JP2000513654A - ２つの基板を接着するための方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ２つの基板（３，６）を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成するための方法であって、第１の基板（３）の接着しようとする面に接着剤を塗布し、第２の基板（６）の接着しようとする面を前記第１の基板上に載せる方法において、これらの基板（３，６）をその中心軸線を中心にして回転させて接着剤を投げ飛ばすことによって、空気が封入されることなしに特に良好で、均一で迅速な接着が、簡単な手段で得られる。またこの方法を実施するための装置が提供されている。

Description

【発明の詳細な説明】 ２つの基板を接着するための方法及び装置 本発明は、２つの基板を接着して（貼り合わせて）１つの基板ディスクを形成 するための方法であって、第１の基板の接着しようとする面に接着剤を塗布し、 第２の基板の接着しようとする面を前記第１の基板上の載せ、これらの基板をそ の中心軸線を中心にして回転させて接着剤を投げ飛ばす方法及び装置に関する。 このような形式の方法及び装置は、ドイツ連邦共和国特許公開第４０４１１９ ９号明細書、Derwent-Abstract ９４−２４６１３９／３０及びヨーロッパ特許 公開第０７４４７３９号明細書により、例えばいわゆるデジタル・ビデオ・ディ スク（略語ＤＶＤとしても公知である）の製造に関して公知である。デジタル・ ビデオ・ディスクは、２つの基板又は部分基板より成っており、これら２つの基 板又は部分基板のそれぞれ一方側の面にデジタル・ビデオ情報が記憶され、その 情報が記憶されていない側の面が互いに接着されている。２つの基板を接着して １つの基板ディスク例えばデジタル・ビデオ・ディスクを形成するためには、非 常に正確に作業する装置が必要である。何故ならば、欠陥のない基板ディスクを 得るためには、基板を非常に正確に正しい位置で互いに配置するだけではなく、 接着過程をディスク面全体に亘って一様に、しかも封入空気又は種々異なる厚さ の接着剤層が形成されることなしに行わなければならないからである。さらにま た、２つの基板を接着するための従来の装置は構造的に非常に高価であって、し かも大きいスペースを必要とするものである。 そこで本発明の課題は、基板の確実で一様な接着を可能にし、廃棄率が少ない 良好な基板ディスクを形成し、しかも簡単に実施することができるか若しくは構 造的に簡単であって、高い生産性が得られる、２つの基板を接着するための方法 及び装置を提供することである。 この課題を解決した本発明の方法によれば、基板の少なくとも１つの接着しよ うとする側の面、有利には本来の接着剤が塗布される、基板の接着しようとする 側の面に、予コーティング装置を設けるようにした。このような形式で、主接着 剤若しくは主塗料のための滑動性が著しく改善されるので、接着剤分布は、全面 に亘って迅速に行われるだけではなく、均一に行うことができるようになってい る。予コーティングによって、接着剤は、接着しようとする基板間で簡単な形式 で、接着しようとする面全体に亘って非常に均一に分布させることができ、気泡 又はこれと類似の封入物は避けられる。従って基板は、基板面全部に亘って、互 いに接着し合い、特に基板ディスクは面全体に亘って 均一な厚さを有するようになる。 接着剤としては、有利にはいわゆる紫外線・プラスチック塗料が使用される。 この紫外線・プラスチック塗料(Ultraviolett-Kunststofflack)は、紫外線を照 射することによって迅速に硬化し、２つの基板間で良好な付着効果を得ることが 可能である。有利には、接着剤としてリング状接着剤(Klebering;環状接着剤)が 、第１の基板の接着しようとする面に塗布される。次いで、このリング状接着剤 は、投げ飛ばし過程（遠心分離過程）によって、基板全面に亘って分布される。 有利には、第１の基板上に第２の基板を設置した後に、第２の基板に、これら の基板間で接着剤の均一な分布を改善する調節可能な圧力を加えるようになって いる。この場合、載せられた上側の基板は、有利な形式で、精密駆動装置を備え たワンアーム式操作装置を介して、自由に運動させられて、第１の基板上に正確 にセンタリングしてもたらされ、相応の圧力が加えられる。 前記課題を解決した本発明によれば、少なくとも１つの一方の基板を他方の基 板上に載せる際に、一方の基板の縁部領域を他方の基板から離れる方向に曲げる ようにした。それによって、接着剤層又は接着剤内の気泡又はその他の封入物は 確実に取り除くことができる。載せられた基板を曲げることによって、この載せ られた基板は、まず中央に載せられ、次いで完全に解 放した後で、内側から外側にローリング(abwaelzen)されるので、リング状接着 剤は内側から外側に、基板縁部に向かって押し出されて圧延され、それによって 空気封入物及び気泡も取り除かれる。 前記課題を解決した本発明の別の解決策によれば、接着しようとする基板ディ スクの縁部を、接着剤の投げ飛ばし後に洗浄するようにした。洗浄過程によって 付加的に、基板ディスク縁部は確実にシールされる。このシールによって、完成 された製品の品質は高められる。基板ディスク縁部を清浄するために、有利には 接着剤・吸込み装置が設けられており、このこの接着剤・吸込み装置は基板ディ スク縁部にばね弾性的に押しつけられる。生産性を高めるために、基板縁部のこ のような洗浄は、接着剤の投げ飛ばし過程後に直接行われる。この場合、縁部洗 浄のために、基板ディスクを付加的に位置変化させること又は固有の洗浄ステー ションは必要ない。 接着された基板ディスクは、有利な形式で接着剤・乾燥器内で、またＵＶ塗料 を使用する場合はＵＶ乾燥器内で乾燥され、それによって製造過程は著しく短縮 される。このような形式の接着剤・乾燥器は、例えば同一出願人による、まだ公 開されていないドイツ連邦共和国特許出願第１９５４５８４３号明細書に記載さ れているような装置に相応して構成することができる。この装置については、本 発明の対象であるという以 外は、繰り返しを避けるために詳しい説明は省く。この場合例えば基板ディスク は、回転運動に伴ってＵＶ灯の下側を通過せしめられる。 前記課題の解決策としては、乾燥中に石英板又はガラス板を基板ディスク上に 載せるようにすれば、特に有利である。この場合、石英板又はガラス板は乾燥中 にその自重によって基板ディスク上に押しつけられて、その扁平さを維持する。 この場合、有利には、石英板又はガラス板を、これらが加熱される乾燥過程後で 、しかも次の基板ディスク上に載せる前に冷却するようにする。石英板又はガラ ス板の冷却は、本発明によれば、イオン化された空気によって行われ、この場合 、ガラス板は交換システムによって、冷却過程と基板ディスクへもたらす過程と の間で移動せしめられる。乾燥を窒素雰囲気内で行っても有利である。窒素雰囲 気は、基板ディスクを迅速にかつ最終的に乾燥させるために役立つ。 接着・及び乾燥過程後に、基板ディスクは検査ステーション内で例えばスキャ ナーによって欠陥が検査され、その際に得られた測定結果に応じて解放されるか 又は廃棄品として選別される。 本発明による方法は、例えばパーソナルコンピュータ内で実行されるデータ処 理プログラムで制御及び／又は視覚的に見えるようにされる。 本発明の課題は、冒頭に述べた形式の装置、つまり 予コーティング装置又は予ディスペンサ装置を有する装置によって解決される。 この装置は、製造方法の経過方向で、接着ステーション若しくは接着剤塗布装置 の手前に配置されている。予コーティング装置によって、基板の少なくとも１つ の接着しようとする面、有利には他方の基板が設置される側の面に、前塗料(Vor lackierung)が施される。前塗料は、接着剤又は主塗料の滑動性を改善し、ひい ては投げ飛ばし過程中に主塗料の迅速で均一な分布を生ぜしめる。特に精密駆動 装置を備えた相応の基板操作装置によって、基板は、正確に他方の基板上にセン タリングされて位置決めされ、特に正確に調節可能な圧力が、設置しようとする 基板及びひいては２つの基板間に塗布された接着剤に加えられる。この圧力は、 接着過程中に接着剤の分布及び接着過程の迅速性を改善するか若しくは高める。 前記本発明による方法によって得られた利点、つまり、接着剤を迅速、確実かつ 均一に、基板の接着しようとする面に分配し、しかも基板ディスクの非均一な厚 さ及びひいては低品質の基板ディスク若しくは高い廃棄率の原因となる、封入物 例えば空気が基板間に残ることがない、という利点は、本発明による装置によっ ても達成される。 前記課題を解決した本発明の別の考え方によれば、少なくとも１つの接着しよ うとする基板の縁部領域を、その他の基板から遠ざける方向に曲げるための曲げ 装置が設けられている。このような形式で、気泡又はその他の封入物が接着剤層 内に残ることはさらに良好に改善される。何故ならば、接着しようとする２つの 基板は、まず内側から外側に向かって重ね合わされ、この際に、気泡又は空気封 入物はローリング若しくは転動過程(Abrollvorgang)で外方に押し出されて取り 除かれるからである。 曲げ装置は、有利な形式で、曲げようとする基板の内側領域に係合するインナ ーグリッパと、曲げようとする基板の外側領域に係合するアウターグリッパとを 有している。これらのグリッパは、基板の軸線方向で互いに相対的に可動であっ て、従って下側の基板又は上側の基板をそれぞれ他方の基板に対して曲げること ができる。インナーグリッパ及び／又はアウターグリッパの係合のために、有利 には吸引装置又は吸引装置群が設けられており、これらは、アウターグリッパに おいては、全円形外周部に亘って分配して配置することができる。 前記課題を解決するために本発明の装置によればさらに、基板ディスク縁部を 洗浄するための洗浄装置が設けられている。洗浄過程によって、同時に基板ディ スク縁部のシールが得られ、及びひいては製造された製品の品質改善が得られる 。洗浄装置は有利には接着剤・吸込み装置を有しており、この接着剤・吸込み装 置は、本発明の別の実施例によれば、基板ディスク縁 部にばね弾性的に押しつけ可能である。この場合、有利には洗浄装置は、接着剤 ・投げ飛ばし装置の一部であるので、洗浄過程のために基板ディスクを相応のス テーションに搬送する必要はなく、投げ飛ばし過程の終わりに直接、基板ディス クのために設けられた位置でその縁部が洗浄される。 接着剤・投げ飛ばし装置若しくは基板ディスク縁部・洗浄装置の後ろ側には、 有利な形式で乾燥ステーションが配置されており、この乾燥ステーションは、紫 外線光線で乾燥され硬化される接着剤又は塗料が使用される場合には、紫外線・ 乾燥機である。 接着されたディスクの品質及び生産性を改善するために、乾燥ステーションは 有利な形式で石英板又はガラス板載設ユニットを有している。この場合、石英板 又はガラス板は、スライド・又は交換システムによって基板ディスク領域と冷却 領域との間で往復移動運動させることができる。 乾燥ステーションは有利な形式でＵＶ（紫外線）灯を有しており、この場合有 利には、基板縁部の領域に、紫外線のための反射面が設けられている。これによ って、接着剤の乾燥及び硬化が、基板ディスクの縁部及び角縁領域でも迅速かつ 確実に行われる。乾燥ステーションは、本発明による装置の別の実施例によれば 、検査ステーションに接続されており、この検査ステーションでは、検査過程の 測定結果に応じて、完成さ れた基板ディスクが解放されるか又は廃棄物として投げ出される。 本発明による装置は特に非常に安価で、小さい寸法を有するコンパクトな構造 形式に基づいて製造可能で、有利にはドア及び窓を備えた保護キャビンを有して いて、この保護キャビン内で、設けられたフローボックス(Flow-Box)つまり、相 応に可能な積層流によって、基板ディスクを完成するためのクリーンルームに似 た環境が得られる。本発明による装置は単独機械としても、また製造ラインに組 み込むこともできる。 本発明において基板ディスク(Substratscheiben)とは、デジタル・ビデオ・デ ィスクだけではなく、少なくとも２つの部分ディスクを接着する（貼り合わせる ）ことによって形成された一般的なディスクのことである。 次に本発明を図示の実施例を用いて詳しく説明する。 第１図は、本発明による装置の概略的な平面図、 第２図は、曲げ装置のための実施例の概略図である。 第１図に示した本発明の装置のための実施例においては、方法段階における方 法の連続は右から左である。第１の引き渡しステーション１で、引き渡しプレー ト２上に基板３が供給される。相応の形式で第２の引き渡しステーション４で第 ２の引き渡しプレート５上 に第２の基板６が供給される。この第２の基板の、情報を有していない面が、第 １の基板３の相応の面に接着される。オーバーヘッド操作装置７によって、第１ の基板３が引き渡しステーション１から取り出されて、１８０°回転せしめられ 、それによって情報が記憶されていない、接着しようとする側が上方に向けられ て、挿入・円形切換テーブル(Eingangs-Rundschalttisch)８上の所定の箇所に載 せられる。引き渡し操作装置９は、第２の基板６の接着しようとする側を下方に 、つまり基板６を回転させることなしに、挿入・円形切換テーブル８の相応の領 域上に搬送する。挿入・円形切換テーブル８は、特別な分割つまり２位置分割を 有していて、この２位置分割によって、電流中断後に、接着しようとする２つの 基板３と６とが混同されることは避けられる。 円形テーブル８は、第１及び第２の基板３若しくは６を接着ステーション１０ に供給し、この接着ステーション１０は、接着剤・投げ飛ばし装置又はプロセス ポット１１，１２及び各１つの接着剤塗布装置、若しくは各１つのディスペンサ ー１３，１４、各１つの基板ディスク縁部・洗浄装置若しくは予コーティング装 置若しくは予ディスペンス装置１７、及び相応のテーブル１８若しくは１９を有 している。 接着ステーション１０内のプロセス経過は次の通りである。 まず、挿入・円形切換テーブル８上に載せられた第１の基板３（接着面が上方 に向いていて、接着過程時に下側の基板を形成する）が、所定の円形テーブル位 置で、操作装置１９によって、予コーティング装置１７のテーブル２０上に載せ られ、ここでコーティング装置２１によって予コーティングされて、本来の接着 剤又は主塗料のための、後述する方法段階で最適な滑動性が得られる。予コーテ ィングされた基板３は、次いで再び挿入・円形切換テーブル８上に載せられる。 精密駆動装置を備えたワンアーム式の操作装置１８によって、第１の基板３が 挿入・円形切換テーブル８から両方の接着剤・投げ飛ばし装置１１若しくは１２ 内に設置される。次の方法段階で、それぞれ接着剤塗布装置若しくは主ディスペ ンサー１３，１４によって、接着剤例えばＵＶプラスチック塗料がほぼ円形の形 状に塗布される。次いで、上側の第２の基板６が挿入・円形切換テーブル９によ って同様に取り出され、正確にセンタリングされて下側の第１の基板３上の載せ られる。接着剤・投げ飛ばし装置１１，１２のプレートは回転せしめられ、それ によって接着剤は基板３と６との間に投げ飛ばされる。 以下に第２図を用いてさらに詳細が説明されているように、上側の又は下側の 基板３若しくは６は、やや曲げられており、これによって接着剤又はリング状接 着剤を塗布する際に生じる気泡又は封入物が減少され 、接着剤分布が付加的に改善され、加速される。ワンアーム式操作装置１８の正 確な駆動を介して、上側の第２の基板６を載せる速度だけでなく、この第２の基 板６をリング状接着剤上の載せる正確な圧力、並びに曲げられた基板の基板縁部 を開放する減速度を、正確に制御することができる。 投げ飛ばし後に、基板ディスク縁部・洗浄装置１５若しくは１６が作動されて 、この基板ディスク縁部・洗浄装置１５若しくは１６によって、図示の実施例で は接着剤・吸込み装置が接着しようとする基板ディスクの縁部にばね弾性的に押 しつけられる。これによって得られた縁部洗浄によって同時に、基板ディスク縁 部の付加的なシールが得られ、それによって製品の品質が改善される。 次いで接着された基板ディスク２３は、ワンアーム式操作装置２４によってス テーション１０から取り出され、乾燥ステーション２６のさらに別の円形切換テ ーブル２５上の載せられ、この乾燥ステーション２６内でＵＶ乾燥機２７の下側 に周期的にガイドされ、ＵＶ灯によって放射され、それによって乾燥される。Ｕ Ｖ乾燥機２７は、１つ又は２つのステーション内で有利な形式で２つ乃至４つの ＨＰＡ灯を有している。 乾燥ステーション２６はさらに、スライダ装置又は交換装置の形状のガラス板 操作装置２８を有している。このガラス板操作装置２８によって、石英板又はガ ラス板２９が、乾燥させようとする基板ディスク２３上の載せられて、その自重 によって基板ディスク２３上に位置する。ガラス板操作装置２８によって、ガラ ス板２９は、基板ディスク２３から取り出されてから、イオン化された空気で冷 却され、次いで再び別の基板ディスク２３上に載せることができる。 乾燥された基板ディスク２３は、３アーム式の操作装置３０によって乾燥ステ ーション２６の円形切換テーブル２５から取り出しステーション３１に供給され る。この取り出しステーション３１内には検査ステーション３４が設けられてい て、この検査ステーション３４は、完成した基板ディスク２３に対して品質コン トロールを行い、そのコントロールの結果若しくは測定値の結果に従って、３ア ーム式操作装置３０を制御して、この３アーム式操作装置３０が、良質の基板デ ィスク２３を別の円形テーブル３５上に降ろし、また粗悪な基板ディスク２３を 突き出しスピンドル３６上の降ろす。コンパクトな構造形式に基づいて、本発明 による装置は、長さ２９００ｍｍ、幅１２５０ｍｍ、高さ１９００ｍｍの小さい 寸法を有している。この寸法は、個別の機械としても、また製造ライン内に組み 込まれた機械としても、装置を最小のスペース内にフレキシブル（融通性をもっ て）に使用することを可能にする。 第２図には、接着しようとする基板の１つ又は２つ の縁部領域をそれぞれ別の基板に対して離れる方向に曲げるための曲げ装置の実 施例の部分的に横断面された概略図が示されている。曲げ装置４０は、インナー グリッパ４１とアウターグリッパ４２とを有しており、これらのグリッパは、液 圧シリンダ４３によって互いに相対的に可動である。インナーグリッパ４１は吸 引装置４３を有していて、この吸引装置４３は、相応の負圧（低圧）接続部４４ を介して負圧源に接続されていて、基板３又は６を捕まえて、この基板３又は６ を昇降シリンダ４５を用いて搬送する。 アウターグリッパ４２は、このアウターグリッパ外周部に亘って分配された多 数の吸引装置４６を有しており、これらの吸引装置４６は、基板３若しくは６の 外側領域を掴んでこの基板３若しくは６を曲げる。曲げ作業は、アウターグリッ パ４２がシリンダ４３と一緒にインナーグリッパ４１に関連して上昇せしめられ ると、開始される。 本発明は有利な実施例を用いて以上の通り説明されているが、本発明の考え方 からはずれることなしに、多くの構成及び変化実施例が可能である。前述した本 発明による装置は、デジタル・ビデオ・ディスクの製造に関連している。しかし ながら本発明の原理は、２つの基板を互いに接着するような別の製品を製造する ための方法及び装置にも用いることができる。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】平成１１年５月２１日（１９９９．５．２１） 【補正内容】 明細書 ２つの基板を接着するための方法及び装置 本発明は、２つの基板を接着して（貼り合わせて）１つの基板ディスクを形成 するための方法であって、第１の基板の接着しようとする面に接着剤を塗布し、 第２の基板の接着しようとする面を前記第１の基板上の載せ、これらの基板をそ の中心軸線を中心にして回転させて接着剤を投げ飛ばす方法及び装置に関する。 このような形式の方法及び装置は、ドイツ連邦共和国特許公開第４０４１１９ ９号明細書、Derwent-Abstract ９４−２４６１３９／３０及びヨーロッパ特許 公開第０７４４７３９号明細書により、例えばいわゆるデジタル・ビデオ・ディ スク（略語ＤＶＤとしても公知である）の製造に関して公知である。デジタル・ ビデオ・ディスクは、２つの基板又は部分基板より成っており、これら２つの基 板又は部分基板のそれぞれ一方側の面にデジタル・ビデオ情報が記憶され、その 情報が記憶されていない側の面が互いに接着されている。２つの基板を接着して １つの基板ディスク例えばデジタル・ビデオ・ディスクを形成するためには、非 常に正確に作業する装置が必要である。何故ならば、欠陥のない基板ディスクを 得るためには、基板を非常に正確に正しい位置で互いに配置するだけではなく、 接着過程をディスク面全体に亘って一様に、しかも封入空気又は種々異なる厚さ の接着剤層が形成されることなしに行わなければならないからである。さらにま た、２つの基板を接着するための従来の装置は構造的に非常に高価であって、し かも大きいスペースを必要とするものである。 アメリカ合衆国特許第４９９０２０８号明細書によれば、２つの基板から光学 式の記憶媒体を製造するための方法及び装置が公知である。この公知の方法及び 装置によれば、ＵＶ光線による硬化過程中に圧力を加えるために石英ガラス板が 基板上に載せられるようになっている。光学式の記憶媒体を製造する際の硬化過 程は、さらにアメリカ合衆国特許第５７７９８５５号明細書により公知である。 この公知の方法においては、光学式の記憶媒体は硬化過程中に紫外線光線が照射 されるプレート間に配置される。１９９４年９月２０日発行のPATENT ABSTRACTS OF JAPAN（パテント抄録），第０１８巻、５０２号（Ｍ−１６７６）、及び１ ９９４年６月２１日発行の特開平６−１７０８５５号公報（リコーCo,Ltd）によ れば、紫外線光線によってプラスチックフィルムを硬化させるための装置が公知 であり、この公知の装置においては、温度を導出するために窒素が側方から導入 されて、中央の開口を介して上方に導出されるようになっている。 １９８８年７月２６日発行のPATENT ABSTRACTS OF JAPAN（パテント抄録），第０１２巻、２６７号（Ｍ−７２２）、及び１９８８ 年３月２日発行の特開昭６３−０４９４２４号公報（ＳＯＮＹ）によれば、接着 しようとするディスクを、互いに９０°ずらした直線を中心にして折り曲げ、そ れによってまず所定の箇所だけでディスク間の接触点を当接させる方法について 開示されている。 本発明の課題は、基板の確実で一様な接着を可能にし、廃棄率が少ない良好な 基板ディスクを形成し、しかも簡単に実施することができるか若しくは構造的に 簡単であって、高い生産性が得られる、２つの基板を接着するための方法及び装 置を提供することである。 この課題を解決した本発明の方法によれば、基板の少なくとも１つの接着しよ うとする側の面、有利には本来の接着剤が塗布される、基板の接着しようとする 側の面に、予コーティング装置を設けるようにした。このような形式で、主接着 剤若しくは主塗料のための滑動性が著しく改善されるので、接着剤分布は、全面 に亘って迅速に行われるだけではなく、均一に行うことができるようになってい る。予コーティングによって、接着剤は、接着しようとする基板間で簡単な形式 で、接着しようとする面全体に亘って非常に均一に分布させることができ、気泡 又はこれと類似の封入物は避けられる。従って基板は、基板面全部に亘って、互 いに接着し合い、特に基板ディスクは面全体に亘って 均一な厚さを有するようになる。 接着剤としては、有利にはいわゆる紫外線・プラスチック塗料が使用される。 この紫外線・プラスチック塗料(Ultraviolett-Kunststofflack)は、紫外線を照 射することによって迅速に硬化し、２つの基板間で良好な付着効果を得ることが 可能である。有利には、接着剤としてリング状接着剤(Klebering;環状接着剤)が 、第１の基板の接着しようとする面に塗布される。次いで、このリング状接着剤 は、投げ飛ばし過程（遠心分離過程）によって、基板全面に亘って分布される。 有利には、第１の基板上に第２の基板を設置した後に、第２の基板に、これら の基板間で接着剤の均一な分布を改善する調節可能な圧力を加えるようになって いる。この場合、載せられた上側の基板は、有利な形式で、精密駆動装置を備え たワンアーム式操作装置を介して、自由に運動させられて、第１の基板上に正確 にセンタリングしてもたらされ、相応の圧力が加えられる。 前記課題を解決した本発明によれば、少なくとも１つの一方の基板を他方の基 板上に載せる際に、一方の基板の縁部領域を他方の基板から離れる方向に曲げる ようにした。つまり、少なくとも１つの基板を曲げるために、インナーグリッパ とアウターグリッパとが、互いに相対的に可動であるようにした。それによって 、接着剤層又は接着剤内の気泡又はその他の封入物は 確実に取り除くことができる。載せられた基板を曲げることによって、この載せ られた基板は、まず中央に載せられ、次いで完全に解放した後で、内側から外側 にローリング(abwaelzen)されるので、リング状接着剤は内側から外側に、基板 縁部に向かって押し出されて圧延され、それによって空気封入物及び気泡も取り 除かれる。 前記課題を解決した本発明の別の解決策によれば、接着しようとする基板ディ スクの縁部を、接着剤の投げ飛ばし後に洗浄するようにした。洗浄過程によって 付加的に、基板ディスク縁部は確実にシールされる。このシールによって、完成 された製品の品質は高められる。基板ディスク縁部を清浄するために、有利には 接着剤・吸込み装置が設けられており、このこの接着剤・吸込み装置は基板ディ スク縁部にばね弾性的に押しつけられる。生産性を高めるために、基板縁部のこ のような洗浄は、接着剤の投げ飛ばし過程後に直接行われる。この場合、縁部洗 浄のために、基板ディスクを付加的に位置変化させること又は固有の洗浄ステー ションは必要ない。 接着された基板ディスクは、有利な形式で接着剤・乾燥器内で、またＵＶ塗料 を使用する場合はＵＶ乾燥器内で乾燥され、それによって製造過程は著しく短縮 される。このような形式の接着剤・乾燥器は、例えば同一出願人による、まだ公 開されていないドイツ連邦 共和国特許出願第１９５４５８４３号明細書に記載されているような装置に相応 して構成することができる。この装置については、本発明の対象であるという以 外は、繰り返しを避けるために詳しい説明は省く。この場合例えば基板ディスク は、回転運動に伴ってＵＶ灯の下側を通過せしめられる。 前記課題の解決策としては、乾燥中に石英板又はガラス板を基板ディスク上に 載せるようにすれば、特に有利である。この場合、石英板又はガラス板は乾燥中 にその自重によって基板ディスク上に押しつけられて、その扁平さを維持し、加 熱が行われる乾燥過程後で、しかも次の基板ディスク上に載せる前に冷却するよ うにした。石英板又はガラス板の冷却は、本発明によれば、イオン化された空気 によって行われ、この場合、ガラス板は交換システムによって、冷却過程と基板 ディスクへもたらす過程との間で移動せしめられる。乾燥を窒素雰囲気内で行っ ても有利である。窒素雰囲気は、基板ディスクを迅速にかつ最終的に乾燥させる ために役立つ。 接着・及び乾燥過程後に、基板ディスクは検査ステーション内で例えばスキャ ナーによって欠陥が検査され、その際に得られた測定結果に応じて解放されるか 又は廃棄品として選別される。 本発明による方法は、例えばパーソナルコンピュータ内で実行されるデータ処 理プログラムで制御及び／ 又は視覚的に見えるようにされる。 本発明の課題は、冒頭に述べた形式の装置、つまり予コーティング装置又は予 ディスペンサ装置を有する装置によって解決される。この装置は、製造方法の経 過方向で、接着ステーション若しくは接着剤塗布装置の手前に配置されている。 予コーティング装置によって、基板の少なくとも１つの接着しようとする面、有 利には他方の基板が設置される側の面に、前塗料(Vorlackierung)が施される。 前塗料は、接着剤又は主塗料の滑動性を改善し、ひいては投げ飛ばし過程中に主 塗料の迅速で均一な分布を生ぜしめる。特に精密駆動装置を備えた相応の基板操 作装置によって、基板は、正確に他方の基板上にセンタリングされて位置決めさ れ、特に正確に調節可能な圧力が、設置しようとする基板及びひいては２つの基 板間に塗布された接着剤に加えられる。この圧力は、接着過程中に接着剤の分布 及び接着過程の迅速性を改善するか若しくは高める。前記本発明による方法によ って得られた利点、つまり、接着剤を迅速、確実かつ均一に、基板の接着しよう とする面に分配し、しかも基板ディスクの非均一な厚さ及びひいては低品質の基 板ディスク若しくは高い廃棄率の原因となる、封入物例えば空気が基板間に残る ことがない、という利点は、本発明による装置によっても達成される。 前記課題を解決した本発明の別の考え方によれば、 少なくとも１つの接着しようとする基板の縁部領域を、その他の基板から遠ざけ る方向に曲げるための曲げ装置が設けられており、この場合、曲げようとする基 板の内側領域に係合するインナーグリッパと、曲げようとする基板の外側領域に 係合するアウターグリッパとが使用され、こららのグリッパは基板の軸線方向で 互いに相対的に可動である。このような形式で、気泡又はその他の封入物が接着 剤層内に残ることはさらに良好に改善される。何故ならば、接着しようとする２ つの基板は、まず内側から外側に向かって重ね合わされ、この際に、気泡又は空 気封入物はローリング若しくは転動過程(Abrollvorgang)で外方に押し出されて 取り除かれ、特に下側の基板又は上側の基板をそれぞれ他方の基板に対して曲げ ることができるからである。インナーグリッパ及び／又はアウターグリッパの係 合のために、有利には吸引装置又は吸引装置群が設けられており、これらは、ア ウターグリッパにおいては、全円形外周部に亘って分配して配置することができ る。 請求の範囲 1. ２つの基板（３，６）を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成する ための方法であって、第１の基板（３）の接着しようとする面に接着剤を塗布し 、第２の基板（６）の接着しようとする面を前記第１の基板上に載せ、これらの 基板（３，６）をその中心軸線を中心にして回転させて接着剤を投げ飛ばす方法 において、 第１の基板（３）の接着しようとする面に、接着剤を塗布する前に予コーティ ングを施すことを特徴とする、２つの基板を接着するための方法。 2. 接着剤として紫外線・プラスチック塗料を使用する、請求項１記載の方法 。 3. 接着剤としてリング状接着剤を、第１の基板（３）の接着しようとする面 に塗布する、請求項１又は２記載の方法。 4. 接着剤の塗布後に、調節可能な圧力を第２の基板（６）に加える、請求項 １から３までのいずれか１項記載の方法。 5. ２つの基板（３，６）を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成する ための方法であって、第１の基板（３）の接着しようとする面に接着剤を塗布し 、第２の基板（６）の接着しようとする面を前記第１の基板上に載せ、これらの 基板（３，６）をその中心 軸線を中心にして回転させて接着剤を投げ飛ばし、この場合、少なくとも１つの 一方の基板（３，６）を他方の基板（６，３）上に載せる際に、一方の基板（３ ，６）の縁部領域を他方の基板（６，３）から離れる方向に曲げるようにする方 法において、 インナーグリッパ（４１）とアウターグリッパ（４２）とを、少なくとも１つ の基板（３，６）を曲げるために互いに相対的に移動させることを特徴とする、 ２つの基板を接着するための方法。 6. ２つの基板（３，６）を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成する ための方法であって、第１の基板（３）の接着しようとする面に接着剤を塗布し 、第２の基板（６）の接着しようとする面を前記第１の基板上に載せ、これらの 基板（３，６）をその中心軸線を中心にして回転させて接着剤を投げ飛ばし、乾 燥中に石英板又はガラス板（２９）を基板ディスク（２３）上に載せるようにす る方法において、 石英板又はガラス板（２９）を乾燥過程後で、しかも次の基板ディスク（２３ ）上に載せる前に冷却することを特徴とする、２つの基板を接着するための方法 。 7. 石英板又はガラス板（２９）をイオン化された空気で冷却する、請求項６ 記載の方法。 8. 乾燥を窒素雰囲気内で行う、請求項６又は７記載の方法。 9. 接着しようとする基板ディスク（２３）の縁部を、接着剤の投げ飛ばし後 に洗浄する、請求項１から８までのいずれか１項記載の方法。 10．基板（３，６）の接着を行うステーション（１０）で、縁部洗浄を行う、 請求項９記載の方法。 11．接着剤・吸込み装置を、接着しようとする基板ディスク（２３）の縁部に ばね弾性的に押しつける、請求項９又は１０記載の方法。 12．接着され乾燥された基板ディスク（２３）の欠陥を検査する、請求項１か ら１１までのいずれか１項記載の方法。 13．データ処理プログラムで制御し及び／又は視覚的に見えるようにする、請 求項１から１２までのいずれか１項記載の方法。 14．２つの基板を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成するための装置 であって、少なくとも１つの接着ステーション（１０）と、少なくとも１つの接 着剤塗布装置（１５，１６）と、少なくとも１つの接着剤投げ飛ばし装置（１１ ，１２）とを有している形式のものにおいて、 予コーティング装置（１７）が設けられていることを特徴とする、２つの基板 を接着するための装置。 15．接着過程中に、調節可能な圧力を少なくとも１つの基板ディスク（３，６ ）に加える圧力装置が設けられている、請求項１４記載の装置。 16．２つの基板を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成するための装置 であって、少なくとも１つの接着ステーション（１０）と、少なくとも１つの接 着剤塗布装置（１５，１６）と、少なくとも１つの接着剤投げ飛ばし装置（１１ ，１２）と、少なくとも１つの接着しようとする基板（３，６）の縁部領域を、 その他の基板（６，３）から遠ざける方向に曲げるための曲げ装置（４０）とを 有している形式のものにおいて、 前記曲げ装置（４０）が、曲げようとする基板（３，６）の内側領域に係合す るインナーグリッパ（４１）と、曲げようとする基板（３，６）の外側領域に係 合するアウターグリッパ（４２）とを有していることを特徴とする、２つの基板 を接着するための装置。 17．インナーグリッパ（４１）及び／又はアウターグリッパ（４２）が、基板 （３，６）の軸方向で互いに相対的に可動である、請求項１６記載の装置。 18．インナーグリッパ（４１）及び／又はアウターグリッパ（４２）が吸引装 置（４３若しくは４６）を有している、請求項１６又は１７記載の装置。 19．２つの基板を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成するための装置 であって、少なくとも１つの接着ステーション（１０）と、少なくとも１つの接 着剤塗布装置（１５，１６）と、少なくとも１つの接着剤投げ飛ばし装置（１１ ，１２）と、石英板又はガ ラス板設置装置（２８）を備えた乾燥ステーション（２６）とを有している形式 のものにおいて、 乾燥ステーション（２６）が石英板又はガラス板冷却装置を有していることを 特徴とする、２つの基板を接着するための装置。 20．冷却剤がイオン化された空気である、請求項１９記載の装置。 21．乾燥ステーション（２６）が紫外線灯を有しており、基板縁部の領域に、 紫外線光線のための反射面が設けられている、請求項１９又は２０記載の装置。 22．乾燥ステーション（２６）の後ろに検査ステーション（３４）が配置され ている、請求項１４から２１までのいずれか１項記載の装置。 23．基板ディスク縁部洗浄装置（１５，１６）が設けられている、請求項１４ から２２までのいずれか１項記載の装置。 24．基板ディスク縁部洗浄装置（１５，１６）が接着剤吸込み装置を有してい る、請求項２３記載の装置。 25．基板ディスク縁部洗浄装置（１５，１６）が、基板ディスク縁部にばね弾 性的に押しつけ可能である、請求項３４又は２４記載の装置。 26．基板ディスク縁部洗浄装置（１５，１６）が、接着剤投げ飛ばし装置（１ １，１２）の一部である、請求項２３から２５までのいずれか１項記載の装置。 【手続補正書】 【提出日】平成１１年１２月１０日（１９９９．１２．１０） 【補正内容】 明細書 ２つの基板を接着するための方法及び装置 本発明は、２つの基板を接着して（貼り合わせて）１つの基板ディスクを形成 するための方法であって、第１の基板の接着しようとする面に接着剤を塗布し、 第２の基板の接着しようとする面を前記第１の基板上の載せ、これらの基板をそ の中心軸線を中心にして回転させて接着剤を投げ飛ばす方法及び装置に関する。 このような形式の方法及び装置は、ドイツ連邦共和国特許公開第４０４１１９ ９号明細書、Derwent-Abstract ９４−２４６１３９／３０及びヨーロッパ特許 公開第０７４４７３９号明細書により、例えばいわゆるデジタル・ビデオ・ディ スク（略語ＤＶＤとしても公知である）の製造に関して公知である。デジタル・ ビデオ・ディスクは、２つの基板又は部分基板より成っており、これら２つの基 板又は部分基板のそれぞれ一方側の面にデジタル・ビデオ情報が記憶され、その 情報が記憶されていない側の面が互いに接着されている。２つの基板を接着して １つの基板ディスク例えばデジタル・ビデオ・ディスクを形成するためには、非 常に正確に作業する装置が必要である。何故ならば、欠陥のない基板ディスクを 得るためには、基板を非常に正確に正しい位置で互いに配置するだけではなく、 接着過程をディスク面全体に亘って一様に、しかも封入空気又は種々異なる厚さ の接着剤層が形成されることなしに行わなければならないからである。さらにま た、２つの基板を接着するための従来の装置は構造的に非常に高価であって、し かも大きいスペースを必要とするものである。 アメリカ合衆国特許第４９９０２０８号明細書によれば、２つの基板から光学 式の記憶媒体を製造するための方法及び装置が公知である。この公知の方法及び 装置によれば、ＵＶ光線による硬化過程中に圧力を加えるために石英ガラス板が 基板上に載せられるようになっている。光学式の記憶媒体を製造する際の硬化過 程は、さらにアメリカ合衆国特許第５７７９８５５号明細書により公知である。 この公知の方法においては、光学式の記憶媒体は硬化過程中に紫外線光線が照射 されるプレート間に配置される。１９９４年９月２０日発行のPATENT ABSTRACTS F JAPAN（パテント抄録）,第０１８巻、５０２号（Ｍ−１６７６）、及び１９ ９４年６月２１日発行の特開平６−１７０８５５号公報（リコーCo,Ltd）によれ ば、紫外線光線によってプラスチックフィルム（樹脂膜）を硬化させるための装 置が公知であり、この公知の装置においては、温度を導出するために窒素が側方 から導入されて、中央の開口を介して上方に導出されるようになっている。 １９８８年７月２６日発行のPATENT ABSTRACTS OF JAPAN（パテント抄録）， 第０１２巻、２６７号（Ｍ−７２２）、及び１９８８年３月２日発行の特開昭６ ３−０４９４２４号公報（ＳＯＮＹ）によれば、接着しようとするディスクをそ れぞれ、互いに９０°ずらした直線を中心にして折り曲げ、それによってまず所 定の箇所だけで両ディスクを点接触させる方法について開示されている。 本発明の課題は、基板の確実で一様な接着を可能にし、廃棄率が少ない良好な 基板ディスクを形成し、しかも簡単に実施することができるか若しくは構造的に 簡単であって、高い生産性が得られる、２つの基板を接着するための方法及び装 置を提供することである。 この課題を解決した本発明の方法によれば、基板の少なくとも１つの接着しよ うとする側の面、有利には本来の接着剤が塗布される、基板の接着しようとする 側の面に、予コーティング装置を設けるようにした。このような形式で、主接着 剤若しくは主塗料のための滑動性が著しく改善されるので、接着剤分布は、全面 に亘って迅速に行われるだけではなく、均一に行うことができるようになってい る。予コーティングによって、接着剤は、接着しようとする基板間で簡単な形式 で、接着しようとする面全体に亘って非常に均一に分布させることができ、気泡 又はこれと類似の封入物は避けられる。従って基板は、基板面全部に亘って、互 いに接着し合い、特に基板ディスクは面全体に亘って均一な厚さを有するように なる。 接着剤としては、有利にはいわゆる紫外線・プラスチック塗料が使用される。 この紫外線・プラスチック塗料(Ultraviolett-Kunststofflack)は、紫外線を照 射することによって迅速に硬化し、２つの基板間で良好な付着効果を得ることが 可能である。有利には、接着剤としてリング状接着剤(Klebering;環状接着剤)が 、第１の基板の接着しようとする面に塗布される。次いで、このリング状接着剤 は、投げ飛ばし過程（遠心分離過程）によって、基板全面に亘って分布される。 有利には、第１の基板上に第２の基板を設置した後に、第２の基板に、これら の基板間で接着剤の均一な分布を改善する調節可能な圧力を加えるようになって いる。この場合、載せられた上側の基板は、有利な形式で、精密駆動装置を備え たワンアーム式操作装置を介して、自由に運動させられて、第１の基板上に正確 にセンタリングしてもたらされ、相応の圧力が加えられる。 有利には、少なくとも一方の基板を他方の基板上に載せる際に、一方の基板の 縁部領域を他方の基板から離れる方向に曲げるようにした。つまり、少なくとも １つの基板を曲げるために、インナーグリッパとアウターグリッパとが、互いに 相対的に可動であるようにした。それによって、接着剤層又は接着剤内の気泡又 はその他の封入物は確実に取り除くことができる。載せられた基板を曲げること によって、この載せられた基板は、まず中央に載せられ、次いで完全に解放した 後で、内側から外側にローリング(abwaelzen)されるので、リング状接着剤は内 側から外側に、基板縁部に向かって押し出されて圧延され、それによって空気封 入物及び気泡も取り除かれる。 前記課題を解決した本発明の別の解決策によれば、接着しようとする基板ディ スクの縁部を、接着剤の投げ飛ばし後に洗浄するようにした。洗浄過程によって 付加的に、基板ディスク縁部は確実にシールされる。このシールによって、完成 された製品の品質は高められる。基板ディスク縁部を清浄するために、有利には 接着剤・吸込み装置が設けられており、このこの接着剤・吸込み装置は基板ディ スク縁部にばね弾性的に押しつけられる。生産性を高めるために、基板縁部のこ のような洗浄は、接着剤の投げ飛ばし過程後に直接行われる。この場合、縁部洗 浄のために、基板ディスクを付加的に位置変化させること又は固有の洗浄ステー ションは必要ない。 接着された基板ディスクは、有利な形式で接着剤・乾燥器内で、またＵＶ塗料 を使用する場合はＵＶ乾燥器内で乾燥され、それによって製造過程は著しく短縮 される。このような形式の接着剤・乾燥器は、例えば同一出願人による、まだ公 開されていないドイツ連邦共和国特許出願第１９５４５８４３号明細書に記載さ れているような装置に相応して構成することができる。この装置については、本 発明の対象であるという以外は、繰り返しを避けるために詳しい説明は省く。こ の場合例えば基板ディスクは、回転運動に伴ってＵＶ灯の下側を通過せしめられ る。 乾燥中に石英板又はガラス板を基板ディスク上に載せるようにすれば有利であ る。この場合、石英板又はガラス板は乾燥中にその自重によって基板ディスク上 に押しつけられて、その扁平さを維持し、加熱が行われる乾燥過程後で、しかも 次の基板ディスク上に載せる前に冷却するようにした。石英板又はガラス板の冷 却は、本発明によれば、イオン化された空気によって行われ、この場合、ガラス 板は交換システムによって、冷却過程と基板ディスクへもたらす過程との間で移 動せしめられる。乾燥を窒素雰囲気内で行っても有利である。窒素雰囲気は、基 板ディスクを迅速にかつ最終的に乾燥させるために役立つ。 接着・及び乾燥過程後に、基板ディスクは検査ステーション内で例えばスキャ ナーによって欠陥が検査され、その際に得られた測定結果に応じて解放されるか 又は廃棄品として選別される。 本発明による方法は、例えばパーソナルコンピュータ内で実行されるデータ処 理プログラムで制御及び／又は視覚的に見えるようにされる。 本発明の課題は、冒頭に述べた形式の装置、つまり予コーティング装置又は予 ディスペンサ装置を有する装置によって解決される。この装置は、製造方法の経 過方向で、接着ステーション若しくは接着剤塗布装置の手前に配置されている。 予コーティング装置によって、基板の少なくとも１つの接着しようとする面、有 利には他方の基板が設置される側の面に、前塗料(Vorlackierung)が施される。 前塗料は、接着剤又は主塗料の滑動性を改善し、ひいては投げ飛ばし過程中に主 塗料の迅速で均一な分布を生ぜしめる。特に精密駆動装置を備えた相応の基板操 作装置によって、基板は、正確に他方の基板上にセンタリングされて位置決めさ れ、特に正確に調節可能な圧力が、設置しようとする基板及びひいては２つの基 板間に塗布された接着剤に加えられる。この圧力は、接着過程中に接着剤の分布 及び接着過程の迅速性を改善するか若しくは高める。前記本発明による方法によ って得られた利点、つまり、接着剤を迅速、確実かつ均一に、基板の接着しよう とする面に分配し、しかも基板ディスクの非均一な厚さ及びひいては低品質の基 板ディスク若しくは高い廃棄率の原因となる、封入物例えば空気が基板間に残る ことがない、という利点は、本発明による装置によっても達成される。 本発明の別の実施例によれば、少なくとも１つの接着しようとする基板の縁部 領域を、その他の基板から遠ざける方向に曲げるための曲げ装置が設けられてお り、この場合、曲げようとする基板の内側領域に係合するインナーグリッパと、 曲げようとする基板の外側領域に係合するアウターグリッパとが使用され、これ らのグリッパは基板の軸線方向で互いに相対的に可動である。このような形式で 、気泡又はその他の封入物が接着剤層内に残ることはさらに良好に改善される。 何故ならば、接着しようとする２つの基板は、まず内側から外側に向かって重ね 合わされ、この際に、気泡又は空気封入物はローリング若しくは転動過程(Abrol lvorgang)で外方に押し出されて取り除かれ、特に下側の基板又は上側の基板を それぞれ他方の基板に対して曲げることができるからである。インナーグリッパ 及び／又はアウターグリッパの係合のために、有利には吸引装置又は吸引装置群 が設けられており、これらは、アウターグリッパにおいては、全円形外周部に亘 って分配して配置することができる。 前記課題を解決するために本発明の装置によればさらに、基板ディスク縁部を 洗浄するための洗浄装置が設けられている。洗浄過程によって、同時に基板ディ スク縁部のシールが得られ、及びひいては製造された製品の品質改善が得られる 。洗浄装置は有利には接着剤・吸込み装置を有しており、この接着剤・吸込み装 置は、本発明の別の実施例によれば、基板ディスク縁部にばね弾性的に押しつけ 可能である。この場合、有利には洗浄装置は、接着剤・投げ飛ばし装置の一部で あるので、洗浄過程のために基板ディスクを相応のステーションに搬送する必要 はなく、投げ飛ばし過程の終わりに直接、基板ディスクのために設けられた位置 でその縁部が洗浄される。 接着剤・投げ飛ばし装置若しくは基板ディスク縁部・洗浄装置の後ろ側には、 有利な形式で乾燥ステーションが配置されており、この乾燥ステーションは、紫 外線光線で乾燥され硬化される接着剤又は塗料が使用される場合には、紫外線・ 乾燥機である。 接着されたディスクの品質及び生産性を改善するために、乾燥ステーションは 有利な形式で石英板又はガラス板載設ユニットを有している。この場合、石英板 又はガラス板は、スライド・又は交換システムによって基板ディスク領域と冷却 領域との間で往復移動運動させることができる。 乾燥ステーションは有利な形式でＵＶ（紫外線）灯を有しており、この場合有 利には、基板縁部の領域に、紫外線のための反射面が設けられている。これによ って、接着剤の乾燥及び硬化が、基板ディスクの縁部及び角縁領域でも迅速かつ 確実に行われる。乾燥ステーションは、本発明による装置の別の実施例によれば 、検査ステーションに接続されており、この検査ステーションでは、検査過程の 測定結果に応じて、完成された基板ディスクが解放されるか又は廃棄物として投 げ出される。 本発明による装置は特に非常に安価で、小さい寸法を有するコンパクトな構造 形式に基づいて製造可能で、有利にはドア及び窓を備えた保護キャビンを有して いて、この保護キャビン内で、設けられたフローボックス(Flow-Box)つまり、相 応に可能な積層流によって、基板ディスクを完成するためのクリーンルームに似 た環境が得られる。本発明による装置は単独機械としても、また製造ラインに組 み込むこともできる。 本発明において基板ディスク(Substratscheiben)とは、デジタル・ビデオ・デ ィスクだけではなく、少なくとも２つの部分ディスクを接着する（貼り合わせる ）ことによって形成された一般的なディスクのことである。 次に本発明を図示の実施例を用いて詳しく説明する。 第１図は、本発明による装置の概略的な平面図、 第２図は、曲げ装置のための実施例の概略図である。 第１図に示した本発明の装置のための実施例においては、方法段階における方 法の連続は右から左である。第１の引き渡しステーション１で、引き渡しプレー ト２上に基板３が供給される。相応の形式で第２の引き渡しステーション４で第 ２の引き渡しプレート５上に第２の基板６が供給される。この第２の基板の、情 報を有していない面が、第１の基板３の相応の面に接着される。オーバーヘッド 操作装置７によって、第１の基板３が引き渡しステーション１から取り出されて 、１８０°回転せしめられ、それによって情報が記憶されていない、接着しよう とする側が上方に向けられて、挿入・円形切換テーブル(Eingangs-Rundschaltti sch)８上の所定の箇所に載せられる。引き渡し操作装置９は、第２の基板６の接 着しようとする側を下方に、つまり基板６を回転させることなしに、挿入・円形 切換テーブル８の相応の領域上に搬送する。挿入・円形切換テーブル８は、特別 な分割つまり２位置分割を有していて、この２位置分割によって、電流中断後に 、接着しようとする２つの基板３と６とが混同されることは避けられる。 円形テーブル８は、第１及び第２の基板３若しくは６を接着ステーション１０ に供給し、この接着ステーション１０は、接着剤・投げ飛ばし装置又はプロセス ポット１１，１２及び各１つの接着剤塗布装置、若しくは各１つのディスペンサ ー１３，１４、各１つの基板ディスク縁部・洗浄装置若しくは予コーティング装 置若しくは予ディスペンス装置１７、及び相応のテーブル１８若しくは１９を有 している。 接着ステーション１０内のプロセス経過は次の通りである。 まず、挿入・円形切換テーブル８上に載せられた第１の基板３（接着面が上方 に向いていて、接着過程時に下側の基板を形成する）が、所定の円形テーブル位 置で、操作装置１９によって、予コーティング装置１７のテーブル２０上に載せ られ、ここでコーティング装置２１によって予コーティングされて、本来の接着 剤又は主塗料のための、後述する方法段階で最適な滑動性が得られる。予コーテ ィングされた基板３は、次いで再び挿入・円形切換テーブル８上に載せられる。 精密駆動装置を備えたワンアーム式の操作装置１８によって、第１の基板３が 挿入・円形切換テーブル８から両方の接着剤・投げ飛ばし装置１１若しくは１２ 内に設置される。次の方法段階で、それぞれ接着剤塗布装置若しくは主ディスペ ンサー１３，１４によって、接着剤例えばＵＶプラスチック塗料がほぼ円形の形 状に塗布される。次いで、上側の第２の基板６が挿入・円形切換テーブル９によ って同様に取り出され、正確にセンタリングされて下側の第１の基板３上の載せ られる。接着剤・投げ飛ばし装置１１，１２のプレートは回転せしめられ、それ によって接着剤は基板３と６との間に投げ飛ばされる。 以下に第２図を用いてさらに詳細が説明されているように、上側の又は下側の 基板３若しくは６は、やや曲げられており、これによって接着剤又はリング状接 着剤を塗布する際に生じる気泡又は封入物が減少され、接着剤分布が付加的に改 善され、加速される。ワンアーム式操作装置１８の正確な駆動を介して、上側の 第２の基板６を載せる速度だけでなく、この第２の基板６をリング状接着剤上の 載せる正確な圧力、並びに曲げられた基板の基板縁部を開放する減速度を、正確 に制御することができる。 投げ飛ばし後に、基板ディスク縁部・洗浄装置１５若しくは１６が作動されて 、この基板ディスク縁部・洗浄装置１５若しくは１６によって、図示の実施例で は接着剤・吸込み装置が接着しようとする基板ディスクの縁部にばね弾性的に押 しつけられる。これによって得られた縁部洗浄によって同時に、基板ディスク縁 部の付加的なシールが得られ、それによって製品の品質が改善される。 次いで接着された基板ディスク２３は、ワンアーム式操作装置２４によってス テーション１０から取り出され、乾燥ステーション２６のさらに別の円形切換テ ーブル２５上の載せられ、この乾燥ステーション２６内でＵＶ乾燥機２７の下側 に周期的にガイドされ、ＵＶ灯によって放射され、それによって乾燥される。Ｕ Ｖ乾燥機２７は、１つ又は２つのステーション内で有利な形式で２つ乃至４つの ＨＰＡ灯を有している。 乾燥ステーション２６はさらに、スライダ装置又は交換装置の形状のガラス板 操作装置２８を有している。このガラス板操作装置２８によって、石英板又はガ ラス板２９が、乾燥させようとする基板ディスク２３上の載せられて、その自重 によって基板ディスク２３上に位置する。ガラス板操作装置２８によって、ガラ ス板２９は、基板ディスク２３から取り出されてから、イオン化された空気で冷 却され、次いで再び別の基板ディスク２３上に載せることができる。 乾燥された基板ディスク２３は、３アーム式の操作装置３０によって乾燥ステ ーション２６の円形切換テーブル２５から取り出しステーション３１に供給され る。この取り出しステーション３１内には検査ステーション３４が設けられてい て、この検査ステーション３４は、完成した基板ディスク２３に対して品質コン トロールを行い、そのコントロールの結果若しくは測定値の結果に従って、３ア ーム式操作装置３０を制御して、この３アーム式操作装置３０が、良質の基板デ ィスク２３を別の円形テーブル３５上に降ろし、また粗悪な基板ディスク２３を 突き出しスピンドル３６上の降ろす。コンパクトな構造形式に基づいて、本発明 による装置は、長さ２９００ｍｍ、幅１２５０ｍｍ、高さ１９００ｍｍの小さい 寸法を有している。この寸法は、個別の機械としても、また製造ライン内に組み 込まれた機械としても、装置を最小のスペース内にフレキシブル（融通性をもっ て）に使用することを可能にする。 第２図には、接着しようとする基板の１つ又は２つの縁部領域をそれぞれ別の 基板に対して離れる方向に曲げるための曲げ装置の実施例の部分的に横断面され た概略図が示されている。曲げ装置４０は、インナーグリッパ４１とアウターグ リッパ４２とを有しており、これらのグリッパは、液圧シリンダ４３によって互 いに相対的に可動である。インナーグリッパ４１は吸引装置４８を有していて、 この吸引装置４８は、相応の負圧（低圧）接続部４４を介して負圧源に接続され ていて、基板３又は６を捕まえて、この基板３又は６を昇降シリンダ４５を用い て搬送する。 アウターグリッパ４２は、このアウターグリッパ外周部に亘って分配された多 数の吸引装置４６を有しており、これらの吸引装置４６は、基板３若しくは６の 外側領域を掴んでこの基板３若しくは６を曲げる。曲げ作業は、アウターグリッ パ４２がシリンダ４３と一緒にインナーグリッパ４１に関連して上昇せしめられ ると、開始される。 本発明は有利な実施例を用いて以上の通り説明されているが、本発明の考え方 からはずれることなしに、多くの構成及び変化実施例が可能である。前述した本 発明による装置は、デジタル・ビデオ・ディスクの製造に関連している。しかし ながら本発明の原理は、２つの基板を互いに接着するような別の製品を製造する ための方法及び装置にも用いることができる。 請求の範囲 １．２つの基板（３，６）を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成するた めの方法であって、第１の基板（３）の接着しようとする面に接着剤を塗布し 、第２の基板（６）の接着しようとする面を前記第１の基板上に載せ、これら の基板（３，６）をその中心軸線を中心にして回転させて接着剤を投げ飛ばす 方法において、 第１の基板（３）の接着しようとする面に、接着剤を塗布する前に予コーテ ィングを施すことを特徴とする、２つの基板を接着するための方法。 ２．接着剤として紫外線・プラスチック塗料を使用する、請求項１記載の方法。 ３．接着剤としてリング状接着剤を、第１の基板（３）の接着しようとする面に 塗布する、請求項１又は２記載の方法。 ４．接着剤の塗布後に、調節可能な圧力を第２の基板（６）に加える、請求項１ から３までのいずれか１項記載の方法。 ５．少なくとも１つの一方の基板（３，６）を他方の基板（６，３）上に載せる 際に、一方の基板（３，６）の縁部領域を他方の基板（６，３）から離れる方 向に曲げるようにする、請求項１から４までのいずれか１項記載の方法。 ６．乾燥中に石英板又はガラス板（２９）を基板ディスク（２３）上に載せる、 請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。 ７．石英板又はガラス板（２９）をイオン化された空気で冷却する、請求項６記 載の方法。 ８．乾燥を窒素雰囲気内で行う、請求項６又は７記載の方法。 ９．接着しようとする基板ディスク（２３）の縁部を、接着剤の投げ飛ばし後に 洗浄する、請求項１から８までのいずれか１項記載の方法。 10．基板（３，６）の接着を行うステーション（１０）で、縁部洗浄を行う、請 求項９記載の方法。 11．接着剤・吸込み装置を、接着しようとする基板ディスク（２３）の縁部にば ね弾性的に押しつける、請求項９又は１０記載の方法。 12．接着され乾燥された基板ディスク（２３）の欠陥を検査する、請求項１から １１までのいずれか１項記載の方法。 13．データ処理プログラムで制御し及び／又は視覚的に見えるようにする、請求 項１から１２までのいずれか１項記載の方法。 14．２つの基板を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成するための装置で あって、少なくとも１つの接着ステーション（１０）と、少なくとも１つの接 着剤塗布装置（１３，１４）と、少なくとも１つの接着剤投げ飛ばし装置（１ １，１２）とを有している形式のものにおいて、 予コーティング装置（１７）が設けられていることを特徴とする、２つの基 板を接着するための装置。 15．接着過程中に、調節可能な圧力を少なくとも１つの基板ディスク（３，６） に加える圧力装置が設けられている、請求項１４記載の装置。 16．少なくとも１つの接着しようとする基板（３，６）の縁部領域を、その他の 基板（６，３）から遠ざける方向に曲げるための曲げ装置（４０）が設けられ ている、請求項１４又は１５記載の装置。17 ．前記曲げ装置（４０）が、曲げようとする基板（３，６）の内側領域に係合 するインナーグリッパ（４１）と、曲げようとする基板（３，６）の外側領域 に係合するアウターグリッパ（４２）とを有している、請求項１６記載の装置 。18 ． インナーグリッパ（４１）及び／又はアウターグリッパ（４２）が、基板（ ３，６）の軸方向で互いに相対的に可動である、請求項１７記載の装置。19 ． インナーグリッパ（４１）及び／又はアウターグリッパ（４２）が吸引装置 （４３若しくは４６）を有している、請求項１７又は１８記載の装置。20 ．石英板又はガラス板設置装置（２８）を備えた乾燥ステーション（２６）が 設けられている、請求項１４から１９までのいずれか１項記載の装置。21 ．乾燥ステーション（２６）が石英板又はガラス板冷却装置を有している、請 求項２０記載の装置。22 ． 冷却剤がイオン化された空気である、請求項２１記載の装置。23 ． 乾燥ステーション（２６）が紫外線灯を有しており、基板縁部の領域に、紫 外線光線のための反射面が設けられている、請求項２０から２２までのいずれ か１項記載の装置。24 ． 乾燥ステーション（２６）の後ろに検査ステーション（３４）が配置されて いる、請求項１４から２３までのいずれか１項記載の装置。25 ． 基板ディスク縁部洗浄装置（１５，１６）が設けられている、請求項１４か ら２４までのいずれか１項記載の装置。26 ． 基板ディスク縁部洗浄装置（１５，１６）が接着剤吸込み装置を有している 、請求項２５記載の装置。27 ． 基板ディスク縁部洗浄装置（１５，１６）が、基板ディスク縁部にばね弾性 的に押しつけ可能である、請求項２５又は２６記載の装置。28 ． 基板ディスク縁部洗浄装置（１５，１６）が、接着剤投げ飛ばし装置（１１ ，１２）の一部である、請求項２５から２７までのいずれか１項記載の装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 7/26 ５３１ Ｇ１１Ｂ 7/26 ５３１

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 1. ２つの基板（３，６）を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成する ための方法であって、第１の基板（３）の接着しようとする面に接着剤を塗布し 、第２の基板（６）の接着しようとする面を前記第１の基板上に載せ、これらの 基板（３，６）をその中心軸線を中心にして回転させて接着剤を投げ飛ばす方法 において、 第１の基板（３）の接着しようとする面に、接着剤を塗布する前に予コーティ ングを施すことを特徴とする、２つの基板を接着するための方法。 2. 接着剤として紫外線・プラスチック塗料を使用する、請求項１記載の方法 。 3. 接着剤としてリング状接着剤を、第１の基板（３）の接着しようとする面 に塗布する、請求項１又は２記載の方法。 4. 接着剤の塗布後に、調節可能な圧力を第２の基板（６）に加える、請求項 １から３までのいずれか１項記載の方法。 5. ２つの基板（３，６）を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成する ための方法であって、第１の基板（３）の接着しようとする面に接着剤を塗布し 、第２の基板（６）の接着しようとする面を前記第１の基板上に載せ、これらの 基板（３，６）をその中心 軸線を中心にして回転させて接着剤を投げ飛ばす方法において、 少なくとも１つの一方の基板（３，６）を他方の基板（６，３）上に載せる際 に、一方の基板（３，６）の縁部領域を他方の基板（６，３）から離れる方向に 曲げることを特徴とする、２つの基板を接着するための方法。 6. ２つの基板（３，６）を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成する ための方法であって、第１の基板（３）の接着しようとする面に接着剤を塗布し 、第２の基板（６）の接着しようとする面を前記第１の基板上に載せ、これらの 基板（３，６）をその中心軸線を中心にして回転させて接着剤を投げ飛ばす方法 において、 接着しようとする基板ディスク（２３）の縁部を、接着剤の投げ飛ばし後に洗 浄することを特徴とする、２つの基板を接着するための方法。 7. 基板（３，６）の接着を行うステーション（１０）で、縁部洗浄を行う、 請求項６記載の方法。 8. 接着剤・吸込み装置を、接着しようとする基板ディスク（２３）の縁部に ばね弾性的に押しつける、請求項６又は７記載の方法。 9. ２つの基板（３，６）を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成する ための方法であって、第１の基板（３）の接着しようとする面に接着剤を塗布し 、第２の基板（６）の接着しようとする面を前記第１の基板上に載せ、これらの 基板（３，６）をその中心軸線を中心にして回転させて接着剤を投げ飛ばす方法 において、 乾燥中に石英板又はガラス板（２９）を基板ディスク（２３）上に載せること を特徴とする、２つの基板を接着するための方法。 10. 石英板又はガラス板（２９）を乾燥過程後で、しかも次の基板ディスク ２３）上に載せる前に冷却する、請求項９記載の方法。 11. 石英板又はガラス板（２９）をイオン化された空気で冷却する、請求項 ９又は１０記載の方法。 12. 乾燥を窒素雰囲気内で行う、請求項９から１１までのいずれか１項記載 の方法。 13. 接着され乾燥された基板ディスク（２３）の欠陥を検査する、請求項１ から１２までのいずれか１項記載の方法。 14. データ処理プログラムで制御し及び／又は視覚的に見えるようにする、 請求項１から１３までのいずれか１項記載の方法。 15. ２つの基板を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成するための装 置であって、少なくとも１つの接着ステーション（１０）と、少なくとも１つの 接着剤塗布装置（１５，１６）と、少なくとも１つの接着剤投げ飛ばし装置（１ １，１２）とを有している 形式のものにおいて、 予コーティング装置（１７）が設けられていることを特徴とする、２つの基板 を接着するための装置。 16. 接着過程中に、調節可能な圧力を少なくとも１つの基板ディスク（３， ６）に加える圧力装置が設けられている、請求項１５記載の装置。 17. ２つの基板を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成するための装 置であって、少なくとも１つの接着ステーション（１０）と、少なくとも１つの 接着剤塗布装置（１５，１６）と、少なくとも１つの接着剤投げ飛ばし装置（１ １，１２）とを有している形式のものにおいて、 少なくとも１つの接着しようとする基板（３，６）の縁部領域を、その他の基 板（６，３）から遠ざける方向に曲げるための曲げ装置（４０）が設けられてい ることを特徴とする、２つの基板を接着するための装置。 18. 前記曲げ装置（４０）が、曲げようとする基板（３，６）の内側領域に 係合するインナーグリッパ（４１）と、曲げようとする基板（３，６）の外側領 域に係合するアウターグリッパ（４２）とを有している、請求項１７記載の装置 。 19. インナーグリッパ（４１）及び／又はアウターグリッパ（４２）が、基 板（３，６）の軸方向で互いに相対的に可動である、請求項１７又は１８記載の 装置。 20. インナーグリッパ（４１）及び／又はアウターグリッパ（４２）が吸引 装置（４３若しくは４６）を有している、請求項１７から１９までのいずれか１ 項記載の装置。 21. ２つの基板を接着して１つの基板ディスク（２３）を形成するための装 置であって、少なくとも１つの接着ステーション（１０）と、少なくとも１つの 接着剤塗布装置（１５，１６）と、少なくとも１つの接着剤投げ飛ばし装置（１ １，１２）とを有している形式のものにおいて、 基板ディスク縁部洗浄装置（１５，１６）が設けられていることを特徴とする 、２つの基板を接着するための装置。 22. 基板ディスク縁部洗浄装置（１５，１６）が接着剤吸込み装置を有して いる、請求項２１記載の装置。 23. 基板ディスク縁部洗浄装置（１５，１６）が、基板ディスク縁部にばね 弾性的に押しつけ可能である、請求項２１又は２２記載の装置。 24. 基板ディスク縁部洗浄装置（１５，１６）が、接着剤投げ飛ばし装置（ １１，１２）の一部である、請求項２１から２３までのいずれか１項記載の装置 。 25. ２つの基板を接着して１つの基板ディスク（ ２３）を形成するための装置であって、少なくとも１つの接着ステーション（１ ０）と、少なくとも１つの接着剤塗布装置（１５，１６）と、少なくとも１つの 接着剤投げ飛ばし装置（１１，１２）とを有している形式のものにおいて、 石英板又はガラス板設置装置（２８）を備えた乾燥ステーション（２６）が設 けられていることを特徴とする、２つの基板を接着するための装置。 26. 乾燥ステーション（２６）が石英板又はガラス板冷却装置を有している 、請求項２５記載の装置。 27. 冷却剤がイオン化された空気である、請求項２６記載の装置。 28. 乾燥ステーション（２６）が紫外線灯を有しており、基板縁部の領域に 、紫外線光線のための反射面が設けられている、請求項２５から２７までのいず れか１項記載の装置。 29. 乾燥ステーション（２６）の後ろに検査ステーション（３４）が配置さ れている、請求項１５から２８までのいずれか１項記載の装置。