JPH10288950A - 液晶表示装置 - Google Patents

液晶表示装置

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JPH10288950A
JPH10288950A JP9110049A JP11004997A JPH10288950A JP H10288950 A JPH10288950 A JP H10288950A JP 9110049 A JP9110049 A JP 9110049A JP 11004997 A JP11004997 A JP 11004997A JP H10288950 A JPH10288950 A JP H10288950A
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line
data line
static electricity
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protection element
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JP9110049A
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Toshifumi Hioki
利文 日置
Keitaro Miyata
敬太郎 宮田
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Casio Computer Co Ltd
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    • G02F2202/22Antistatic materials or arrangements

Abstract

(57)【要約】 【課題】 短いパルスの静電気に対する追従性があまり
良くない静電保護素子を備えた液晶表示装置において、
短いパルスの静電気に対しても静電保護素子が良好に追
従することができるようにする。 【解決手段】 データライン5の上端部とデータライン
5の静電保護素子9に接続された接続部5aとの間には
静電気パルス遅延用の抵抗素子31が設けられている。
そして、データライン5の上端部に外部から短いパルス
の静電気が帯電したとき、この静電気のパルスの立上り
は抵抗素子31により緩やかとされる。この結果、短い
パルスの静電気に対しても静電保護素子9が良好に追従
することができることになる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は液晶表示装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】アクティブマトリクス型の液晶表示装置
には、静電気を帯びた人体や他の物体と接触しても、薄
膜トランジスタ(アクティブ素子)が静電破壊しないよ
うにするために、静電対策を施したものがある。
【0003】図9は従来のこのような液晶表示装置にお
けるアクティブ素子基板上に形成されたものの一部を省
略した全体的な等価回路的平面図を示し、図10はその
一部の等価回路的平面図を示したものである。アクティ
ブ素子基板1上には、マトリクス状に配置された複数の
画素電極2と、これらの画素電極2にそれぞれ接続され
た薄膜トランジスタ3と、行方向に延ばされ、薄膜トラ
ンジスタ3に走査信号を供給するための複数の走査ライ
ン4と、列方向に延ばされ、薄膜トランジスタ3にデー
タ信号を供給するための複数のデータライン5と、行方
向に延ばされ、画素電極2との間で補助容量部Csを形
成する複数の補助容量ライン6と、図9において右下部
に配置された複数の入力ライン7と、複数の画素電極2
の周囲に配置されたリング状の短絡ライン8と、短絡ラ
イン8の上辺部の上側において短絡ライン8の上辺部と
各データライン5の上端部にそれぞれ接続された各2つ
ずつの静電保護素子9とが設けられている。
【0004】そして、走査ライン4の右端部は、アクテ
ィブ素子基板1の右辺部の図9において点線で示す半導
体チップ搭載エリア10内まで延ばされている。データ
ライン5の下端部は、アクティブ素子基板1の下辺部の
図9において点線で示す半導体チップ搭載エリア11内
まで延ばされている。データライン5の上端部は、アク
ティブ素子基板1の上辺部端面まで延ばされている。補
助容量ライン6の左端部は共通ライン12に接続されて
いる。入力ライン7の一端部は半導体チップ搭載エリア
10、11内まで延ばされている。短絡ライン8の左辺
部上下端は共通ライン12に接続されている。
【0005】次に、この液晶表示装置のアクティブ素子
基板1の具体的な構造について図11を参照して説明す
る。アクティブ素子基板1の上面には薄膜トランジスタ
3のゲート電極Gが形成されている。また、図12に示
すように、アクティブ素子基板1の上面には、ゲート電
極Gの形成と同時に、走査ライン4、補助容量ライン
6、共通ライン12及び短絡ライン8の上辺部と下辺部
が形成されている。
【0006】ゲート電極G等を含むアクティブ素子基板
1の上面全体にはゲート絶縁膜13が形成されている。
ゲート電極Gに対応する部分におけるゲート絶縁膜13
の上面にはアモルファスシリコンからなる半導体薄膜1
4が形成されている。また、静電保護素子9形成領域に
おけるゲート絶縁膜13の上面にもアモルファスシリコ
ンからなる半導体薄膜15が形成されている。半導体薄
膜14、15の上面中央部にはブロッキング層16、1
7が形成されている。薄膜トランジスタ3形成領域にお
けるブロッキング層16の上面両側にはn+シリコンか
らなるコンタクト層18、19が形成されている。ま
た、静電保護素子9形成領域におけるブロッキング層1
7の上面両側にもn+シリコンからなるコンタクト層2
0、21が形成されている。
【0007】薄膜トランジスタ3形成領域におけるコン
タクト層18、19の上面にはソース電極S及びドレイ
ン電極Dが形成されている。また、静電保護素子9形成
領域におけるコンタクト層20、21の上面には一方の
接続電極22及び他方の接続電極23が形成されてい
る。一方の接続電極22はゲート絶縁膜13に形成され
たコンタクトホール部24を介して短絡ライン8の図1
0における上辺部に接続されている。他方の接続電極2
3は、図10に示すように、データライン5の符号5a
で示す部分に接続されている。なお、各電極S、D、2
2、23の形成と同時に、データライン5、入力ライン
7及び短絡ライン8の左辺部と右辺部が形成される。こ
の場合、短絡ライン8の左辺部上下端及び右辺部上下端
は、ゲート絶縁膜13に形成されたコンタクトホール部
(図示せず)を介して短絡ライン8の上辺部左右端及び
下辺部左右端に接続される。なおまた、薄膜トランジス
タ3の近傍におけるゲート絶縁膜13の上面には、ソー
ス電極S等の形成前に、ITOからなる画素電極2が形
成され、この画素電極2にソース電極Sが接続されてい
る。かくして、この液晶表示装置におけるアクティブ素
子基板1の回路構成は、図9及び図10に示すようにな
る。
【0008】次に、この液晶表示装置における静電対策
について図10を参照して説明する。一例として、アク
ティブ素子基板1の上辺部端面における1列目のデータ
ライン5の上端部に外部から静電気が帯電したとする。
すると、1列目のデータライン5に接続された静電保護
素子9が導通し、短絡ライン8、共通ライン12及び補
助容量ライン6が1列目のデータライン5と同電位とな
る。次に、例えば2列目のデータライン5に接続された
静電保護素子9について見ると、この静電保護素子9も
導通し、2列目のデータライン5が短絡ライン8、共通
ライン12及び補助容量ライン6と同電位となる。かく
して、短絡ライン8、共通ライン12、補助容量ライン
6及びすべてのデータライン5が同電位となる。即ち、
1列目のデータライン5の上端部に帯電した静電気は、
短絡ライン8、共通ライン12、補助容量ライン6及び
残りのすべてのデータライン5に逃げることになる。こ
れにより、1列目のデータライン5の上端部に帯電した
静電気の静電保護素子9と接続された接続部5aから下
側への印加は緩和される。この結果、1列目のデータラ
イン5に接続された薄膜トランジスタ3が静電破壊しな
いようにすることができる。なお、1本のデータライン
5に静電保護素子9を2つ接続しているのは、いずれか
一方に欠陥があっても対応することができるようにする
ためである。また、このような静電保護素子を走査ライ
ン4にも設けたものもあるが、これについては説明を省
略する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のこの
ような液晶表示装置では、図11に示すように、静電保
護素子9として、アモルファスシリコンからなる半導体
薄膜15を備えた空間電荷制限電流型素子を用いてい
る。しかしながら、このような静電保護素子9では、静
電気を帯びた人体や他の物体と低抵抗で接触した際に生
じる短いパルスの静電気に対する追従性があまり良くな
い。このため、例えば1列目のデータライン5の上端部
に短いパルスの静電気が帯電した場合、1列目のデータ
ライン5に接続された静電保護素子9が導通状態となる
前に、静電気が1列目のデータライン5のうち静電保護
素子9と接続された接続部5aから下側に流れ、1列目
のデータライン5に接続された薄膜トランジスタ3が静
電破壊することがあるという問題があった。この発明の
課題は、短いパルスの静電気に対しても静電保護素子が
良好に追従することができるようにすることである。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明は、走査ライン
及びデータラインのうち少なくとも一方の各ラインと短
絡ラインとの間に静電保護素子を設け、且つ、前記一方
の各ラインの端部と前記一方のラインの前記静電保護素
子に接続された接続部との間に静電気パルス遅延手段を
設けたものである。
【0011】この発明によれば、例えばデータラインの
端部に短いパルスの静電気が帯電した場合、この静電気
は静電気パルス遅延手段により遅延されることになるの
で、短いパルスの静電気に対しても静電保護素子が良好
に追従することができるようにすることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)図1はこの発明の第1実施形態におけ
る液晶表示装置のアクティブ素子基板上に形成されたも
のの一部の等価回路的平面図を示したものである。この
図において、図10と同一名称部分には同一の符号を付
し、その説明を適宜省略する。図1において、図10に
示す従来例と異なる点は、データライン5の上端部と同
データライン5の静電保護素子9に接続された接続部5
aとの間に静電気パルス遅延用の抵抗素子31が設けら
れている点である。
【0013】次に、この液晶表示装置のアクティブ素子
基板1の具体的な構造について図2を参照して説明す
る。なお、図2において、図11と同一名称部分には同
一の符号を付し、その説明を適宜省略する。静電気パル
ス遅延用の抵抗素子31は、ゲート絶縁膜13の上面の
所定の箇所に形成されたアモルファスシリコンからなる
半導体薄膜32と、この半導体薄膜32の上面に形成さ
れたn+シリコンからなる半導体層(不純物を含有する
半導体層)33とからなっている。この抵抗素子31は
データライン5の所定の箇所に介在されているので、半
導体層33の上面両側はデータライン5に接続されてい
る。
【0014】次に、図1を参照して、例えば1列目のデ
ータライン5の上端部に短いパルスの静電気が帯電した
場合について説明する。1列目のデータライン5の上端
部に、図3(a)に示すように、矩形状の短いパルス
(パルス幅t1)の静電気が帯電した場合には、抵抗素
子31の静電気パルス遅延機能により、図3(b)に示
すように、パルスの立上りが緩やかとなり、パルス幅t
2がt1よりも大きくなる。そして、このパルスの立上り
が緩やかとなった時間内のある時点で1列目のデータラ
イン5に接続された静電保護素子9が導通する。つま
り、静電保護素子9は、図3(b)に示すようなパルス
の静電気に対して良好に追従することにより、図3
(a)に示すようなパルスの静電気に対しても良好に追
従することができることになる。このため、静電気が1
列目のデータライン5から静電保護素子9、短絡ライン
8、補助容量ライン6を流れる経路と、1列目のデータ
ライン5のうち静電保護素子9との接続部5aから下側
に流れる経路との間に、静電保護素子9が導通するまで
の期間に生じる静電気の電位差を緩和することができ、
層間絶縁膜や薄膜トランジスタ3が静電破壊しないよう
にすることができる。
【0015】次に、抵抗素子31の寸法等の一例につい
て、図4を参照して説明する。上側のデータライン5A
と下側のデータライン5Bとの間における抵抗素子31
のn+シリコンからなる半導体層33の膜厚を250Å
程度とし、長さLを1000μm程度とし、幅Wを6μ
m程度とすると、抵抗素子31の抵抗値を1MΩ程度と
することができる。
【0016】ここで、抵抗素子31の形成方法につい
て、図2を参照して簡単に説明する。まず、ゲート絶縁
膜13の上面に抵抗素子31の半導体薄膜32を、薄膜
トランジスタ3の半導体薄膜14及び静電保護素子9の
半導体薄膜15の形成と同時に、形成する。次に、抵抗
素子31の半導体薄膜32の上面に半導体層33を、薄
膜トランジスタ3のコンタクト層18、19及び静電保
護素子9のコンタクト層20、21の形成と同時に、形
成する。かくして、抵抗素子31が形成される。この場
合、薄膜トランジスタ3及び静電保護素子9の形成工程
をそのまま利用して抵抗素子31を形成することができ
るので、抵抗素子31を形成するためのそれ専用の工程
が不要となり、全体の製造工程数が増えないようにする
ことができる。
【0017】(第2実施形態)図5(A)はこの発明の
第2実施形態における液晶表示装置の要部の平面図を示
し、(B)はそのB−B線に沿う断面図を示したもので
ある。この第2実施形態におけるデータライン5は、ア
クティブ素子基板1の上面においてアクティブ素子基板
1の所定の端面からその近傍に形成されたほぼS字状に
蛇行する蛇行部41と、アクティブ素子基板1の上面に
おいて蛇行部41の所定の一端部に連続して形成された
接続パッド42と、アクティブ素子基板1上に形成され
たゲート絶縁膜13の上面の所定の箇所に形成されたデ
ータライン本体43と、データライン本体43の所定の
一端部と接続パッド42とを接続するためにゲート絶縁
膜13に形成されたコンタクトホール部44とからなっ
ている。なお、蛇行部41上におけるゲート絶縁膜13
の上面にはセルギャップ制御用のダミーデータライン4
5が形成されている。
【0018】この第2実施形態では、主として蛇行部4
1によって静電気パルス遅延用の抵抗部が構成されてい
る。したがって、この蛇行部41により、上記第1実施
形態における抵抗素子31の場合と同様に、短いパルス
の静電気を遅延させることができる。この場合、データ
ライン本体43、コンタクトホール部44及びダミーデ
ータライン35を低抵抗のアルミニウムやアルミニウム
合金等によって形成するとともに、蛇行部41及び接続
パッド42を高抵抗のクロム等によって形成すると、蛇
行部41を高抵抗部とすることができる。なお、蛇行部
41は、図6に示すように、ほぼく字状に蛇行するよう
にしてもよい。
【0019】ここで、ダミーデータライン45について
説明する。図示していないが、アクティブ素子基板1と
対向基板とを貼り合わせるためのシール材がダミーデー
タライン45上に配置される。この場合、ダミーデータ
ライン45の蛇行部41と重なり合う面積は、蛇行部4
1の部分が単なる直線状である場合(図8参照)と比較
して、大きくすることができる。この結果、ダミーデー
タライン45によるシール材を介してのセルギャップ制
御をより一層容易とすることができる。
【0020】(第3実施形態)次に、図7はこの発明の
第3実施形態における液晶表示装置のアクティブ素子基
板上に形成されたものの一部の等価回路的平面図を示
し、図8はその具体的な構造の一部の平面図を示したも
のである。これらの図において、図1と同一名称部分に
は同一の符号を付し、その説明を適宜省略する。この第
3実施形態におけるデータライン5は、アクティブ素子
基板1の上面においてアクティブ素子基板1の上辺部端
面からその近傍に形成された直線部51と、アクティブ
素子基板1の上面において直線部51の所定の一端部に
連続して形成された接続パッド52と、アクティブ素子
基板1上に形成されたゲート絶縁膜13の上面の所定の
箇所に形成されたデータライン本体53と、データライ
ン本体53の所定の一端部と接続パッド52とを接続す
るためにゲート絶縁膜13に形成されたコンタクトホー
ル部54とからなっている。なお、この場合も、直線部
51上におけるゲート絶縁膜13の上面にはセルギャッ
プ制御用のダミーデータライン55が形成されている。
【0021】アクティブ素子基板1の上辺部端面とダミ
ーデータライン55との間におけるゲート絶縁膜13の
上面には避雷針用配線61が形成されている。避雷針用
配線61は、データライン5の直線部51と直交する方
向に延びる配線62と、複数の直線部51の各間及びそ
の両外側において配線62からアクティブ素子基板1の
上辺部端面まで延びる配線63と、配線62の左右端部
から短絡ライン8の上辺部左右端まで延びる配線64と
からなっている。そして、データライン本体53、コン
タクトホール部54、ダミーデータライン55及び避雷
針用配線61は低抵抗のアルミニウムやアルミニウム合
金等によって形成され、直線部51及び接続パッド52
は高抵抗のクロム等によって形成されている。
【0022】この液晶表示装置では、アクティブ素子基
板1の上辺部端面のある箇所に静電気が帯電しようとし
た場合、この静電気は、当該箇所の高抵抗の直線部51
の端面に帯電せずに、当該箇所の低抵抗の避雷針用配線
61の配線63の端面に帯電することになる。そして、
この帯電した静電気は避雷針用配線61の配線63、6
2、64を介して短絡ライン8、共通ライン12及び補
助容量ライン6に流れ、さらにすべての静電保護素子9
が導通することにより、すべてのデータライン5に流れ
ることになる。この結果、すべてのデータライン5に接
続された薄膜トランジスタ3が静電破壊しないようにす
ることができる。この場合、静電気が短いパルスのもの
であっても同様である。なお、安全のために、データラ
イン5の直線部51の部分に図2または図4に示す抵抗
素子31を設けるようにしてもよく、また当該直線部5
1を図5または図6に示す蛇行部41からなる抵抗部と
してよい。また、避雷針用配線61の配線64に、静電
保護素子9と同一の構造の高抵抗保護素子を設けるよう
にしてもよい。
【0023】(変形例)なお、上記第1または第2実施
形態では、1本のデータライン5に抵抗素子31または
蛇行部41からなる抵抗部を1つ設けた場合について説
明したが、これに限らず、複数の抵抗素子または抵抗部
を直列または並列に設けるようにしてもよい。また、上
記各実施形態では、静電保護素子9をデータライン5に
設けた場合について説明したが、これに限らず、走査ラ
イン4にも設けるようにしてもよく、また走査ライン4
のみに設けるようにしてもよい。この場合、走査ライン
4に抵抗素子31または蛇行部41からなる抵抗部を設
け、あるいは走査ライン4の所定の端面の近傍に避雷針
用配線61を設けるようにすればよい。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、例えばデータラインの端部とデータラインの静電保
護素子に接続された接続部との間に静電気パルス遅延手
段を設けているので、データラインの端部に短いパルス
の静電気が帯電した場合、この静電気は静電気パルス遅
延手段により遅延され、したがって短いパルスの静電気
に対しても静電保護素子が良好に追従することができる
ようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1実施形態における液晶表示装置
のアクティブ素子基板上に形成されたものの一部の等価
回路的平面図。
【図2】図1に示すアクティブ素子基板の具体的な構造
の一部の断面図。
【図3】図1及び図2に示す抵抗素子の機能を説明する
ために示す図。
【図4】図1及び図2に示す抵抗素子のより具体的な構
造を説明するために示す図。
【図5】(A)はこの発明の第2実施形態における液晶
表示装置の要部の平面図、(B)はそのB−B線に沿う
断面図。
【図6】第2実施形態の変形例の要部の平面図。
【図7】この発明の第3実施形態における液晶表示装置
のアクティブ素子基板上に形成されたものの一部の等価
回路的平面図。
【図8】図7に示すアクティブ素子基板の具体的な構造
の一部の平面図。
【図9】従来の液晶表示装置のアクティブ素子基板上に
形成されたものの一部を省略した全体的な等価回路的平
面図。
【図10】図9に示すものの一部の等価回路的平面図。
【図11】図9及び図10に示すアクティブ素子基板の
具体的な構造の一部の断面図。
【図12】図9及び図10に示すアクティブ素子基板に
おいて、アクティブ素子基板の上面に形成された配線の
等価回路的平面図。
【符号の説明】
1 アクティブ素子基板 4 走査ライン 5 データライン 6 補助容量ライン 8 短絡ライン 9 静電保護素子 31 抵抗素子

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 走査ライン及びデータラインのうち少な
    くとも一方の各ラインと短絡ラインとの間に静電保護素
    子を設け、且つ、前記一方の各ラインの端部と前記一方
    のラインの前記静電保護素子に接続された接続部との間
    に静電気パルス遅延手段を設けたことを特徴とする液晶
    表示装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の発明において、前記静電
    気パルス遅延手段は、前記アクティブ素子基板上に形成
    された不純物を含有する半導体層を備えた抵抗素子から
    なることを特徴とする液晶表示装置。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の発明において、前記一方
    のラインの端部と前記一方のラインの前記静電保護素子
    に接続された接続部との間が蛇行部とされ、該蛇行部に
    よって前記静電気パルス遅延手段が構成されていること
    を特徴とする液晶表示装置。
  4. 【請求項4】 請求項3記載の発明において、前記蛇行
    部は、該蛇行部以外の前記一方のラインよりも抵抗の高
    い材料によって形成されていることを特徴とする液晶表
    示装置。
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