JPS60120666A - 高電圧高周波パルス発生装置 - Google Patents
高電圧高周波パルス発生装置Info
- Publication number
- JPS60120666A JPS60120666A JP58228973A JP22897383A JPS60120666A JP S60120666 A JPS60120666 A JP S60120666A JP 58228973 A JP58228973 A JP 58228973A JP 22897383 A JP22897383 A JP 22897383A JP S60120666 A JPS60120666 A JP S60120666A
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- JP
- Japan
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- output
- circuit
- voltage
- circuits
- signal
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の分野
本発明はレーザープリンタ等における光変調器にｊｌｊ
いる高電圧パルス発生装置に関する。
いる高電圧パルス発生装置に関する。
従来技術
従来静電写真式プリンクとかレーザープリンタ等におけ
る光変調器にＣ（］ −Ｔ ｅなとの電気光学結晶を用
いると高い周波数の変調が可能であるが、結晶に電界を
印加するのに例えば５ Ｋ Ｖ程度の高電圧パルスを必
要とするので、パルス周波数として１０ＵＫＨｚ〜１Ｍ
Ｈｚ程度の高速で変調する場合、このような高電圧パル
スの電圧を細かく階段状］こ変化さぜるのは容易でな（
、写真や絵画のように階調のある原画の複写またはブリ
ーン計には不；Ｉ６１当て゛あった。
る光変調器にＣ（］ −Ｔ ｅなとの電気光学結晶を用
いると高い周波数の変調が可能であるが、結晶に電界を
印加するのに例えば５ Ｋ Ｖ程度の高電圧パルスを必
要とするので、パルス周波数として１０ＵＫＨｚ〜１Ｍ
Ｈｚ程度の高速で変調する場合、このような高電圧パル
スの電圧を細かく階段状］こ変化さぜるのは容易でな（
、写真や絵画のように階調のある原画の複写またはブリ
ーン計には不；Ｉ６１当て゛あった。
目的
本発明は上述したような高周波かつ高電圧のパ可能な光
変調を可能にしようとするものである。
変調を可能にしようとするものである。
（１６成
本発明しこ、ｉＩ”、′（ま第］図Ｉこ示ず、Ｌう１こ
、＝１ノビュータＣ等から転送さね、イ）−γ−−−ク
パルスイ言シ」（−人力とし、へカイゼＳ、 ｒ、 ｔ
：’＆ ５ν１する１１ビットコードをツｖ♂換して２
ｎ個の出力端子中の１ヒソＩ、 ＋＋、 ＋＋ １１
’ ａ出力するテコータ回路、３と、このテコ・−タ゛
出力”；ｌ′１：手中′１゛ゝカＮ）っているヒラＩ−
よりも下位のヒツト全部を１°ｔ ” ｔｒ変換するよ
う１こし１こ変換回路４を設りン）と共１（、ｉｒ、ｉ
列に２１〕個接）１．”１）さ第１．て各出ノＪをタイ
オード加算回路９に接ｊ；／ｌｊさオ］、１こＩＩ−流
定宙；圧回路７１．７２． ・ −１こぞ旧そλ′１，
７ビ市圧出力をオンオフ制ｆ卸司−るスイッチツク素子
８１．Ｓ２． ・・・・・を設り、−１Ｌ記々掻・回路
４の名出力により、こオ］５らのスイッチツク素子を制
縄するよう１こし７、そ第１によって」二記タイオード
加算回路９の出力端子に上記人力１言１に対応した大き
さの高１ｕ圧パルスか出ツバｕ１；子１０に出力される
ようｔｖ （、’ｉｊ ｌｊＶ したものである。
、＝１ノビュータＣ等から転送さね、イ）−γ−−−ク
パルスイ言シ」（−人力とし、へカイゼＳ、 ｒ、 ｔ
：’＆ ５ν１する１１ビットコードをツｖ♂換して２
ｎ個の出力端子中の１ヒソＩ、 ＋＋、 ＋＋ １１
’ ａ出力するテコータ回路、３と、このテコ・−タ゛
出力”；ｌ′１：手中′１゛ゝカＮ）っているヒラＩ−
よりも下位のヒツト全部を１°ｔ ” ｔｒ変換するよ
う１こし１こ変換回路４を設りン）と共１（、ｉｒ、ｉ
列に２１〕個接）１．”１）さ第１．て各出ノＪをタイ
オード加算回路９に接ｊ；／ｌｊさオ］、１こＩＩ−流
定宙；圧回路７１．７２． ・ −１こぞ旧そλ′１，
７ビ市圧出力をオンオフ制ｆ卸司−るスイッチツク素子
８１．Ｓ２． ・・・・・を設り、−１Ｌ記々掻・回路
４の名出力により、こオ］５らのスイッチツク素子を制
縄するよう１こし７、そ第１によって」二記タイオード
加算回路９の出力端子に上記人力１言１に対応した大き
さの高１ｕ圧パルスか出ツバｕ１；子１０に出力される
ようｔｖ （、’ｉｊ ｌｊＶ したものである。
第１図において、例えはテコ−〃、）に１１ Ｉ Ｏ］
なるデイジクルイ罠日が入力されると欽換回路４の出力
端子は下から数えて５番目までの各出力が１ｉ １１１
となる。変換回路４の出力端子の出力が“】′になると
、対応するスイッチツク素子Ｓがオンとなる。今−舌下
のスイッチング素子Ｓまたけがオン［７た場合を考える
と、出力端子１０には−附１ミの１１」流室゛屯圧回路
７］の出力電圧が現れる。
なるデイジクルイ罠日が入力されると欽換回路４の出力
端子は下から数えて５番目までの各出力が１ｉ １１１
となる。変換回路４の出力端子の出力が“】′になると
、対応するスイッチツク素子Ｓがオンとなる。今−舌下
のスイッチング素子Ｓまたけがオン［７た場合を考える
と、出力端子１０には−附１ミの１１」流室゛屯圧回路
７］の出力電圧が現れる。
ＳＬ、Ｓ２．Ｓ３がオンとなると端子１０の出力ｒｌＬ
圧は定電圧回路７］〜７３の各出力を直列加算し１こ゛
電圧となり、定電１」二回路７１．７２と出力端子１０
との間はタイオード加算回路９を構成するタイオードに
逆方向゛電圧がか５ることになって、７］、７２と端子
１０との間は遮断される。以下同様の作用によって伺爪
目までのスイッチング素子がオンとされるかによってそ
の分だけの直流定’（１（−ｉ圧回路の出力か加算され
て最終的ｆｊパルス信号の振幅となる。出力をパルス状
にする方法は例えはスイッチツク素子５１．Ｓ２・・・
・をオンオフさせる（Ｍ ”５をパルス信号によって開
閉するゲートを通して夫々のスイッチング素子に伝達さ
ぜる方法）こよる。
圧は定電圧回路７］〜７３の各出力を直列加算し１こ゛
電圧となり、定電１」二回路７１．７２と出力端子１０
との間はタイオード加算回路９を構成するタイオードに
逆方向゛電圧がか５ることになって、７］、７２と端子
１０との間は遮断される。以下同様の作用によって伺爪
目までのスイッチング素子がオンとされるかによってそ
の分だけの直流定’（１（−ｉ圧回路の出力か加算され
て最終的ｆｊパルス信号の振幅となる。出力をパルス状
にする方法は例えはスイッチツク素子５１．Ｓ２・・・
・をオンオフさせる（Ｍ ”５をパルス信号によって開
閉するゲートを通して夫々のスイッチング素子に伝達さ
ぜる方法）こよる。
実施例
第２図；こ本発明の一実施例を示す。１は４ビツトの制
皿入力端子で図外のコノピ１−り′；Ｇから転送さｔし
てくろ４ビツトのデータ仁「Ｊが入力され、チー・クセ
レクタ２（機能は後述、今に［単に４ビット人力をその
ま＼４ビット出力とずろイ）の）を介してテコーダ回路
、３の入力端子１こ印加さ；ｌ’Ｌ ’Ｃいる。
皿入力端子で図外のコノピ１−り′；Ｇから転送さｔし
てくろ４ビツトのデータ仁「Ｊが入力され、チー・クセ
レクタ２（機能は後述、今に［単に４ビット人力をその
ま＼４ビット出力とずろイ）の）を介してテコーダ回路
、３の入力端子１こ印加さ；ｌ’Ｌ ’Ｃいる。
デコー々゛回路３は４ピントのバイナリコードを１６ス
テツプの信号に変換するもので、例えは第、３ＩＩこ示
すように４ビット人力悟号か０］０１てあったとすると
、テコータ゛回路、３の］６個の出力ラインのうち、入
力信号に対応する下から５番目の出カライア）に信号ｏ
１ｎを出力する。このデコータ゛出力は変換回路４１
こ入力され“１パの立っているビットよりも下位のヒラ
Ｉ・が全部１１ ＋、 ＋＋に変換される。第３図の例
では下４）’ｉ ５ヒンＩ・か全；＃１１ ” ］”（
コする。この変換回路４の出力（」１ｉ６周波パルス１
こよって開閉さ第１．るケート５を経てそれぞれ１０個
のドライバ回路６に人力される。名ドライバ回路の出力
は１６個面列に接続された直流定電圧回路７１．７２・
・・・中のスイッチング回路８１． 、８２ 。
テツプの信号に変換するもので、例えは第、３ＩＩこ示
すように４ビット人力悟号か０］０１てあったとすると
、テコータ゛回路、３の］６個の出力ラインのうち、入
力信号に対応する下から５番目の出カライア）に信号ｏ
１ｎを出力する。このデコータ゛出力は変換回路４１
こ入力され“１パの立っているビットよりも下位のヒラ
Ｉ・が全部１１ ＋、 ＋＋に変換される。第３図の例
では下４）’ｉ ５ヒンＩ・か全；＃１１ ” ］”（
コする。この変換回路４の出力（」１ｉ６周波パルス１
こよって開閉さ第１．るケート５を経てそれぞれ１０個
のドライバ回路６に人力される。名ドライバ回路の出力
は１６個面列に接続された直流定電圧回路７１．７２・
・・・中のスイッチング回路８１． 、８２ 。
・・・・に加えら、１１． 、それぞれのスイッチング
回路８１．８２・・・・をオンオフする。９は１６個の
〃゛イオードりなるタ゛イオード加算回路で、」二記変
換回路４の出力゛１゛′のビットとつながっている定ｆ
、’ｆＪ圧回路７１，７２・・・・の出力°ｍ圧が全て
加算されて、タ゛イオード加算回路９の出力端子１０に
現われる。
回路８１．８２・・・・をオンオフする。９は１６個の
〃゛イオードりなるタ゛イオード加算回路で、」二記変
換回路４の出力゛１゛′のビットとつながっている定ｆ
、’ｆＪ圧回路７１，７２・・・・の出力°ｍ圧が全て
加算されて、タ゛イオード加算回路９の出力端子１０に
現われる。
第４図は定電圧回路７１等の詳細を示し１こもので、−
次側が画用電源に並列１こ接続されたトランス１１を介
して整流器１２で全波整流された後、コンテノザ１３で
平滑化される。トランスを用いるのは°ｉ−１，Ｙ圧調
壊のためと共に、直流側と商用電源側とを直流的９こ絶
縁するためである。γ電圧回路７］’Ｊ：＋−ｈスイッ
チング回路８１等、過電流保護回：Ｌ’ｆ＋ １４およ
び′重圧安定回路１５で構成されており、１：１こドラ
イバ回路６は増幅器１Ｇとフ第１・カプラＪ７とてｉ、
ｌ、Ｊ成されている。フォトカプラ】７を用いるのは、
各直流定電圧回路７１．７２・・・・は直列１に続され
て全体的な電位がアースより持ち上げられているので、
アース電位付近で作動しているドライバ回路と各スイッ
チング回路８］、８２゜・・・・ との間を′市気的に
絶縁して信号を（云達するためである。
次側が画用電源に並列１こ接続されたトランス１１を介
して整流器１２で全波整流された後、コンテノザ１３で
平滑化される。トランスを用いるのは°ｉ−１，Ｙ圧調
壊のためと共に、直流側と商用電源側とを直流的９こ絶
縁するためである。γ電圧回路７］’Ｊ：＋−ｈスイッ
チング回路８１等、過電流保護回：Ｌ’ｆ＋ １４およ
び′重圧安定回路１５で構成されており、１：１こドラ
イバ回路６は増幅器１Ｇとフ第１・カプラＪ７とてｉ、
ｌ、Ｊ成されている。フォトカプラ】７を用いるのは、
各直流定電圧回路７１．７２・・・・は直列１に続され
て全体的な電位がアースより持ち上げられているので、
アース電位付近で作動しているドライバ回路と各スイッ
チング回路８］、８２゜・・・・ との間を′市気的に
絶縁して信号を（云達するためである。
定電圧回路７１＝ｊｌこおいて、スイッチング回路８１
等容で構成するスイッチ７り素子すｆλわぢトランジス
タ′Ｉ’ Ｒ］はＩ・ランシヌタｉ’ Ｒ：３がオフの
ときはヘース゛市位か直流’Ｉ’ｍ 綜の（−→側ライ
ンに引かれてオフとｆλつており、ｌ’ Ｒ：（かオフ
のときオンとなる。そしてｉ’ Ｒｌのベース゛屯圧ハ
トラノジスク１’ Ｒ３がオフの場合、トランジスタｉ
” Ｒ４とツエナータ゛イオードＺｌ’）１およＯ何代
１元１２２． Ｒ３によって定電圧化されており、また
１−ラノンスタ′Ｆ１り；３はフ第１・カブラ１７かオ
ンのときベースエミンタ間゛１−α圧が０となるからオ
フとｌ／ｊってスイッチック素子たる′ｌ’ Ｉ＜ １
をオン１こする。
等容で構成するスイッチ７り素子すｆλわぢトランジス
タ′Ｉ’ Ｒ］はＩ・ランシヌタｉ’ Ｒ：３がオフの
ときはヘース゛市位か直流’Ｉ’ｍ 綜の（−→側ライ
ンに引かれてオフとｆλつており、ｌ’ Ｒ：（かオフ
のときオンとなる。そしてｉ’ Ｒｌのベース゛屯圧ハ
トラノジスク１’ Ｒ３がオフの場合、トランジスタｉ
” Ｒ４とツエナータ゛イオードＺｌ’）１およＯ何代
１元１２２． Ｒ３によって定電圧化されており、また
１−ラノンスタ′Ｆ１り；３はフ第１・カブラ１７かオ
ンのときベースエミンタ間゛１−α圧が０となるからオ
フとｌ／ｊってスイッチック素子たる′ｌ’ Ｉ＜ １
をオン１こする。
いま、ドライバ回路の−つ０に信号が入ってフォトカプ
ラ１７がオフとなりトう７ジスタＴ Ｒ：３がオフとな
るとトランジスタＴ ＲＬのベース電圧はツナー〃゛イ
オードＺ Ｉ） ｌ ｌこよって決まる定′１−■圧と
なり、直流出力電圧はこの′「Ｒ１のベース７ａ圧から
Ｔ Ｒ］のベースエミンク間電圧を引いた電圧であるか
ら、ＴＲＩのベース電圧と略等しく、安定化された出力
電圧となっている。
ラ１７がオフとなりトう７ジスタＴ Ｒ：３がオフとな
るとトランジスタＴ ＲＬのベース電圧はツナー〃゛イ
オードＺ Ｉ） ｌ ｌこよって決まる定′１−■圧と
なり、直流出力電圧はこの′「Ｒ１のベース７ａ圧から
Ｔ Ｒ］のベースエミンク間電圧を引いた電圧であるか
ら、ＴＲＩのベース電圧と略等しく、安定化された出力
電圧となっている。
各直流定電圧回路７１．７２・・・・等はそのに）側ラ
インが下段の直流定電圧回路のスイッチングト路を直列
接続するのに、下段の直流定電圧回路のスイッチング素
子の出力側で接続すると、スイッチング素子がオフのと
き同素子１こか＼る電圧は直流定電圧回路−個の出力氾
圧分たけであるから大きな耐圧を要求されない利点かあ
る。
インが下段の直流定電圧回路のスイッチングト路を直列
接続するのに、下段の直流定電圧回路のスイッチング素
子の出力側で接続すると、スイッチング素子がオフのと
き同素子１こか＼る電圧は直流定電圧回路−個の出力氾
圧分たけであるから大きな耐圧を要求されない利点かあ
る。
第４図でボリュームＲ６は直流定電圧回路の出力電圧を
、ｊｌｄ節するためのもので、各直流定電圧回路の出）
力に圧を互に適当に異らせておくことにより入力信号と
出力端子１００出力電圧との関係を非直線的１こして、
入力信号とレーザープリンタなどのパターン濃度との関
係を直線的にする等の調整を可能にしている。
、ｊｌｄ節するためのもので、各直流定電圧回路の出）
力に圧を互に適当に異らせておくことにより入力信号と
出力端子１００出力電圧との関係を非直線的１こして、
入力信号とレーザープリンタなどのパターン濃度との関
係を直線的にする等の調整を可能にしている。
なお、第２図１と戻って、１８はもとになる高周波パル
スを発生するパルス発生器、１９はパルス幅設定回路で
、パルス発生器１８の出力パルス列の各パルスでトリガ
さツ１７、所定幅のパルス列を出力づ−る。２０はパル
ス幅選択スイッチであり、２１吸 １はパルス幅纜調整用ホリュームである。パルス幅調整
回路１９の出力パルスが振幅変調前の基本パルス信号で
、このパイレス列によってゲート回路５が開閉されるの
で、出力端子１０１こ出力される゛市圧信月が、このゲ
ート回路５の開閉に応じてオンオフし基本パルスと同じ
周期同じパルス幅で４辰幅が１６段階１こ変化する高゛
、゛ａ圧のパルス信号となる。またセレクタスイッチ２
２がＥＸ ｉ’端子に］妾続されているときは、テータ
セレクク２にはＱｉＪ記４ビットコード〜が外部入力端
子ｌから入力されるが、セレクタスイッチをＭΔＮＬ接
点に１７Ｊ換えること１こよって手動のカウンタ２，３
から仔ノ：Ｊに設定さノ１．た４ビントテータを入力す
ることもｊｌ［能である。２４はこの場合の手動設定月
１のステップスイッチであり、これをオンオフすると、
その回数がカウンタ２３で旧数されて１−１６の数値が
設定される。２５および２６は手動による設定値を確認
するためのデコーダおよび数字表示器である。
スを発生するパルス発生器、１９はパルス幅設定回路で
、パルス発生器１８の出力パルス列の各パルスでトリガ
さツ１７、所定幅のパルス列を出力づ−る。２０はパル
ス幅選択スイッチであり、２１吸 １はパルス幅纜調整用ホリュームである。パルス幅調整
回路１９の出力パルスが振幅変調前の基本パルス信号で
、このパイレス列によってゲート回路５が開閉されるの
で、出力端子１０１こ出力される゛市圧信月が、このゲ
ート回路５の開閉に応じてオンオフし基本パルスと同じ
周期同じパルス幅で４辰幅が１６段階１こ変化する高゛
、゛ａ圧のパルス信号となる。またセレクタスイッチ２
２がＥＸ ｉ’端子に］妾続されているときは、テータ
セレクク２にはＱｉＪ記４ビットコード〜が外部入力端
子ｌから入力されるが、セレクタスイッチをＭΔＮＬ接
点に１７Ｊ換えること１こよって手動のカウンタ２，３
から仔ノ：Ｊに設定さノ１．た４ビントテータを入力す
ることもｊｌ［能である。２４はこの場合の手動設定月
１のステップスイッチであり、これをオンオフすると、
その回数がカウンタ２３で旧数されて１−１６の数値が
設定される。２５および２６は手動による設定値を確認
するためのデコーダおよび数字表示器である。
」二連実施例では１６個の各直流定電圧回路７１゜７２
・・・・の出力電圧は約１５６Ｖとなっており、１６個
全部の出力が加算された場合には２．５ Ｋ Ｖの波高
値のパルスか出力されるのであるが、第２図１こ一点鎖
線で示した回路へと全く対称的な回路Ｂがマイナス側に
設けられており、この構成１こより、同一波高値で極性
が逆のパルスが同期して出力されることになり、例えば
光変調器の電気光学結晶の両四間に最大約５ＫＶのＷｕ
圧を印加することができる。なお２７はパルス発生器ｌ
〆とかデークセレクク回路２、デコー〃゛回路３、ドラ
イバ回路６＠の回路全体に電力を供給する５Ｖ電源用定
電圧回路である。
・・・・の出力電圧は約１５６Ｖとなっており、１６個
全部の出力が加算された場合には２．５ Ｋ Ｖの波高
値のパルスか出力されるのであるが、第２図１こ一点鎖
線で示した回路へと全く対称的な回路Ｂがマイナス側に
設けられており、この構成１こより、同一波高値で極性
が逆のパルスが同期して出力されることになり、例えば
光変調器の電気光学結晶の両四間に最大約５ＫＶのＷｕ
圧を印加することができる。なお２７はパルス発生器ｌ
〆とかデークセレクク回路２、デコー〃゛回路３、ドラ
イバ回路６＠の回路全体に電力を供給する５Ｖ電源用定
電圧回路である。
効果
本発明によれば上述したように、入力データに対応した
個数の定電圧回路出力を加算して出力できるので、従来
の光変調器が光のオンオフしかで（二 きなかったのと対して、段階的な電圧を発生することに
より、階調のあるプリン１〜、腹写か可能となる。
個数の定電圧回路出力を加算して出力できるので、従来
の光変調器が光のオンオフしかで（二 きなかったのと対して、段階的な電圧を発生することに
より、階調のあるプリン１〜、腹写か可能となる。
第１図は本発明の原理をノコ＜す回路図、らゝ、２図（
１本発明の一実施例を示すフロック図、榮バ（図は同上
の動作説明図、第４図は上記実施例の要部詳細回路図で
ある。 １・・・・入力端子、２・・・・テータセレクク、３・
・・・データデコータ゛回路、４・・・・変換回路、５
・・・パルス幅設定回路、６・・・・ドライバ回路、７
］、７２・・・・等・・・・直流定゛市圧回路、８１．
８２・・ 等・・・・スインヂング回路、９・・・・タ
イオードミコ１算回路、１（）・・・・出力端子。 代理人 弁理± １課 浩 介
１本発明の一実施例を示すフロック図、榮バ（図は同上
の動作説明図、第４図は上記実施例の要部詳細回路図で
ある。 １・・・・入力端子、２・・・・テータセレクク、３・
・・・データデコータ゛回路、４・・・・変換回路、５
・・・パルス幅設定回路、６・・・・ドライバ回路、７
］、７２・・・・等・・・・直流定゛市圧回路、８１．
８２・・ 等・・・・スインヂング回路、９・・・・タ
イオードミコ１算回路、１（）・・・・出力端子。 代理人 弁理± １課 浩 介
Claims (1)
- 入力テイジタル信号を変換して下位からに位の数に順次
対応させたｎ個の出力端子中の一端子とそれより下位数
に対応ＴＪ−る全端子に１１１１＋を出力する変換回路
を有し、直列接続さ旧、た１］個の直流定電圧回路の各
出力側に夫々スイッチング素子を設け、これらのスイッ
チング素子と」−記変換回路の出力端子とをｌ対ｌに対
応させ、同変換回路の“１１＋出力１こよって対応する
スイソヂンク訛子を導通せしめるようにし、上記各疋電
圧回路の出力を、同一極性端子を共通に接続したタイオ
ー）１＋”ｆの各他方の極性の端子に接続することによ
って、このダイオード群の共通接続された端子に上記入
カデ゛イジタル信号に対応した個数の上Ｂｅ＋ ’Ｉｂ
−流定ｌ′α圧回路の出力゛電圧を加算して出力させる
ことを特徴とする高電圧周波パルス発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58228973A JPS60120666A (ja) | 1983-12-02 | 1983-12-02 | 高電圧高周波パルス発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58228973A JPS60120666A (ja) | 1983-12-02 | 1983-12-02 | 高電圧高周波パルス発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60120666A true JPS60120666A (ja) | 1985-06-28 |
| JPS6349424B2 JPS6349424B2 (ja) | 1988-10-04 |
Family
ID=16884769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58228973A Granted JPS60120666A (ja) | 1983-12-02 | 1983-12-02 | 高電圧高周波パルス発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60120666A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19718471A1 (de) * | 1997-04-30 | 1998-11-05 | Steag Hamatech Gmbh Machines | Verfahren und Vorrichtung zum Verkleben von zwei Substraten |
-
1983
- 1983-12-02 JP JP58228973A patent/JPS60120666A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6349424B2 (ja) | 1988-10-04 |
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