JPS63190165A - 情報記録円板の蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は情報を溝およびピッ）吠の凹凸パクーンとして
記録された情報記録円板の表面のＩｊｉむ較を形成する
情報記録円板の蒸ａ装置に関するものである。

〔従来の技術〕

情報記録円板には種々あるが例えばＣＤＷの光情報記録
円板のレプリカ工程の一例を述べる。まず、最初に情報
記録円板の基であるスタンパ−より射出成形あるいは２
Ｐ成形等により樹脂材にスタンパ−の溝およびピッ）（
）の凹凸パターンを転写させる。前記樹脂材として主な
ものはＰＣ，Ｉ）ＭＭＡ等である。射出成形あるいは２
１）成形等による得られた情報記録円板の溝およびピッ
ト状の凹凸パターンが記録された側（以後、記録側とい
う）に蒸着およびスパッタ法等による反射膜を付ける。

反射膜材料として一般的に用いられるのはＡ／である。

前記反射膜の１９さは１０００λ程度であり、また、反
射膜として用いられるＡ／の強度がなく、反射膜とｔｆ
ｆ　ｉｌＪ記録円板と密む力がないために反口（膜に傷
が付いたり、反射ＣＩｌｌ　ＩＩが生じたりして、使用
不能になる可能性がある。

また、さらには情報記録円板の樹脂が空気中の湿気を吸
収すると劣化しやすくなる。従って情報記録円板を機械
的損傷等から保護する必要がある。保護の方法としては
情報媒体層の、ヒにもう一枚の透明円板を貼り合せたも
の、又は反射膜上に紫外線硬化性の樹脂材料をスピンコ
ードを用いてゆ布し、紫外線、を照射して硬化させる方
法が良く知られている。重版はされてはいないが実験的
に８１０、等の無りｌ質材料を反射膜上につけて保護コ
ートしている。

〔発明が解決しようする問題点〕

前記従来例においては、情報記Ｏ円板の記録面に反射膜
を蒸むあるいはスパッタにより付けた後、情報記録円板
を装置から取り出す、保護コートを行なうために、情報
記録円板をスピンコード装置内にセットし、保護コート
蒸発源に情報記録円板をｖｔ置から取り出し、保護コー
ト硬化装置内に情報記録円板をセットし、硬化させる。

前述の如く、記録層付けから保護コート硬化までに情報
記録円板の装置への出し入れが何度も行なわるため、取
り扱いによるｅ１械的損傷を受けたり、あるいはゴミ付
着等による製品歩留りの低下ばかりではなく、工数がか
かるためにコストアップになる。記録層付けから保護コ
ート硬化までをライン化し、情報記録円板の装置からの
出し入れを自動化した機械もあるが非常に高価なもので
ある。また無ａｉ質ｕ料を反射膜上のみに保護コートす
ることは情報記録円板に用いられている樹脂材の熱膨張
係数の差により高温時、あるいは低温時にソリ変形を起
こし使用不可になる。

本発明は上述の問題点を解消しようとするもので、その
目的は、一つの蒸着装置内でｙｓ　ｕと保護コート付け
を連続して行ない、ハンドリングによるエラーレートの
増大を防ぎ、品質の安定化をはかることにある。

〔問題を解決するための手段〕

本発明における情報記録円板の蒸着装置は、情報を溝お
よびピット状の凹凸パターンとして記録された情報記録
円板の表面に蒸行膜を形成する情報記録円板の蒸ａ装置
において、前記情報記録円板を保持する情報記録円板保
持部材と、前記情報記録円板保持部材を回転させる小回
転部材と、前記情報記録円板保持部材を円周上に複数箇
所に設＋）られて回転する大回転部材と、前記大回転部
材を回転駆動させる手段と、前記大回転部材の内側中央
部に位置し複数のｉ５Ｉ着源を装置し回転するマルチハ
ースとを打してなることを特徴とする情報記録円板の蒸
１２装置。

（′Ａ施例） 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本発明の実施例の蒸打装置のチャ／パ一部の概略構
成図であり、（ａ）は、正面図であり、（ｂ）は側面図
である。第２図は情報記録円板保持部材の詳細図で（ａ
）は正面図、（ｂ）は側面図である。第３図は１ルチハ
ースの平面図である。以下、情報記録円板の蒸着方法の
一例を述べる。まず最初に予備真空引きされたチャンバ
ー１の内部を大気に戻す。開閉扉２を聞番フて、マルチ
ハース３に複数段ｉＪられている内の反射膜薄ａ源４に
（第３図参照）に反射膜用として例えばＡ／、Ａ／−Ｃ
ｕ等の高反射率材料を、反射膜蒸発源４の隣の保護コー
ト蒸発源５に保護コート用の部材として例えば、Ｓｉｎ
、５ｔｏｌ、Ｚｒ０１Ｗを入れる。

次に２１Ｔ２図の（ａ）（ｂ）に示めされているように
、情報記録円板６を情報記録円板保持部材７にセットし
、Ｃリング伏の弾性部材からなる止め具１Ｇで、情報記
録円板６が情報記録円板保持部材７から落ちない様にす
る。情報記録円板６の保持方法は目的が達成できれば、
どの方法でもよい。

情報記録円板６が第１図に示されているように、情報記
録円板保持部材７によって大回転材ｒ［８に取付けられ
、チャンバー１の内部にセットされた後、チャンバーの
内部を真空に引く。真空圧は大体５Ｘ１０−’　Ｔｏｒ
ｒ程度でよい。次に反射膜、蒸発［４に入っている反ａ
ｔ　ａ材料を蒸着可能な状態にまで溶かす、これを要す
るパワーと時間はｌ０ＫＶＸ０．５Ａで５分程度である
。蒸む可能な伏態になったら７ヤツター９を開けるとと
もに、大回転部材８を回転させる。

回転の動力はモータ１０より、連結部１１を介して大回
転部材保持輪１２にまで伝達され、大回転部材保持輪１
２との接触により、大回転部材保持輪１２の回転方向と
は反対の方向に、大回転部材８が回転する。

反射膜材料の蒸着の際には小回転部材１３は情報記録円
板保持部材７の先端部についている小回転輪１４と非接
触吠態になるように、エアシリンダ１５によって引き上
げられた伏態になっている。

従って、情報記録円板保持部材７とともに、情報記録円
板６は回転することなく、情報回転記録円板６の記録側
にのみ、反射膜が付くこになる。

情報記録円板６の記録側に反射膜を１２００人程ａ′何
けたら蒸むを一旦やめ、シャッター９を閉じる。マルチ
ハース３を水平回転（−軸手段は図示してない）させて
、保護コート用の材料が入っている保護コート蒸発源５
をセットする。

その後、前記の反ＯＪ　ｆｌ蒸竹の場合と同様に加熱、
蒸むを行なうが、保護フート材料の蒸着のｎには小回転
部材１３はエアシリンダ１５によって、小回転輪１４と
接触伏態になるようにする。

従って情報記録円板６は情報記録円板保持部材７ととも
に回転する。回転速度はマルチハース３の上方部の蒸着
可能領域において少なくとも１回転以上であればよい、
最初に情報記録円板６の記録側に保護コートが付けられ
たとすれば、大回転部材８の一回転後には情報記録円板
０の記録側とは反対側の面に保護コートが付くように情
報記録円板保持部材７を半回転させてもよい。

本発明の実施例はスパッタおよびＥＩ３ガン一方式のよ
うに」一方噴射型の蒸む装置を例にとったが、抵抗加熱
方式でも、情報記録円板６の両面に保護コートを付けら
れるのは明白である。

（発明の効果〕 以上のように本発明は同−蒸４ｆ装置内において戻口（
膜および両面保護コートを行なうようにしたものであり
、これにより情報記報円板の出し入れの回数が減少し、
工程の筒略化および犬種りな装置が不要となりコスト低
減ができる。。

また、両面保護コートができるので情報記録円板の耐湿
性の向上および装置への出し入れ回数の減少により機械
的ｔｎ傷防止と、工程間のハンドリングが不要になった
ことによるゴミ付着防止、ソリ変形の防ｌヒ等の品質の
向上、安定性に寄与するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による蒸ｖａｎのチャンバ一部の概略
構成図であり、（＆）は正面図、（ｂ）は側面図である
。 第２図は、情報記録円板保持部材の詳細図であり、（ａ
）は正面図、（ｂ）は側面図である。 第３図は、マルチハースの平面図である。 図中１・・・チャンバー ２・・・開閉扉 ３・・・マルチハース ４・・・反射膜蒸発源 ５・・・保護コート蒸発源 ６・・・情報記録円板 ７・・・情報記録円板保持部材部材 ８・・・大回転部材 ９・・・シャッター １０・・・モータ １１・・・連結部 １２・・・大回転部材保持輪 １３・・・小回転部材 １４・・・小回転輪 １５・・・エアシリンダ １６・・・止め具 以　　上 出願人　セイコーエプソン株式会社 代理人　弁理士　最　上　　務　他１名Ｘ１図 （ｂ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 情報を溝およびピット状の凹凸パターンとして記録され
   た情報記録円板の表面に蒸着膜を形成する情報記録円板
   の蒸着装置において、前記情報記録円板を保持する情報
   記録円板保持部材と、前記情報記録円板を保持部材を回
   転させる小回転部材と、前記情報記録円板保持部材を円
   周上の複数箇所に設けられて回転する大回転部材と、前
   記大回転部材を回転駆動させる手段と、前記大回転部材
   の内側中央部に位置し複数の蒸着源を装置し回転するマ
   ルチハースを有してなることを特徴とする情報記録円板
   の蒸着装置。