JP2003099985A - 薄型基板の貼合装置と光ディスクの製造装置及び光ディスク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】貼り合わせられるディスクの反りや変形を矯正
し、連続運転した場合も常に安定した貼合光ディスク等
を製造する。 【解決手段】紫外線硬化型接着剤を介在した下基板２と
上基板３を保持するディスク保持部３１に設けた保持台
３３で下基板２と上基板３を吸着して保持し、下基板２
と上基板３の反りや変形を矯正する。この保持台３３の
温度をディスク保持部３１に設けた冷却媒体循環部３８
で一定温度に維持し、紫外線を含む光を照射したときに
生じる熱により薄型基板が膨張したり変形することを防
ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば光ディス
ク基板やシート・フイルム等の薄型基板の貼合装置と光
ディスクの製造装置及び光ディスク、特に反りや変形の
防止に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、大情報量のリームーバブルメディ
アの需要の増大に伴い、従来のＣＤの６〜８倍程度の記
憶容量を有するＤＶＤの需要が高まっている。このＤＶ
Ｄは片面に情報記録層を設けた0.6ｍｍ厚の薄型ディス
クを光透光性を有する他の薄型ディスクに張り合わせて
１枚の貼合光ディスクとしている。この２枚の薄型ディ
スクを貼り合わせる接着剤には，ホットメルト接着剤や
紫外線硬化樹脂，遅効性紫外線硬化樹脂，両面粘着シー
ト等があるが、コストならびに品質の面からアクリル系
紫外線硬化樹脂が多く使用されている。

【０００３】この貼合光ディスクの製造方法は、例えば
特開平５−２０７１４号公報に示すように、水平に設置
した保持台の上に載置した情報記録層を有する薄型ディ
スク上に、ディスペンサにより紫外線硬化樹脂を内周端
面から約１０ｍｍの位置に円周状に塗布し、この上に保
護用のディスクを重ね合わせ、保持台を回転して紫外線
硬化樹脂を外周側に広げ、紫外線硬化樹脂が外周端面か
ら約５ｍｍの位置まで広がった時点で保持台の回転を停
止し、紫外線硬化樹脂が表面張力により内外周端面まで
広がるまで保持し、その後、紫外線を照射して紫外線硬
化樹脂を硬化させて２枚の薄型ディスクを貼り合わせる
ようにしている。

【０００４】ＤＶＤは情報記録層を有するディスクは厚
さが0.6ｍｍと薄いため、単板での機械強度が弱く、自
重でその端部が100μｍほど変形する。特に、書換可能
な記録媒体を製造する場合は、この薄いディスク上に厚
さ数100ｎｍの無機系の薄膜層を形成し、さらに無機系
薄膜層の保護層として、数μｍ〜10数μｍの紫外線硬化
樹脂膜を塗布して硬化させたり、プラスティック基板の
帯電と傷防止用の厚さ数μｍの紫外線硬化樹脂膜を塗布
・硬化させたり、書換可能な記録層を結晶化させるため
にレーザー光を照射すると、ディスクの反りが大きく変
化する。このように種々の工程を経て作られたディスク
単板の反りは最大で１ｍｍにもおよぶことがある。した
がって上記特開平５−２０７１４号公報に示された製造
方法で書換可能な光ディスクを製造しても反り規格を満
たすことはできなかった。

【０００５】この光ディスクの反りを解消する製造方法
が、例えば特開平９−２６２９０７号公報や特開平１０
-１１８２０号公報，特開平１０-１９９０５３号公報に
開示されている。特開平９−２６２９０７号公報に示さ
れた製造方法は、２枚の基板を貼り合わせるにあたっ
て、紫外線硬化樹脂を挟んだ２枚のディスクを石英ガラ
スからなるディスク保持部材で保持し、２枚のディスク
を貼り合わせた後の厚さが全体に亘って一定の所定厚さ
になるまで保持部材で押圧し、その後、保持部材による
保持を解放して紫外線を照射し紫外線硬化樹脂を硬化さ
せて、ディスクを矯正するようにしている。

【０００６】また、特開平１０-１１８２０号公報や特
開平１０-１９９０５３号公報に示された製造方法は、
２枚のディスクを貼り合わせるに当たり、紫外線硬化樹
脂を挟んだ２枚のディスクを２枚の平坦な石英ガラスで
挟み込んで押圧しながら紫外線を照射して紫外線硬化樹
脂を硬化させるようにしている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】特開平９−２６２９０
７号公報に示されたように、２枚のディスクを貼り合わ
せた後の厚さが一定の所定厚さになるまで保持部材で押
圧し、その後、保持部材による保持を解放して紫外線を
照射して紫外線硬化樹脂を硬化させる方法では、貼合前
のディスクの反りが比較的小さいものには有効でって
も、反りが数100μｍを越えるディスクを貼り合わせる
場合は、保持部材の保持を解放から紫外線照射までの時
間をできるだけ短くしてもディスクの反りが戻ってしま
うため、反りを完全に矯正することは不可能である。そ
の対策として紫外線硬化樹脂の接合力を高くすると、紫
外線硬化樹脂の粘度が上昇して約50μｍの所望の厚さに
均一に塗布することが極めて困難であるとともに紫外線
硬化樹脂のリサイクルが困難になる。

【０００８】また、特開平１０-１１８２０号公報や特
開平１０-１９９０５３号公報に示された方法では、２
枚のディスクの間に紫外線硬化樹脂を挟み込み、スピナ
ーにより紫外線硬化樹脂を展延させた後に石英ガラスで
押圧するため、ディスクの外周部から紫外線硬化樹脂が
はみ出して石英ガラスに付着して異物となる。この付着
した異物のために貼り合わせ光ディスクの品質も低下す
る。また、紫外線硬化樹脂が石英ガラスに付着したまま
紫外線照射するため、石英ガラスとディスクが接着され
てしまうというトラブルが発生し、装置の稼働率が著し
く低下してしまう。

【０００９】さらに、石英ガラスとディスクの平面精度
が高いため、石英ガラスとディスク間で真空吸着現象が
発生し易い。これを解消するために、石英ガラスとディ
スク間に真空破壊用空気を送り込む方法も考えられる
が、その場合、石英ガラスに空気流路を設けなければな
らず、この空気流路により紫外線照射量にムラが発生し
てしまい、反りを矯正しようとして別の反り要因因子を
作りだしてしまう。

【００１０】この発明はかかる短所を改善し、貼り合わ
せられるディスクの反りや変形を矯正し、連続運転した
場合も常に安定した貼合光ディスク等を製造することが
できる薄型基板の貼合装置と光ディスクの製造装置及び
光ディスクを提供することを目的とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明に係る薄型基板
の貼合装置は、上下２枚の薄型基板の間に紫外線硬化型
接着剤を介在し、紫外線を含む光を照射して接着剤を硬
化させて２枚の薄型基板を貼合わせる薄型基板の貼合装
置において、紫外線硬化型接着剤を介在した２枚の薄型
基板を保持する基板保持部に設けた保持台で薄型基板を
吸着して保持し、薄型基板の反りや変形を矯正する。こ
の薄型基板を保持する保持台の温度を基板保持部に設け
た冷却部で一定温度に維持して、紫外線を含む光を照射
したときに生じる熱により薄型基板が膨張したり変形す
ることを防ぐ。

【００１２】この発明に係る第２の薄型基板の貼合装置
は、紫外線硬化型接着剤を介在した２枚の薄型基板を吸
着する保持台と、紫外線を含む光を照射して接着剤を硬
化させて貼り合わせた薄型基板を取り出した後の保持台
の表面に接触して保持台の温度を一定温度に冷却する冷
却装置を有することを特徴とする。

【００１３】この発明に係る第３の薄型基板の貼合装置
は、紫外線硬化型接着剤を介在した２枚の薄型基板を吸
着し、投入ポジションと紫外線を含む光を照射する照射
ポジションと貼り合わせた薄型基板を排出する排出ポジ
ションの間を移動する保持台と、排出ポジションと投入
ポジションとの間の保持台の移動経路に設けられ、保持
台の表面に接触して保持台の温度を一定温度に冷却する
冷却装置を有することを特徴とする。

【００１４】また、紫外線硬化型接着剤を介在した２枚
の薄型基板を吸着する保持台を基板保持部に設けた冷却
部で一定温度に維持するとともに、照射ポジションで紫
外線を含む光を照射して保持台に伝熱した熱を排出ポジ
ションと投入ポジションとの間の保持台の移動経路に設
けられた冷却装置で放熱して、薄型基板を吸着する保持
台を常に一定温度に維持するとともに保持台の冷却時間
を短縮する。

【００１５】上記排出ポジションと投入ポジションとの
間の保持台の移動経路で測定した保持台の温度に応じて
冷却装置の温度を可変して投入ポジションに送られる保
持台を一定の温度に維持することが望ましい。

【００１６】また、冷却装置の保持台との接触面に熱伝
導性の高い弾性体シートを設け、冷却装置を保持台の表
面全体に密着させて保持台を均一に冷却すると良い。

【００１７】この発明の光ディスクの製造装置は、上記
薄型基板の貼合装置を有し、基板の反りや変形を矯正し
て光ディスクを製造することを特徴とする。

【００１８】この発明の光ディスクは、上記光ディスク
の製造装置で製造し、経時変化により反りや変形が生じ
ることを防止したことを特徴とする。

【００１９】

【発明の実施の形態】図１はこの発明の構成を示す平面
図である。貼合光ディスクのディスク基板を貼り合わせ
る貼合装置１は、図２の断面図に示すように、情報記録
層を有するディスク基板（以下、下基板という）２と透
光性を有するディスク基板（以下、上基板という）３を
接着層４で貼り合わせて貼合光ディスク５を形成するも
のであり、下基板２を投入するための下基板投入ステー
ジ６と、上基板３を投入するための上基板投入ステージ
７と、クリーニングユニット８，９と接着剤塗布ユニッ
ト１０と反転ユニット１１と重ね合せユニット１２と振
切りスピナー１３と接合ユニット１４及び搬送アーム１
５,１６,１７を有する。

【００２０】下基板投入ステージ６と上基板投入ステー
ジ７はインデックステーブル１８と、インデックステー
ブル１８に設けられた複数、例えば３組の基板保持部１
９を有する。クリーニングユニット８，９はスピナー２
０と除電手段を有するクリーナ２１を有する。接着剤塗
布ユニット１０はディスクテーブル２２と接着剤塗布装
置２３を有する。反転ユニット１１は外周チャック２４
を有し180度回動する反転装置２５を有する。重ね合せ
ユニット１２はインデックステーブル２６と、インデッ
クステーブル２６に設けられた複数、例えば３組の基板
保持部２７と、接着剤塗布ユニット１０側に設けられた
搬送アーム２８と、反転ユニット１１側に設けられた搬
送アーム２９を有する。接合ユニット１４は回転テーブ
ル３０と、図３の回転テーブルの平面図に示すように、
回転テーブル３０に設けられた例えば４組のディスク保
持部３１と紫外線照射装置３２を有する。搬送アーム１
５は下基板投入ステージ６にセットされた下基盤２をク
リーニングユニット８を介して接着剤塗布ユニット１０
に移載し位置決めしてセットする。搬送アーム１６は上
基板投入ステージ７にセットされた上基盤３をクリーニ
ングユニット９を介して反転ユニット１１に送る。搬送
アーム１７は重ね合せユニット１２で重ね合わされた下
基板２と上基板３を振切りスピナー１３に移載し位置決
めしてセットするとともに振切りスピナー１３から接合
ユニット１４の投入ポジションＡに位置決めされたディ
スク保持部３１に移載し位置決めしてセットする。この
搬送アーム１７が回動して位置決めする接合ユニット１
４の位置が投入ポジションＡとなり、回転テーブル３０
の回転方向の投入ポジションＡの下流側に照射ポジショ
ンＢと排出ポジションＣ及び待機ポジションＤが設けら
れ、紫外線照射装置３２は照射ポジションＢのディスク
保持部３１の上部に設けられている。

【００２１】回転テーブル３０に設けられたディスク保
持部３１は、図４の断面図に示すように、熱伝導率が例
えば14.4kcal/mhＣのＳＵＳ４２０Ｊ２で形成された保
持台３３と、保持台３３の中心部を保持する支持軸３４
と、断熱材例えばポリアセタール等で形成され保持台３
３の外周部を保持する断熱アダプタ３５とを有する。保
持台３３には下面から上面に貫通する複数の吸着孔３６
が設けられ、支持軸３４には、吸引装置に接続され、保
持台３４の吸着孔３６に連通する吸引孔３７が設けられ
ている。保持台３３の下面と断熱アダプタ３５の上面と
の間には冷却媒体循環部３８が設けられ、断熱アダプタ
３５には冷却媒体循環部３８に連通する冷却媒体供給孔
３９と冷却媒体排出孔４０を有する。

【００２２】この貼合装置１で下基板２と上基板３を貼
り合わせるときは、まず、下基板２を、接着層５を形成
する面を上に向けて下基板投入ステージ６に位置決めし
て配置し、上基板３を貼合面を下に向けて上基板投入ス
テージ７に位置決めして配置する。この下基板投入ステ
ージ６にセットされた下基板２は搬送アーム１５により
クリーニングユニット８に送られ、クリーニングユニッ
ト８で除電されて接着層５を形成する面がクリーニング
される。このクリーニングされた下基板２は搬送アーム
１５により接着剤塗布ユニット１０に移載される。接着
剤塗布ユニット１０は移載された下基板２の接着層５を
形成する面に紫外線硬化樹脂を塗布する。紫外線硬化樹
脂が塗布された下基板２は、重ね合せユニット１２の搬
送アーム２８により重ね合せユニット１２の基板投入ポ
ジションＡの基板保持部２７に移載される。基板保持部
２７に下基板２が移載されると、インデックステーブル
２２が、図１に示すように、反時計方向に一定角度、例
えば120度回動して下基板２を上基板載置ポジションＦ
に移動する。

【００２３】一方、上基板投入ステージ７にセットされ
た上基板３は搬送アーム１６によりクリーニングユニッ
ト９に送られ、クリーニングユニット９で除電されて貼
合面がクリーニングされる。このクリーニングされた上
基板３は搬送アーム１６により反転ユニット１１に送ら
れ、反転ユニット１１により上下の面が反転される。こ
の反転した上基板３は、重ね合せユニット１２の搬送ア
ーム２９により重ね合せユニット１２に送られ、基板保
持部２７に保持されている下基板２に紫外線硬化樹脂を
挟んで重ね合わせられる。上基板３が重ね合わせられる
と、その自重により紫外線硬化樹脂が展延し始める。こ
の状態でインデックステーブル２２を反時計方向に一定
角度回動して紫外線硬化樹脂を挟んで重ね合わせた下基
板２と上基板３を基板送出ポジションＧに移動する。こ
の重ね合わせた下基板２と上基板３は搬送アーム１７に
より基板送出ポジションＧから振切りスピナー１３に移
載し、振切りスピナー１３を高速回転して下基板２と上
基板３の間に展延した紫外線硬化樹脂の中で余剰の分を
下基板２と上基板３の外周部から外部へ振切って除去
し、下基板２と上基板３の間に所定の膜厚の接着層５を
形成する。この振り切られた余剰の紫外線硬化樹脂はハ
ウジングケース内にて下部に集められて外部に排出され
る。

【００２４】振切りスピナー１３で所定の膜厚の接着層
５を形成すると、接着層５を挟んで重ね合わせた下基板
２と上基板３は搬送アーム１７により接合ユニット１４
の投入ポジションＡにあるディスク保持部３１の保持台
３３に移載される。投入ポジションＡにあるディスク保
持部３１の保持台３３に下基板２と上基板３が移載され
ると、ディスク保持部３１の支持軸３４に設けた吸引孔
３７から真空吸引して下基板２と保持台３３の間にある
空気を保持台３３に設けた吸着孔３６から吸引して下基
板２の全面を保持台３３に均等に真空吸着する。この真
空吸着により、下基板２が有している多少の変形や反り
が矯正されてその全面が保持台３３に均等に密着するこ
とができる。この下基板２を保持するディスク保持部３
１は、あらかじめ断熱アダプタ３５に設けた冷却媒体供
給孔３９から冷却媒体循環部３８に水や油，空気等の冷
却媒体を供給し、供給した冷却媒体を冷却媒体排出孔４
０から排出して、冷却媒体を冷却媒体循環部２３８に循
環して保持台３３を一定温度に維持している。この状態
で回転テーブル３０を90度回転して、重ね合わせた下基
板２と上基板３を保持しているディスク保持部３１を照
射ポジションＢに移動し、図４に示すように、紫外線照
射装置３２から紫外線を照射して接着層５を形成してい
る紫外線硬化樹脂を硬化して下基板２と上基板３を貼り
合わせて貼合光ディスク５を形成する。この紫外線を照
射するときに、照射する紫外線に含まれる熱線成分によ
る輻射熱や紫外線硬化樹脂の反応熱などの複合熱は下基
板２を通して保持台３３に伝熱する。この保持台３３に
伝わった熱は冷却媒体循環部３８を循環している冷却媒
体に伝えられ外部に排出される。したがって保持台３３
を常に一定の温度に維持することができ、紫外線を照射
して接着層５を形成している紫外線硬化樹脂を硬化して
いるときに発生する複合熱により下基板２や上基板３に
微小な膨張や温度勾配が生じることを防ぐことができ
る。したがって全面にわたり反りや変形のない貼合光デ
ィスク５を安定して形成することができるとともに、貼
り合わせ後に、下基板２や上基板３に生じる微小な膨張
や温度勾配によって時間の経過とともに生じる反りや変
形を防ぐことができる。また、ディスク保持部３１の断
熱アダプタ３５を例えば熱伝導率が0.2kcal/mhＣと小さ
いポリアセタール等で形成して、紫外線照射時に発生す
る複合熱が回転テーブル３０に伝わることを防ぐことも
できる。

【００２５】照射ポジションＢで紫外線を照射して接着
層５を形成する紫外線硬化樹脂を硬化して貼合光ディス
ク５を形成した後、回転テーブル３０を90度回動して照
射ポジションＢにあるディスク保持部３１を排出ポジシ
ョンＣに移動し、貼合光ディスク５を保持台３３に吸着
している真空吸引を解除する。この真空吸着が解除され
た貼合光ディスク５をハンドリング手段により保持台３
３から取り出して次工程に搬送する。排出ポジションＣ
で貼合光ディスク５が取り出されると、回転テーブル３
０を90度回転して、ディスク保持部３１を待機ポジショ
ンＤに移動する。この待機ポジションＤに移動したディ
スク保持部３１の保持台３３を冷却媒体循環部３８に循
環している冷却媒体で一定温度に冷却することにより、
投入ポジションＡに移動するディスク保持部３１の保持
台３３を常に一定の温度に維持することができる。

【００２６】前記説明では回転テーブル３０に設けたデ
ィスク保持部３１に保持台３３を冷却する冷却媒体循環
部３８を設け、冷却媒体循環部３８を循環する冷却媒体
により保持台３３を一定温度に冷却する場合について説
明したが、回転テーブル３０の待機ポジションＤに冷却
装置を設けて、回転テーブル３０に設けた各ディスク保
持部３１の保持台３３を一定温度に冷却しても良い。

【００２７】例えば、図５の構成図に示すように、例え
ば冷却媒体を循環して冷却したりあるいはペルチェ効
果，クーリングファン等により冷却する冷却器４１と、
冷却器４１の冷却部に取り付けられた冷却プレート４２
と、冷却プレート４２の表面に貼られた弾性体シート４
３と、冷却プレート４２の温度を検出する冷却部温度セ
ンサ４４とで冷却ユニット４５を構成し、この冷却ユニ
ット４５と、冷却ユニット４５を昇降する昇降装置４６
で冷却装置４７を構成し、この冷却装置４７を回転テー
ブル３０の待機ポジションＤの上部に配置し、ディスク
保持部３１が排出ポジションＣから待機ポジションＤに
移動する経路の上部に非接触型の保持台温度センサ４８
を配置する。この冷却装置４７の温度調節装置５０に
は、図６のブロック図に示すように計測部５１と制御部
５２を有する。計測部５１には保持台温度センサ４８か
らの出力により保持台３３の温度を計測する保持台温度
計測部５３と、冷却器温度センサ４４からの出力により
冷却プレート４５の温度を計測する冷却部温度計測部５
４を有し、制御部５２には保持台温度計測部５３で検出
した保持台３３の温度から保持台３３の保有熱量を算出
する熱量演算部５５と、熱量演算部５５で演算した保持
台３３の保有熱量と冷却部温度計測部５４で検出した冷
却プレート４２の温度により冷却器４１の温度を制御す
る温度制御部５６を有する。

【００２８】そして回転テーブル３０を一定タイミング
で回動しながら、投入ポジションＡでディスク保持部３
１の保持台３３に、接着層５を挟んで重ね合わされた下
基板２と上基板３を真空吸着し、照射ポジションＢで紫
外線を照射して接着層５を構成する紫外線効果樹脂を硬
化して貼合光ディスク５を形成し、形成した貼合光ディ
スク５を排出ポジションＣから取り出した後、ディスク
保持部３１を排出ポジションＣから待機ポジションＤに
移動する。ディスク保持部３１が待機ポジションＤに移
動すると、昇降装置４６により冷却ユニット４５を下降
させ、弾性体シート４３を保持台３３の表面に接触させ
て、紫外線照射により保持台３３に伝えられた熱を冷却
プレート４４に吸収して保持台３３を冷却する。この保
持台３３を冷却するときに、保持台３３から熱を吸収す
る冷却ユニット４５の表面に弾性体シート４３を設けて
あるから、冷却ユニット４５を下降して保持台３３と接
触させたとき、片当たりで接触することを防ぐことがで
き、保持台３３全体を均一に冷却することができる。ま
た、保持台３３の熱を弾性体シート４３を介して冷却プ
レート４４で吸収するから、弾性体シート４３は熱伝導
率が例えば1.5Ｗ／ｍＫ以上と大きな材料、例えば(株)
ジェルテック社のゲルシート等を使用すると良い。

【００２９】この保持台３３を冷却するとき、ディスク
保持部３１を排出ポジションＣから待機ポジションＤに
移動しているときに、保持台温度計測部５３は保持台温
度センサ４８からの出力により保持台３３の温度を計測
して熱量演算部５５に送る。熱量演算部５５は送られた
保持台３３の温度とあらかじめ設定された保持台３３の
容量と材質とから、そのとき保持台３３が保有している
熱量を演算し、演算した熱量を温度制御部５６に送る。
一方、冷却部温度計測部５４は冷却ユニット４５を下降
して保持台３３に接触させているとき、冷却部温度セン
サ４４からの出力により保持台３３との接触部の温度を
計測して温度制御部５６に送る。温度制御部５６は待機
ポジションＤに移動した保持台３３が保有している熱量
と、冷却ユニット４５と保持台３３との接触部の温度及
びタクトタイムから冷却器４１の冷却温度を制御して保
持台３３を一定温度に冷却する。このようにして、紫外
線照射により保持台３３に伝えられた熱を待機ポジショ
ンＤで放熱することにより、投入ポジションＡに移動し
て重ね合わせた下基板２と上基板３を搭載する保持台３
３を常に一定の温度に維持することができる。ここで冷
却ユニット４５で保持台３３を冷却する最低冷却温度
は、貼合装置１がおかれている環境の露点以上の温度に
すると良い。このように最低冷却温度を露点以上の温度
にすることにより、冷却された保持台３の表面が結露す
ることを防ぐことができ、下基板２と上基板３を貼り合
わせるときに悪影響が生じることを防ぐことができる。

【００３０】また、保持台３３を冷却媒体循環部３８を
循環する冷却媒体で一定温度に維持するとともに、照射
ポジションＢで紫外線を照射して保持台３３に伝熱した
熱を待機ポジションＤで冷却装置４７により放熱するよ
うにしても良い。このように保持台３３を冷却媒体で一
定温度に維持するとともに、照射ポジションＢで紫外線
を照射して保持台３３に伝熱した熱を待機ポジションＤ
で冷却装置４７により放熱することにより、保持台３３
を常に一定温度に維持するとともに冷却装置４７による
冷却時間を短縮することができ、作業能率を高めること
ができる。

【００３１】前記説明では、保持台３３に下基板２を真
空吸着して、下基板２の反りや変形を矯正した場合につ
いて説明したが、静電吸着等により、保持台３３に下基
板２を吸着して下基板２の反りや変形を矯正するように
しても良い。

【００３２】

【発明の効果】この発明は以上説明したように、紫外線
硬化型接着剤を介在した２枚の薄型基板を保持する基板
保持部に設けた保持台で薄型基板を吸着して保持し、薄
型基板の反りや変形を矯正することにより、貼り合わせ
た基板に反りや変形が生じることを防止して平坦な貼り
合せ基板を製造することができる。

【００３３】また、薄型基板を保持する保持台の温度を
基板保持部に設けた冷却部で一定温度に維持することに
より、紫外線を含む光を照射したときに生じる熱により
薄型基板が膨張したり変形することを防ぎ、貼り合わせ
た基板に、経時変化による反りや変形が生じることを防
止することができる。

【００３４】さらに、紫外線を含む光を照射して接着剤
を硬化させて貼り合わせた薄型基板を取り出した後の保
持台の表面に冷却装置を接触させて保持台の温度を一定
温度に冷却することにより、紫外線を含む光の照射を繰
り返しても保持台に熱が蓄積することを防ぐことがで
き、反りや変形が生じない貼り合せ基板を安定して税像
することができる。

【００３５】また、薄型基板を吸着した保持台を、投入
ポジションと紫外線を含む光を照射する照射ポジション
と貼り合わせた薄型基板を排出する排出ポジションの間
を移動させ、排出ポジションと投入ポジションとの間の
保持台の移動経路で冷却装置を保持台の表面に接触して
保持台の温度を一定温度に冷却することにより、薄型基
板を吸着する保持台を投入ポジションで常に一定の温度
に維持することができ、貼り合わせた基板に反りや変形
が生じることを防止するとともに貼り合わせた基板に、
経時変化による反りや変形が生じることを防止すること
ができる。

【００３６】さらに、排出ポジションと投入ポジション
との間の保持台の移動経路で測定した保持台の温度に応
じて冷却装置の温度を可変することにより、投入ポジシ
ョンに送られる保持台を、常に一定の温度に維持するこ
とができる。

【００３７】また、冷却装置の保持台との接触面に熱伝
導性の高い弾性体シートを設けることにより、冷却装置
を保持台の表面全体に密着させて保持台を均一に冷却す
ることができ、冷却した保持台に温度ムラが生じること
を防ぐことができる。

【００３８】また、光ディスクの製造装置に、上記薄型
基板の貼合装置を有し、基板の反りや変形を矯正して光
ディスクを製造することにより、反りや変形がなく、か
つ経時変化による反りや変形が生じない良質な光ディス
クを安定して製造することができる。

【００３９】さらに、この光ディスクの製造装置で製造
した光ディスクは、経時変化によって反りや変形が生じ
ないから、情報を安定して記録，再生することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の構成を示す平面図である。

【図２】貼合光ディスクの構成を示す断面図である。

【図３】接合ユニットの回転テーブルの構成を示す平面
図である。

【図４】接合ユニットのディスク保持部の構成を示す断
面図である。

【図５】接合ユニットの冷却装置の構成図である。

【図６】冷却装置の温度調節装置の構成を示すブロック
図である。

【符号の説明】 １；貼合装置、２；下基板、３；上基板、４；接着層、
５；貼合光ディスク、６；下基板投入ステージ、７；上
基板投入ステージ、８，９；クリーニングユニット、１
０；接着剤塗布ユニット、１１；反転ユニット、１２；
重ね合せユニット、１３；振切りスピナー、１４；接合
ユニット、１５，１６，１７；搬送アーム、３０；回転
テーブル、３１；ディスク保持部、３２；紫外線照射装
置、３３；保持台、３４；支持軸、３５；断熱アダプ
タ、３６；吸着孔、３７；吸引孔、３８；冷却媒体循環
部、３９；冷却媒体供給孔、４０；冷却媒体排出孔、４
１；冷却器、４２；冷却プレート、４３；弾性体シー
ト、４４；冷却部温度センサ、４５；冷却ユニット、４
６；昇降装置、４７；冷却装置、４８；保持台温度セン
サ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 慎司 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 植本 浩紀 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 Ｆターム(参考） 5D121 AA07 FF03 FF09 FF13 FF18 GG02 GG20 JJ02 JJ03 JJ04

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下２枚の薄型基板の間に紫外線硬化型
   接着剤を介在し、紫外線を含む光を照射して接着剤を硬
   化させて２枚の薄型基板を貼合わせる薄型基板の貼合装
   置において、 紫外線硬化型接着剤を介在した２枚の薄型基板を保持す
   る基板保持部に、薄型基板を吸着する保持台と、保持台
   の温度を一定温度に維持する冷却部を有することを特徴
   とする薄型基板の貼合装置。
2. 【請求項２】 上下２枚の薄型基板の間に紫外線硬化型
   接着剤を介在し、紫外線を含む光を照射して接着剤を硬
   化させて２枚の薄型基板を貼合わせる薄型基板の貼合装
   置において、 紫外線硬化型接着剤を介在した２枚の薄型基板を吸着す
   る保持台と、紫外線を含む光を照射して接着剤を硬化さ
   せて貼り合わせた薄型基板を取り出した後の保持台の表
   面に接触して保持台の温度を一定温度に冷却する冷却装
   置を有することを特徴とする薄型基板の貼合装置。
3. 【請求項３】 上下２枚の薄型基板の間に紫外線硬化型
   接着剤を介在し、紫外線を含む光を照射して接着剤を硬
   化させて２枚の薄型基板を貼合わせる薄型基板の貼合装
   置において、 紫外線硬化型接着剤を介在した２枚の薄型基板を吸着
   し、投入ポジションと紫外線を含む光を照射する照射ポ
   ジションと貼り合わせた薄型基板を排出する排出ポジシ
   ョンの間を移動する保持台と、排出ポジションと投入ポ
   ジションとの間の保持台の移動経路に設けられ、保持台
   の表面に接触して保持台の温度を一定温度に冷却する冷
   却装置を有することを特徴とする薄型基板の貼合装置。
4. 【請求項４】 上下２枚の薄型基板の間に紫外線硬化型
   接着剤を介在し、紫外線を含む光を照射して接着剤を硬
   化させて２枚の薄型基板を貼合わせる薄型基板の貼合装
   置において、 紫外線硬化型接着剤を介在した２枚の薄型基板を吸着す
   る保持台と、保持台の温度を一定温度に維持する冷却部
   を有し、投入ポジションと紫外線を含む光を照射する照
   射ポジションと貼り合わせた薄型基板を排出する排出ポ
   ジションの間を移動する基板保持部と、排出ポジション
   と投入ポジションとの間の基板保持部の移動経路に設け
   られ、基板保持部の保持台の表面に接触して保持台の温
   度を一定温度に冷却する冷却装置を有することを特徴と
   する薄型基板の貼合装置。
5. 【請求項５】 上記排出ポジションと投入ポジションと
   の間の保持台の移動経路で測定した保持台の温度に応じ
   て冷却装置の温度を可変する請求項３又は４記載の薄型
   基板の貼合装置。
6. 【請求項６】 上記冷却装置の保持台との接触面に熱伝
   導性の高い弾性体シートを設けた請求項２，３，４又は
   ５記載の薄型基板の貼合装置。
7. 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれかに記載の薄型
   基板の貼合装置を有することを特徴とする光ディスクの
   製造装置。
8. 【請求項８】 請求項６に記載の光ディスクの製造装置
   で製造したことを特徴とする光ディスク。