JP4546950B2 - 紫外線照射装置、ディスク製造装置およびディスク製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ディスク基板載置装置、反射板、紫外線照射装置、ディスク製造装置およびディスク製造方法に関する。特に、ディスク基板の発熱による影響を低減するためのディスク基板載置装置、反射板、紫外線照射装置、ディスク製造装置およびディスク製造方法に関する。

光ディスクは、ＣＤ（コンパクト・ディスク）やＤＶＤ（デジタル・バーサタイル・ディスク）、あるいは次世代ＤＶＤとして用いられている。これらの光ディスクでは、例えばポリカーボネート製基板の表面の螺旋形の溝に微小な凹凸を形成し、その凹凸をレーザ光線で走査することにより、記録が読み取られる。ＣＤのように１枚の基板に記録されている場合には、記録面を保護するために記録面を樹脂でコーティングする。また、ＤＶＤなどの場合には、記録密度を向上するために、記録面を有する２枚以上の基板を樹脂で貼り合せて製造する。

基板表面のコーティング用あるいは貼り合せ（接着）用の樹脂としては、紫外線硬化樹脂を用いるのが一般的である。これらのディスクの製造過程において、ディスク基板上の紫外線硬化樹脂を硬化させるためには、ディスク基板をディスク基板載置装置に載置して紫外線を照射する。紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させると発熱するので、紫外線硬化樹脂が硬化する際の発熱により、ディスク基板載置装置の温度が上昇してしまう。そのために、温度上昇したディスク基板載置装置の熱が次に処理するディスク基板に伝わり、ディスク基板に反りが発生するという問題があった。そこで、ディスク基板載置装置に貫通孔を形成し、ディスク基板載置装置に空気を供給する手段を当接して空気を供給し、ディスク基板載置装置およびディスク基板を冷却する方法が提案されている（特許文献１参照）。
特開平２００４−１５８０９７（第５−６頁、図２）

しかし、ディスクの製造過程においては、製造効率向上のためディスク基板載置装置に載置されたディスク基板を移動しながら紫外線を照射する構成とすることが一般的である。すなわち、ディスク基板載置装置にディスク基板を載置し、ディスク基板載置装置を紫外線照射装置の下を通過するように移動させることでディスク基板上の紫外線硬化樹脂に紫外線を照射し、その後紫外線照射装置とは別の位置でディスク基板載置装置からディスクを取り外すように構成されている。そのため、冷却用の空気を供給するのにディスク基板載置装置に空気を供給する手段を当接することは、ディスク基板載置装置が移動を停止している間しかできない、という改善すべき課題があった。あるいは、空気を供給する手段をディスク基板載置装置が移動中にも当接出来るようにするには、構造が複雑になるという問題もあった。そこで、本発明は、簡単な構造でディスク基板載置装置が移動中であっても発熱するディスク基板による熱の影響を受けにくいディスク基板載置装置、発熱する基板による熱の影響を受けにくくするための反射板、発熱する基板による熱の影響を受けにくい紫外線照射装置、ディスク製造装置およびディスク製造方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明に係る紫外線照射装置が備えるディスク基板載置装置は、例えば図１に示すように、中心に孔２が形成されたディスク基板１であって発熱するディスク基板１を載置する平面を有するプレート５０と；ディスク基板１の孔２の周囲を支持し、プレート５０から突き出ることによりプレート５０上に載置されたディスク基板１をプレート５０から離間して保持するセンターピン６０とを備える。

このように構成すると、発熱するディスク基板が、センターピンがプレートから突き出ることによりプレートから離間するので、ディスク基板の発熱によるプレートの温度上昇が抑えられる。そのため、発熱するディスク基板による熱の影響を受けにくいディスク基板載置装置となる。「発熱するディスク基板」とは、ディスク基板上に発熱体が付着してディスク基板自体が熱くなる場合を含む。また、「センターピンがプレートから突き出る」とは、センターピンのディスク基板を支持する部分がプレートから突き出ることをいい、他の部分はプレートから突き出ていたり、突き出なかったりしていてもよい。

また、例えば図１、図２および図３に示すように、ディスク基板１を載置する平面を有するプレート５０とプレート５０を支持するプレート支持具５５とディスク基板１に紫外線を照射する紫外線照射ランプ９５とを備える紫外線照射装置２１で用いられ、ディスク基板１の周囲を囲み、紫外線照射ランプ９５から照射される紫外線ＵＶをディスク基板１の方向に反射する反射板７０であって；プレート５０をプレート支持具５５（５６）とで挟み；ディスク基板１の周りで環状に空気の流れる環状流路７２と、環状流路７２からディスク基板１の方向に反射板７０を貫通する少なくとも一つの空気ノズル７３と、環状流路７２に空気を導入する導入流路７４とが形成されている反射板７０を備えていてもよい。

このように構成すると、一の反射板により、紫外線をディスク基板の方向に反射するだけではなく、プレートをプレート支持具に押さえ、さらに、ディスク基板の方向に空気を供給するための流路としても用いることができる。よって、紫外線照射装置の構造を簡単化するのに寄与する反射板となる。なお、「ディスク基板の周りで環状に」とは、厳密な意味での環状でなくてもよく、実質的にディスク基板の外周を囲む方向であればよく、完全に囲むことなく一部が途切れていてもよい。

また、請求項１に記載の発明に係る紫外線照射装置は、例えば図１および図３に示すように、上述のディスク基板載置装置４０と；ディスク基板１に紫外線を照射する紫外線照射ランプ９５とを備え；プレート５０上に載置されているディスク基板１に塗布された紫外線硬化樹脂が硬化した後から、ディスク基板１とプレート５０とが再度接触してもプレート５０を有意に温度上昇させなくなるまでの所定の時間、センターピン６０をプレート５０から突き出してディスク基板１をプレート５０から離間した状態に保つように構成されている。

このように構成すると、センターピンがプレートから突き出ることにより発熱するディスク基板がプレートから離間するので、紫外線硬化樹脂が硬化するときの発熱によるプレートの温度上昇が抑えられ、発熱するディスク基板による熱の影響を受けにくい紫外線照射装置となる。

また、請求項２に記載の発明に係る紫外線照射装置では、例えば図３に示すように、請求項１に記載の紫外線照射装置２１において、ディスク基板載置装置４０を同心円状に複数備え；複数のディスク基板載置装置４０を円移動するターンテーブル２０をさらに備えている。
このように構成すると、複数のディスク基板載置装置にディスク基板を載置し、ターンテーブルでディスク基板載置装置上のディスク基板を円移動することで、紫外線照射装置による紫外線照射と、ディスク基板載置装置へのディスク基板の載置・撤去とを効率よく行うことができる。

また、請求項３に記載の発明に係る紫外線照射装置では、例えば図１および図３に示すように、請求項２に記載の紫外線照射装置２１において、センターピン６０が第１の磁石８０を有し；第１の磁石８０と反発する磁力を生ずる第２の磁石８１が、ターンテーブル２０のため円移動するディスク基板載置装置４０のセンターピン６０の軌道に沿って、ターンテーブル２０の下に配置され；ディスク基板載置装置４０の円移動に伴い、センターピン６０が第２の磁石８１の上を移動すると、第１の磁石８０と第２の磁石８１との反発する磁力によりセンターピン６０がプレート５０から突き出る。
このように構成すると、ターンテーブルの下に配置された第２の磁石と第１の磁石との反発する磁力、すなわち反発力によりセンターピンがプレートから突き出るので、センターピンをプレートから突き出す力を非接触で得ることができる。また、ターンテーブルの下に配置されている磁石により、センターピンがプレートから突き出るので、磁石の配置の仕方によって、センターピンをプレートから突き出す位置を容易に設定できる。なお、「センターピンがプレートから突き出る」とは、ディスク基板がプレートの平面上に載置された状態における位置より、センターピンがプレートよりディスク基板が載置された側に移動することをいう。

また、請求項４に記載の発明に係る紫外線照射装置では、例えば図３に示すように、請求項３に記載の紫外線照射装置２１において、第２の磁石８１と極性が反対の第３の磁石８２が、ターンテーブル２０のため円移動するディスク基板載置装置４０のセンターピン６０の軌道に沿って、ターンテーブル２０の下に配置され；ディスク基板載置装置４０の円移動に伴い、センターピン６０が第３の磁石８２の上を移動することにより、プレート５０から突き出たセンターピン６０が引っ込む。ここで、「センターピン６０が引っ込む」とは、プレート５０から突き出たセンターピン６０が、プレート５０から突き出ていない状態に戻ることをいう。
このように構成すると、プレートから突き出たセンターピンを、所定の位置で確実に引っ込んだ状態に戻すことができる。

また、請求項６に記載の発明に係る紫外線照射装置では、例えば図２および図３に示すように、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の紫外線照射装置２１において、上述の反射板７０と；導入流路７４に空気を供給する空気供給手段９０〜９２とをさらに備える。
このように構成すると、発熱するディスク基板をプレートから離間させ、さらに、ディスク基板とプレートとに空気を供給して、冷却することができる。

前記目的を達成するために、請求項７に記載の発明に係るディスク製造装置は、例えば図５に示すように、ディスク基板１に紫外線硬化樹脂を供給する樹脂供給装置１３と；請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の紫外線照射装置２１とを備える。

このように構成すると、センターピンがプレートから突き出ることにより発熱するディスク基板がプレートから離間し、紫外線硬化樹脂硬化の発熱によるプレートの温度上昇が抑えられ、発熱するディスク基板による熱の影響を受けにくい紫外線照射装置を備えるので、発熱するディスク基板の熱の影響を受けにくいディスク製造装置となる。

また、前記目的を達成するために、請求項８に記載の発明に係るディスク製造方法は、例えば図５および図６に示すように、請求項７に記載のディスク製造装置１００にディスク基板１を供給する工程と；ディスク基板１に、樹脂供給装置１３により紫外線硬化樹脂３を供給する工程と；供給された紫外線硬化樹脂３に紫外線照射装置２１（９５）で紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂３を硬化する工程と；ディスク基板１に塗布された紫外線硬化樹脂３が硬化した後にセンターピン６０をプレート５０から突き出し、ディスク基板１とプレート５０とが再度接触してもプレート５０を有意に温度上昇させなくなるまでの所定の時間紫外線硬化樹脂３が硬化したディスク基板１をプレート５０から離間して保持する工程とを備える。

このように構成すると、紫外線硬化樹脂が硬化して発熱すると、ディスク基板をプレートから離間して保持するので、プレートへの発熱の影響を低減することができる。よって、発熱するディスク基板の影響を受けにくいディスク製造方法となる。

また、前記目的を達成するために、請求項９に記載の発明に係るディスク製造方法は、例えば図６に示すように、ディスク基板１に紫外線硬化樹脂３を供給する工程（Ｓ２１）と；ディスク基板１をプレート５０上に載置する工程と；プレート５０上に載置されたディスク基板１上の紫外線硬化樹脂３に紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂３を硬化する工程（Ｓ２４）と；プレート５０上に載置されたディスク基板１の紫外線硬化樹脂３が硬化した後から、ディスク基板１とプレート５０とが再度接触してもプレート５０を有意に温度上昇させなくなるまでの所定の時間、硬化による発熱で温度上昇したディスク基板１をプレート５０から持ち上げて保持する工程（Ｓ２５）とを備える。

このように構成すると、紫外線硬化樹脂の硬化による発熱で温度上昇したディスク基板をプレートから持ち上げて保持するので、プレートへの発熱の影響を低減することができる。よって、発熱するディスク基板の影響を受けにくいディスク製造方法となる。

本発明によれば、ディスク基板載置装置が、中心に孔が形成されたディスク基板であって発熱するディスク基板を載置する平面を有するプレートと、ディスク基板の孔の周囲を支持しプレートから突き出ることによりプレート上に載置されたディスク基板をプレートから離間して保持するセンターピンとを備えるので、センターピンがプレートから突き出ることにより発熱するディスク基板がプレートから離間し、ディスク基板の発熱によるプレートの温度上昇が抑えられる。そのため、発熱するディスク基板による熱の影響を受けにくいディスク基板載置装置を提供することができる。

また本発明によれば、紫外線照射装置が、上記のディスク基板載置装置と、ディスク基板に紫外線を照射する紫外線照射ランプとを備えるので、センターピンがプレートから突き出ることにより発熱するディスク基板がプレートから離間し、紫外線硬化樹脂が硬化するときの発熱によるプレートの温度上昇が抑えられ、発熱するディスク基板による熱の影響を受けにくい紫外線照射装置を提供することができる。

また本発明によれば、ディスク製造装置がディスク基板に紫外線硬化樹脂を供給する樹脂供給装置と上記の紫外線照射装置とを備えるので、紫外線硬化樹脂を硬化する際に、センターピンがプレートから突き出ることにより発熱するディスク基板がプレートから離間しプレートの温度上昇が抑えられる。よって、発熱するディスク基板による熱の影響を受けにくいディスク製造装置を提供することができる。

また本発明によれば、上記のディスク製造装置にディスク基板を供給する工程と、ディスク基板に樹脂供給装置により紫外線硬化樹脂を供給する工程と、供給された紫外線硬化樹脂に紫外線照射装置で紫外線を照射し紫外線硬化樹脂を硬化する工程と、センターピンをプレートから突き出し紫外線硬化樹脂が硬化したディスク基板をプレートから離間して保持する工程とを備えるので、紫外線硬化樹脂が硬化して発熱すると、ディスク基板をプレートから離間して保持し、プレートへの発熱の影響を低減することができる。よって、発熱するディスク基板の影響を受けにくいディスク製造方法を提供することができる。

また本発明によれば、ディスク基板に紫外線硬化樹脂を供給する工程と、ディスク基板をプレート上に載置する工程と、プレート上に載置されたディスク基板上の紫外線硬化樹脂に紫外線を照射し紫外線硬化樹脂を硬化する工程と、紫外線硬化樹脂が硬化し硬化による発熱で温度上昇したディスク基板をプレートから持ち上げて保持する工程とを備えるので、紫外線硬化樹脂の硬化による発熱で温度上昇したディスク基板をプレートから持ち上げて保持し、プレートへの発熱の影響を低減することができる。よって、発熱するディスク基板の影響を受けにくいディスク製造方法を提供することができる。

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。なお、各図において、互いに同一または相当する装置には同一符号を付し、重複した説明は省略する。

先ず、図１を参照して、本発明の第１の実施の形態としてのディスク基板載置装置４０について説明する。図１は、ディスク基板載置装置４０の構成並びにディスク基板載置装置４０の周囲に配置された反射板７０およびプレート支持具５５の構成を説明するための断面図であり、紫外線照射装置の一部としての実施例で示している。ディスク基板載置装置４０は、ディスク基板１を載置するプレート５０と、ディスク基板１の孔２の周囲を支持するセンターピン６０とを備える。ここで、ディスク基板１とは、典型的には、ＣＤやＤＶＤ等の光ディスクを製造するためのディスク基板である。ディスク基板１は、典型的にはポリカーボネート樹脂製の円盤であるが、材質はポリカーボネート樹脂には限られず、レーザ光線を透過する他の材質も好適に用いられる。ディスク基板１は円形の薄板で、その中心に孔２が形成されている。外形は円形とするのが一般的であるが、円形でなくてもよい。ディスク基板１の寸法の一例としては、直径１２０ｍｍ、中心孔２の径１５ｍｍ、厚さ０．６ｍｍであるが、寸法は用途により様々である。ディスク基板１の少なくとも片面には、信号を形成する微小な凹状の溝が形成されている。

プレート５０は、典型的にはガラス製の円形の板で、中心でガイド部材５２と結合している。プレート５０は、少なくとも一面は平面になっており、その面の上にディスク基板１を載置する。すなわち、ディスク基板１はプレート５０の平面により、平らな状態を維持して載置される。プレート５０がガラスなどの紫外線を透過する紫外線透過材料で形成されると、紫外線を透過するのでディスク基板１上の紫外線硬化樹脂を硬化させるときに紫外線を上下両方向から照射することができるので、好ましい。

ガイド部材５２は、円板形のプレート５０の中心に形成された孔に納められた基本的に円筒形の部材である。図１に示す円筒部材５２は、プレート５０を貫通せず、その上面（ディスク基板１が載置される面）側のみに形成されているが、貫通してもよい。ガイド部材５２の中空部には、センターピン６０が挿入され、上下方向可動に支持される。センターピン６０の外面とガイド部材５２の内面とが、センターピン６０が上下方向に移動するときの摺動面を構成し、センターピン６０の傾きを抑え、上下移動をスムースにしている。ガイド部材５２の内面が、上面方向で大きな２つの内径で形成され段差を有し、センターピン６０がそれぞれの内径に対応する大きさを有することで、センターピン６０の下方向への移動が制限される。ガイド部材５２は、典型的にはステンレス鋼製として、センターピンと摺動するときの強度および耐摩耗性を確保する。なお、ガイド部材５２を備えずに、プレート５０に形成された孔に、センターピン６０が直接挿入されてもよい。しかし、ガイド部材５２を備えることにより、強度と耐磨耗性が確保されることに加え、孔の寸法精度を出し易く、加工が容易となる。

センターピン６０は、ガイド部材５２に挿入される、基本的に円柱形の部材で、その上面で、プレート５０に載置されたディスク基板１の孔２の周囲を支持する。ディスク基板１の孔２の周囲とは、典型的には孔２からディスク基板１が傾くことなく支持できる範囲であればよく、典型的には孔２の周囲で紫外線硬化樹脂が供給されていない範囲内である。センターピン６０は、ディスク基板１の孔２に挿入されディスク基板１の位置を安定させる導入部６１と、導入部６１の直下に形成され、導入部６１より大径で段差が平面で形成され、該平面でディスク基板１の孔２の周囲を支持する載置部６２と、載置部６２の直下に形成され、載置部６２より小径で段差が形成され、該段差がガイド部材５２に形成された段差と当接することによりセンターピン６０の下方への移動が制限され、また、その外面がガイド部材５２の内面と摺動するスライド部６３とにより構成されてもよい。このように構成すると、ディスク基板１の位置を安定させることができ、また、センターピン６０の下方への移動が制限されるので、センターピン６０がプレート５０から脱落することがない。なお、導入部６１が形成されず、載置部６２の上部が平面だけで形成されてもよい。センターピン６０の下方への移動は、載置部６２の平面（段差の平面あるいは導入部６１が形成されない場合の平面を含む。）が、プレート５０の平面と面一となる位置あるいは、それより下がった位置で制限される。センターピン６０が下方へ移動し引っ込んだ状態では、ディスク基板１はプレート５０に載置され、センターピン６０で支持されてはいない。センターピン６０は、典型的にはステンレス鋼製とし、ガイド部材５２と同様に強度と耐磨耗性を確保するが、先端部６１および載置部６２はセラミック製とすることも一般的である。

センターピン６０は、スライド部６３の下端に第１の磁石８０を有する。そして、センターピン６０の下方で対向する位置に、第１の磁石８０と反発力を生じる極性となるように第２の磁石８１を設置する。第１の磁石８０と第２の磁石８１とが接近すると、磁石同士の反発力によりセンターピン６０は上方向に移動し、載置部６２の平面がプレート５０から突き出る。すなわち、センターピン６０がプレート５０から突き出た状態となる。このように構成すると、ディスク基板載置装置４０を第２の磁石８１に対して移動することにより、非接触で、センターピン６０をプレート５０から突き出すことができる。なお、センターピン６０を上方向に移動する方法は、磁石の反発力による方法には限られず、他の周知の方法でもよい。

ディスク基板１は、典型的には溝が形成された面を内側にして、２枚が貼り合わされてプレート５０に載置される。例えばＤＶＤでは、信号が記録された溝が形成された面に紫外線硬化樹脂を挟んで２枚のディスク基板が貼り合わされる。そこで、ディスク基板１に紫外線を照射して硬化させ、２枚を接着固定する。なお、ここでは、２枚のディスク基板が紫外線硬化樹脂を挟んで貼り合わされたものを、ディスク５と呼ぶ。紫外線硬化樹脂に紫外線を照射して硬化させると、紫外線硬化樹脂は発熱する。紫外線硬化樹脂が発熱すると、熱がディスク基板１に伝わり、さらにプレート５０に伝わる。すなわち、プレート５０の温度が上昇する。プレート５０の温度が上昇した状態で、新しい、すなわち紫外線硬化樹脂が硬化していないディスク５をプレート５０上に載置すると、プレート５０に接するディスク基板１だけが温められ膨張し、ディスク５に反りを生ずる原因となる。なお、一例として、ＤＶＤを製造するときには、紫外線硬化樹脂の硬化によりディスク基板１は４０〜５０℃程度にまで温度上昇する。

そこで、紫外線硬化樹脂が硬化したならば、すぐにセンターピン６０をプレート５０から突き出し、載置部６２の平面でディスク５を支持し、ディスク基板１をプレート５０から離間させる。ディスク基板１上の紫外線硬化樹脂が硬化し、発熱しているディスク基板１をプレート５０から離間することで、プレート５０の温度上昇を低減し、あるいは防ぐことができる。すなわち、ディスク基板１の発熱が収まり、ディスク基板１とプレート５０とが再度接触しても、ディスク基板１からプレート５０に伝わる熱が少なく、プレート５０を有意に温度上昇させなくなるまでの所定の時間、ディスク基板１をプレート５０から所定の間隔だけ離間した状態に保つ。よって、紫外線硬化樹脂が硬化したディスク５をディスク基板載置装置４０から撤去し、つぎに紫外線硬化樹脂が硬化していないディスク５あるいはディスク基板１をプレート５０に載置しても、プレート５０からディスク基板１への熱伝導による温度差のためにディスク５に反りが生ずることを防止できる。なお、ディスク基板１の孔２の周囲には、信号のための凹状の溝が形成されないのが一般的であり、よって、紫外線硬化樹脂で硬化しないので、センターピン６０がディスク基板１の孔２の周囲を支持することにより、センターピン６０への紫外線硬化樹脂の硬化熱がセンターピン６０に伝わり、悪影響を及ぼすことはほとんどない。

続いて、図２をも参照して、本発明の第２の実施の形態としての反射板７０について説明する。図２は、反射板７０を説明するための図で、（ａ）は空気供給手段９０〜９２から供給された空気を反射板７０で周囲からプレート５０あるいはディスク基板１、ディスク５の方向に供給する構成を示す反射板７０の概念図で、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ断面における拡大断面図である。反射板７０は、ディスク５すなわちディスク基板１の周囲を囲み、ディスク５の上方から紫外線が照射された場合に紫外線を反射し、ディスク５のディスク基板１に挟まれた紫外線硬化樹脂の外周部分に紫外線を照射し、確実に硬化させるためのドーナッツ形の部材である。反射板７０には、ドーナッツ形の内側に斜めの反射面７１が形成され、そこで図２（ｂ）に示すように、紫外線照射ランプ（不図示）から照射された紫外線ＵＶを反射し、ディスク５の紫外線硬化樹脂を外周方向から照射する。そのために紫外線硬化樹脂の外周側が確実に硬化する。反射板７０は、紫外線を反射する金属で形成されるのが一般的である。反射板７０を他の材質で形成して、表面だけを、あるいは紫外線を反射すべき反射面７１だけを、紫外線を反射する材質で形成してもよい。

ここで、図１に示すディスク基板載置装置４０のプレート５０を支持するプレート支持具５５について説明する。プレート支持具５５は、プレート５０を所定の位置に支持するための部材で、例えばターンテーブルであってもよい。プレート支持具５５には、プレート５０をはめ込む孔が形成されている。プレート５０は、典型的には、ガラス製であり、所定の位置に支持するために下から支える構造としている。すなわち、プレート５０の外周部分に下方が小径となる段差が設けられ、プレート支持具５５には、該段差を下から支えるプレート受け５６が形成されており、プレート支持具５５の孔に上からはめ込まれたプレート５０を支える。しかし、プレート５０の上方向への移動、振動を止める構造とはなっていない。そこで、反射板７０がプレート５０をプレート支持具５５のプレート受け５６とで挟んで上から押えることによりプレート５０の上方向への移動、振動を抑止する。すなわち、反射板７０を重量のある金属等で成形することで、重石としても用いる。

さらに、図２（ａ）に示すように、反射板７０には空気の流路７２、７３、７４が形成される。環状流路７２が、図２（ｂ）に示すように、反射板７０のドーナッツ形の形状に沿って、断面の下部に環状に形成される。環状流路７２から、ドーナッツ形の内側に通じ内側で開口する、すなわち環状流路７２からプレート５０方向に反射板７０を貫通する、空気ノズル７３が形成される。空気ノズル７３は複数形成され、反射板７０の中に配置されるディスク５等に向け周囲から空気を満遍なく供給するのが好ましく、例えば、３、４、６、８あるいはそれ以上の空気ノズル７３が形成される。また、反射板７０の外部から、すなわちドーナッツ形の外周側から環状流路７２に通ずる導入流路７４が形成される。すなわち、外部の空気供給手段９０〜９２から導入流路７４を通じて環状流路７２に空気が供給され、環状流路７２により反射板７０の全周に渡り空気が送られ、空気ノズル７３からディスク５、プレート５０に向け、空気が供給される。よって、空気ＣＡによる冷却がむらなく、かつ、迅速に行われる。なお、図２（ａ）では、環状流路７２は、反射板７０全周に渡って形成されているが、必ずしも全周に形成されず、導入流路７４と全ての空気ノズル７３とを連通していればよい。環状流路７２、空気ノズル７３および導入流路７４は、反射板７０の下面であってプレート５０あるいはプレート支持具５５上に接する面に形成された溝であってもよい。溝としても、プレート５０あるいはプレート支持具５５の平面との間でシールされ、空気を通す流路として作用する。空気の流路であるので、僅かなリークがあっても、大きな支障はない。環状流路７２、空気ノズル７３および導入流路７４を溝として形成すると、製造が容易となる。また、プレート５０の上面に沿った空気ＣＡの流れとなり、ディスク５がセンターピン６０により持ち上げられて保持されたときに、プレート５０に接するディスク基板１とプレート５０との間の隙間に空気ＣＡを供給することができるので、効率よい冷却が可能となる。すなわち、ディスク５によるプレート５０の温度上昇を防止するには、ディスク５全体を冷却せず、プレート５０に接する側のディスク基板１とプレート５０を冷却してもよい。

空気供給手段９０〜９２は、周知の冷却用空気ＣＡを供給する手段を用いることができる。例えば、エアコンプレッサ９１と、アキュムレータ９２と、アキュムレータ９２と導入流路７４とを連通する例えばホースなどの空気流路９０で構成すればよい。アキュムレータ９２を備えなくてもよいが、コンプレッサ９１で圧縮した空気が昇温している場合には、アキュムレータ９２に貯留し冷却するのがよい。あるいは、さらに冷却装置（不図示）を備え、ディスク基板１等に供給する空気ＣＡを常温以下に冷却してもよい。

以上説明したとおり、反射板７０を用いることにより、紫外線をディスク５の外周端面に反射して紫外線硬化樹脂を硬化させる効果に加え、プレート５０をプレート支持具５５上で安定させる効果、および、ディスク基板１、プレート５０を冷却する空気ＣＡを分散して周囲から供給し、むらなく迅速に冷却する効果が得られる。

ここで、図２（ａ）に示すように、空気ノズル７３は、ディスク基板１およびプレート５０の中心に向けて空気ＣＡを供給せず、斜めに供給するのが好ましい。すなわち、斜めに供給することにより、プレート５０に接するディスク基板１とプレート５０との間に形成された隙間で旋回流れを形成して、ディスク基板１およびプレート５０の全領域に満遍なく空気ＣＡを供給し、より均一に冷却する。なお、斜めに供給する角度は、ディスク基板１の大きさ、プレート５０に接するディスク基板１とプレート５０との隙間の大きさ、空気ノズル７３の断面、空気ＣＡの供給量等によって異なる。例えば、直径１２０ｍｍ、孔２の直径１５ｍｍのディスク５をプレート５０から２ｍｍ持ち上げて保持する場合に、断面積４．５ｍｍ^２の空気ノズルから噴出速度１００ｍ／秒の流速で空気ＣＡを供給する場合、半径方向から３０〜６０度程度、典型的には４５度斜めにするのが好適である。

続いて、図３をも参照して、本発明の第３の実施の形態としての紫外線照射装置２１について説明する。図３は、紫外線照射装置２１を説明する図で、（ａ）は４つのディスク基板載置装置４０をターンテーブル２０に備えた紫外線照射装置２１の上面図で、部分的にターンテーブル２０およびディスク基板載置装置４０を削除してその下の構造を示し、（ｂ）は紫外線ランプ９５を示す下面図である。４つのディスク基板載置装置４０は、同心円状に配置されている。紫外線照射装置２１では、ターンテーブル２０を９０度ずつ間欠的に回転することにより、ディスク基板載置装置４０は配置された同心円の円周方向に間欠的に円移動する。そして、ターンテーブル２０の停止している間に、紫外線照射装置２１と対向する位置Ａ（図３（ａ）の下の位置）のディスク基板載置装置４０に対し、紫外線を照射されたディスク５の取り出しと、新たなディスク５の載置とを行う。すなわち、ディスク５の取り出し、載置の間、ターンテーブル２０およびディスク基板載置装置４０が停止している。

新しい、すなわち、紫外線硬化樹脂が硬化していないディスク５をディスク基板載置装置４０に載置すると、ターンテーブル２０が回転する。なお、硬化していない紫外線硬化樹脂には、紫外線を少量だけ照射され半硬化した紫外線硬化樹脂を含む。ターンテーブル２０は、矢印Ｒで示すように時計回りに回転し、ディスク基板載置装置４０は位置Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの順に円移動する。ターンテーブル２０が回転することにより、ディスク５は紫外線照射ランプ９５の下部の位置Ｃに至る。図３（ｂ）の下面図に示すように、紫外線照射ランプ９５は、紫外線照射ランプカバー９６に覆われ、紫外線照射ランプカバー９６で反射され効率的にディスク５の紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する。図３（ｂ）では紫外線照射ランプ９５が３本並列に配置されているが、紫外線照射ランプ９５はこれに限らず、周知のものでよい。また、紫外線照射ランプカバー９６は、紫外線照射ランプ９５の上部を覆うだけではなく、ターンテーブル２０あるいは、それより下の位置までの側面を有し側面でも紫外線を反射するような紫外線ハウスとも称される構成とすることが好ましく、若しくは、その他の周知のものでよく、あるいは、備えていなくてもよい。

紫外線照射ランプ９５から紫外線が照射されることにより、ディスク５の紫外線硬化樹脂が硬化する。紫外線硬化樹脂は、硬化する際に発熱する。ディスク５の紫外線硬化樹脂が発熱すると、熱がディスク基板１に伝わり、さらにプレート５０に伝わる。すると、プレート５０に熱が蓄積し、プレート５０の温度が上昇する。プレート５０の温度が上昇していると、新たなディスク５をプレート５０上に載置した場合に、プレート５０に接するディスク基板１と、紫外線硬化樹脂を挟んで反対側に位置するディスク基板１との間で温度差を生ずることになる。この温度差のために、熱膨張差が生じ、ディスク５に反りが生じてしまうことがある。そこで、紫外線硬化樹脂が発熱しているディスク５をプレート５０から離間させる。なお、紫外線硬化樹脂が硬化するまでは、ディスク５は、プレート５０の平面上に載置し、平面を保つことが望ましい。

ディスク５をプレート５０から離間させるために、センターピン６０をプレート５０から突き出させる。図３（ａ）に示すように、ターンテーブル２０の回転により円移動するディスク基板載置装置４０のセンターピン６０の下に、第２の磁石８１を配列する。センターピン６０が第２の磁石８１の上方に到達すると、第１の磁石８０と第２の磁石８１との反発力によりセンターピン６０が上方に移動しプレート５０から突き出る。センターピン６０がプレート５０から突き出ることにより、前述のように、ディスク５がプレート５０から離間する。なお、ディスク５は紫外線硬化樹脂が硬化したならばできるだけ早くプレート５０から離間させるのが、プレート５０への熱伝導を阻止し、プレート５０の昇温を防止するのに好ましい。図３（ａ）では、ディスク基板載置装置４０が紫外線照射ランプカバー９６から出る位置（位置Ｄの僅かに手前）から、第２の磁石８１が配列されるように描かれているが、紫外線を受けて紫外線硬化樹脂が硬化した直後（位置Ｃの直後）からディスク５をプレート５０から離間するように、紫外線照射ランプカバー９６の下部にも第２の磁石８１が配列されてもよい。このように、第１の磁石８０と第２の磁石８１の反発力によりセンターピン６０をプレート５０から突き出させると、簡単な構造で、円移動しているディスク基板載置装置４０において、センターピン６０に非接触でプレート５０からセンターピン６０を突き出させることができ、さらにディスク基板載置装置４０が円移動している間にもセンターピン６０が摩擦の影響を受けず、好適である。また、第２の磁石８１の配置を変更することで、容易にセンターピン６０をプレート５０から突き出し、ディスク５をプレート５０から離間させる範囲を変更することができる。なお、第２の磁石８１は、磁石台８３上に配列されるのがよい。すなわち、紫外線照射装置２１のターンテーブル２０の下方に形成される底板９８とターンテーブル２０あるいは第１の磁石８０との間隔が広く、第１の磁石８０と第２の磁石８１との反発力ではセンターピン６０をプレート５０から突き出させるだけの力が得られにくいときには、第２の磁石８１を磁石台８３により第１の磁石８０に近づけ、反発力を増大する。

第２の磁石８１の上部を通過している間、センターピン６０により、ディスク５は上方に持ち上げられ、プレート５０から離間している。すなわち、ディスク５を所定の時間、所定の間隔だけプレート５０から離間した状態に保つ。その間に、空気供給手段９０〜９２から冷却用の空気ＣＡが供給され、反射板７０の空気ノズル７３から空気ＣＡがプレート５０とディスク５（ディスク基板１）との間に噴射される。空気ＣＡが流れることで、プレート５０にディスク５から熱が伝わっていても、熱が蓄積し温度上昇することが防止される。反射板７０からの空気ＣＡの噴射は、常時（ディスク５がプレート５０から離間していない間も）行われていてもいいし、ディスク５がプレート５０から離間している間だけ空気ＣＡが噴出されるように空気流路９０に弁（不図示）を設けてもよい。

さらに、紫外線照射装置２１の外部に送風機９７を備え、紫外線照射装置２１のターンテーブル２０上の全面、あるいは、紫外線照射ランプカバー９６とターンテーブル２０の間に、冷却用の空気を流してもよい。ターンテーブル２０上に空気の流れが生ずることにより、紫外線照射ランプ９５の紫外線の放射による昇温等を防止することができる。送風機９７の配置される位置は、所定の位置に空気を流すことができる位置であればよく、複数の送風機９７を備えてもよい。また、送風機９７としては、周知の送風機を用いることができ、あるいは、空気供給手段９０〜９２からの空気をノズルから噴出する構成としてもよい。空気供給手段９０〜９２の空気を用いると、エアコンプレッサ９１、アキュムレータ９２を共有でき、機器数を減らすことができるが、独立した送風機９７を備えると、市販の送風機を用いることができ、反射板７０から噴出する空気ＣＡとの圧力バランス等を考慮する必要がなく、簡単なシステムで済む。

ディスク５がセンターピン６０により持ち上げられ、空気ＣＡにより冷却されつつ、位置Ａに戻ろうとすると、センターピン６０の下方の磁石の極性が逆になる。すなわち、第３の磁石８２の上にセンターピン６０が至る。すると、第３の磁石８２は、第２の磁石８１と極性が逆であり、すなわち、第１の磁石８０との間で引張力を生じ、載置部６２がガイド部材５２の段差に支持されるまで下がり、センターピン６０は引っ込む。そこで、紫外線の照射を受けて紫外線硬化樹脂が硬化したディスク５は、紫外線照射装置２１から取り除かれ、次の新しいディスク５がプレート５０上に載置される。このように、ディスク５の載置をする位置Ａで第３の磁石８２によりセンターピン６０を引っ込めることにより、その後に載置されるディスク５０がプレート６０の平面上に確実に載置される。なお、第３の磁石８２は備えられていなくてもよく、その場合には、センターピン６０は、第２の磁石８１が下方に配列されていない位置に到達すると、第１の磁石８０と第２の磁石８１との反発力がなくなるので、自重により降下して引っ込む。自重がセンターピン６０を降下させるのに充分ではないときには、バネなどでセンターピン６０を下方に付勢しておいてもよい。その際には、第１の磁石８０と第２の磁石８１との反発力は、センターピン６０とディスク５の重量に加え付勢力にも抗して、センターピン６０をプレート５０から突き出させるだけの力を有するようにする。

図４に、第１の磁石８０以外の手段でセンターピン６０をプレート５０から突き出させる構成例を示す。図４（ａ）は、センターピン支持突起８４でセンターピン６０を押し上げる例、（ｂ）はソレノイド８５でセンターピン６０を上方向に移動させる例を示す。図４（ａ）に示す例では、センターピン６０のスライド部６３をプレート５０の下面に突出するように長く形成する。そして、センターピン６０をプレート５０から突き出させディスク５をプレート５０から離間させる位置に、センターピン６０が位置する下部に、センターピン支持突起８４を形成する。センターピン支持突起８４は、スライド部６３の下端と当接することにより、センターピン６０を押し上げる。センターピン支持突起８４の構造は周知の構造でよいが、スライド部６３がターンテーブル２０の回転につれて円移動するときに、スライド部６３の下端との間に生ずる摩擦力が小さい方が好ましく、スライド部６３の下端と当接する上面は摩擦係数の小さな素材で滑らかに形成されることが好ましい。センターピン支持突起８４によりセンターピン６０を押し上げプレート５０から突き出させることにより、簡単な構造で確実にディスク５をプレート６０から離間することができる。

図４（ｂ）に示す例では、ソレノイド８５を利用してセンターピン６０を上方向に移動しプレート５０から突き出させる。センターピン６０が挿入される孔の周囲のプレート５０からソレノイド８５が垂下される。ソレノイド８５の可動部材８６がセンターピン６０と結合され、ソレノイド８５には不図示の電源から電圧が印加される。そして、センターピン６０をプレート５０から突き出させ、ディスク５をプレート５０から離間させるタイミングにおいて、ソレノイド８５の可動部材８６を上方に移動するように電圧を印加し、センターピン６０を引っ込めるタイミングで可動部材８６を下方に移動するように電圧を印加する。なお、ここでいう「電圧を印加する」には、印加していた電圧をゼロとする場合を含む。このようにソレノイド８５でセンターピン６０をプレート５０から突き出させて、ディスク５をプレート５０から離間することにより、ターンテーブル２０の回転によるディスク基板載置装置４０あるいはセンターピン６０の位置に関わらず適切なタイミングでセンターピン６０の上下移動をすることにより、ディスク５をプレート６０から離間し、また、センターピン６０を引っ込めることができる。

続いて、図５を参照して、本発明の第４の実施の形態としてのディスク製造装置１００について説明する。図５は、ディスク製造装置１００の構成を説明する平面図である。ディスク製造装置１００は、ディスク基板１（図１参照）をターンテーブル１１の受け部１１ａに載置するディスク載置アーム１０と、受け部１１ａに載置されたディスク基板１を処理工程に送るターンテーブル１１と、受け部１１ａに載置されたディスク基板１を上下反転させる反転装置１２と、ディスク基板１の孔２の周囲に紫外線硬化樹脂３（図６参照）を塗布する樹脂供給装置１３と、紫外線硬化樹脂３を塗布されたディスク基板１にディスク基板１’（図６参照）を重ねるディスク重ね合わせ装置１４と、紫外線硬化樹脂３が塗布されてディスク基板１、１’が重ね合わされたディスク５をターンテーブル１１からスピンナ１６Ａ、１６Ｂに、また、スピンナ１６Ａ、１６Ｂから受け台１８に移載する移載装置１５と、ディスク５を孔２を中心に回転し紫外線硬化樹脂３を展延するスピンナ１６Ａ、１６Ｂとを備える。ここで、スピンナ１６Ａ、１６Ｂが２系列備えられているのは、スピンナ１６Ａ、１６Ｂでのディスク５の回転に時間が掛かるので２系列とし、ディスク製造装置１００全体としての作業効率を向上するためである。スピンナ１６Ａ、１６Ｂは２系列でなく１系列としてもよく、あるいは３系列以上としてもよい。１系列とすればディスク製造装置１００が単純化、小型化、あるいは軽量化される。なお、以降、２系列のスピンナを区別するときには、スピンナ１６Ａ、１６Ｂと記載するが、区別しないときには、スピンナ１６と記載する。

ディスク製造装置１００はさらに、紫外線硬化樹脂３（図６参照）が展延されたディスク５を一時載置する受け台１８と、ディスク５を受け台１８から紫外線照射装置２１のターンテーブル２０に、また、ターンテーブル２０からターンテーブル２２に移載する移載装置１９と、ディスク５に再度紫外線を照射して紫外線硬化樹脂３を完全に硬化させ、前述のように紫外線硬化樹脂が硬化するときに発生する熱の影響を受けないディスク基板載置装置１（図１参照）を有する紫外線照射装置２１と、ディスク５を反転装置２３および除電装置２４に移動するターンテーブル２２と、ディスク５を上下反転する反転装置２３と、ディスク５を除電する除電装置２４と、ディスク５をターンテーブル２２から検査装置２６に、また検査装置２６から昇降ステージ２７に移載する移載装置２５と、ディスク５を検査する検査装置２６と、ディスク５を移載装置２８の高さにまで上昇させる昇降ステージ２７と、ディスク５を昇降ステージ２７から良品テーブル２９および不良品テーブル３０に移載する移載装置２８と、検査で良品とされたディスク５を積載する良品テーブル２９と、検査で不良品とされたディスク５を積載する不良品テーブル３０とを備える。

ディスク基板１とディスク基板１’とはそれぞれ異なる溝が形成され、別々にターンテーブル１１の傍に仮置きされている。ディスク基板１とディスク基板１’とは交互に、ディスク載置アーム１０により、溝が形成された面を上面としてターンテーブル１１の受け部１１ａに載置される。ディスク載置アーム１０は、溝が形成された面に接触することなく、孔２を内側からあるいは外縁を外側から把持して、ディスク基板１、１’を受け部１１ａに載置する。

ターンテーブル１１は、１２台の受け部１１ａを備えている。受け台の数は１２台に限定されないが、１２台であるとターンテーブル１１が３０度ずつ間欠的に回転することにより、順次同じ位置となるので、好適である。受け部１１ａは、中央部が空間になっていて、その周辺が円環状に窪んで、その窪み上にディスク基板１を載置する。受け部１１ａの円環状の窪みは、ターンテーブル１１の外周側で切り開かれており、外に開いている。このように外側が開いていることにより、後述する反転装置１２のアームを受け部１１ａに載置されたディスク基板１あるいは１’の下面側に挿入することができる。

反転装置１２は、受け部１１ａに載置されたディスク基板１’の上下面を反転させる装置で、２枚のディスク基板１、１’を重ね合わせるときに溝が形成された面を内側に挟むようにするために、ターンテーブル１１の各受け部１１ａに１つおきに載置されたディスク基板１’を上下反転する。反転装置１２では、アームの先端でディスク基板１’を把持し、受け部１１ａから持ち上げた後、アームが軸周りに１８０度回転することにより、ディスク基板１’の上下面を反転し、再度受け部１１ａ上に載置する。なお、反転装置１２は、ターンテーブル１１に載置される前のディスク基板１’を上下反転するように、ターンテーブル１１とは別に設置されてもよい。

樹脂供給装置１３は、ディスク基板１の孔２の周囲に円環状に紫外線硬化樹脂３を塗布する。ディスク製造装置１００では、２枚のディスク基板１、１’を貼り合わせるので、紫外線硬化樹脂３としては液状の接着剤としての紫外線硬化樹脂が用いられる。樹脂供給装置１３は、紫外線硬化樹脂３を供給するノズル１３ａが孔２の周囲の円周上を移動することにより、紫外線硬化樹脂３を円環状に塗布するが、ノズル１３ａが固定されていて、ディスク基板１がゆっくりと回転してもよい。紫外線硬化樹脂３は、ディスク反転装置１２で上下面が反転されていないディスク基板１上に塗布される。すなわち、ディスク基板１の溝が形成された面に塗布される。また、樹脂供給装置１３は、ターンテーブル１１に載置される前のディスク基板１に紫外線硬化樹脂３を塗布するように、ターンテーブル１１とは別に設置されてもよい。

ディスク重ね合わせ装置１４は、ディスク反転装置１２で上下面が反転されたディスク基板１’を吸着保持し、隣の受け部１１ａに載置されたディスク基板１の上に重ね合わせる装置である。

移載装置１５は、重ね合わせられたディスク基板１、１’（紫外線硬化樹脂３が広げられてはいないが、ディスク５と称する）をターンテーブル１１の受け台１１ａからスピンナ１６Ａ、１６Ｂに移載し、また、１６Ａ、１６Ｂから受け台１８に移載する。そのために、互いに直行する３本のアームを有し、受け台１１ａからスピンナ１６Ａにディスク５を移載すると同時に、スピンナ１６Ａから受け台１８にディスク５を移載し、受け台１１ａからスピンナ１６Ｂにディスク５を移載すると同時に、スピンナ１６Ｂから受け台１８にディスク５を移載できる構造となっている。そこで、受け台１１ａ、スピンナ１６Ａ、受け台１８およびスピンナ１６Ｂとは、この順で反時計回りに円周上で互いに９０度離れた位置に配置されている。移載装置１５は２本のアームで２つのディスク５を同時に移載する構造としてもよいが、３本のアームを有することにより、ディスク５を移載するための回転角を小さくすることができる。また、４本のアームを有する構造とすれば、元の位置に戻す動作を省略できるので、さらに移載装置の回転角を小さくすることができる。

スピンナ１６は、ディスク５を高速で回転させ紫外線硬化樹脂３をディスク５に満遍なく展延する（広げる）装置である。なお、紫外線硬化樹脂３は孔２の周囲には展延されないのが一般的である。

受け台１８は、２つのスピンナ１６Ａ、１６Ｂで樹脂が展延されたディスク５を一箇所に仮置きする台である。受け台１８に一時載置されたディスク５は、移載装置１９によりターンテーブル２０に移載される。移載装置１９は、所定の角度で開いた２本のアームを有し、２本のアームを回転することによりディスク５を受け台１８からターンテーブル２０に、ターンテーブル２０から次のターンテーブル２２に同時に移載することができる。すなわち、受け台１８とターンテーブル２０のディスク５を載置・搬出する位置と、受け台２２のディスク５を載置する位置とは、移載装置１９のアームの回転中心を中心とした円弧上で等間隔に配置される。ターンテーブル２０に載置されたディスク５は、前述の通りに紫外線照射装置２１により紫外線を照射され、紫外線硬化樹脂が硬化する。その際に、紫外線硬化樹脂が硬化するときに発生する熱の影響を受けないディスク基板載置装置１（図１参照）を紫外線照射装置２１が有するので、紫外線硬化樹脂が硬化するときの熱によりディスク５が反ってしまうことが防止できる。

ターンテーブル２２は、４台の受け部が設置され、９０度ずつ間欠的に回転する。ターンテーブル２２が回転することにより、ディスク５は反転装置２３および除電装置２４に順次送られる。反転装置２３は、反転装置１２と同様の構造をしており、後に行われる検査工程の関係で必要な場合に、選択的にディスク５の上下面を反転する。そのために、ターンテーブル２２の受け部は外側が開いた構造としている。除電装置２４は、イオン化した空気を吹き出し、ディスク５の表面に付着したホコリなどを除去する装置である。

ホコリなどを除去されたディスク５は、移載装置２５により、ターンテーブル２２から検査装置２６に移載される。移載装置２５は、所定の角度で開いた２本のアームを有し、２本のアームを回転することによりディスク５をターンテーブル２２から検査装置２６に、検査装置２６から次の昇降ステージ２７に同時に移載することができる。すなわち、ターンテーブル２２からディスク５を取り外す位置と、検査装置２６の位置と、昇降ステージ２７の位置とは、移載装置２５のアームの回転中心を中心とした円弧上で等間隔に配置される。

検査装置２６は、ディスク５を載置し、載置したディスク５の下面側からディスク５の検査を行う。検査は、例えば、ディスク基板１、１’の傷の有無、２枚のディスク基板１、１’の位置関係のずれ、紫外線硬化樹脂３の一様な広がり、ディスク５の反りなどである。検査を終えたディスク５は、移載装置２５により、昇降ステージ２７に移載される。昇降ステージ２７は、これまでの工程が行われる高さと、製品を搬出する高さとの間を昇降するステージを有する。すなわち、ディスク製造装置１００では、製品としてのディスク５を上方から搬出し、以降の工程に送りやすくしている。昇降ステージ２７は、ディスク５を載置すると上昇し、ディスク５が移載装置２８の吸着面（不図示）に接触するまで上昇する。移載装置２８は、１本の旋回するアームを有し、アームの先端下面にはディスク５を吸着する吸着面を有する。ディスク５をアーム先端の吸着面で吸着し、そのアームを旋回することにより、ディスク５を検査の結果により、検査結果が合格のものは良品テーブル２９に、検査結果が不合格のものは不良品テーブル３０に移載する。良品テーブル２９は、８台の受け部を有し、４５度ずつ間欠的に回転して、製品としてのディスク５を１枚ずつ各受け部に載置する。不良品テーブル３０は、検査結果が不合格であり、製品として使用できないディスク５を置くスペースで、ディスク５は積み重ねられてもよく、積み重ねやすいように、ディスク５の外周を支えるガイドを設けてもよい。

ディスク製造装置１００が、紫外線照射を受け紫外線硬化樹脂３が発熱しているディスク５の孔２の周囲を支持し、プレート５０から突き出ることによりプレート５０から離間してディスク５を保持するセンターピン６０を有する紫外線照射装置２１を備えるので、ディスク５の反り等が防止され、製品ディスクの不合格率が低く、信頼性の高いディスク製造装置１００となる。

次に、図６を参照して、本発明の第５の実施の形態としてのディスク製造方法について説明する。図６は、２枚のディスク基板１、１’を貼り合わせたディスク５の製造方法を説明する模式図である。まず、ディスク基板１の孔２の周囲に樹脂供給装置１３から紫外線硬化樹脂３を環状に供給する（ステップＳ２１）。紫外線硬化樹脂３が供給されたディスク基板１に、紫外線硬化樹脂３を挟んでディスク基板１’を重ねる（ステップＳ２２）。そこで、ディスク基板１、１’を高速回転して、紫外線硬化樹脂３を広げる（ステップＳ２３）。ここで、紫外線硬化樹脂３を広げるとは、２枚のディスク基板１、１’を接着し易いようにディスク基板１、１’間に紫外線硬化樹脂３を満遍なく展延することをいうが、孔２の周囲には紫外線硬化樹脂３が展延されないのが一般的である。

紫外線硬化樹脂３が広げられたならば、ディスク基板１、１’をプレート５０上に載置する。なお、ディスク基板１あるいはディスク基板１、１’ をプレート５０上に載置した後に、紫外線硬化樹脂３を供給する工程（ステップＳ２１）、ディスク基板１、１’を高速回転して紫外線硬化樹脂３を広げる工程(ステップＳ２３）をプレート５０を用いて行ってもよい。プレート５０上に載置したディスク基板１、１’間の紫外線硬化樹脂３に紫外線照射ランプ９５より紫外線を照射する（ステップＳ２４）。紫外線硬化樹脂３が硬化したならば、センターピン６０で孔２の周囲を支持してディスク５を持ち上げ、保持する（ステップＳ２５）。紫外線硬化樹脂３が硬化した後にディスク５を持ち上げるので、製造されたディスク５が反った状態で製造されることがない。そして、紫外線硬化樹脂３が硬化するときに生ずる熱は、ディスク５をプレート５０から離間することで、プレート５０へ伝わらず、プレート５０が昇温すること、すなわち、紫外線硬化樹脂３が硬化するときの発熱の影響をプレート５０に及ぼすことを防止できる。

ディスク５を持ち上げた後に、冷却用の空気ＣＡをプレート５０とディスク５の間に供給すれば、紫外線硬化樹脂３の硬化による熱が迅速に冷却され、また、紫外線硬化樹脂３が硬化する間にプレート５０に伝わった僅かな熱も除去されるので、好ましい。また、孔２の周囲には紫外線硬化樹脂３が広がっていないため、孔２の周囲は紫外線硬化樹脂３の硬化による発熱の影響を受けず、孔２の周囲でディスク５を支持するセンターピン６０に発熱の影響は及ばない。ディスク５の熱がプレート５０に影響しない程度に温度低下するまで、ディスク５を持ち上げた状態に保つ。その後に、センターピン６０を引っ込めてディスク５をプレート５０に再度載置し、ディスク５をプレート５０から撤去する。

これまでは、ディスク基板１に紫外線硬化樹脂３を供給して、２枚目のディスク基板１’を重ねて、ディスク基板１、１’を紫外線硬化樹脂３にて接着して製造するディスク５を製造するときの紫外線照射による発熱について説明してきたが、１枚のディスク基板１上に紫外線硬化樹脂３を保護膜として塗布し、硬化させる場合においても、ディスク基板１をプレート５０から離間させることにより、紫外線硬化樹脂３の硬化する際の発熱の影響を防止することが可能である。

図７は、１枚のディスク基板１上に保護膜を有するディスク６の製造方法を説明する模式図である。まず、ディスク基板１の孔２の周囲に樹脂供給装置１３から紫外線硬化樹脂３を環状に供給する（ステップＳ１１）。紫外線硬化樹脂３が供給されたディスク基板１を高速回転して、紫外線硬化樹脂３を広げる（ステップＳ１２）。ここで、紫外線硬化樹脂３を広げるとは、ディスク基板１の記録面上を覆うように紫外線硬化樹脂３を満遍なく展延することをいうが、孔２の周囲には紫外線硬化樹脂３が展延されないのが一般的である。

紫外線硬化樹脂３が広げられたならば、ディスク基板１をプレート５０上に載置する。なお、ディスク基板１ をプレート５０上に載置した後に、紫外線硬化樹脂３を供給する工程（ステップＳ１１）、ディスク基板１を高速回転して紫外線硬化樹脂３を広げる工程(ステップＳ１２）をプレート５０を用いて行ってもよい。プレート５０上に載置したディスク基板１上の紫外線硬化樹脂３に紫外線照射ランプ９５より紫外線を照射する（ステップＳ１３）。紫外線硬化樹脂３が硬化したならば、センターピン６０で孔２の周囲を支持してディスク６を持ち上げ、保持する（ステップＳ１４）。紫外線硬化樹脂３が硬化した後にディスク６を持ち上げるので、製造されたディスク６が反った状態で製造されることがない。そして、紫外線硬化樹脂３が硬化するときに生ずる熱は、ディスク６をプレート５０から離間することで、プレート５０へ伝わらず、プレート５０が昇温すること、すなわち、紫外線硬化樹脂３が硬化するときの発熱の影響をプレート５０に及ぼすことを防止できる。

ディスク６を持ち上げた後に、冷却用の空気ＣＡをプレート５０とディスク６の間に供給すれば、紫外線硬化樹脂３の硬化による熱が迅速に冷却され、また、紫外線硬化樹脂３が硬化する間にプレート５０に伝わった僅かな熱も除去されるので、好ましい。また、孔２の周囲には紫外線硬化樹脂３が広がっていないため、孔２の周囲は紫外線硬化樹脂３の硬化による発熱の影響を受けず、孔２の周囲でディスク６を支持するセンターピン６０に発熱の影響は及ばない。ディスク６の熱がプレート５０に影響しない程度に温度低下するまで、ディスク６を持ち上げた状態に保つ。その後に、センターピン６０を引っ込めてディスク６をプレート５０に再度載置し、ディスク６をプレート５０から撤去する。

以上の説明では、ディスク基板１の発熱は、紫外線硬化樹脂３の硬化による反応熱によるものとして説明したが、樹脂の種類は紫外線硬化樹脂に限られず、２液混合による樹脂、その他の樹脂でもよく、また、ディスク基板１の発熱は、樹脂の硬化による反応熱以外により生じる場合であっても、本発明に係るディスク基板載置装置４０は有効である。

ディスク基板載置装置の構成並びにディスク基板載置装置の周囲に配置された反射板およびプレート支持具の構成を説明するための断面図であり、紫外線照射装置の一部としての実施例で示している。 反射板を説明するための図で、（ａ）は空気供給手段から供給された空気を反射板で周囲からディスク基板の方向に供給する構成を示す反射板の概念図で、（ｂ）は（ａ）のｂ−ｂ断面における拡大断面図である。 紫外線照射装置を説明する図で、（ａ）は４つのディスク基板載置装置をターンテーブルに備えた紫外線照射装置の上面図で、部分的にターンテーブルおよびディスク基板載置装置を削除してその下の構造を示し、（ｂ）は紫外線ランプを示す下面図である。 磁石以外の手段でセンターピンを上方向に移動させる構成例を示す部分断面図で、（ａ）はセンターピン支持突起でセンターピンを押し上げる例、（ｂ）はソレノイドでセンターピンを上方向に移動させる例を示す。 ディスク製造装置の構成を説明する平面図である。 ２枚のディスク基板を貼り合わせたディスクの製造方法を説明する模式図である。 １枚のディスク基板上に保護膜を有するディスクの製造方法を説明する模式図である。

符号の説明

１、１’ ディスク基板
２ 孔
３ 紫外線硬化樹脂
５、６ 光ディスク
１０ ディスク載置アーム
１１ ターンテーブル
１１ａ、ｂ 受け部
１２ 反転装置
１３ 樹脂供給装置
１３ａ 供給ノズル
１４ ディスク重ね合わせ装置
１５ 移載装置
１６（１６Ａ、１６Ｂ） スピンナ（ディスク回転装置）
１６ａ 受け台
１６ｂ 回転軸
１６ｃ 回転駆動装置
１８ 受け台
１９ 移載装置
２０ ターンテーブル
２１ 紫外線照射装置
２２ ターンテーブル
２３ 反転装置
２４ 除電装置
２５ 移載装置
２６ 検査装置
２７ 昇降ステージ
２８ 移載装置
２９ 良品テーブル
３０ 不良品テーブル
４０ ディスク基板載置装置
５０ プレート
５２ ガイド部材
５５ プレート支持具
５６ プレート受け
６０ センターピン
６１ 導入部
６２ 載置部
６３ スライド部
７０ 反射板
７１ 反射面
７２ 環状流路
７３ 空気ノズル
７４ 導入流路
８０ 第１の磁石
８１ 第２の磁石
８２ 第３の磁石
８３ 磁石台
８４ センターピン支持突起
８５ ソレノイド
８６ 可動部材
９０ 空気流路（空気供給手段）
９１ エアコンプレッサ（空気供給手段）
９２ アキュムレータ（空気供給手段）
９５ 紫外線照射ランプ
９６ 紫外線照射ランプカバー
９７ 送風機
９８ （紫外線照射装置の）底板
１００ ディスク製造装置
ＣＡ 冷却用の空気
Ｒ ターンテーブルの回転方向
ＵＶ 紫外線

Claims (9)

1. 中心に孔が形成されたディスク基板であって紫外線を照射して硬化させると発熱する紫外線硬化樹脂が塗布された該ディスク基板を載置する平面を有するプレートと、前記プレートから突き出ることにより前記ディスク基板の前記孔の周囲を支持して前記プレート上に載置された前記ディスク基板を前記プレートから離間して保持し、引っ込んだ状態では前記ディスク基板が前記プレートに載置されるセンターピンと、を有するディスク基板載置装置と；
   前記紫外線硬化樹脂が塗布された前記ディスク基板に紫外線を照射する紫外線照射ランプとを備え；
   前記プレート上に載置されている前記ディスク基板に塗布された前記紫外線硬化樹脂が硬化した後から、前記ディスク基板と前記プレートとが再度接触しても前記プレートを有意に温度上昇させなくなるまでの所定の時間、前記センターピンを前記プレートから突き出して前記ディスク基板を前記プレートから離間した状態に保つように構成された；
   紫外線照射装置。
2. 前記ディスク基板載置装置を同心円状に複数備え；
   前記複数のディスク基板載置装置を前記同心円の円周方向に円移動するターンテーブルをさらに備える；
   請求項１に記載の紫外線照射装置。
3. 前記センターピンが第１の磁石を有し；
   前記第１の磁石と反発する磁力を生ずる第２の磁石が、前記ターンテーブルのため円移動する前記ディスク基板載置装置のセンターピンの軌道に沿って、前記ターンテーブルの下に配置され；
   前記ディスク基板載置装置の円移動に伴い、前記センターピンが前記第２の磁石の上を移動すると、前記第１の磁石と前記第２の磁石との反発する磁力により前記センターピンが前記プレートから突き出る；
   請求項２に記載の紫外線照射装置。
4. 前記第２の磁石と極性が反対の第３の磁石が、前記ターンテーブルのため円移動する前記ディスク基板載置装置のセンターピンの軌道に沿って、前記ターンテーブルの下に配置され；
   前記ディスク基板載置装置の円移動に伴い、前記センターピンが前記第３の磁石の上を移動することにより、前記プレートから突き出た前記センターピンが引っ込む；
   請求項３に記載の紫外線照射装置。
5. 前記ターンテーブルが、前記同心円の円周方向への間欠的な円移動により、前記プレートに載置された前記ディスク基板が前記紫外線照射ランプにより紫外線が照射される位置と、前記プレートに対して前記ディスク基板の取り出しおよび載置が行われる位置と、で前記プレートが停止するように構成され；
   前記プレートに載置された前記ディスク基板が前記紫外線照射ランプの下部の位置で前記センターピンを突き出し、前記プレートに対して前記ディスク基板の取り出しおよび載置が行われる位置で前記センターピンを引っ込めるように構成された；
   請求項２ないし請求項４のいずれか１項に記載の紫外線照射装置。
6. 前記プレートに載置された前記ディスク基板の周囲を囲み、前記紫外線照射ランプから照射される紫外線を前記ディスク基板の方向に反射する反射板を備え；
   前記ディスク基板載置装置が、前記プレートを支持するプレート支持具を有し；
   前記反射板は、前記プレートを前記プレート支持具とで挟み、前記ディスク基板の周りで環状に空気の流れる環状流路と、前記環状流路から前記ディスク基板の方向に該反射板を貫通する少なくとも一つの空気ノズルと、前記環状流路に空気を導入する導入流路とが形成され；
   前記導入流路に空気を供給する空気供給手段をさらに備える；
   請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の紫外線照射装置。
7. 前記ディスク基板に紫外線硬化樹脂を供給する樹脂供給装置と；
   請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の紫外線照射装置とを備える；
   ディスク製造装置。
8. 請求項７に記載のディスク製造装置にディスク基板を供給する工程と；
   前記ディスク基板に、前記樹脂供給装置により紫外線硬化樹脂を供給する工程と；
   前記供給された紫外線硬化樹脂に前記紫外線照射装置で紫外線を照射し、前記紫外線硬化樹脂を硬化する工程と；
   前記ディスク基板に塗布された前記紫外線硬化樹脂が硬化した後に前記センターピンを前記プレートから突き出し、前記ディスク基板と前記プレートとが再度接触しても前記プレートを有意に温度上昇させなくなるまでの所定の時間前記紫外線硬化樹脂が硬化したディスク基板を前記プレートから離間して保持する工程とを備える；
   ディスク製造方法。
9. ディスク基板に紫外線硬化樹脂を供給する工程と；
   前記ディスク基板をプレート上に載置する工程と；
   前記プレート上に載置されたディスク基板上の前記紫外線硬化樹脂に紫外線を照射し、前記紫外線硬化樹脂を硬化する工程と；
   前記プレート上に載置されたディスク基板の前記紫外線硬化樹脂が硬化した後から、前記ディスク基板と前記プレートとが再度接触しても前記プレートを有意に温度上昇させなくなるまでの所定の時間、硬化による発熱で温度上昇したディスク基板を前記プレートから持ち上げて保持する工程とを備える；
   ディスク製造方法。

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