JP4081098B2 - 光ディスクの製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Description
サセプターユニットの停止位置には、インデックステーブル17の回転方向に沿って、スタンパー4の供給ステージ、スタンパー4の貼り合せステージ、及び上述した転写装置が順次配置されている。
Claims (4)
- 所定の放射線によって硬化する特性を有する樹脂層が一面上に形成された略平板状の基板における前記樹脂層であって表面張力によって当該層の厚みが変化しないように仮硬化が為された前記樹脂層の表面に、所定の形状が形成された一方の面を有し前記所定の放射線を透過可能なスタンパーにおける前記一方の面を貼り付け、前記樹脂層を完全に硬化させて前記所定の形状を前記樹脂層表面に転写する光ディスクの製造装置であって、
前記基板の裏面と当接して前記基板を支持する基板支持部を有し、前記基板支持部の周囲を取り囲む平坦面上にシール部材が配置されるサセプターと、
前記シール部材に当接可能な環状端面を有する略筒形状の本体部と、前記本体部の延在方向に垂直に配置されて前記筒形状の内部を閉鎖する前記所定の放射線を透過可能な板状の透明部材とを有する上部チャンバーと、
前記透明部材を挟んで前記本体部における前記サセプターと反対側となる位置に配置され、前記透明部材及び前記スタンパーを介して前記樹脂層に前記所定の放射線を照射する放射線照射装置と、
前記本体部、前記透明部材、前記サセプター及び前記シール部材及び前記スタンパーにより形成され密閉空間に対して不活性ガスの導入を行うガス導入系と、を有し、
前記サセプターは、前記基板における略平板面に垂直な方向に移動可能であり、
前記スタンパーにおける前記所定の形状の前記仮硬化された樹脂層への転写は、前記ガス導入系から前記密閉空間に対して導入される前記不活性ガスによって前記密閉空間内の圧力を高め、前記密閉空間内の圧力によって前記スタンパーを前記樹脂層に対して押圧することによって為され、
前記透明部材は前記密閉空間内の圧力を高めた際にこれに抗し得る耐圧強度を有することを特徴とする光ディスクの製造装置。 - 前記サセプターは所定の軸を中心として間欠的に回転可能なインデックステーブル上に、前記所定の軸を中心に所定の角度をおいて複数配置されており、前記放射線照射装置及び前記ガス導入系が付随した前記上部チャンバーは前記インデックステーブル上の所定の位置であって当該位置に配置される前記サセプターテーブルの上方に配置され、前記サセプターは、前記サセプターテーブルの下方であって前記上部チャンバーと対応する位置に配置された上下機構によって前記基板における略平板面に垂直な方向に移動可能であることを特徴とする請求項1に記載の光ディスクの製造装置。
- 前記所定の放射線は紫外線であり、前記透明部材は耐圧石英ガラスからなることを特徴とする請求項1に記載の製造装置。
- 所定の放射線によって硬化する特性を有する樹脂層が一面上に形成された略平板状の基板における前記樹脂層であって表面張力によって当該層の厚みが変化しないように仮硬化が為された前記樹脂層の表面に、所定の形状が形成された一方の面を有し前記所定の放射線を透過可能なスタンパーにおける前記一方の面を貼り付け、前記樹脂層を完全に硬化させて前記所定の形状を前記樹脂層表面に転写する光ディスクの製造方法であって、
前記基板の裏面と当接して前記基板を支持する基板支持部を有し、前記基板支持部の周囲を取り囲む平坦面上にシール部材が配置されるサセプターの前記基板支持部上に前記スタンパーが上面となるように前記スタンパーが貼り付けられた前記基板を載置し、
前記シール部材に当接可能な環状端面を有する略筒形状の本体部と前記本体部の延在方向に垂直に配置されて前記筒形状の内部を閉鎖する前記所定の放射線を透過可能な板状の透明部材とを有し、前記透明部材を挟んで前記本体部における前記サセプターとは反対側となる位置に配置された放射線照射装置が配置された上部チャンバーの下方に前記基板が載置された前記サセプターを移動させ、
前記筒形状の内部に開口部側に不活性ガスを導入して当該内部の空間の酸素濃度を予め低下させ、
前記サセプターを前記本体部に接近させて前記シール部材を前記環状端面に当接させて、前記本体部、前記透明部材、前記サセプター及び前記シール部材からなる密閉空間を形成し、
前記不活性ガスの導入を密閉空間形成後も連続して行い、前記密閉空間内の圧力を高くして当該圧力によるスタンパーの前記仮硬化された樹脂層への押圧を行わせて前記所定の形状の転写を行い、
前記放射線照射装置より、前記透明部材及び前記スタンパーを介して前記樹脂層に前記放射線を照射して前記所定の形状が転写された状態にある前記仮硬化された前記樹脂層を完全硬化させることを特徴とする光ディスクの製造方法。
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JP2005087811A JP4081098B2 (ja) | 2005-03-25 | 2005-03-25 | 光ディスクの製造装置及び製造方法 |
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