JPH04147496A - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置Info
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- JPH04147496A JPH04147496A JP2272571A JP27257190A JPH04147496A JP H04147496 A JPH04147496 A JP H04147496A JP 2272571 A JP2272571 A JP 2272571A JP 27257190 A JP27257190 A JP 27257190A JP H04147496 A JPH04147496 A JP H04147496A
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- PQFRTXSWDXZRRS-UHFFFAOYSA-N ronidazole Chemical compound CN1C(COC(N)=O)=NC=C1[N+]([O-])=O PQFRTXSWDXZRRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C15/00—Digital stores in which information comprising one or more characteristic parts is written into the store and in which information is read-out by searching for one or more of these characteristic parts, i.e. associative or content-addressed stores
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/26—Sensing or reading circuits; Data output circuits
Landscapes
- Read Only Memory (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体記憶装置に関し、特に記憶情報に応じて
出力電流値が異なるメモリセルを備えた半導体記憶装置
に関する。
出力電流値が異なるメモリセルを備えた半導体記憶装置
に関する。
従来のこの種の半導体記憶装置の一例を筒雪図に示す。
第6図には、電気的に書込み可能なメモリセル(以下E
PROM型のメモリセルという)を用いた8ビツト出力
構成の例が示されている。
PROM型のメモリセルという)を用いた8ビツト出力
構成の例が示されている。
メモリセルマトリクスIJ(J=1〜8、以下同様)は
、一端を基準電位点(接地点)と接続し、Xアドレス信
号X1〜XMに応じて行単位で選択状態となり記憶内容
に応じて導通、非導通となるEPROM型のメモリセル
M C1)〜M 01N 、〜M CMl〜MCMNと
、これらメモリセルM 011〜M Chn r〜、
M OI N ” M Ch(Nの出力端と列単位でそ
れぞれ共通接続するデイジット線DL、〜DLNと、Y
スイッチ信号Y1〜YNによりデイジット線DLI〜D
LNのうちの1つを選択するNチャネルエンハンスメン
ト型のトランジスタQY8〜QYNとを備え、Xアドレ
ス信号X1〜Xh<、Yスイッチ信号Y1〜YNにより
選択されたメモリセルの記憶内容に応じた電流を出力節
点N++へ供給する。
、一端を基準電位点(接地点)と接続し、Xアドレス信
号X1〜XMに応じて行単位で選択状態となり記憶内容
に応じて導通、非導通となるEPROM型のメモリセル
M C1)〜M 01N 、〜M CMl〜MCMNと
、これらメモリセルM 011〜M Chn r〜、
M OI N ” M Ch(Nの出力端と列単位でそ
れぞれ共通接続するデイジット線DL、〜DLNと、Y
スイッチ信号Y1〜YNによりデイジット線DLI〜D
LNのうちの1つを選択するNチャネルエンハンスメン
ト型のトランジスタQY8〜QYNとを備え、Xアドレ
ス信号X1〜Xh<、Yスイッチ信号Y1〜YNにより
選択されたメモリセルの記憶内容に応じた電流を出力節
点N++へ供給する。
センス増幅回路2Jxは、入力端をメモリセルマトリク
スIJの出力節点N11と接続するインバータIVIと
、ゲートをこのインバータIVIの出力端(節点N2.
)と接続しソースをメモリセルマトリクスIJの出力節
点N1)と接続するNチャネルエンハンスメント型のト
ランジスタQ22と、ゲートをインバータIVIの出力
端と接続しドレインを電源電圧V。0を供給する電源端
子(以下電源端子(Vcc)という)と接続しソースを
トランジスタQ2□のドレインと接続するNチャネルエ
ンハンスメント型のトランジスタQ23と、ソースを電
源端子(Vcc)と接続しゲート及びドレインをトラン
ジスタQ22のドレインと接続しこの接続点を出力節点
N22とするPチャネルエンハンスメント型のトランジ
スタQ2+とを備え、メモリセルマトリクスIJの出力
情報に応じた電圧(VSAX)を出力節点N22から出
力する。
スIJの出力節点N11と接続するインバータIVIと
、ゲートをこのインバータIVIの出力端(節点N2.
)と接続しソースをメモリセルマトリクスIJの出力節
点N1)と接続するNチャネルエンハンスメント型のト
ランジスタQ22と、ゲートをインバータIVIの出力
端と接続しドレインを電源電圧V。0を供給する電源端
子(以下電源端子(Vcc)という)と接続しソースを
トランジスタQ2□のドレインと接続するNチャネルエ
ンハンスメント型のトランジスタQ23と、ソースを電
源端子(Vcc)と接続しゲート及びドレインをトラン
ジスタQ22のドレインと接続しこの接続点を出力節点
N22とするPチャネルエンハンスメント型のトランジ
スタQ2+とを備え、メモリセルマトリクスIJの出力
情報に応じた電圧(VSAX)を出力節点N22から出
力する。
リファレンス回路3Jは、予め設定されたレベルの基準
電圧VREFを出力する。
電圧VREFを出力する。
比較検出器4Jは、センス増幅回路2Jxの出力電圧■
sAxと基準電圧■□。、とを比較増幅し、VIIAX
≧Vゆ、+αのとき低レベルs V8AX≦v3ウアー
αのとき高レベルの検出信号■9゜を出力する。
sAxと基準電圧■□。、とを比較増幅し、VIIAX
≧Vゆ、+αのとき低レベルs V8AX≦v3ウアー
αのとき高レベルの検出信号■9゜を出力する。
出力バッファ回路5Jは、検出信号vDoを反転増幅し
出力する。
出力する。
以下、説明を簡単にするために、Nチャネルエンハンス
メント型のトランジスタのしきい値VTNを全て同一の
1.0■に、Pチャネルエンハンスメント型のトランジ
スタのしきい値VTPを全て同一の−1,OVとする。
メント型のトランジスタのしきい値VTNを全て同一の
1.0■に、Pチャネルエンハンスメント型のトランジ
スタのしきい値VTPを全て同一の−1,OVとする。
また、メモリセルM C+ +にはデータ゛1°゛が記
憶され、選択されたとき非導通となり出力信号OUTは
高レベルとなり、メモリセルMCM、にはデータ“0″
が記憶され、選択されたとき導通し電流I M。が流れ
、出力信号OU’l’は低レベルになるものとする。
憶され、選択されたとき非導通となり出力信号OUTは
高レベルとなり、メモリセルMCM、にはデータ“0″
が記憶され、選択されたとき導通し電流I M。が流れ
、出力信号OU’l’は低レベルになるものとする。
基準電圧VRF、Fは、データ“1”が記憶されたメモ
リセル(MC11)が選択されたときのセンス増幅回路
2Jxの出力電圧VsAx(Off)と、データ“0“
が記憶されたメモリセルが選択されたときのセンス増幅
回路の出力電圧VsAx(On)との中間付近のレベル
に設定されている。
リセル(MC11)が選択されたときのセンス増幅回路
2Jxの出力電圧VsAx(Off)と、データ“0“
が記憶されたメモリセルが選択されたときのセンス増幅
回路の出力電圧VsAx(On)との中間付近のレベル
に設定されている。
次に、第6図及び第7図(a) 、 (b)を参照して
センス増幅回路2JXの設計方法について述べる。
センス増幅回路2JXの設計方法について述べる。
第7図(a)は、デイジット線D L 1から見たセン
ス増幅回路2Jxの負荷電流ILXと、デイジット線D
L、の電圧が変化したときのメモリセルM OM +の
電流工、。の特性を示したものである。
ス増幅回路2Jxの負荷電流ILXと、デイジット線D
L、の電圧が変化したときのメモリセルM OM +の
電流工、。の特性を示したものである。
電流ILXと電流■8゜の曲線の交点P、tがデータパ
0”が記憶されたメモリセル(Mch<+)が選択され
たときの平衡点であり、このときの電圧Vnr、+(o
n)がデイジット線DL、の平衡電圧になる。
0”が記憶されたメモリセル(Mch<+)が選択され
たときの平衡点であり、このときの電圧Vnr、+(o
n)がデイジット線DL、の平衡電圧になる。
また、データ“l”が記憶されたメモリセル(MC++
)が選択されたときにはメモリセルに電流が流れない為
、デイジット線IDL、は、電圧■ゎh+(Off)ま
で充電されることとなる。
)が選択されたときにはメモリセルに電流が流れない為
、デイジット線IDL、は、電圧■ゎh+(Off)ま
で充電されることとなる。
負荷電流ILXの特性は、トランジスタQ、〜Q23の
(ゲート幅)/(ゲート長)(以下W/Lと言う)とイ
ンバータIVIの入圧力特性とで主に決定されるが、ト
ランジスタQ22がインバータIVIの出力により制御
されている為、負荷電流工Lxの特性は、一般に、トラ
ンジスタQ22のW/LとインバータIVIの入出力特
性のみで決定されることになる。すなわち、負荷電流I
LXの曲線の基点VDL□(off)の値は、インバー
タIVIの論理しきい値■工v1とほぼ等しくなり、負
荷電流Ir、xの曲線の傾きは、インバータIV1のゲ
インとトランジスタQ22のW/Lで決定される。第7
図(b)は、デイジット線DL、の電圧が変化したとき
のセンス増幅回路2JXの出力型EEV S AXの変
化を示したものである。
(ゲート幅)/(ゲート長)(以下W/Lと言う)とイ
ンバータIVIの入圧力特性とで主に決定されるが、ト
ランジスタQ22がインバータIVIの出力により制御
されている為、負荷電流工Lxの特性は、一般に、トラ
ンジスタQ22のW/LとインバータIVIの入出力特
性のみで決定されることになる。すなわち、負荷電流I
LXの曲線の基点VDL□(off)の値は、インバー
タIVIの論理しきい値■工v1とほぼ等しくなり、負
荷電流Ir、xの曲線の傾きは、インバータIV1のゲ
インとトランジスタQ22のW/Lで決定される。第7
図(b)は、デイジット線DL、の電圧が変化したとき
のセンス増幅回路2JXの出力型EEV S AXの変
化を示したものである。
デイジット線DLI(7)電圧VDLIがV DL 1
≧V DL 1(off)のときは、センス増幅回路2
Jxの出力電圧V SAXは(Vcc VTP)とな
り、この値がデータ“l”読出し時のセンス増幅回路2
Jxの出力電圧VsAx(off)に相当する。
≧V DL 1(off)のときは、センス増幅回路2
Jxの出力電圧V SAXは(Vcc VTP)とな
り、この値がデータ“l”読出し時のセンス増幅回路2
Jxの出力電圧VsAx(off)に相当する。
VDLI < VDLI (of r)になると、トラ
ンジスタQ22が導通し、センス増幅回路2J、の出力
電圧v8Axは実線で示す曲線にそって低下し、データ
“′0パが記憶されたメモリセルが選択されたとき、点
P4で平衡することになり、このときの電圧VsAx(
on)がデータ“0”が記憶されたメモリセルが選択さ
れた場合のセンス増幅回路2J、の出力電圧vsAxの
平衡電圧となる。出力電圧■SAxの曲線の傾き委 は、トランジスタQ 21 W / Lで決定されるこ
ととなり、このW/Lは、(VREF VsAx(o
n))の値が、次段の比較検出器4Jが検出するに十分
な値になるように設計される。又、一般に、トランジス
タQ2□、Q23のW/Lは、トランジスタQ2+のW
/Lに対し十分大きく設計される。
ンジスタQ22が導通し、センス増幅回路2J、の出力
電圧v8Axは実線で示す曲線にそって低下し、データ
“′0パが記憶されたメモリセルが選択されたとき、点
P4で平衡することになり、このときの電圧VsAx(
on)がデータ“0”が記憶されたメモリセルが選択さ
れた場合のセンス増幅回路2J、の出力電圧vsAxの
平衡電圧となる。出力電圧■SAxの曲線の傾き委 は、トランジスタQ 21 W / Lで決定されるこ
ととなり、このW/Lは、(VREF VsAx(o
n))の値が、次段の比較検出器4Jが検出するに十分
な値になるように設計される。又、一般に、トランジス
タQ2□、Q23のW/Lは、トランジスタQ2+のW
/Lに対し十分大きく設計される。
ここで、トランジスタQ23は、節点Nユ1.ディジ、
ト線DL、の電圧がoV近辺の時、これらをプリチャー
ジする為に設けられたMO8FBTである。高速化の為
に、インバータIVIのゲインは十分大きく設計され、
論理しきい値V tV+の値はトランジスタのしきい値
vTNとはぼ等しいものとして以下の説明をする。
ト線DL、の電圧がoV近辺の時、これらをプリチャー
ジする為に設けられたMO8FBTである。高速化の為
に、インバータIVIのゲインは十分大きく設計され、
論理しきい値V tV+の値はトランジスタのしきい値
vTNとはぼ等しいものとして以下の説明をする。
第7図(b)の破線の曲線v8は、リファレンス回路3
J内の、デイジット線DL、に相当する節点N3+の電
圧が変化した時の基準電圧VREFの変化を示したもの
である。
J内の、デイジット線DL、に相当する節点N3+の電
圧が変化した時の基準電圧VREFの変化を示したもの
である。
曲線VRの特性は、例えばリファレンス回路3J内にメ
モリセルMCl、と同一の構造と特性をもつ素子(以下
ダミーセルと言う)を節点N31に接続し、負荷回路と
してセンス増幅回路2JXと同一のものを備え、トラン
ジスタQ21に相当するトランジスタのW/Lをトラン
ジスタQ2)の3倍に設定することにより実現できる。
モリセルMCl、と同一の構造と特性をもつ素子(以下
ダミーセルと言う)を節点N31に接続し、負荷回路と
してセンス増幅回路2JXと同一のものを備え、トラン
ジスタQ21に相当するトランジスタのW/Lをトラン
ジスタQ2)の3倍に設定することにより実現できる。
このとき基準電圧として、V 、、、が得られる。
第8図は読出しモード時、Xアドレス信号X1゜XMが
切り換わったときの各部信号の電圧波形を示したもので
ある。第芋図には示していないが、この読出しサイクル
において、Yスイッチ信号Y1は常に高レベル、他のY
スイッチ信号YNは常に低レベルに設定されているもの
とする。
切り換わったときの各部信号の電圧波形を示したもので
ある。第芋図には示していないが、この読出しサイクル
において、Yスイッチ信号Y1は常に高レベル、他のY
スイッチ信号YNは常に低レベルに設定されているもの
とする。
第6図と第8図とを参照してこの半導体記憶装置の動作
について説明する。以下電源電圧■。0は5■として説
明する。
について説明する。以下電源電圧■。0は5■として説
明する。
(1)データ“1”′が記憶されたメモリセルMC,、
が選択された場合 Xアドレス信号X1が低レベルから高レベルにXアドレ
ス信号Xh(が高レベルから低レベルに変化するとメモ
リセルMC、、が選択される。
が選択された場合 Xアドレス信号X1が低レベルから高レベルにXアドレ
ス信号Xh(が高レベルから低レベルに変化するとメモ
リセルMC、、が選択される。
このときメモリセルM C1)は非導通になり、デイジ
ット線DL、、節点N11は充電され、節点N21の電
圧が低下し、トランジスタQ2□が非導通になる。
ット線DL、、節点N11は充電され、節点N21の電
圧が低下し、トランジスタQ2□が非導通になる。
従って、センス増幅回路2J、の出力端(節点N22)
はトランジスタQ21を通して充電されることになるが
、トランジスタQ21のゲートはドレインと共通に接続
されている為、この節点N2□の電圧が上昇するに従い
、トランジスタQ21の電流駆動能力が低下することと
なる。この為、節点N22の電圧上昇波形は電圧V8A
X(Off)に近づくほど鈍化する。
はトランジスタQ21を通して充電されることになるが
、トランジスタQ21のゲートはドレインと共通に接続
されている為、この節点N2□の電圧が上昇するに従い
、トランジスタQ21の電流駆動能力が低下することと
なる。この為、節点N22の電圧上昇波形は電圧V8A
X(Off)に近づくほど鈍化する。
節点N22の電圧が上昇しくV*gp+α)になると、
比較検出器4Jの検出信号VDOが高レベルから低レベ
ルに変化する。比較検出器4Jの検出信号VDOが高レ
ベルから低レベルに変化するスピードは、節点N2□の
電圧上昇波形が急しゅんなほど速くなる。
比較検出器4Jの検出信号VDOが高レベルから低レベ
ルに変化する。比較検出器4Jの検出信号VDOが高レ
ベルから低レベルに変化するスピードは、節点N2□の
電圧上昇波形が急しゅんなほど速くなる。
検出信号V、。の電圧変化は次段の出力バッファ回路5
Jに伝達され、出力信号OUTは高レベルから低レベル
に変化する。この時のアクセス時間はT。□4で表わさ
れる。
Jに伝達され、出力信号OUTは高レベルから低レベル
に変化する。この時のアクセス時間はT。□4で表わさ
れる。
(2)データ“0″が記憶されたメモリセルM CM+
が選択された場合 Xアドレス信号X1が高レベルから低レベルにXアドレ
ス信号L+が低レベルから高レベルに変化すると、メモ
リセルM Ch< 1が選択される。このときメモリセ
ルM CM+が導通し電流エヮ。が流れ、デイジット線
DL、、節点N11は放電され、インバータIVIの出
力端(節点N2))の電圧が上昇し、トランジスタQ2
2が導通する。従って、センス増幅回路2Jつの出力端
(節点N22)の電圧Vs〜が低下し、VsAx(On
)で平衡することになる。
が選択された場合 Xアドレス信号X1が高レベルから低レベルにXアドレ
ス信号L+が低レベルから高レベルに変化すると、メモ
リセルM Ch< 1が選択される。このときメモリセ
ルM CM+が導通し電流エヮ。が流れ、デイジット線
DL、、節点N11は放電され、インバータIVIの出
力端(節点N2))の電圧が上昇し、トランジスタQ2
2が導通する。従って、センス増幅回路2Jつの出力端
(節点N22)の電圧Vs〜が低下し、VsAx(On
)で平衡することになる。
節点N22の電圧が低下し、(Vゆアーα)になると、
比較検出器4Jの検出信号vつ。が低レベルから高レベ
ルに変化し、この電圧変化が次段の出力バッファ回路5
Jに伝達され、出力信号OUTは高レベルから低レベル
に変化する。
比較検出器4Jの検出信号vつ。が低レベルから高レベ
ルに変化し、この電圧変化が次段の出力バッファ回路5
Jに伝達され、出力信号OUTは高レベルから低レベル
に変化する。
比較検出器4Jが高レベルから低レベルになるスピード
も(1)の場合と同様に、節点N22の電圧低下波形が
急しゅんなほど速くなる。このときのアクセス時間はT
DlsAで表わされる。
も(1)の場合と同様に、節点N22の電圧低下波形が
急しゅんなほど速くなる。このときのアクセス時間はT
DlsAで表わされる。
次に、基準電圧VREアがばらつき、第8図の破線のV
TIEFIに示すように、設計値より高くなった場合の
動作について、データ゛′1“′が記憶されたメモリセ
ルM C11が選択された場合について説明する。(こ
のときの基準電圧VREFIと節点N、1の電圧変化と
の関係は第合図(b)の破線の曲線VRIに示すとおり
である。) (1)で、述べたように、節点N22の電圧上昇波形は
、平衡電圧(V cc V TP )に近づくほど鈍
化する。
TIEFIに示すように、設計値より高くなった場合の
動作について、データ゛′1“′が記憶されたメモリセ
ルM C11が選択された場合について説明する。(こ
のときの基準電圧VREFIと節点N、1の電圧変化と
の関係は第合図(b)の破線の曲線VRIに示すとおり
である。) (1)で、述べたように、節点N22の電圧上昇波形は
、平衡電圧(V cc V TP )に近づくほど鈍
化する。
従って、基準電圧が設計値より高くなり、(Vcc−■
1.)に近づくにつれ、見かけ上比較検出器4Jの感度
が悪くなる。従って、比較検出器4Jの検出信号vno
の電圧波形は、破線で示すVつ。10波形となり、基準
電圧が設定値(VゆP)の場合に比べ、スピードが遅く
なり、しかも波形がなまることになる。この為、出力バ
ッファ回路5Jの出力信号の電圧波形も破線で示す0U
TIの波形となり、半導体記憶装置のスピードが遅くな
る。
1.)に近づくにつれ、見かけ上比較検出器4Jの感度
が悪くなる。従って、比較検出器4Jの検出信号vno
の電圧波形は、破線で示すVつ。10波形となり、基準
電圧が設定値(VゆP)の場合に比べ、スピードが遅く
なり、しかも波形がなまることになる。この為、出力バ
ッファ回路5Jの出力信号の電圧波形も破線で示す0U
TIの波形となり、半導体記憶装置のスピードが遅くな
る。
上述した従来の半導体記憶装置は、データ“I 11が
記憶されたメモリセルが選択されたときのセンス増幅回
路2Jx出力電圧VsAx(off)が電圧(VCCV
TP)に制限される回路構成になっているので、 (1) センス増幅回路2J、の出力端(N2□)が
充電され、電圧(■。。−■1.)に近づくほど充電能
力が低下し、出力端(N2□)の電圧上昇波形が鈍化し
てスピードが遅くなる。
記憶されたメモリセルが選択されたときのセンス増幅回
路2Jx出力電圧VsAx(off)が電圧(VCCV
TP)に制限される回路構成になっているので、 (1) センス増幅回路2J、の出力端(N2□)が
充電され、電圧(■。。−■1.)に近づくほど充電能
力が低下し、出力端(N2□)の電圧上昇波形が鈍化し
てスピードが遅くなる。
(2)基準電圧Vゆアの値がばらつき、設定値より高く
なったとき、見かけ上次段の比較検出器4Jの感度が悪
くなり、出力信号OUTの電圧波形が鈍化し、基準電圧
のばらつきに対し、スピードが大きく変化する。またノ
イズマージンが低下するという欠点がある。
なったとき、見かけ上次段の比較検出器4Jの感度が悪
くなり、出力信号OUTの電圧波形が鈍化し、基準電圧
のばらつきに対し、スピードが大きく変化する。またノ
イズマージンが低下するという欠点がある。
また、メモリセルマトリクスIJの出力端(N11)が
約1■にバイアスされている為、センス増幅回路2JX
が動作する最小の電源電圧V。0の値Vcc(min)
はVcc(min)# l VTP l +VTN#
2 Vと表わされ、低電源電圧で動作させることができ
ないという欠点がある。
約1■にバイアスされている為、センス増幅回路2JX
が動作する最小の電源電圧V。0の値Vcc(min)
はVcc(min)# l VTP l +VTN#
2 Vと表わされ、低電源電圧で動作させることができ
ないという欠点がある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の半導体記憶装置は、それぞれ一端を基準電位点
と接続し選択状態にあるとき記憶内容に応じた電流を出
力端へ供給する複数のメモリセルを備えたメモリセルマ
トリクスと、入力端を前記メモリセルマトリクスの出力
端と接続するインバータ、ソースを電源端子と接続しゲ
ート及びドレインを共通接続する一導電型の第1のトラ
ンジスタ、ソースを前記インバータの入力端と接続しゲ
ートを前記インバータの出力端と接続しドレインを前記
第1のトランジスタのゲート及びトレインと接続する逆
導電型の第2のトランジスタ、並びにソースを前記第2
のトランジスタのドレインと接続しゲートを前記第2の
トランジスタのゲートと接続しドレインを前記電源端子
と接続する逆導電型の第3のトランジスタを備え、この
第3のトランジスタのソースを出力端とし前記メモリセ
ルマトリクスの出力端からの電流に応じた電圧の信号を
前記出力端から出力するセンス増幅回路と、予め設定さ
れたレベルの基準電圧を出力するリファレンス回路と、
前記センス増幅回路の出力信号と前記基準電圧とを比較
しこの比較結果に応じたレベルの信号を出力する比較検
出回路とを有する半導体記憶装置において、前記電源端
子と前記センス増幅回路の出力端との間に、前記電源端
子から前記センス増幅回路の出力端へ予め設定された値
の電流を供給する定電流負加回路を設けて構成される。
と接続し選択状態にあるとき記憶内容に応じた電流を出
力端へ供給する複数のメモリセルを備えたメモリセルマ
トリクスと、入力端を前記メモリセルマトリクスの出力
端と接続するインバータ、ソースを電源端子と接続しゲ
ート及びドレインを共通接続する一導電型の第1のトラ
ンジスタ、ソースを前記インバータの入力端と接続しゲ
ートを前記インバータの出力端と接続しドレインを前記
第1のトランジスタのゲート及びトレインと接続する逆
導電型の第2のトランジスタ、並びにソースを前記第2
のトランジスタのドレインと接続しゲートを前記第2の
トランジスタのゲートと接続しドレインを前記電源端子
と接続する逆導電型の第3のトランジスタを備え、この
第3のトランジスタのソースを出力端とし前記メモリセ
ルマトリクスの出力端からの電流に応じた電圧の信号を
前記出力端から出力するセンス増幅回路と、予め設定さ
れたレベルの基準電圧を出力するリファレンス回路と、
前記センス増幅回路の出力信号と前記基準電圧とを比較
しこの比較結果に応じたレベルの信号を出力する比較検
出回路とを有する半導体記憶装置において、前記電源端
子と前記センス増幅回路の出力端との間に、前記電源端
子から前記センス増幅回路の出力端へ予め設定された値
の電流を供給する定電流負加回路を設けて構成される。
また、センス増幅回路の第3のトランジスタのゲートが
電源端子に1対1で接続し、この第3のトランジスタの
しきい値を第2のトランジスタのしきい値より大きくし
た構成を有している。
電源端子に1対1で接続し、この第3のトランジスタの
しきい値を第2のトランジスタのしきい値より大きくし
た構成を有している。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第1図は本発明の第1の実施例を示す回路図である。
この実施例が第6図に示された従来の半導体記憶装置と
相違する点は、センス増幅回路2Jの第3のトランジス
タQ 23Aのゲートを電源端子(Vcc) ト1 対
1に接続し、このトランジスタQ23Aのしきい値を第
2のトランジスタQ22のしきい値より大きくした点と
、電源端子(Vcc)とセンス増幅回路2Jの出力端(
節点N22)との間に、ソースを電源端子(Vcc)と
接続しドレインを節点N2□と接続するPチャネルエン
ハンスメント型のトランジスタQ24と、ソースを電源
端子(VCC)と接続しゲート及びドレインをトランジ
スタQ24のゲートと接続するPチャネルエンハンスメ
ント型のトランジスタ02sと、ソース及びゲートを基
準電位点(接地点)と接続しドレインをトランジスタ0
2Sのゲート及びドレインと接続するNチャネルデイプ
レッション型のトランジスタQ26とを備え、電源端子
(Vcc)から節点N22へ、予め設定された値の定電
流を供給する定電流負荷回路6Jを設けた点にある。
相違する点は、センス増幅回路2Jの第3のトランジス
タQ 23Aのゲートを電源端子(Vcc) ト1 対
1に接続し、このトランジスタQ23Aのしきい値を第
2のトランジスタQ22のしきい値より大きくした点と
、電源端子(Vcc)とセンス増幅回路2Jの出力端(
節点N22)との間に、ソースを電源端子(Vcc)と
接続しドレインを節点N2□と接続するPチャネルエン
ハンスメント型のトランジスタQ24と、ソースを電源
端子(VCC)と接続しゲート及びドレインをトランジ
スタQ24のゲートと接続するPチャネルエンハンスメ
ント型のトランジスタ02sと、ソース及びゲートを基
準電位点(接地点)と接続しドレインをトランジスタ0
2Sのゲート及びドレインと接続するNチャネルデイプ
レッション型のトランジスタQ26とを備え、電源端子
(Vcc)から節点N22へ、予め設定された値の定電
流を供給する定電流負荷回路6Jを設けた点にある。
次に、この実施例のセンス増幅回路2Jの設計方法及び
動作について説明する。
動作について説明する。
第2図(a) 、 (b)はそれぞれ、デイジット線D
L 1の電圧VDLIに対するセンス増幅回路2Jの
負荷電流■1とメモリセルを流九る電流IMCの特性図
、及びデイジット線D L +の電圧V D L lに
対するセンス増幅回路2Jの出力信号VSAの特性図で
ある。
L 1の電圧VDLIに対するセンス増幅回路2Jの
負荷電流■1とメモリセルを流九る電流IMCの特性図
、及びデイジット線D L +の電圧V D L lに
対するセンス増幅回路2Jの出力信号VSAの特性図で
ある。
説明の簡単にするために、トランジスタQ23Aのしき
い値VTNAは、節点N2□に2,5vが印加されたと
きに2.5vになるように設計されているものとする。
い値VTNAは、節点N2□に2,5vが印加されたと
きに2.5vになるように設計されているものとする。
ギ\17−
従来例で説明したように、デイジット線DL。
から見たセンス増幅回路2Jの負荷特性は、トランジス
タQ2□のW/LとインバータIVIの入出力特性のみ
で決定されるため、第2図(a)に示すように従来例と
同一の特性となる。
タQ2□のW/LとインバータIVIの入出力特性のみ
で決定されるため、第2図(a)に示すように従来例と
同一の特性となる。
定電流負荷回路6Jにおいて、トランジスタQ24に流
れる電流は、トランジスタQ28のW/Lで決定される
。例えばトランジスタQ 25のW/Lを515、トラ
ンジスタQ26のW/Lを10/60、トランジスタQ
24のW/Lを5/10に設計することにより、トラン
ジスタQ24に流れる電流l5IOμAに設定すること
ができる。
れる電流は、トランジスタQ28のW/Lで決定される
。例えばトランジスタQ 25のW/Lを515、トラ
ンジスタQ26のW/Lを10/60、トランジスタQ
24のW/Lを5/10に設計することにより、トラン
ジスタQ24に流れる電流l5IOμAに設定すること
ができる。
また、データ“0”が記憶さhたメモリセル(M CM
l )が選択された場合のセンス増幅回路2Jの出力端
(節点N22)の電圧VsA(on)は、トランジスタ
Q21のW/Lと電流l、の値により決定される為、ト
ランジスタQ2□のW/Lは、電fVsA(on)の値
が、次段の比較検出器4Jが正常動作するのに十分な値
になるように設計される。例えばトランジスタQ21の
W/Lは5/(A) (B) 5に設計される。このときデイジット線DL1と節点N
22の電圧は点P2で平衡する。
l )が選択された場合のセンス増幅回路2Jの出力端
(節点N22)の電圧VsA(on)は、トランジスタ
Q21のW/Lと電流l、の値により決定される為、ト
ランジスタQ2□のW/Lは、電fVsA(on)の値
が、次段の比較検出器4Jが正常動作するのに十分な値
になるように設計される。例えばトランジスタQ21の
W/Lは5/(A) (B) 5に設計される。このときデイジット線DL1と節点N
22の電圧は点P2で平衡する。
トランジスタQ 23Aは、データ“0“が記憶された
メモリセル(M CM+ )が選択された場合、節点N
22の電圧が必要以上に低下するのを防ぐ為にリミッタ
として動作するように設けられ、このトランジスタQ2
3AのW/LはトランジスタQ21. Q24のW/L
に比べ十分大きく設計され、例えば2071.4となっ
ている。
メモリセル(M CM+ )が選択された場合、節点N
22の電圧が必要以上に低下するのを防ぐ為にリミッタ
として動作するように設けられ、このトランジスタQ2
3AのW/LはトランジスタQ21. Q24のW/L
に比べ十分大きく設計され、例えば2071.4となっ
ている。
次に、デイジット線D L 、の電圧がV tl f、
lが変化したときの節点N22の電圧変化について説明
する。
lが変化したときの節点N22の電圧変化について説明
する。
V DLL≧V DL、(Of f )のときトランジ
スタQ22が非導通になり、節点N22はトランジスタ
Q24により充電される為、節点N22の電圧は電源電
圧で平衡する。この電圧(VCC)が、データ“l″′
が記憶されたメモリセル(MC11)が選択された場合
のセンス増幅回路2Jの出力電圧(vsA(orr))
となる。
スタQ22が非導通になり、節点N22はトランジスタ
Q24により充電される為、節点N22の電圧は電源電
圧で平衡する。この電圧(VCC)が、データ“l″′
が記憶されたメモリセル(MC11)が選択された場合
のセンス増幅回路2Jの出力電圧(vsA(orr))
となる。
VDLI(C)≦Vot+<VDLI(Ofr)のとき
(C) (D) トランジスタQ2□が導通する。このときトランジスタ
Q24が導通している為、節点N22の電圧(VSA)
は、トランジスタQ24とトランジスタQ2□の電流駆
動能力の比で決定される値となり、第2図(b)に示す
ように、上に凸なる波形となる。これは、トランジスタ
Q21の電流駆動能力が一定なのに対し、トランジスタ
Q22の電流駆動能力は、デイジット線DL、の電圧が
低下するに従い急激に大きくなる為である。
(C) (D) トランジスタQ2□が導通する。このときトランジスタ
Q24が導通している為、節点N22の電圧(VSA)
は、トランジスタQ24とトランジスタQ2□の電流駆
動能力の比で決定される値となり、第2図(b)に示す
ように、上に凸なる波形となる。これは、トランジスタ
Q21の電流駆動能力が一定なのに対し、トランジスタ
Q22の電流駆動能力は、デイジット線DL、の電圧が
低下するに従い急激に大きくなる為である。
VDLI(On)≦VDLI < VDLI (C)の
ときトランジスタQ2+の導通がさらに進み、節点N2
2の電圧(VSA)は、トランジスタQ2..Q24の
電流駆動能力の和とトランジスタQ22の電流駆動能力
の比で決定される値となり、下に凸なる波形になる。こ
れは、節点N22の電圧(V SA )が低下するに従
い、トランジスタQ21の電流駆動能力が急激に大きく
なる為である。
ときトランジスタQ2+の導通がさらに進み、節点N2
2の電圧(VSA)は、トランジスタQ2..Q24の
電流駆動能力の和とトランジスタQ22の電流駆動能力
の比で決定される値となり、下に凸なる波形になる。こ
れは、節点N22の電圧(V SA )が低下するに従
い、トランジスタQ21の電流駆動能力が急激に大きく
なる為である。
VDLI < VDLI (on)のときデイジット線
I)L、の電圧V DL lが低下し、V D L 1
(on)より小さくなると節点N22の電圧(VS*)
\ も低下するが、このとき電圧(VSA)が2.5V以下
になると、トランジスタQ23Aが導通する為、節点N
22の電圧(VsA)は約2.5Vでリミットされるこ
とになる。
I)L、の電圧V DL lが低下し、V D L 1
(on)より小さくなると節点N22の電圧(VS*)
\ も低下するが、このとき電圧(VSA)が2.5V以下
になると、トランジスタQ23Aが導通する為、節点N
22の電圧(VsA)は約2.5Vでリミットされるこ
とになる。
基準電圧V REFは、Vs、x(0「f)とVsA(
on)の中間付近に設定される。
on)の中間付近に設定される。
次に、この実施例の読出しモード時の動作について説明
する。
する。
第3図はXアドレス信号X、、X、が切換わったときの
各部信号の電圧波形を示したものである。
各部信号の電圧波形を示したものである。
従来例の場合と同様に、Yスイッチ信号Y1は常に高レ
ベル、他は常に低レベルに設定されているとして説明す
る。
ベル、他は常に低レベルに設定されているとして説明す
る。
データ“1゛′が記憶されたメモリセル(MCI+)が
選択された場合 Xアドレス線X1が低レベルから高レベルに、Xアドレ
ス線xyが高レベルから低レベルに変化すると、メモリ
セルM C1+が選択される。
選択された場合 Xアドレス線X1が低レベルから高レベルに、Xアドレ
ス線xyが高レベルから低レベルに変化すると、メモリ
セルM C1+が選択される。
このときメモリセルM C+ 、は非導通になり、デイ
ジット線DL、、節点N、1は充電され、節点N21の
電圧が低下しトランジスタQ22が非導通になる。
ジット線DL、、節点N、1は充電され、節点N21の
電圧が低下しトランジスタQ22が非導通になる。
従って、まず、節点N22がトランジスタQ21゜Q2
4を通して充電される。
4を通して充電される。
節点N22が充電され約4vになると、トランジスタQ
2+が非導通になり、これ以後節点N22は、トランジ
スタQ’24のみで充電され電源電圧V。0で平衡する
ことになる。
2+が非導通になり、これ以後節点N22は、トランジ
スタQ’24のみで充電され電源電圧V。0で平衡する
ことになる。
このとき、基準電圧v8゜アが約3.5Vに設定されて
いる為、節点N22の電圧(VSA)が基準電圧vR8
つを越すときの電圧波形は、第8図に示された従来例の
場合に比べて急しゅんとなり、この為、比較検出器4J
の出力電圧(vDゎ)高レベルから低レベルに変化する
スピードは、従来例に比べ速くしかも急しゅんに変化す
る。
いる為、節点N22の電圧(VSA)が基準電圧vR8
つを越すときの電圧波形は、第8図に示された従来例の
場合に比べて急しゅんとなり、この為、比較検出器4J
の出力電圧(vDゎ)高レベルから低レベルに変化する
スピードは、従来例に比べ速くしかも急しゅんに変化す
る。
従って、この実施例のアクセス時間T。Hは従来例のア
クセス時間T。HAに比べ高速となる。
クセス時間T。HAに比べ高速となる。
データ“0”が記憶されたメモリセルM CM+が選択
された場合 Xアドレス信号X1が高レベルから低レベルに、漬2 Xアドレス信号L+が低レベルから高レベルに変化する
と、メモリセル(M O>n )が選択される。
された場合 Xアドレス信号X1が高レベルから低レベルに、漬2 Xアドレス信号L+が低レベルから高レベルに変化する
と、メモリセル(M O>n )が選択される。
このときM CM +は導通し、デイジット線DL、。
節点N++は放電され、節点N21の電圧が上昇しトラ
ンジスタQ22が導通する。
ンジスタQ22が導通する。
従って、節点N22の電圧(V歌丘低下し、トランジス
タQ24の電流駆動能力とトランジスタQ2□の電流駆
動能力の比で決まる値になる。
タQ24の電流駆動能力とトランジスタQ2□の電流駆
動能力の比で決まる値になる。
節点N22の電圧(VsA)がさらに低下し、約4Vに
なると、トランジスタQ21も導通する為、節点N22
の電圧(vsA)は、トランジスタQ2)。
なると、トランジスタQ21も導通する為、節点N22
の電圧(vsA)は、トランジスタQ2)。
Q 24の電流駆動能力の和とトランジスタQ 22の
電流駆動能力の比で決まる値となり、最終的にはvsA
(on)で平衡することになる。
電流駆動能力の比で決まる値となり、最終的にはvsA
(on)で平衡することになる。
このとき、データ“1″が記憶されたメモリセル(MC
++)が選択された場合の節点N22の電圧(vsA)
が電源電圧V。0まで達している為、基準電圧VREF
&低下するまでのスピードが従来例の場合に比べ遅くな
るが、基準電圧VRゆアと電圧VsA(on)との差を
従来例の場合に比べ大きな値に設定することができ、次
段の比較検出器4Jの感度が見かけ上従来例の場合に比
べ良くなるので、このときのアクセス時間T DI8は
、従来例のアクセス時間TD1sAと同等になる。
++)が選択された場合の節点N22の電圧(vsA)
が電源電圧V。0まで達している為、基準電圧VREF
&低下するまでのスピードが従来例の場合に比べ遅くな
るが、基準電圧VRゆアと電圧VsA(on)との差を
従来例の場合に比べ大きな値に設定することができ、次
段の比較検出器4Jの感度が見かけ上従来例の場合に比
べ良くなるので、このときのアクセス時間T DI8は
、従来例のアクセス時間TD1sAと同等になる。
次に、従来例の場合と同様に、基準電圧■88.が設計
値からばらつき高い値VREア、になった場合の動作に
ついて、データ“1″が記憶されたメモリセルM C1
1が選択された場合について説明する。
値からばらつき高い値VREア、になった場合の動作に
ついて、データ“1″が記憶されたメモリセルM C1
1が選択された場合について説明する。
この実施例では、前述したように、データ゛1゛′が記
憶されたメモリセルM C+ 、が選択された場合の節
点N22の電圧VsA(off)が電源電圧V0゜まで
達する。
憶されたメモリセルM C+ 、が選択された場合の節
点N22の電圧VsA(off)が電源電圧V0゜まで
達する。
従って、データ“0”が記憶されたメモリセルMCM1
が選択された場合の節点N22の電圧VSA(on)の
値を従来例と同一に設計すると、節点N22の振幅が従
来例に比べ大きくなる。従って、基準電圧がVREFか
らVRlFlに変化しても、VBIIIIIのべ 値は相変わらず節点N22の電圧上昇波形が急しゅんな
場所に設定されることになり、従来例のように次段の比
較検出器4Jの感度が見かけ上悪くなるようなことはな
く、この場合でも比較検出器4Jの出力(VDQI)、
出力バッファ回路5Jの出力(○UTI)の遅れは従来
例より小さくなる。
が選択された場合の節点N22の電圧VSA(on)の
値を従来例と同一に設計すると、節点N22の振幅が従
来例に比べ大きくなる。従って、基準電圧がVREFか
らVRlFlに変化しても、VBIIIIIのべ 値は相変わらず節点N22の電圧上昇波形が急しゅんな
場所に設定されることになり、従来例のように次段の比
較検出器4Jの感度が見かけ上悪くなるようなことはな
く、この場合でも比較検出器4Jの出力(VDQI)、
出力バッファ回路5Jの出力(○UTI)の遅れは従来
例より小さくなる。
第4図は本発明の第2の実施例を示す回路図である。
この実施例は第1の実施例のセンス増幅回路2Jを、従
来例と同一のセンス増幅器2Jxとしたものである。
来例と同一のセンス増幅器2Jxとしたものである。
従って、デイジット線DLIの電圧VDLIに対するセ
ンス増幅回路2Jxの負荷電流ILXの特性及びメモリ
セルに流れる電流工1.。の特性は第7図(a)、従っ
て第2図(a)と同一の特性となるが、デイジット線D
L +の電圧VDLIが変化したときの節点N22の
電圧変化は第5図に示すとおりとなり、節点N22の電
圧は、第1の実施例ではトランジスタQ23Aが導通す
る電圧で制限されるのに対し、第2の実施例ではトラン
ジスタQ23が導通する電圧で制限されることになる。
ンス増幅回路2Jxの負荷電流ILXの特性及びメモリ
セルに流れる電流工1.。の特性は第7図(a)、従っ
て第2図(a)と同一の特性となるが、デイジット線D
L +の電圧VDLIが変化したときの節点N22の
電圧変化は第5図に示すとおりとなり、節点N22の電
圧は、第1の実施例ではトランジスタQ23Aが導通す
る電圧で制限されるのに対し、第2の実施例ではトラン
ジスタQ23が導通する電圧で制限されることになる。
この実施例においても、データ“l”が記憶されたメモ
リセル(MC11)が選択された場合の節点N2□の電
圧は電源電圧■。。となり、またデータ+101+が記
憶されたメモリセル(MChn)が選択された場合の節
点N22の電圧はVsA(on)と同一の値に設計でき
るので、第1の実施例で述べたのと同様の動作となり、
同様の効果が得られる。
リセル(MC11)が選択された場合の節点N2□の電
圧は電源電圧■。。となり、またデータ+101+が記
憶されたメモリセル(MChn)が選択された場合の節
点N22の電圧はVsA(on)と同一の値に設計でき
るので、第1の実施例で述べたのと同様の動作となり、
同様の効果が得られる。
以上説明したように本発明は、電源端子とセンス増幅回
路の出力端との間に、電源端子からセンス増幅回路の出
力端へ予め設定された値の電流を供給する定電流負荷回
路を設けた構成とすることにより、データ゛′1“が記
憶されたメモリセルが選択されたときの電圧を電源電圧
まで振ることができるので、センス増幅回路の出力電圧
が基準電圧を越えるときの電圧変化が急しゅんになり、
基準電圧がばらついた場合でも、動作速度及び比較検出
器のノイズマージを向上させることができ、また、セン
ス増幅回路が動作する最低の電源電圧はインバータの論
理しきい値(約1.OV)のみで決定される為、低電源
電圧で動作させることができる効果がある。
路の出力端との間に、電源端子からセンス増幅回路の出
力端へ予め設定された値の電流を供給する定電流負荷回
路を設けた構成とすることにより、データ゛′1“が記
憶されたメモリセルが選択されたときの電圧を電源電圧
まで振ることができるので、センス増幅回路の出力電圧
が基準電圧を越えるときの電圧変化が急しゅんになり、
基準電圧がばらついた場合でも、動作速度及び比較検出
器のノイズマージを向上させることができ、また、セン
ス増幅回路が動作する最低の電源電圧はインバータの論
理しきい値(約1.OV)のみで決定される為、低電源
電圧で動作させることができる効果がある。
4、
第1図は本発明の第1の実施例を示す回路図、第2図(
a) 、 (b)及び第3図はそれぞれ第1図に示され
た実施例のセンス増幅回路の動作、設計方法を説明する
ための特性図及びこの実施例の動作を説明するための各
部信号の電圧波形図、第4図及び第5図はそれぞれ本発
明の第2の実施例を示す回路図及びこの実施例のセンス
増幅回路の動作、設計方法を説明するための特性図、第
6図は従来の半導体記憶装置の一例を示す回路図、第7
図(a) 、 (b)及び第8図は第6図に示された半
導体記憶装置のセンス増幅回路の動作、設計方法を説明
するための特性図及びこの半導体記憶装置の動作を説明
するための各部信号の電圧波形図である。 IJ・・・・・・メモリセルマトリクス、2J、2Jx
・・・・・・センス増ffM回路、3J・・・・・・リ
ファレンス回路、4J・・・・・・比較検出回路、5J
・・・・・・出力バッファ回路、6J・・・・・・定電
流負荷回路、DLI〜DLN・・・・・・デイジット線
、工v1・・・・・・インバータ、MC11〜MCい・
・・・・・メモリセル、Q21〜Q26゜Q23AI
QYI”QYN・・・・・・トランジスタ。 代理人 弁理士 内 原 晋
a) 、 (b)及び第3図はそれぞれ第1図に示され
た実施例のセンス増幅回路の動作、設計方法を説明する
ための特性図及びこの実施例の動作を説明するための各
部信号の電圧波形図、第4図及び第5図はそれぞれ本発
明の第2の実施例を示す回路図及びこの実施例のセンス
増幅回路の動作、設計方法を説明するための特性図、第
6図は従来の半導体記憶装置の一例を示す回路図、第7
図(a) 、 (b)及び第8図は第6図に示された半
導体記憶装置のセンス増幅回路の動作、設計方法を説明
するための特性図及びこの半導体記憶装置の動作を説明
するための各部信号の電圧波形図である。 IJ・・・・・・メモリセルマトリクス、2J、2Jx
・・・・・・センス増ffM回路、3J・・・・・・リ
ファレンス回路、4J・・・・・・比較検出回路、5J
・・・・・・出力バッファ回路、6J・・・・・・定電
流負荷回路、DLI〜DLN・・・・・・デイジット線
、工v1・・・・・・インバータ、MC11〜MCい・
・・・・・メモリセル、Q21〜Q26゜Q23AI
QYI”QYN・・・・・・トランジスタ。 代理人 弁理士 内 原 晋
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)それぞれ一端を基準電位点と接続し選択状態にある
とき記憶内容に応じた電流を出力端へ供給する複数のメ
モリセルを備えたメモリセルマトリクスと、入力端を前
記メモリセルマトリクスの出力端と接続するインバータ
、ソースを電源端子と接続しゲート及びドレインを共通
接続する一導電型の第1のトランジスタ、ソースを前記
インバータの入力端と接続しゲートを前記インバータの
出力端と接続しドレインを前記第1のトランジスタのゲ
ート及びドレインと接続する逆導電型の第2のトランジ
スタ、並びにソースを前記第2のトランジスタのドレイ
ンと接続しゲートを前記第2のトランジスタのゲートと
接続しドレインを前記電源端子と接続する逆導電型の第
3のトランジスタを備え、この第3のトランジスタのソ
ースを出力端とし前記メモリセルマトリクスの出力端か
らの電流に応じた電圧の信号を前記出力端から出力する
センス増幅回路と、予め設定されたレベルの基準電圧を
出力するリファレンス回路と、前記センス増幅回路の出
力信号と前記基準電圧とを比較しこの比較結果に応じた
レベルの信号を出力する比較検出回路とを有する半導体
記憶装置において、前記電源端子と前記センス増幅回路
の出力端との間に、前記電源端子から前記センス増幅回
路の出力端へ予め設定された値の電流を供給する定電流
負加回路を設けたことを特徴とする半導体記憶装置。 2)センス増幅回路の第3のトンランジスタのゲートが
電源端子に1対1で接続された請求項1記載の半導体記
憶装置。 3)センス増幅回路の第3のトランジスタのしきい値を
第2のトランジスタのしきい値より大きくした請求項2
記載の半導体記憶装置。
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