JP2509362Y2 - 光学式情報記録円盤の製造装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、コンパクトディスク、ビデオディスク等の
射出成形された透明な光学式情報記録円盤に対して、そ
の傷等の検査を行い、その情報記録面に金属等の反射膜
を形成すると共に、該反射膜上に保護膜を形成する光学
式情報記録円盤の製造装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の光学式情報記録円盤の製造工程におい
ては、射出成形された透明な光学式情報記録円盤に対し
て、成形工程で発生した傷、シルバ、ブラックスポット
と称される焦げ、成形品内に含まれる塵埃等の存在の検
査が行われる。。

この検査を終えた光学式情報記録円盤は、スパッタリ
ング装置に運ばれて、スパッタリング装置によって、情
報記録面に金属等の反射面がスパッタリングされ、更に
保護膜形成装置によって、反射面上に保護膜が形成され
る。

そして、前記各装置間の運搬は総て人手によって行わ
れていた。

〔考案が解決しようとする課題〕

前記の射出成形が終わった透明な光学式情報記録円盤
に対する検査装置、スパッタリング装置、保護膜形成装
置への各運搬および各装置へのセットは、総て人力に頼
って行われているために、その運搬作業の省力化ができ
なかった。

しかも、多くの作業者が介在することによってクリー
ンルーム内のクリーン度の低下という問題も生じ、さら
に、各装置の配置は作業者が介在するスペースを有して
いるために、設置面積が大きくなるという問題も発生し
た。

本考案は前記した問題点を解決せんとするもので、そ
の目的とするところは、射出成形された透明な光学式情
報記録円盤の射出成形機から検査装置への、およびそれ
以降の各装置への、更には、保護膜形成装置からの搬出
をトランスファアームで行うことにより、光学式情報記
録円盤の製造に対する省力化を達成することができ、し
かも、各装置の故障等に起因する装置の稼働率の低下を
防止し得る光学式情報記録円盤の製造装置を提供せんと
するにある。

〔問題点を解決する為の手段〕

本考案は、前述の目的を達成するための光学式情報記
録円盤の製造装置の手段に関し、その手段は、光学式情
報記録円盤の載置箇所を複数設けた第１のターンテーブ
ルと、射出成形されて搬送されてきた透明な光学式情報
記録円盤を、第１のターンテーブルの載置箇所に移載す
る第１のトランスファアームと、前記第１のターンテー
ブルの所定の位置の載置箇所において、透明な光学式情
報記録円盤の傷等の検査を行う検査手段と、該検査の終
わった透明な光学式情報記録円盤を、第１のターンテー
ブルの載置箇所からスパッタ手段に、および該スパッタ
手段から第２のターンテーブルに移載する第２のトラン
スファアームと、該第２のトランスファアームから移載
された透明な光学式情報記録円盤に反射膜を形成するス
パッタ手段と、光学式情報記録円盤の載置箇所を少なく
とも５箇所以上設けられ、その載置箇所に前記第２のト
ランスファアームから移載される第２のターンテーブル
と、該第２のターンテーブルの所定の載置箇所におい
て、回転盤に吸着されて回転する光学式情報記録円盤の
反射膜上に保護膜を塗布する塗布手段と、前記第２のタ
ーンテーブルの前記以外の場所の載置箇所において、回
転盤に吸着されて高速回転し、光学式情報記録円盤上に
塗布された保護膜を、均一に分散させる振り切り手段
と、前記第２のターンテーブルの前記以外の載置箇所に
おいて、回転盤に吸着されて回転しながら紫外線を照射
される保護膜硬化手段と、前記第２のターンテーブルの
前記以外の載置箇所から光学式情報記録円盤を搬出箇所
に移載する第３のトランスファアームと、前記第２のト
ランスファアームによって、第３のターンテーブルにス
パッタ手段に補給する光学式情報記録円盤のストック手
段とを備えたものである。

〔考案の実施例〕

次に、本考案の一実施例を、図面について説明する。

１は光学式情報記録円盤Ａの載置箇所1aを同心円上に
４箇所、等間隔で設けたターンテーブルで、１動作の完
了毎に90度づつ回転する。

２は射出成形機から送出された透明な光学式情報記録
円盤Ａを、先端の吸着パッド３で吸着するトランスファ
アームで、その吸着パッド３はディスク搬送装置４で搬
送されてきた光学式情報記録円盤Ａの上で待機させてい
る。

そして、ディスク搬送装置４の下に図示しないディス
ク押上げ機構によって光学式情報記録円盤Ａ上に押しつ
けて、吸着パッド３に光学式情報記録円盤Ａを吸着させ
る。

この吸着が完了すると、トランスファアーム２は90度
回転して、吸着パッド３に吸着されている光学式情報記
録円盤Ａを、第１のターンテーブル１の載置箇所1a上に
移動させる。

すると、吸着パッド３内に大気圧が導入されて光学式
情報記録円盤Ａに対する吸着力がなくなり、光学式情報
記録円盤Ａは、第１のターンテーブル１の載置箇所1aに
載置される。

この載置箇所1aに光学式情報記録円盤Ａが載置された
時には、光学式情報記録円盤Ａは、その情報記録面は、
下側にされている。

この第１のターンテーブル１の載置箇所1aに光学式情
報記録円盤Ａが載置されると、第１のターンテーブル１
は、間欠的に一定のタクトタイムで90度づつ回転する。

この第１のターンテーブル１の前記光学式情報記録円
盤Ａを載置された載置箇所1aが90度回転した場所には、
この透明な光学式情報記録円盤Ａの傷、シルバ、ブラッ
クスポット、ごみ等の外観検査を行う検査装置Ｂが設け
られている。

この検査装置は、特開昭61-104439号公報、特開昭61-
104440号公報に詳述されているので、その説明は省略す
る。

５は各別に動作し、関節６によって回転方向に屈曲可
能な２本のトランスファアーム5a,5bが設けられている
双腕ロボットで、そのトランスファアーム5a,5bの先端
には、それぞれ吸着パッド７が設けられている。

一方のトランスファアーム5aは、第１のターンテーブ
ル１の検査装置から180度回転した位置の載置箇所1aの
位置で下降して、その位置の光学式情報記録円盤Ａを吸
着した後、上昇して約90度回転し、更に下降して吸着パ
ッド７に大気圧が導入され、吸着力がなくってスパッタ
リング装置Ｃのスパッタ盤８に、光学式情報記録円盤Ａ
は移載される。

このスパッタ盤８は、水平軸8aによって垂直方向に18
0度回転し、光学式情報記録円盤Ａの情報記録面を上向
きとする。

スパッタリング装置Ｃは、この上向きとされた光学式
情報記録円盤Ａに対して、従来から公知のスパッタリン
グ方法で、その情報記録面に金属等の反射面を形成す
る。

それが終わるとスパッタ盤８が再度180度回転して、
情報記録面を下向きにする。

すると、トランスファアーム5bが回転して、その吸着
パッド７がスパッタ盤８の位置にきて下降し、吸着パッ
ド７はスパッタ盤８上の光学式情報記録円盤Ａを吸着す
る。

この吸着が行われると、吸着パッド７が上昇してトラ
ンスファアーム5bは回転し、第２のターンテーブル９の
光学式情報記録円盤Ａの一つの載置箇所9aの上に、光学
式情報記録円盤Ａを持ってくる。

そして、吸着パッド７は下降し大気が導入されて、そ
の吸着力がなくなることにより、光学式情報記録円盤Ａ
は、その載置箇所9aの上の吸着パット10に吸着された
後、反転され下降して載置箇所9aに移載される。これに
より、光学式情報記録円盤Ａは、その情報記録面を上向
きにされる。

第２のターンテーブル９には、同心円上に等間隔で５
箇所に載置箇所9aが設けられていて、360/5度づつ間欠
的に一定のタクトタイムで回転する。

前記、反転機10で反転された光学式情報記録円盤Ａ
は、第２のターンテーブル９の回転によって、保護膜塗
布ステーションC1に到達する。

この保護膜塗布ステーションC1においては、図示しな
いチャック装置によって、光学式情報記録円盤Ａは、そ
のセンターハブ部をチャックされて、回転されると共
に、光学式情報記録円盤Ａの中心線に沿って移動する図
示しない塗布ノズルから、液状の保護膜剤が塗布され
る。

この保護膜剤の塗布が完了すると、光学式情報記録円
盤Ａは、チャック装置から開放され、第２のターンテー
ブル９の回転によって、保護膜剤を塗布された光学式情
報記録円盤Ａの載置箇所9aは、次の保護膜振り切りステ
ーションC2に移動する。

この保護膜振り切りステーションC2においても、図示
しないチャック装置によって、光学式情報記録円盤Ａ
は、そのセンターハブ部をチャックされて、高速回転す
る。

この高速回転による遠心力によって、光学式情報記録
円盤Ａの上に塗布された保護膜剤は、一様に分散され
て、一定の厚さの保護膜剤層を形成する。

この作業が完了すると、光学式情報記録円盤Ａは、前
記チャック装置から開放され、その載置されている載置
箇所9aは、次の保護膜硬化ステーションC3の位置に移動
する。

この位置においても、光学式情報記録円盤Ａは図示し
ないチャック装置に、そのセンターハブ部をチャックさ
れて回転し、上から紫外線を照射されるので、保護膜は
硬化する。

そして、硬化が完了すると、光学式情報記録円盤Ａは
前記と同様にして、チャック装置から開放され、第２の
ターンテーブル９の回転で、その載置箇所9aは次の搬出
ステーションC4に移動する。

搬出ステーションC4に対しては、先端に吸着パッド11
を有するトランスファアーム12が設けられていて、その
回転により吸着パッド11は搬出ステーションC4の上に移
動する。

そして、このトランスファアーム12の下降により、吸
着パッド11に光学式情報記録円盤Ａを吸着させた後、ト
ランスファアーム12は上昇して回転する。

この回転したトランスファアーム12に吸着されている
光学式情報記録円盤Ａの下方には、光学式情報記録円盤
Ａの中心孔に挿入する支柱が立設されているワーク13が
コンベア14上に待機しており、このワーク13に向かって
トランスファアーム13は下降する。

下降が終了すると、吸着パッド11に大気が導入され
て、その吸着力がなくなり、これに吸着されていた光学
式情報記録円盤Ａは、ワーク13に向かって落下し、その
中心孔は支柱に嵌まる。

この動作を繰り返すことによって、ワーク13には、光
学式情報記録円盤Ａが重積され、その数が一定に達する
と、コンベア14が動作してワーク13は持ち去られ、次の
ワーク13が此処に補給される。

斯くして、一連の工程によって、自動的に透明な光学
式情報記録円盤Ａの検査、情報記録面への反射膜、更に
その上に保護膜の形成が行われるものである。

前記の各工程中に不良、或いは次の工程がストップし
た時の対策の実施例を、検査装置Ｂでの不良発見に対し
て行った本実施例について、説明する。

前記第１のターンテーブル１の検査装置Ｂにおいて不
良が発見されると、検査装置Ｂから90度回転した載置箇
所1aの位置に、トランスファアーム5aが移動し、不良が
発見された光学式情報記録円盤Ａがこの位置に移動した
時に、吸着パッド７は下降してこの光学式情報記録円盤
Ａを吸着する。

そして、トランスファアーム5aは、関節６から90度折
れ曲がり、吸着されている光学式情報記録円盤Ａを排出
孔15の上に持ってくる。

すると、吸着パッド７に大気が導入されて、その吸着
力がなくなるので、光学式情報記録円盤Ａは落下し、排
出孔15から排出される。

次に、トランスファアーム5aは、関節６から折れ曲が
って、その吸着パッド７がその上に移動し、トランスフ
ァアーム5aが下降して吸着パッド７に光学式情報記録円
盤Ａを吸着させる。

その吸着が完了すると、トランスファアーム5Aは、そ
の関節６を伸ばしながら回転して、その光学式情報記録
円盤Ａをスパッタリング装置Ｃのスパッタ盤８の位置に
もってくる。

そして、前記と同様にしてトランスファアーム5aとス
パッタ盤８との間で、光学式情報記録円盤Ａの受渡しが
行われ、スパッタリング装置Ｃによつて、これにスパッ
タリングが行われるものである。

なお、前記スパッタ装置８で発生したスパッタ不良
は、トランスファアーム5bでスパッタ不良スタンド19に
移載され積み重ねられる。

一方、スパッタリング装置Ｃ以降において、故障等に
より作業が中断した時の対策を説明する。

第１のターンテーブル１の側方において、トランスフ
ァアーム5aの吸着パッド７の軌跡内に、載置箇所18aが
位置するように、複数の載置箇所18aを設けた第３のタ
ーンテーブル18を、載置箇所18aの間隔で回転できるよ
うに配置する。

このターンテーブル18の載置箇所18aに、前記スパッ
タリング装置Ｃ以降の作業が中断している時に、前記検
査装置Ｂで検査の終了した透明な光学式情報記録円盤Ａ
を、検査装置Ｂから180度の位置から載置箇所18aに移載
する。

そして、これを反復することによって、検査の終わっ
た光学式情報記録円盤Ａをストックする。

このようにして、検査が終わり、ストックされている
光学式情報記録円盤Ａは、スパッタリング装置Ｃ以降が
光学式情報記録円盤Ａの供給がなく、停止したとき、ス
イッチの操作によりトランスファアーム5aによって、ス
パッタリング装置Ｃに光学式情報記録円盤Ａを供給し、
スパッタリング装置Ｃ以降の停止による稼働率の低下を
防止するものである。

〔考案の効果〕

本考案は叙上のように、射出成形された透明な光学式
情報記録円盤を、第１のターンテーブルに、第１のター
ンテーブルからスパッタ手段に、スパッタ手段から第２
のターンテーブルに移載するのを、第1,第2,第３のトラ
ンスファアームで行うため、これ等の間を入力で運搬す
る必要がなくなると共に、これを各ターンテーブルにセ
ットするための人員を省力化できる。

しかも、作業者の介在によって発生する不注意による
ミスやクリーンルームのクリーン度の低下を防止できて
品質保証の向上も図れ、かつ、各装置を効率的に配置で
き一体物としてまとめることで、省スペース化が図れる
と共に整然と配置することができる。

また、第２のトランスファアーム、スパッタ手段等の
中間の工程以降の装置が故障したりして稼働しなくなっ
た場合、その稼働しなくなった工程の前の工程におい
て、その工程を終わった光学式情報記録円盤をストック
手段に蓄積し、稼働している工程を停止させないように
することで、これ以前の工程の稼働率を低下させないよ
うにすることができる。

そして、ストック手段に蓄積された光学式ディスクは
稼働しなかった工程が再稼働した場合、その工程に供給
することができ、また、他の装置の工程に供給すること
ができるので、総合的な稼働率の低下を少なくすること
ができると共に、その時に急に人員を動員する必要もな
くなる等の効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例の平面図である。 １……第１のターンテーブル、2,5a,5b,12……トランス
ファアーム、４……ディスク搬送装置、５……双腕ロボ
ット、８……スパッタ盤、９……第２のターンテーブ
ル、1a,9a……載置箇所、14……コンベア、18……ター
ンテーブル、Ａ……光学式情報記録円盤、Ｂ……検査装
置、Ｃ……スパッタリング装置、C1……保護膜塗布ステ
ーション、C2……保護膜振り切りステーション、C3……
保護膜硬化ステーション。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 山本 暁康 静岡県御殿場市保土沢985―１ 東芝イ ーエムアイ株式会社御殿場工場内 (72)考案者 小沼 充生 静岡県御殿場市保土沢985―１ 東芝イ ーエムアイ株式会社御殿場工場内

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】光学式情報記録円盤の載置箇所を複数設け
   た第１のターンテーブルと、射出成形されて搬送されて
   きた透明な光学式情報記録円盤を、第１のターンテーブ
   ルの載置箇所に移載する第１のトランスファアームと、
   前記第１のターンテーブルの所定の位置の載置箇所にお
   いて、透明な光学式情報記円盤の傷等の検査を行う検査
   手段と、該検査の終わった透明な光学式情報記録円盤
   を、第１のターンテーブルの載置箇所からスパッタ手段
   に、および該スパッタ手段から第２のターンテーブルに
   移載する第２のトランスファアームと、該第２のトラン
   スファアームから移載された透明な光学式情報記録円盤
   に反射膜を形成するスパッタ手段と、光学式情報記録円
   盤の載置箇所を少なくとも５箇所以上設けられ、その載
   置箇所に前記第２のトランスファアームから移載される
   第２のターンテーブルと、該第２のターンテーブルの所
   定の載置箇所において、回転盤に吸着されて回転する光
   学式情報記録円盤の反射膜上に保護膜を塗布する塗布手
   段と、前記第２のターンテーブルの前記以外の場所の載
   置箇所において、回転盤に吸着されて高速回転し、光学
   式情報記録円盤上に塗布された保護膜を、均一に分散さ
   せる振り切り手段と、前記第２のターンテーブルの前記
   以外の載置箇所において、回転盤に吸着されて回転しな
   がら紫外線を照射される保護膜硬化手段と、前記第２の
   ターンテーブルの前記以外の載置箇所から光学式情報記
   録円盤を搬出箇所に移載する第３のトランスファアーム
   と、前記第２のトランスファアームによって第３のター
   ンテーブルにスパッタ手段に補給する光学式情報記録円
   盤のストック手段と、を備えたことを特徴とする光学式
   情報記録円盤の製造装置。