设置在清洁器部分32B的X₁侧，转台单元35设置在如下的位置处，即，相对于Y轴粘结剂敷料器33和换向器34距该位置等间隔。第二传输单元36和37分别设置成紧靠近转台单元35的Y₁和Y₂侧。

第一传输单元31A具有两个臂131a和131b，他们彼此以给定角度伸展。臂131a将记录衬底Da从第一叠置器部分22传送到清洁器部分32A，而另一个臂131b将记录衬底Da从清洁器部分32A传送到粘结剂敷料器33。

另一个第一传输单元31B具有两个臂131c和131d，他们彼此以给定角度伸展。臂131c将覆盖衬底Db从第二叠置器部分24传送到清洁器部分32B，而另一个臂131d将覆盖衬底Db从清洁器部分32B传送到换向器34。

清洁器部分32A包括每个记录衬底Da放置于其上的衬底放置部分232A，和吹风机构132A，吹风机构132A将气体吹到衬底放置部分232A上放置的每个记录衬底Da的粘合表面Daa上，以便去除粘合表面Daa上的灰尘。清洁器部分32B包括每个覆盖衬底Db放置于其上的衬底放置部分232B和吹风机构132B，该吹风机构132B将气体吹到衬底放置部分232B上防止的每个覆盖衬底Db的粘合表面Dba上，以便去除粘合表面Dba上的灰尘。吹风机构132A和132B可以由静电消除机构替代，后者通过利用静电去除灰尘。在这种情况下，优选地是提供用于放电和中和被充电的衬底的放电器，以便在去除灰尘后防止静电导致粘结剂与衬底形成接触。

图3是图1的转台单元35及其周边的放大视图。如图3所示，粘结剂敷料器33包括衬底放置平台133A和粘结剂施加机构133B。粘结剂喷嘴139设置到粘结剂施加机构133B上。粘结剂施加机构133B包括沿着X轴和Y轴驱动粘结剂喷嘴139的驱动机构(图中未示出)。粘结剂喷嘴139由驱动机构驱动，以便其远端可以相对于水平面绘出一个圆形。因此，通过如此驱动的粘结剂喷嘴139，同时粘结剂从该喷嘴中喷射到放置于衬底放置平台133A上的每个记录衬底Da的粘合表面Daa上，粘结剂可以成圆形地施加到粘合表面Daa上。具有施加紫外线时硬化的特征的紫外线(UV)可固化粘结剂用作粘结剂。

如上所述，第一传输单元31A具有以给定角度伸展并围绕Z轴可转动的两个臂131a和131b。第一叠置器部分22的X₁侧叠置器22c的中心、清洁器部分32A的衬底放置部分232A的中心、以及粘结剂敷料器33的衬底放置平台133A的中心设置成距臂131a和131b的旋转中心(Y₂端)距离相等。此外，使臂131a和131b的旋转中心为圆心，上述距离为半径，穿过X₁侧叠置器22c的中心的半径和穿过衬底放置部分232A的中心的半径之间形成的中心角等于穿过衬底放置部分232A的中心的半径和穿过衬底放置部分133A的中心的半径之间形成的中心角。

由此，第一传输单元31A可以同时由臂131a将一个记录衬底Da从第一叠置其部分22的X₁侧叠置器22c传送到清洁器部分32A的衬底放置部分232A且由另一臂131b将另一个记录衬底Da从清洁器部分32A的衬底放置部分232A传送到粘结剂敷料器33的衬底放置平台133A上。

换向器34具有固定每个覆盖衬底Db并将每个覆盖衬底Db翻转的功能。也就是说，每个覆盖衬底Db的粘合表面Dba被换向器34设定为面朝下。

如上所述，第一传输单元31B也具有以给定角度伸展并围绕Z轴可转动的两个臂131c和131d。第二叠置器部分24的X₁侧叠置器24c的中心、清洁器部分32B的衬底放置部分232B的中心、以及由换向器34固定的衬底的中心设置成距臂131c和131d的旋转中心(Y₁端)具有相同的距离，此外，使得臂131c和131b的旋转中心为圆心，且上述距离为半径，由穿过上述三个中心的半径而形成的两个扇形具有相同的中心角。

由此，第一传输单元31B可以同时由臂131c将一个覆盖衬底Db从第二叠置器部分24的X₁侧叠置器24c传送到清洁器部分32B的衬底放置部分232B上并将另一个覆盖衬底Db从清洁器部分32B的衬底放置部分232B传送到换向器34上。

如图3所示，转台单元35包括转轴135A、由旋转机构(图中未示出)围绕转轴135A转动的转台135B、以及围绕转轴135A以彼此大约120°中心角设置在转台135B上表面上的三个放置平台235A到235C。

转台单元35的转台135B每转120°停止其转动。因此，当转台135B从图3的状态由旋转机构逆时针(图3中箭头A所示的方向)旋转120°时，放置平台235A定位在图3中示出的放置平台235B所定位的位置处，放置平台235B定位在图3中示出的放置平台235C所定位的位置处，而放置平台235C定位在图3中示出的放置平台235A所定位的位置处。

现在，参照图4给出对放置平台235B的结构的描述。每个放置平台235A和235C具有与放置平台235B相同的结构。

图4是转台单元35的放置平台235B和第二传输单元37的臂137的远端部分的剖面图，该远端部分基本定位在放置平台235B的正上方。在图4中，记录衬底Da放置在放置平台235B的上表面所形成的大致水平的放置表面83上，且其上施加粘结剂96的粘合表面(粘结剂施加表面)面朝上。

如从图3和图4中看出的，放置平台235B在其俯视图中具有圆形形状，而其纵剖视图大致为字母T形。此外，放置平台235B其大部分插入转台135B中。突出部分(此后称为中心凸出部)CB形成为在放置平台235B上表面中心部分内的定位部分。中心凸出部CB具有与记录衬底和覆盖衬底Da和Db每一个的中心孔大致相同的直径。在中心凸出部Cb的上端形成多个切口CBa。当记录衬底和覆盖衬底Da和Db叠置时，中心凸出部CB具有定位记录衬底和覆盖衬底Da和Db的作用。切口CBa设置成形成气体通道，且在这个实施例中，被成形为穿过的气体不会产生湍流。后面将给出通过切口形成的通道的作用的描述。

此外，排真空通道80围绕放置平台235B的中心凸出部CB形成。记录衬底Da由真空泵(图中未示出)所产生的真空吸力固定到放置平台235B上，而真空泵连接到排真空通道80上。

回来参照图3，第二传输单元36包括臂136，该臂136将其上施加了粘结剂敷料器33中的粘结剂96的记录衬底Da传送到位于转台135B给定位置处的放置平台235A到235C之一上，即，具体地说，传送到相对于转轴135A定位在Y₁方向和X₂方向之间的一个上(在图3的情况下，为放置平台235A)。臂135围绕沿着Z轴延伸的转轴136a可360°旋转。

第二传输单元37包括臂137和垂直和旋转运动机构84，该机构使臂137围绕其转轴137a在至少180°的范围内(前后)转动，并沿着Z轴垂直驱动臂137。臂137从换向器34接收被翻转的覆盖衬底Db。接着，臂137将覆盖衬底Db叠置在放置平台235A到235C中给定一个上的其上放置有粘结剂96的记录衬底Da上，也就是说，自转轴137a在Y₁方向紧跟在第二传输单元37之后的一个上的记录衬底Da上(在图3的情况中，为放置平台235B)。然后，臂137将记录衬底Da和覆盖衬底Db粘结到一起，由此形成如图2B所示的分层衬底Dc。

将参照图4给出第二传输单元37的臂137的结构的描述，作为详细描述由第二传输单元37执行的衬底粘合操作的基础。

如图4所示，臂137包括臂主体61和作为固定单元固定到臂主体61一端的与转轴137a相对的下表面上的覆盖衬底固定部分63。

覆盖衬底固定部分63包括支撑元件64、一对连接元件62(在图4中仅示出了X₁侧的一个)、吸取头65和气体供给器单元66。支撑元件64固定到臂主体61的下表面上。螺纹孔在靠近支撑元件中心的位置处形成在后者中，以便沿着Z轴垂直延伸。吸取头65通过连接元件62以悬垂状态支撑到支撑元件64的下表面上，而每个连接元件62沿着Z轴延伸。气体供给器单元66包括对应于支撑元件64的螺纹孔64a的外螺纹部分。气体供给器单元66支撑到支撑元件64上，同时螺纹部分与螺纹孔64a啮合。

吸取头65包括支撑元件67和多个(例如六个)吸取基座69。支撑元件67在其俯视图中由环形板件形成，该板件具有其中心部分形成的圆形开口67a。吸取基座69以悬挂状态固定到支撑元件67的下表面上、以给定间隔靠近其周边的位置处。通气通道(图中未示出)形成在支撑元件67和吸取基座69的内侧。第一真空管71的一端从其上表面侧连接到支撑元件67上，以便与通气通道连通。第一真空管71的另一端连接到真空泵(图中未示出)上。压力传感器形成的真空传感器72设置在真空管71的中间。在这种情况下，真空传感器72的输出传送到控制单元70，控制单元基于真空传感器72的测量值控制真空泵，从而真空基座69的真空吸力设定为正好足以将覆盖衬底Db固定到吸取基座69上的适当值。真空泵可以与连接到上述排真空通道80上的真空泵相同或不同。

在这个实施例中，考虑到覆盖衬底Db上的缺陷的影响，吸取基座69有弹性材料(如橡胶)形成。然而，如果不必要考虑覆盖衬底Db上的缺陷的影响，那么也可以将刚性材料用于吸取基座69。此外，如上所述在这个实施例中采用六个吸取基座，但是吸取基座的数量不限于六个，只要覆盖衬底Db位置基本水平的状态即可，可以采用任何数量的吸取基座。在形成刚性材料的吸取基座69的情况下，可以在支撑元件67内沿着其圆周形成吸取孔或吸取沟槽，以便通过吸力由整个表面固定覆盖衬底Db。此外，吸取基座69可以围绕圆形开口67a设置。

如图4所示，气体供给器单元66包括具有底部的(一端封闭的)圆柱形孔73、气体喷射元件75、限位块元件81、以及压缩螺旋弹簧74。具有底部的圆柱形孔73包括沿着Z轴延伸的内部台阶形的中空(空间)部分73a，并具有在其底面上形成的开口。大致(倒)T形的气体喷射元件75使其上端部插入到固定器73的中空部分73a中。限位块元件81固定到固定器73的下端面上，以便防止气体喷射元件75向下掉落。压缩螺旋弹簧74一直向下偏压气体喷射元件75。

拧入支撑元件64的螺纹孔64a并与之啮合的上述外螺纹部分形成在固定器73下半部的外表面上。通过将外螺纹部分与螺纹孔64a啮合，固定器73支撑到支撑元件64上，以便沿着Z轴垂直延伸。与中空部分73a连通的气体通道形成在固定器73的底部(图4中示于上侧)。气体供给管76的一端从上部连接到固定器73的底部上，从而与气体通道连通。将内部气体压力保持为给定值的调节器77和流量控制阀78在靠近气体供给管所述一端的位置设置到气体供给管76上。气体供给管76的另一端连接到气体供给单元100上。在这种情况下，例如，如果空气被用作经由气体供给管76供入固定器73的气体，那么例如作为空气源的具有压缩机的装置可以被用作气体供给单元100。

调节器77、流量控制阀78、和气体供给单元100连接到控制单元70上。即，控制单元70通过控制调节器77调节气体压力，通过控制流量控制阀78的开度调节气体流量，并基于温度传感器(图中未示出)的测量值通过控制气体供给源调节所供给气体的温度。控制单元70控制调节器77和流量控制阀78，以便气体的压力和喷射量可以基于粘结剂96的粘度和覆盖衬底Db的叠置速率来优化。此外，控制单元70将气体温度控制到给定的目标值，其原因是：因为当粘结剂96的表面温度被周围气体改变时，粘结剂96的粘度变化而影响气体最佳喷射量，因此需要将粘结剂96的表面温度维持在恒定值。

气体喷射元件75成形为具有包括小直径部分和大直径部分的台阶形圆柱体外表，小直径部分沿着Z轴垂直延伸，而大直径部分形成在小直径部分的下端上，由此形成气体喷射元件75。如上所述，气体喷射元件的小直径部分的上端部插入到固定器73的中空部分73a中，而在小直径部分上、在稍高于其长度中心的位置处突出地形成凸缘部分75c。限位块元件81从下侧与凸缘部分75c接触，由此防止气体喷射元件75向下掉落。

压缩螺旋弹簧74设置在固定器73内侧，其端面之一压在固定器73内侧形成的台阶部分上，而另一端面压在凸缘部分75c的上表面上。例如，通过将圆形元件大致分成两半而形成的一对半圆形元件被用作限位块元件81。

在将气体供给器单元66固定到支撑元件64上的过程中，首先，气体喷射元件75从下侧插入到螺纹孔64a中，以向上提升，使得凸缘部分75c定位成比支撑元件64的上表面高出给定的距离。在这种状态下，压缩螺旋弹簧74围绕气体喷射元件75从其上端附加，此后，带有压缩螺旋弹簧74的气体喷射元件75由固定器73从其上侧覆盖。然后，成对的半圆型元件形成的限位块元件81用螺钉固定到固定器73的下端面上。由此，组装成气体供给器单元66。接着，固定器73外表面上形成的外螺纹部分从上侧拧入螺纹孔64a中，以与其啮合。从而，完成了气体供给器单元66向支撑元件64上的固定。

给定深度的圆孔75b形成在气体喷射元件75的大直径部分的下端面上，气体通道75a沿着Z轴垂直形成在小直径部分的内侧，从而与孔75b的内侧连通。在这种情况下，经由气体供给管76供入中空部分73a的气体从孔75b的下端通过气体通道75a喷射到外侧，即，孔75b形成了气体喷射开口。因此，此后孔75b被称为喷射开口75b。

环形的橡胶形成的弹性元件79固定到气体喷射元件下端面上形成的喷射开口75b的周边上。

从图4中可以看出，喷射开口75b具有如此的直径和深度(尺寸和形状)以至于当整个臂137被向下驱动到给定位置时(即，当覆盖衬底Db向下移动到图4中虚线Db′所示的位置时)，放置平台235B的中心凸出部Cb可以进入喷射开口75b中。此外，喷射开口75b的直径设定为稍大于覆盖衬底Db的中心孔Dbc。然而，当在将臂137定位到放置平台235B上过程中要求对中精度时，喷射开口75b的直径可以设定为基本上与覆盖衬底Db的中心孔Dbc一样大。

在这个实施例中，通过覆盖衬底固定部分63固定覆盖衬底Db，气体喷射元件75通常由其自身重量和压缩螺旋弹簧74的弹力(偏压力)下压在覆盖衬底Db的中心部分周边上。即，通过使气体喷射元件75的下端面低于每个吸取基座69的下端面定位，覆盖衬底固定部分63在图5A和5B所示的弯曲状态下固定覆盖衬底Db。图5A和5B分别是由覆盖衬底固定部分63固定的覆盖衬底Db的透视图和纵剖面图(侧剖视图)。在这个状态下，覆盖衬底Db的曲率可以通过调节气体喷射元件75的位置和吸取基座69的位置之间的垂直差而加以轻易调节，而该垂直差可以通过控制固定器73拧入支撑元件64中的大小来加以控制。

如图4所示，通过将力从下侧施加到气体喷射元件75上，气体喷射元件75可以克服压缩螺旋弹簧74的弹性偏压力而相对于固定器73向上滑动。因此，即使在例如真空力将由换向器34倒转的覆盖衬底Db固定成平面或是固定成在与图5B所示的弯曲方向相反的方向上弯曲的情况下，当气体喷射元件75从上侧压到覆盖衬底Db的中心孔Dbc周边上时，气体喷射元件75由压力的反作用力克服压缩螺旋弹簧74的弹性偏压力而向上滑动。由此，覆盖衬底Db可以在没有过大的力施加于其上的情况下固定。此外，在覆盖衬底Db被覆盖衬底固定部分63固定后，由于压缩螺旋弹簧74的弹力气体喷射元件75返回到图4的状态。因此，覆盖衬底Db可以如上所述保持在图5B所示的弯曲状态下。

回来参照图1，粘结剂硬化部分40包括转子42、硬化转台单元44、紫外线(UV)照射单元46、和第三传输单元48。转子42设置在转台单元35的X₁侧上，硬化转台单元44设置成靠近转子42。UV照射单元46设置成覆盖硬化转台单元44。第三传输单元48在转台单元35、转子42和硬化转台单元44之间传送分层的衬底Dc(通过将记录衬底Da和覆盖衬底Db粘合到一起而形成)。

转子42包括盘状转台42a和旋转驱动机构(图中未示出)。转台42a在其上表面固定分层的衬底Dc(见图2B)，该分层的衬底Dc是由第三传输单元48从转台单元35的转台135B上输送过来的，如后面将描述的。旋转驱动机构以高速使转台42a围绕其中心点旋转，且Z轴为转轴。转子42通过利用高速旋转固定分层衬底的转台42a所产生的离心力来吹走记录衬底Da和覆盖衬底Db之间多余的粘结剂而调节分层衬底Dc的粘结剂96层的厚度。

硬化转台单元44包括盘状转台44a和旋转驱动机构(图中未示出)，该旋转驱动机构从下侧在其中心支撑转台44a，并在图1中顺时针方向旋转转台44a。四个衬底放置部分144以相等的角间隔(以90°中心角的间隔)设置在转台44a上。硬化转台单元44的转台44a每90°停止其转动，因此，每个衬底放置部分144通过十二点位置(转台44a中心Y₁侧上的位置)、三点位置(转台44a中心X₁侧上的位置)、六点位置(转台44a中心Y₂侧上的位置)、以及九点位置(转台44a中心X₂侧上的位置)一个接一个地循环。

UV照射单元46包括灯壳体41、UV灯47、和冷却器43。灯壳体41设置成覆盖转台44a之上的空间。UV灯47设置在衬底放置部分144中位于转台44a上十二点位置的一个之上，并用紫外线照射放置在这个衬底放置部分144上的分层衬底144。冷却器43靠近各衬底放置部分144中的位于转台44a上六点位置处的一个设置，并冷却这个衬底放置部分144，该衬底放置部分144的温度由于被UV灯47UV照射而升高。灯壳体41的外表面设置有屏蔽罩，以便防止紫外线泄漏。

第三传输单元48包括两个臂148a和148b，他们以给定角度伸展，并可围绕Z轴转动。各衬底放置部分144中位于转台44a上九点位置处的一个衬底放置部分144的中心、转子42的旋转中心、以及放置平台235A到235C中位于转台单元35的转台135B上三点钟位置(或在转台135B旋转中心的X₁侧上)的一个放置平台的中心设置成距臂148a和148b的旋转中心等距离。此外，使臂148a和148b的旋转中心为圆心，且上述距离为其半径，穿过衬底放置部分144中的位于转台44a上九点位置的那个衬底放置部分144的中心的半径和穿过转子42的旋转中心的半径之间形成的中心角等于穿过转子42的旋转中心的半径和穿过放置平台235A到235C中的一个的中心的半径之间形成的中心角。

因此，第三传输单元48可以通过臂148a将一个分层的衬底Dc从放置平台235A到235C中位于转台135B上三点位置处的一个放置平台传送到转子42上，并同时将另一个分层的衬底Dc从转子42传送到位于转台44a上九点位置处的一个衬底放置部分144上。

测试和排出部分50包括测试单元52、衬底排出单元56、和第四传输单元54。测试单元52相对于其粘结剂96被粘结剂硬化部分40硬化的分层衬底进行倾斜检查并检查气泡的存在。此后，为便于描述，这种状态下的分层衬底Dc被称为粘合衬底Dd。衬底排出单元56将在测试单元52中测试的粘合衬底Dd排出到光盘制造装置10的外侧。第四传输单元54将粘合衬底Dd在硬化转台单元44、测试单元52、和衬底排出单元56之间传送粘合衬底Dd。

第四传输单元54包括两个臂154a和154b。臂154a将粘合衬底Dd从硬化转台单元44的转台44a传送到测试单元52。另一个臂154b将粘合衬底Dd从测试单元52传送到衬底排出单元56。

测试单元52包括测量单元，该测量单元固定由臂154a所传送的粘合衬底Dd，并通过从下侧将检测光发射到粘合衬底Dd上来进行诸如盘片倾斜测量的光学检查。测试单元52还包括采用图像处理的气泡缺陷检测单元，该单元包括获得粘合衬底Dd图像的CCD摄像机，和对CCD摄像机的图像信号进行给定处理并基于处理结果检测气泡存在与否的图像处理单元。

衬底排出单元56基于测试单元52的测试结果确定粘合衬底Dd是否可接受或有缺陷，并仅在粘合衬底Dd被确定为可接受时排出粘合衬底Dd。

工作站(或微机)形成的控制单元70控制上述光盘制造装置10的单个部件，并也控制光盘制造装置10的整体。

将主要参照图1给出具有上述结构的光盘制造装置10的工作流程的简要描述。每个部件的操作由控制单元70控制，为了简化的目的而省略了对其的描述。

(a)首先，第一传输单元31A的臂131a从第一叠置器部分22接收记录衬底Da，并将接收到的记录衬底Da传送到清洁器部分32A的衬底放置部分232A上。臂131a返回到等待状态(图1的状态)，以接收下一个记录衬底Da。在清洁器部分32A内，吹风机构132A进行吹风，以用于防止衬底放置部分232A上放置的记录衬底Da粘合表面Daa上的灰尘，在防尘吹风结束后，第一传输单元31A的臂131b将记录衬底Da从清洁器部分32A传送到粘结剂敷料器33的衬底放置平台133A上，而粘结剂施加机构133B如上所述以形成在记录衬底Da粘合表面Daa上的圆圈的形式施加粘结剂96(见图4)。在臂131b将记录衬底Da从清洁器部分32A传送到粘结剂敷料器33的同时，臂131a将下一个记录衬底Da从第一叠置器部分22传送到清洁器部分32A。接着，第二传输单元36将其上施加了粘结剂96的记录衬底Da从粘结剂敷料器33传送到设置在转台单元35的转台135B上的放置平台235A到235C中的一个上，该放置平台位于图3中放置平台235A的位置处。在这种情况下，放置平台235A到235C中的这个放置平台为放置平台235B。

(b)与(a)的操作并行，另一个第一传输单元31B的臂131c从第二叠置器部分24接收覆盖衬底Db，并将所接收到的覆盖衬底Db传送到清洁器部分32B的衬底放置部分232B上，臂131c返回到等待状态(图1的状态)以接收下一个覆盖衬底Db。在清洁器部分32B中，吹风机构132B进行吹风，以用于防止衬底放置部分232B上放置的覆盖衬底Db的粘合表面Daa上的灰尘。在防尘吹风结束后，第一传输单元31B的臂131d将覆盖衬底Db从清洁器部分32B传送到换向器34，换向器又将被传送的覆盖衬底Db倒转。在臂131d将覆盖衬底Db从清洁器部分32B传送到换向器34的同时，臂131c将下一个覆盖衬底Db从第二叠置器部分24传送到清洁器部分32B的衬底放置平台232B上。接着，第二传输单元37的臂137将被倒转的覆盖衬底Db传送到转台单元35的转台135B之上的给定的等待位置处。在固定覆盖衬底Db的同时，臂137在基本上位于图3的放置平台235B位置的正上方的位置处等待。

(c)当(a)操作中记录衬底Da放置在转台135B的放置平台235B上时，转台135B逆时针旋转120°，从而其上放置有记录衬底Da的放置平台235B如图3所示地定位。

(d)接着，固定覆盖衬底Db的第二传输单元37的臂137通过垂直和旋转运动机构84向下移动，从而记录衬底Da和覆盖衬底Db粘合到一起成为分层衬底Dc(见图2B)。将参照图4、6A到6D、7A和7B详细描述粘合记录衬底Da和覆盖衬底Db的操作。

一段时间后，覆盖衬底固定部分63工作状态的变化和粘结剂96状态的变化示于图6A到6D中。

首先，在图4的位置处(初始位置)固定覆盖衬底Db的臂137由垂直和旋转运动机构84以给定速率向下移动。图6A示出了从臂137向下运动开始经过给定时间段之后的状态。在臂137向下移动开始之前，通过将调节器77的目标压力设定为给定的目标压力，且流量控制阀78以适当的开度开启，气体供给器单元66已经开始通过覆盖衬底Db的中心孔Dbc喷出(射出)诸如空气的气体。

当覆盖衬底Db在空气喷出(射出)的情况下靠近记录衬底Da以便进入图6A所示的状态时，由以圆圈形式施加到记录衬底Da的粘合表面Daa上的粘结剂以及记录和覆盖衬底Da和Db围绕的空间(内部空间)19内的压力开始升高。当空气压力高于粘结剂96的粘度时，粘结剂96开始径向向外移动。然而，随着空气向记录衬底Da和覆盖衬底Db中每一个的四周流动，空气流动速度减缓，且开始受到与覆盖衬底Db的粘合表面Dba的摩擦而导致的压力损失的影响。在图6A阶段，在粘结剂96和覆盖衬底Db之间形成相对大的空间。因此，空气向记录衬底Da和覆盖衬底Db中每一个的四周流动，因此，内部空间19内的压力上升受到限制。于是，如图6A所示，粘结剂96并不向记录衬底Da和覆盖衬底Db中每一个的四周偏离过多。

图6B是示出覆盖衬底Db从图6A所示的状态进一步向下移动以靠近记录衬底Da的状态的视图。在这种情况下，覆盖衬底Db和粘结剂96之间的空间变窄。因此，从内部空间19向记录衬底Da和覆盖衬底Db中每一个的四周流动的空气量减少，从而进一步增大内部空间19内的压力。在这种状态下，在粘结剂96的粘度与空气压力平衡的地方，粘结剂96开始聚集，而形成小丘(隆起)。

粘结剂96和覆盖衬底Db之间的距离在粘结剂96的小丘的顶部最小。因此，当空气穿过覆盖衬底Db和粘结剂96的小丘之间的缝隙时，空气的流动速度突然增大，同时空气的压力减小，从而相对于粘结剂96产生负压。由此，粘结剂升高量，即，粘结剂96的小丘的高度进一步增大，也就是说，以与喷射器相同的原理，高速气流导致间隙内产生负压。负压的产生进一步增大粘结剂96的小丘的大小或高度。

在该位置处，覆盖衬底Db向下移动到图4中双点划线Db′所示的释放点处。在个释放点处，臂137的真空基座69固定覆盖衬底Db的真空吸力切断，从而覆盖衬底Db被释放。在覆盖衬底Db释放后，垂直和旋转运动机构84将臂向上移动到上述初始位置处。

图6C是示出覆盖衬底Db刚好释放后的状态的视图。图7A是示出图6C的粘结剂96的状态的平面图。在图7A中，向右倾斜的平行线所形成的剖面区域表示粘结剂96，而由围绕粘结剂96的四周向左倾斜的平行线形成的剖面区域表示覆盖衬底Db和粘结剂96的接触区域96′。

在这种状态下，由于粘结剂96的顶部如上所述陡峭地局部升高(见图6B)，覆盖衬底Db和粘结剂96基本上彼此形成线接触，如图7A所示。在这种情况下，由于粘结剂96的小丘的上表面包括一些不规则性，接触区域96′不总是形成没有间隙的连续圆形。

由于反复进行试验，本发明人发现通过释放上部衬底(对应于覆盖衬底Db)，并在图6B所示的小丘形成后立即减小或停止气体的供给，首先接触到上部衬底的粘结剂的区域与上部衬底形成线接触。

在这个实施例中，由于气体供给器单元63(具体地说，气体喷射元件75的气体喷射开口75b)连接到臂137上，气体喷射开口75b在臂137释放覆盖衬底Db后向上移动的同时离开覆盖衬底Db，因此供入内部空间19内的气体(空气)量随着臂137向上移动而减小。即，在这个实施例中，上述粘结剂96与覆盖衬底Db的线接触在没有停止或减少气体喷射的情况下实现。从而，根据这个实施例，通过从气体喷射开始以相同流速连续一致地喷射气体，而不用复杂的控制操作实现了线接触。臂137向上和向下移动的速率由控制单元70控制。

此后，受到覆盖衬底Db的重量，接触区域96′在圆周和径向上扩展。在这种状态下，接触区域96′在圆周方向比径向扩展得快。因此，接触区域96′形成如图7B所示的连续圆。

另一方面，在覆盖衬底Db释放后，如上所述，供入内部空间19的气体的流量逐渐减少，因此，粘结剂96扩散，从而接触区域96′向记录衬底Da和覆盖衬底Db中每一个的中心径向延伸，受到覆盖衬底Db重量的影响，内部空间19内驻留的气体通过中心凸出部CB的切口CBa排出。图6D示出了这个时刻的状态。

从而，完成了记录衬底Da和覆盖衬底Db的粘合。如上所述，在这个实施例中，覆盖衬底Db和施加到记录衬底Da上的粘结剂96首先彼此形成线接触。因此，在他们接触的瞬间，在覆盖衬底Db和粘结剂96之间几乎不存在气体(空气)。于是，由于上述第一气泡生成因素而产生气泡的可能性很小。

此外，在覆盖衬底Db和施加到记录衬底Da上的粘结剂96彼此接触后，粘结剂96在圆周方向比径向扩散得快，因此，在粘结剂96和覆盖衬底Db接触的短时间之后，粘结剂96形成非常细线的环形。在该环形形成过程中，在粘结剂96任意相邻的两个弧形部分之间几乎不存在气体(空气)，于是由于上述第二气泡生成因素而产生气泡的可能性很小。

因此，在这个实施例中，在记录衬底Da和覆盖衬底Db粘合到一起的过程中，几乎不可能生成气泡。

(e)当如上所述粘合工作完成后，转台单元35的转台135B旋转120°，从而分层衬底Dc移动到图3中所示放置平台235C所处的位置处，并在该位置处等待。

(f)然后，第三传输单元48的臂148a将分层衬底Dc从放置平台235B传送到转子42的转台42a上，在这个传送之后，臂148a远离转子42移动，而在诸如图1所示位置的给定位置处等待，以将下一个分层衬底Dc传送到转子42。

(g)接着，固定分层衬底Dc的转台42a以高速转动给定时间段。在这方面，转台42a的速度和转动持续时间基于粘结剂96的粘度和环境温度控制，以便在分层衬底Dc中的粘结剂96的厚度被设定为给定值。在转台42a旋转完成后，第三传输单元48的臂148b将分层衬底Dc从转台42a传送到衬底放置部分144中的位于硬化转台单元44的转台44a上九点位置处的那个衬底放置部分144上。在转台42a旋转完成后，固定下一个分层衬底Dc的放置平台42a在转台单元35的转台135B上的三点位置处等待。与分层衬底Dc由臂148b从转台42a向转台44a传送并行，臂148a将下一个分层衬底Dc从转台135B上的放置平台235A传送到转台42a。在这些传送之后，臂148a和148b分别远离转子42和硬化转台单元44移动，并等待传送他们各自的下一个分层衬底Dc。

(h)接着，转台44a旋转90°，以便UV照射单元46的UV灯47用紫外线照射在衬底放置部分144中的位于转台44a上十二点位置处的那个衬底放置部分上放置的分层衬底Dc。由此，分层衬底Dc内侧的粘结剂96硬化，从而分层衬底Dc形成为粘合衬底Dd。在UV照射完成后，转台44a进一步转动90°，在这个旋转之前，下一个分层衬底Dc被传送到衬底放置部分144中的位于转台44a上九点位置处的那个衬底放置部分144上。然后，转台44a如上所述旋转90°，并且其上放置有粘合衬底Dd的那个衬底放置部分144移动到转台44a上的三点位置出，以处于等待状态。在这个等待状态过程中，UV照射单元46对放置在衬底放置部分144中的目前位于转台44a上的十二点位置处的衬底放置部分144上的下一个分层衬底Dc进行UV照射。

(i)接着，第四传输单元54的臂154a将粘合衬底Dd传送到测试单元52，并且测试单元对粘合衬底Dd进行上述的盘片倾斜测量和气泡缺陷测试。然后，已经经历盘片倾斜测量和气泡缺陷测试的粘合衬底Dd由臂154b从测试单元传送到衬底排出单元56。与粘合衬底Dd向衬底排出单元56传送并行，下一个粘合衬底Dd可以从转台44a传送到测试单元52上。

(j)接着，衬底排出单元56基于盘片倾斜测量和气泡缺陷测试的结构确定粘合衬底是否可接受或存在缺陷。在粘合衬底Dd被确定为可接受时，衬底排出单元56排出粘合衬底Dd，或者在粘合衬底Dd被确定为有缺陷时，衬底排出单元56收集这些粘合衬底Dd。

从而，光盘制造装置10重复进行上述清洁过程(排放吹气过程)、液体(粘结剂)施加过程)、衬底粘合过程、转子旋转过程、粘结剂硬化过程、测试过程和排出过程的一系列的操作。在作为上述测试结果确定为可接受并从衬底排出单元56排出之后，粘合衬底Dd按需要初始化并作为最终产品的DVD运走。

从上述描述中可以理解到，在这个实施例中，在其远端设置有覆盖衬底固定部分63的臂137、垂直移动并转动臂137的垂直并旋转运动机构84、以及控制单元70形成状态改变部分。气体供给器单元66、气体供给管76、和气体供给单元100形成气体供给部分。此外，调节器77、流量控制阀78、气体供给单元100、和控制单元70形成控制气体的压力、流量和温度的控制部分。此外，气体供给器单元66也形成加压部分。控制单元70实现流速控制部分。

如上面详细所述，根据这个实施例的光盘制造装置10和在光盘制造装置10中执行的制造板状体的方法，在液体施加过程中，粘结剂敷料器33的粘结剂施加机构133B该粘结剂以圆圈形式施加到记录衬底Da的粘合表面Daa上。然后，在粘合过程中，记录衬底Da水平放置在转台单元35的放置平台235A到235C的一个上，且其上施加粘结剂96的粘合表面Daa面朝上。当放置平台235A到235C之一移动到粘结位置上时，覆盖衬底Db由覆盖衬底固定部分63保持在记录衬底Da之上，面对记录衬底Da，该覆盖衬底固定部分63设置在第二传输单元37的臂137的远端上。在这个时刻，记录衬底Da和覆盖衬底Db定位成彼此垂直叠置。这个状态可以称为第一状态。

接着，在臂137由第二传输单元37的垂直和旋转运动机构84向下移动给定量之后，覆盖衬底固定部分63释放覆盖衬底Db，以便记录衬底Da和覆盖衬底Db通过粘结剂96叠置。这个状态可以称为第二状态。

在这个实施例中，在该方面，臂137开始向下移动之前，气体供给器单元66开始通过喷射开口75b喷出气体(空气)。此后，维持气体喷射，以便为连续喷出，即使在覆盖衬底Db被释放之后。因此，当覆盖衬底Db开始靠近记录衬底Da时，气体通过覆盖衬底Dc的中心孔Dbc在记录衬底Da和覆盖衬底Db之间供给。更精确地说，气体被供入由记录衬底Da和覆盖衬底Db以及粘结剂96限定的内部空间19中。气体的供给连续进行，即使在粘结剂96与覆盖衬底Db接触的时刻。由于气体的供给，通过将气体所产生的给定的力施加到粘结剂96上，覆盖衬底Db和粘结剂96在他们接触的瞬间基本上彼此形成线或点接触，因此接触区域被充分地减小。

在覆盖衬底Db接触到记录衬底Da上施加到粘结剂96之后，供入内部空间19内的气体量减少，从而粘结剂96由于覆盖衬底Db的重量而扩散。由于粘结剂96在圆周方向扩散得比径向上快，因此，接触后段时间内粘结剂96形成非常细线的环形。因此，几乎不存在由于第一和第二气泡生成因素造成的气泡进入粘结剂96中的可能性。于是，在粘合过程中有效地控制了气泡进入粘合记录衬底Da和覆盖衬底Db的粘结剂96中，因此，有效地防止了气泡驻留于形成最终获得的DVD(粘合衬底Dd)的两个衬底Da和Db之间。在这种情况下，不需要包括第一现有技术中的真空腔室这类的特殊设备，因此实现了成本降低。

此外，在这个实施例中，气体经由覆盖衬底Db的中心孔Dbc供入由圆圈形式施加到记录衬底Da的粘合表面Daa上的粘结剂96内侧形成的内部空间19中，因此，设置成圆圈形式的粘结剂(的至少上部)可以由供入内部空间19中的气体的压力几乎均匀地在大致径向方向上扩散，因此，覆盖衬底Db和粘结剂96的接触区域可以立即设置为非常窄线宽度的环形区域。

此外，在这个实施例中，形成气体供给器单元66的气体喷射元件75抵压覆盖衬底Db的中心孔Dbc的周边，直到恰好在覆盖衬底释放之前为止，从而覆盖衬底Db以图5A所示的弯曲状态固定，因此，可以校正每个覆盖衬底Db的翘曲和起伏，并且记录衬底Da和覆盖衬底Db可以固定不变地设置到覆盖衬底Db外形上的变化量(change)，即以适于粘合的变化量粘合到一起。

此外，在这个实施例中，在粘合过程中通过粘结剂96粘合到一起的记录衬底Da和覆盖衬底Db作为一个单元在旋转过程中在转子42的转台42a上以高速旋转。因此，额外的粘结剂可以通过旋转过程中产生的离心力吹走。在将记录衬底Da和覆盖衬底Db粘合到一起而形成的分层衬底Dc中的粘结剂96层的厚度可以通过控制上述旋转操作的旋转持续时间和速度调节到理想值。

此外，在这个实施例中，粘合到一起的记录衬底Da和覆盖衬底Db在旋转过程之后用紫外线照射，以便粘合剂96在UV照射过程中硬化。因此，粘结剂96可以在短时间段内硬化。

此外，在这个实施例中，供入内部空间19中的气体的压力、流量和温度都可以通过上述控制部分(即，调节器77、流量控制阀78、气体供给单元100和控制单元70)来控制。因此，可以通过将粘结剂96的表面温度保持在恒定状态将粘结剂96的粘度保持在基本恒定状态下。此外，通过将供入内部空间19的气体的量保持为恒定值，可以使得粘结剂96在记录衬底Da和覆盖衬底Db之间固定不变地流动。

此外，根据本发明的光盘制造装置10和其内执行的制造板状体的方法，如上所述，作为粘合型信息记录介质的DVD(粘合衬底Dd)可以以低成本制造，且有效地防止气泡驻留于记录衬底Da和覆盖衬底Db之间。因此，可以有效地控制由于气泡存在造成的信息读取和再现故障，因此可以提供具有优良的产品寿命和良好的物理和电学特性的DVD。具体地说，在制造诸如DVD-RAM、DVD-RW或DVD+RW的相变型信息记录介质的情况下，有可能有效地控制由于气泡破裂而损坏记录层的质量严重缺陷，气泡破裂是由粘合过程后所执行的激光退火过程(初始化过程)中激光照射所造成的。

此外，在这个实施例中，上述气泡缺陷测试以及盘片倾斜检查(测量)在UV照射过程之后执行的测试过程中进行，由于如上所述有效地防止了气泡驻留于形成DVD(粘合衬底)的记录衬底Da和覆盖衬底Db之间，作为气泡缺陷测试结果的确定为有缺陷的产品的百分比显著下降，因此，可以通过增加可接受产品的百分比来提高生产率(产量)。

在上述实施例中，气体供给器单元66在臂137开始向下移动之前开始通过喷射开口75b供应气体(空气)，此后，保持气体喷射，以便气体持续喷出，即使在释放覆盖衬底Db之后。然而，这不是仅有的构造。气体的供给可以在粘结剂96接触覆盖衬底Db之前开始，并且在粘结剂96接触释放后的覆盖衬底Db之后立即停止气体的供给。原因在于气体供给进行至少粘合过程持续时间的一部分就足够了，该部分包括粘结剂96与覆盖衬底Db接触的瞬间。

此外，在上述实施例中，气体供给器单元66可垂直(在向上和向下方向上)移动，并且气体供给器单元66的移动速率或速度通过控制单元70优化。因此，不需要精确控制来设定气体(空气)喷射的开始和结束时刻。

在上述实施例中，粘结剂96以圆圈形式施加到记录衬底Da的粘合表面Daa上，然而，这不是仅有的结构，粘结剂96可以施加为形成任何形状，如直线或曲线形状。即使在这种情况下，通过如上述实施例那样将气体供给到记录衬底Da和覆盖衬底Db之间，通过向粘结剂96施加由气体产生的给定力，覆盖衬底Db和粘结剂96在他们接触的瞬间彼此基本上形成线或点接触，因此覆盖衬底Db和粘结剂96的接触区域被充分减小。于是，可以有效地防止由于第一气泡生成因素造成的气泡进入粘合记录衬底Da和覆盖衬底Db的粘结剂96中。结果，有效地防止了气泡驻留于形成最终获得的记录介质的记录衬底Da和覆盖衬底Db之间。

此外，在液体施加过程中，粘结剂96可以以不同于上述圆圈形式的其他环形形式施加到记录衬底上，如以椭圆圈的形式。

在上述实施例中，气体通过覆盖衬底Db的中心孔Dbc供给到记录衬底Da和覆盖衬底Db之间的内部空间19中，然而，这不是仅有的结构，气体可以通过记录衬底Da的中心孔Dac供给到内部空间19中。

此外，在上述实施例中，控制部分控制气体的压力、流量和温度。然而，这不是仅有的结构，控制部分可以控制气体的压力、流量和温度中的任一个或两个。

本发明不局限于光盘制造装置10的各部件的上述构造。例如，臂137可以由具有图8A所示结构的臂137′替代。

如图8A所示，臂137′包括臂主体61和设置到臂主体61的一端上的覆盖衬底固定部分63′。覆盖衬底固定部分63′基本上具有与覆盖衬底固定部分63相同的结构，但是与其不同之处在于其中形成有通气通道111a的环形气体喷射头111附加地设置到圆圈形的支撑元件67的四周上，并且取代气体供给器单元66而设置了气体喷射单元66′。在以下的描述中，与上述实施例相同的元件由相同的附图标记标示。

气体喷射头111的通气通道111a连接到气体供给管112的一端上。将气体压力保持为设定值的调节器113和流量控制阀114在靠近气体供给管112一端处设置到气体供给通道112上。气体供给管112的另一端连接到气体供给单元(图中未示出)上。

气体喷射单元66′与气体供给器单元66不同在于没有气体供给管连接到固定器73的上部开口上。气体喷射单元66′将从其下侧供给的气体通过覆盖衬底Db的中心孔Dbc向上喷射。

与臂137类似，臂137′以真空力通过设置到支撑元件67上的吸取基座69固定覆盖衬底Db。在将记录衬底Da和覆盖衬底Db粘合到一起的情况下，例如，覆盖衬底固定部分63′移动到转台单元35的放置平台235B上放置的记录衬底Da之上，然后，臂137＇向下移动，直到恰好在覆盖衬底Db与粘结剂96形成接触之前为止。

在这种向下移动过程中，流量控制阀114开启，以便开始从气体喷射头111向位于覆盖衬底Db之下的记录衬底Da上的粘结剂96外侧的空间喷射气体(空气)，在这时喷射的大部分空气通过中心凸出部Cb的切口CBa和覆盖衬底Db的中心孔Dbc喷射到覆盖衬底Db的上表面上，或者通过覆盖衬底Db之下的空间喷射到外侧。

然后，如图8B所示，刚好在覆盖衬底Db和粘结剂96接触之前他们所处的位置处，如上述实施例中一样，粘结剂96在中心凸出部CB的四周具有隆起(小丘)，此时，臂137′释放覆盖衬底Db，由此粘结剂96和覆盖衬底Db彼此形成线接触。在覆盖衬底Db释放后，随着臂137＇远离覆盖衬底Db移动，从气体喷射头111喷出的气体流量减小，因此，在覆盖衬底Db释放后，粘结剂96自其上侧被覆盖衬底Db的重量挤压，从而径向扩散，将驻留于记录衬底Da和覆盖衬底Db之间的气体排到外侧。

从而，在采用具有图8A结构的臂137′的情况下，也可以产生与上述实施例相同的效果。

由于反复进行试验，本发明人发现在一些情况下，通过局部使记录衬底Da和覆盖衬底Db的粘合表面Daa和Dba局部充电，会阻碍覆盖衬底Db和粘结剂形成正常的线接触状态。这个局部充电可以由于衬底粘合操作之前长时间置记录衬底Da和覆盖衬底Db于不管或由于他们输送过程中衬底之间的接触而造成。在电力学上，这种现象被称为EHD(电流体力学)现象。这个现象在液体表面上存在强电场时由对应于液体上的电场的麦克斯韦应力引起。即，在扩散过程中被认为未接触覆盖衬底Db的粘结剂在覆盖衬底Db的充电点处、在麦克斯韦应力作用下与覆盖衬底Db形成局部接触。本发明人称这种局部接触为提前粘结。由此，当覆盖衬底Db叠置在记录衬底Da上时，阻碍了粘结剂以均匀的速率向每个衬底Da和Db的中心径向扩散，因此，成为死胡同的部分会形成为图9所示的气泡。图9中标号1111标示局部成为死胡同的部分，而标号1112表示延伸的接触区域。本发明人发现当记录衬底Da和覆盖衬底Db之间的电势差超过2kV时易于发生提前粘结。

因此，为了防止提前粘结，包含放电探针的放电型离子化单元(一般称为离子发生器)设置在气体供给单元100和流量控制阀78之间，如图10所示，其中放电探针用于将气体供给单元100供给的气体分子分离成正离子和负离子。即，在气体供给单元100开始供给气体的同时，放电型离子化单元99投入工作，从而将流过气体供给管76的气体分子分离成正离子和负离子，并将离子化的气体供给到记录衬底Da和覆盖衬底Db之间的空间内。在这个实施例中，例如，对于8到12[Nl/min]的气体流量，放电型离子化单元99将商用频率(50Hz)的交变电流的电压升高到大约5到8kV，并将该电压施加到放电探针上。由此，当离子化的气体靠近记录衬底Da和覆盖衬底Db中任一个的充电部分时，分别具有与充电部分的电荷相反极性的离子被吸引并中和该充电部分。由此，可以防止提前粘结。

在这方面，可以在粘结剂施加过程之前进行电荷消除过程，以便电中和记录衬底Da和覆盖衬底Db。在这种情况下，采用电荷消除单元。

在上述实施例中，优选地是，粘结剂96在处于减压状态之前被除去空气。由此，混合到粘结剂96中的气泡量从开始就予以减少，因此，可以进一步降低气泡最终驻留于粘结剂96中的可能性。

此外，在上述实施例中，通过用腔室整个覆盖光盘制造装置10，可以在腔室内侧形成无氧环境，例如，腔室内侧的空气可以由氮气替换，以便在腔室内侧产生氮气空间。在这种情况下，由于氮气可以满意地透射波长大约为150nm或更长的紫外线，几乎任何照射到分层衬底Dc上的紫外线都不会被吸收，因此，例如，在粘结剂硬化过程中，粘结剂96可以在更短的时间段内硬化。

在上述实施例中，给出了制造其中一个粘合的衬底为记录衬底的单面单层盘片的描述。然而，本发明也可以适当地应用到制造其中两个粘合的衬底都是记录衬底的双面单层盘片，其中一个粘合的衬底具有双记录层的内面双层盘片，或者其中每个粘合衬底都具有双记录层的双面双层盘片的情况中。

此外，根据本发明的光盘制造装置10和制造板状体的方法不仅可应用于制造诸如DVD的相变型盘片的情况，而且可以应用于制造磁光盘的情况，只要磁光盘要形成为粘结型(粘合型)记录介质即可。于是，本发明的光学信息记录介质指由本发明的制造方法或装置制造的这些光学信息记录介质中的任一种。此外，本发明可应用于诸如DVD-RAM的可写盘片、诸如DVD-R的一次写入盘片、和诸如DVD-ROM的只读盘片。

此外，本发明的制造方法和装置不仅可应用于制造记录介质的情况，而且可应用于例如将包括玻璃板的防尘板粘结到液晶屏衬底的外表面上的情况。于是，本发明的板状体指由本发明的方法和装置制造的所有板状体。本发明的板状体在其粘结(粘合)的各元件之间仅存在很少量的气泡，因此，板状体的粘合强度增强，此外，如果板状体为光学元件，则可以避免光学特性的恶化。

此外，在上述实施例中，给出了将板状元件粘合到一起的情况的描述。然而，根据本发明的粘结物品不限于板状元件。本发明也可应用于将具有可以粘合到一起的相应表面的任何元件粘合到一起的情况。例如，要粘合到一起的元件中至少一个元件为半球形透镜的情况。

此外，在上述实施例中，给出了将两个元件由粘结剂粘合的情况的描述，但是，这两个元件可以通过粘结剂之外的液体粘合到一起，例如，两个元件可以利用液体的表面张力粘合到一起。

一般，当由粘结剂粘合到一起的记录衬底Ima和覆盖衬底Imb形成的信息记录介质IM固定到驱动单元上时，分离记录衬底Ima和覆盖衬底Imb的力施加到由夹具CL固定的信息记录介质IM上，如图11中箭头所示。当夹具CL的中心到粘结剂层ADL的内圆周的距离LA大于或等于10mm时，信息记录介质IM的中心孔周边会被损坏。因此，理想地是粘结剂层ADL形成为尽可能靠近信息记录介质IM的内圆周。

一般，在记录衬底和覆盖衬底粘结到一起之后，粘结剂由覆盖衬底的重量(自然)扩散到给定内圆周位置后开始调节薄膜厚度和去除多余液体的过程。也就是说，用于粘结剂自然扩散的等待时段在制造过程中发生，这导致生产率下降，从而形成了降低生产成本的障碍。然而，当粘结剂靠近内圆周施加到记录衬底上以便缩短等待时段时，气泡更易于进入粘结剂中。

因此，本发明的发明人研究了中心凸出部的形状。图12A是中心凸出部的透视图，该中心凸出部成形为具有大致等于记录衬底和覆盖衬底中每一个的中心孔的直径，并包括在其上端形成的多个切口，以便将覆盖衬底导引到记录衬底上，并确保气体通道。作为研究结果，本发明人发现在图12A的中心凸出部的情况下，当粘结剂96比通常在记录衬底Da上的更靠近内圆周施加，且气体供给到记录衬底Da和覆盖衬底Db之间时，如图12B中箭头所示，气体流量受中心凸出部形状的显著影响而在径向上(朝向记录衬底Da和覆盖衬底Db每一个的外圆周)具有不平衡的气体体积，因此，设置在记录衬底Da和覆盖衬底Db之间的粘结剂96在径向不均匀地移动(被偏移)。此外，本发明人发现在将覆盖衬底Db叠置到记录衬底Da上的阶段(即，在记录衬底和覆盖衬底Da和Db第一次接触的阶段)，覆盖衬底Db和粘结剂96基本上形成点接触，因此，没有气泡进入粘结剂96中，但是在粘结剂96接触覆盖衬底Db后在相反方向扩散过程中，由于粘结剂96在径向上朝外圆周的扩散不均匀，因此气泡易于进入粘结剂96中。例如，根据试验，在所施加的粘结剂量为1克，且所供给的气体量为10L/min情况下，当粘结剂96的施加半径为22mm或更大时观察不到气泡进入。然而，当相同条件下施加半径设定为20mm或更小时，观察到气泡进入。当采用如图13A所示的没有任何切口的截锥形中心凸出部和如图13B所示的没有任何切口的半球形中心凸出部时，使得喷出的气体径向上朝向外圆周体积均匀地流动。即，通过采用具有回转对称体形状的中心凸出部，如图1 3A或13B所示的中心凸出部，可以使得喷射的气体径向上朝向外圆周体积均匀地流动，其中上述中心凸出部相对于作为转轴的Z轴回转对称。

然而，在形状类似截锥体的中心凸出部的情况下，记录和覆盖衬底Da和Db在覆盖衬底Db定位之前彼此首先接触，因此，阻碍了记录衬底Da和覆盖衬底Db精确定位。此外，在半球形中心凸出部的情况下，存在于中心凸出部和粘结剂96所围绕的空间内的空气在记录和覆盖衬底Da和Db首先接触后驻留于其中，因此，一段时间后，粘结剂96的螺旋状态毁坏，从而粘结剂96和覆盖衬底Db会形成面接触，而导致气泡进入粘结剂96中。

因此，中心凸出部的形状被确定为喷出的气体可以径向上朝外圆周体积均匀地流动，并且在粘合过程中，在上述第一和第二状态之间在气体通道上发生变化。

将给出采用如图14A所示的包括定位元件TB、提升杆RD和气压缸AS的中心凸出部CB1的情况的简要描述。

定位元件TB具有半球形顶部，并包括通过在其内侧从顶部到侧面形成的通孔，这些通孔用作第二状态下的气体通道。更理想的是通孔(以下称为通道孔)在圆周方向上均匀设置。此外，定位元件TB经由提升杆RD连接到气压缸AS上。当提升杆RD由气压缸AS驱动垂直(向上和向下)移动时，定位元件TB也相应地向上和向下移动。此外，金属衬套MB嵌在定位元件TB和放置平台235B之间，以便更平稳和精确地导引定位元件的垂直运动。记录衬底Da通过吸取台ST由真空吸力固定在放置平台235B上。图14A示出粘合过程中的第一状态(粘合操作)。

在第一状态中，如图14A所示，仅有定位元件TB的半球形顶部从吸取台ST的表面上露出。在这种情况下，气体供给到记录和覆盖衬底Da和Db之间的内部空间中，且在覆盖衬底Db和定位元件TB之间形成间隙，该间隙作用为气体通道的一部分，而粘结剂96聚集以形成如上所述的小丘。在第一状态下，每个通道孔其一端由金属衬套MB封闭。此外，粘结剂96比传统上记录衬底Da上更靠近内圆周施加。

当吸取基座69固定的覆盖衬底Db进一步向下移动而到达释放点时，覆盖衬底Db从臂上释放，并且臂开始上升。在该时刻，随着臂的上升，气压缸AS被驱动，以便将定位元件TB提升到定位元件TB的通道孔与记录和覆盖衬底Da和Db所围绕的空间连通的位置处(此后，该空间称为内部区域)，如图14B所示，由此，内部区域内的空气(气体)通过定位元件TB的通道孔如图14B虚线箭头所示那样逐渐排出到外侧。图14B示出粘合过程(粘合操作)中的第二阶段。在这个时刻，覆盖衬底Db由定位元件TB的侧表面导引向下移动，因此，覆盖衬底Db可以以良好的精度叠置在记录衬底Da上。

于是，记录和覆盖衬底Da和Db可以相对于彼此精确定位，并且同时，可以使用于粘结剂96自然扩散的等待时段短于传统上的。即，中心凸出部CB1功能为通道改变部分以及定位部分。

将进一步给出采用如图15A所示的包括帽CP、弹簧SP、固定板HP、多个定位爪NL、活塞头PH、提升杆RD、和气压缸AS的中心凸出部CB2的情况的描述。图15A示出了粘合过程中的第一状态。

帽CP具有截锥状顶部，并且在其内部空间内容纳用于将定位爪NL维持在定位取消状态的弹簧SP和固定板HP。活塞头HP经由提升杆RD连接到气压缸AS上。当气压缸AS被驱动而从第一给定位置将活塞头HP提升到第二给定位置时，活塞头HP将定位爪NL的位置从定位取消状态切换到定位状态。

每个定位爪NL通过连接销LP连接到帽CP上，以便围绕连接销LP可以转动(摆动)。即，每个定位爪NL随着活塞头PH的垂直运行起作用，以围绕作为中心轴的连接销LP垂直摆动。

在第一状态中，活塞头PH位于第一给定位置处，而定位爪NL的位置处于图15A所示的定位取消状态下，在这种情况下，气体供给到记录和覆盖衬底Da和Db之间的内部空间中，且在覆盖衬底Db和作用为气体通道的一部分的定位爪NL之间形成间隙，并且粘结剂96聚集以形成如上所述的小丘，粘结剂96比传统记录衬底Da上的更靠近内圆周施加。

当吸取基座69固定的覆盖衬底Db进一步向下移动而到达释放点时，覆盖衬底Db从臂上释放，并且臂开始上升。在这个时刻，随着臂的上升，气压缸AS被驱动，从而将活塞头PH提升到图15B所示的第二给定位置处。由此，定位爪NL的位置切换到定位状态。此外，内部区域内的空气(气体)如图15B中虚线箭头所示通过覆盖衬底Db和作用为气体通道一部分的帽CP之间形成的间隙逐渐排出到外侧。图15B示出粘合操作中的第二状态。在这个时刻，覆盖衬底Db由定位爪NL导引向下移动。因此，覆盖衬底Db可以以良好精度叠置到记录衬底Da上。

于是，记录和覆盖衬底Da和Db可以相对彼此精确定位，并在同时，可以使得用于粘结剂96自然扩散的等待时刻短于传统上的。即，中心凸出部CB2功能为通道变化部分以及定位部分。

本发明不局限于具体公开的实施例，而是在不背离本发明的范围前提下可以作出各种变动和修改。

本申请基于2001年8月31日提交的日本在先申请2001-264726，2002年6月14日提交的2002-174521和2002年7月5日提交的2002-196766，他们整个内容合并于此作为参考。

Claims (40)

1.一种制造第一和第二元件通过液体粘合到一起而形成的板状体的方法，该方法包括以下步骤：

(a)将液体施加到第一元件的一个表面上；以及

(b)第二元件叠置到第一元件上时在液体与第二元件接触的瞬间将气体供给到第一和第二元件之间。

2.如权利要求1所述的方法，其中，还包括以下步骤：(c)将第二元件从第二元件放置在第一元件之上并与第一元件相对的预定位置处的第一状态改变到第二元件通过液体叠置在第一元件上的第二状态，其中第一元件大致水平地放置且其所述的一个表面朝向上，

其中，所述步骤(b)在从所述步骤(c)中的第一状态向第二状态过渡过程中供给气体。

3.如权利要求2所述的方法，其中，在所述过渡过程中，所述步骤(b)在液体与第二元件开始接触之前开始供给气体。

4.如权利要求2所述的方法，其中，所述步骤(b)在过渡期间恒定地供给气体。

5.如权利要求2所述的方法，其中，所述步骤(c)在第二元件接触液体之前使得第二元件的形状产生给定的变化。

6.如权利要求2所述的方法，其中，还包括以下步骤：(d)在所述步骤(c)之前电中和第一和第二元件。

7.如权利要求2所述的方法，其中，还包括以下步骤：(d)作为一个整体单元，旋转所述步骤(c)中通过液体粘合到一起的第一和第二元件。

8.如权利要求2所述的方法，其中，所述液体为粘结剂。

9.如权利要求8所述的方法，其中，还包括以下步骤：(d)通过用紫外线照射所述步骤(c)中通过粘结剂粘合到一起的第一和第二元件硬化该粘结剂，

其中，粘结剂为紫外线可硬化型的。

10.如权利要求1所述的方法，其中，所述步骤(a)将液体以环形施加在第一元件的所述的一个表面上。

11.如权利要求10所述的方法，其中，第一元件和第二元件中至少一个中部预先形成开口；并且

所述步骤(b)将气体通过该开口供入施加到第一元件的所述的一个表面上的环形液体内侧的第一和第二元件之间形成的空间内。

12.如权利要求10所述的方法，其中，所述步骤(b)将气体供给到施加到第一元件的所述的一个表面上的环形液体外侧的第一和第二元件之间形成的空间内。

13.如权利要求1所述的方法，其中，当所述步骤(b)供给气体时，气体的压力、流量和温度中至少一个得以控制。

14.如权利要求1所述的方法，其中，所述气体被离子化。

15.如权利要求1所述的方法，其中，第一和第二元件分别是第一和第二衬底；并且

第一和第二元件粘合而形成的板状体为记录介质。

16.如权利要求1 5所述的方法，其中，第一和第二衬底中至少第一衬底是包括记录层的记录衬底。

17.如权利要求1所述的方法，其中，粘合第一和第二元件形成的板状体为光学信息记录介质。

18.一种通过如权利要求1所述的方法制造的板状体。

19.一种用于制造第一和第二元件通过液体粘合到一起而形成的板状体的装置，该装置包括：

放置平台，其具有大致水平的表面，第一元件放置于其上，且第一元件的一个表面面朝上，所述一个表面事先在其上施加有液体；

将第二元件固定在所述放置平台之上的固定单元；

状态变换部分，其移动所述固定单元固定在所述放置平台上放置的第一元件之上并与之相对的第二元件，以便第二元件通过液体叠置在第一元件之上；以及

将气体供给到第一和第二元件之间的气体供给部分。

20.如权利要求19所述的装置，其中，所述状态变换部分将第二元件的状态从第一状态改变到第二状态，在第一状态下，第二元件由所述固定单元固定在所述放置平台上放置的第一元件之上并与之相对，而在第二状态，通过相对驱动所述放置平台和所述固定单元以使所述放置平台和所述固定单元彼此靠近，并在第一元件和第二元件彼此处于给定距离时从所述固定单元上释放第二元件，第二元件通过液体叠置在第一元件上；以及

所述气体供给部分至少在从第一状态到第二状态的过渡其间的一时间段内供给气体，该时间段包括液体与第二元件开始接触的瞬间。

21.如权利要求20所述的装置，其中，所述气体供给部分在过渡期间恒定地供给气体。

22.如权利要求19所述的装置，其中，第一和第二元件中每一个是其中形成有中心孔的环形元件；

液体环形地施加到第一元件的所述一个表面上；并且

所述气体供给部分将气体通过第二元件的中心孔供给到第一元件的所述一个表面上施加的环形液体内侧的第一和第二元件之间形成的空间内。

23.如权利要求22所述的装置，其中，还包括配装到第一和第二元件中心孔内的定位部分，以便将第一和第二元件相对彼此定位并形成气体通道。

24.如权利要求23所述的装置，其中，所述定位部分包括定位元件，该元件具有形成气体通道的表面形状，以便气体在第一和第二元件径向上基本均匀地供给。

25.如权利要求23所述的装置，其中，所述定位部分包括设置在所述放置平台表面上的定位元件。

26.如权利要求23所述的装置，其中，所述定位部分包括一通道改变部分，通道改变部分在第一和第二状态之间改变至少一部分气体通道。

27.如权利要求23所述的装置，其中：

所述定位部分包括：

致动器；以及

由所述致动器驱动的可移动元件；并且

所述致动器驱动所述可移动元件，以便至少一部分气体通道在第一和第二状态之间改变。

28.如权利要求27所述的装置，其中，所述可移动元件为由所述致动器垂直驱动的定位元件。

29.如权利要求28所述的装置，其中，所述可移动元件包括通孔，该通孔在第二状态下形成气体通道的一部分。

30.如权利要求28所述的装置，其中，所述定位部分还包括定位元件，该定位元件与所述可移动元件一同工作，以便在所述可移动元件被所述致动器驱动而从第一位置移动到第二位置时从定位取消状态切换到定位状态。

31.如权利要求22所述的装置，其中，所述固定单元通过靠近第二元件外圆周的一部分固定第二元件，并且还包括下压元件，在第二元件接触液体之前，该下压元件将由所述固定单元固定的第二元件的中心孔周边朝向所述放置平台下压。

32.如权利要求19所述的装置，其中，还包括控制部分，该控制部分控制气体的压力、流量和温度中至少一个。

33.如权利要求19所述的装置，其中，还包括离子化气体的离子化部分。

34.如权利要求19所述的装置，其中，还包括电中和第一和第二元件的电荷消除部分。

35.如权利要求19所述的装置，其中，所述气体供给部分在给定的等待位置和供给气体的位置之间可移动。

36.如权利要求35所述的装置，其中，还包括控制所述气体供给部分移动速率的速率控制部分。

37.如权利要求19所述的装置，其中，所述液体为粘结剂。

38.如权利要求19所述的装置，其中，第一和第二元件分别为第一和第二衬底，并且

粘合第一和第二元件所形成的板状体为记录介质。

39.如权利要求19所述的装置，其中，粘合第一和第二元件所形成的板状体为光学信息记录介质。

40.一种由如权利要求19所述的装置制造的板状体。

Images