JP6375026B2 - エッチング組成物及びこれを適用した表示基板の製造方法 - Google Patents
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- C23F1/02—Local etching
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
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Description
これによって、RC遅延の問題が発生するが、これを解決するために主にゲート配線やデータ配線を低抵抗金属から形成する。
ゲート配線又はデータ配線を形成する低抵抗金属としては、銅が電気伝導度に優れ且つ既存量が豊富であり、アルミニウム又はクロムに比べて非常に低い抵抗性を有する。
反面、酸化剤に対する抵抗性は銅がアルミニウム又はクロムに比べて大きいので、銅層のエッチングのためには強力な酸化剤を使用する必要がある。
これを解決するために、既存の過水系エッチング組成物を、過硫酸系をメインエッチング成分として利用するエッチング組成物に置換しているが、常温で安定的に保管しにくく、エッチング組成物が処理できる基板の枚数に限界があるという問題がある。
また、エッチングで得られるパターンのテーパ角を増加させて表示基板で配線の厚さを増加させることができるので、表示基板で低抵抗配線を実現することができ、画素の開口率を増加させることができるという効果がある。
以下、本発明の一実施形態に係るエッチング組成物を先ず説明し、その後、当該エッチング組成物を適用した金属配線の形成方法及び表示基板の製造方法を図面を参照しながらより詳細に説明する。
本発明の一実施形態に係るエッチング組成物は、リン酸(H3PO4)、硝酸(HNO3)、酢酸(CH3COOH)、銅イオン化合物、硝酸塩、酢酸塩及び残りの水を含む。
エッチング組成物は、フルオロ金属酸をさらに含むことができる。
以下において、各成分に対して具体的に説明する。
エッチング組成物に含まれたリン酸は、銅と反応して銅層をエッチングできる。
例えば、下記のような反応式(1)によって、銅を酸化させることができる。
(化1)
3Cu+2H3PO4 → Cu3(PO4)2+3H2
また、リン酸の含有量が約60重量%超過する場合、エッチング組成物は銅層を過度にエッチングして銅層のエッチング量を制御することが非常に難しく、銅層を含む多層構造の金属膜をエッチングする時、アンダーカットが発生する可能性がある。
エッチング組成物に含まれた硝酸が銅と反応して銅層をエッチングできる。
例えば、下記のような反応式(2)によって銅を酸化させることができる。
(化2)
Cu+4HNO3 → Cu(NO3)2+2H2O+2NO2
銅層が不均一にエッチングされる場合、外部でムラとして視認されることができる。反対に、硝酸の含有量が約10重量%超過する場合、エッチング速度が過度に増加して、エッチング工程の調節が難しい。
従って、硝酸はエッチング組成物の全体重量に対して約1重量%以上約10重量%以下を含むことが望ましい。
エッチング組成物に含まれた酢酸は、エッチング組成物でバッファ役割をすることによって、銅層に対する反応速度を調節できる。
酢酸の含有量がエッチング組成物の全体重量に対して約3重量%未満の場合、エッチング速度が過度に増加して、エッチング工程の調節が難しい。
酢酸の含有量が約15重量%超過する場合、エッチング速度が低下し、スキューが増加することがある。
上記により、酢酸はエッチング組成物の全体重量に対して約3重量%以上約15重量%以下を含むことが望ましい。
エッチング組成物に含まれた銅イオン化合物は、エッチング工程初期にオーバーエッチングされることを防ぐことができる。
銅イオン化合物の含有量がエッチング組成物の全体重量に対して約0.01重量%未満の場合、エッチング工程の初期にオーバーエッチングが発生することがある。
銅イオン化合物の含有量が約0.1重量%超過する場合、エッチング速度が低下することがある。
上記により、銅イオン化合物はエッチング組成物の全体重量に対して約0.01重量%以上約0.1重量%以下を含むことが望ましい。
エッチング工程が進行されるにつれてエッチング組成物内の銅イオン濃度が増加する。
硝酸塩は銅イオンによって硝酸が分解されることを抑制することによって、エッチング組成物のエッチング速度を維持することができる。
硝酸塩の含有量がエッチング組成物の全体重量に対して約1重量%未満の場合、エッチング速度が低下することがあり、硝酸塩の含有量が約10重量%超過する場合、硝酸塩が析出されて工程信頼性が低下することがある。
上記により、硝酸塩は、エッチング組成物の全体重量に対して約1重量%以上約10重量%以下を含むことが望ましく、約5重量%〜約10重量%を含むことがより望ましい。
エッチング組成物に含まれた酢酸塩は、銅層に対するエッチング速度を調節できる。
酢酸塩の含有量がエッチング組成物の全体重量に対して約1重量%未満の場合、エッチング速度の調節が難しく、酢酸塩の含有量が約10重量%超過する場合、銅層の均一なエッチングは難しい。
上記により、酢酸塩は、エッチング組成物の全体重量に対して約1重量%以上約10重量%以下を含むことが望ましく、約3重量%以上約5重量%以下を含むことがより望ましい。
酢酸塩は半導体工程用の純度を有するものを使うことが望ましい。
エッチング組成物に含まれたフルオロ金属酸は、エッチングされる銅層のテーパ角を増加させることができる。
フルオロ金属酸の含有量がエッチング組成物の全体重量に対して約1重量%超過する場合、銅層の均一なエッチングは難しい。
上記により、フルオロ金属酸は、エッチング組成物の全体重量に対して約1重量%以下を含むことが望ましい。
使用する水は、脱イオン水(deionized water)を含む。
例えば、水は半導体工程用として、約18MΩ/cm以上の比抵抗を有してもよい。
水はエッチング組成物から、リン酸、硝酸、酢酸、銅イオン化合物、硝酸塩、酢酸塩、及びフルオロ金属酸の含有量を除いた残りを占めて、例えば、エッチング組成物の全体重量に対して約20重量%〜約50重量%であり得る。
また、エッチング組成物は、銅及び酸化物を含む多層金属膜を一括にエッチングでき、エッチングで得られたパターンのテーパ角を増加させて表示基板で配線の厚さを増加させることができる。
また、エッチング組成物は、ガラス、シリコン酸化物、シリコン窒化物を含むベース基板への損傷を防ぐことができる。
以下において図面を参照して、本発明の一実施形態に係る金属配線及び表示基板の製造方法を具体的に説明する。
表示基板は、表示装置に使われるアレイ基板である。
本発明の一実施形態に係る金属配線は、表示装置のデータライン又はゲートラインとして使用される。
ベース基板110としては、ガラス基板、石英基板、シリコン基板、プラスチック基板などを使ってもよい。
例えば、上部バリア層272及び下部バリア層276は酸化物を含み、銅層274は銅又は銅合金を含む。
酸化物は、インジウム−亜鉛酸化物、ガリウム−亜鉛酸化物、亜鉛−アルミニウム酸化物、インジウム−錫酸化物、インジウム−ガリウム−亜鉛酸化物などを含むことができ、インジウム−亜鉛酸化物、インジウム−ガリウム−亜鉛酸化物などのようなインジウム及び亜鉛を含む酸化物を含むことが望ましい。
銅層274の厚さが約1μm以上の場合、低抵抗配線を具現して、表示基板の応答速度を増加させることができる。特に、本発明の一実施形態に係るエッチング組成物は、従来のエッチング組成物に比べて厚さが約1μm以上の銅層のエッチングに有利である。
具体的には、厚さが約1μm以上の銅層をエッチングして得られたパターンのプロファイル(断面形状)のテーパ角を増加させることができ、スキューを減少させることができる。
上部バリア層272及び下部バリア層276は、銅層274より大きい硬度、望ましくは、約4.0以上のモース硬度を有する。
例えば、酸化亜鉛の含有量が約35重量%以上である場合、上部バリア層272又は下部バリア層276の側面エッチングが不均一になるか、或いはベース基板110が損傷される恐れがある。
また、酸化亜鉛の含有量が約10重量%未満の場合、エッチング率が過度に低くて工程を進めることが容易ではない。
従って、インジウム−亜鉛酸化物層の酸化亜鉛の含有量は、約10重量%以上約35重量%未満であることが望ましい。
例えば、データ金属層は、銅層及び銅層の下部に配置されたチタン層の二重構造、銅層及び銅層の上部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層の二重構造、或いは銅層及び銅層の下部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層の二重構造を有しもよい。
例えば、上部バリア層272上にフォトレジスト組成物を塗布した後、データラインの形状に対応するフォトレジストパターンを形成し、フォトレジストパターンによってカバーされなかった上部バリア層272、銅層274及び下部バリア層276を順次にエッチングして、データラインDLを形成する。
これによって、データラインDLは大きいテーパ角(θ)を有することができ、従って、表示基板の開口率を向上させることができる。テーパ角(θ)は、パターンの底面と側面によって形成される角として定義されることができ、例えば、銅層又はデータラインDLのテーパ角(θ)は、約50°以上、望ましくは約60°〜約85°以下である。
エッチング組成物は、リン酸、硝酸、酢酸、銅塩、硝酸塩、酢酸塩、及び水を含み得る。データ金属層がチタン層を含む場合、エッチング組成物はフルオロ金属酸をさらに含んでもよく、チタン層は別途のエッチング組成物によってエッチングされてもよい。チタン層をエッチングするためのエッチング組成物はフッ化物及び水を含んでもよく、例えば、フッ化物は、HF、NH4F、NH4HF2などを含んでもよい。
データ金属層を形成した後又はデータ金属層をエッチングした後に、データラインDL又はデータ金属層が形成されたベース基板110はブラシによって洗浄されてもよい。
データ絶縁層113は、シリコン窒化物、シリコン酸化物、酸化アルミニウムなどを含んでもよく、厚さは約500Å〜約2000Åであってもよい。
例えば、バインダ樹脂は高耐熱性のアクリル樹脂、フェノール樹脂などを含んでもよく、組成物はスピンコート法によって塗布してもよい。
組成物は、加熱又は紫外線の走査で硬化して第1平坦化膜115を形成する。
第1平坦化膜115は、基板の上面を平坦化できるように十分な厚さを有することが望ましい。
遮光層240は、シリコン酸化物、シリコン−ゲルマニウム合金、ゲルマニウム、酸化チタンなどを含むことが望ましく、シリコン−ゲルマニウム合金を含むことがより望ましい。
遮光層240の厚さは、約100Å〜約2000Åであり得、約600Å〜約2000Åであることがより望ましい。
遮光層240の厚さが600Å以上である場合、高い吸光度(optical density)を有することができる。
酸化物半導体層220は、金属酸化物半導体を含むことができる。
例えば、金属酸化物半導体は、亜鉛、インジウム、ガリウム、錫、チタン、リン酸化物又は、これらの組み合わせを含んでもよく、具体的には、酸化亜鉛(ZnO)、亜鉛錫酸化物(ZTO)、亜鉛インジウム酸化物(ZIO)、インジウム酸化物(InO)、チタン酸化物(TiO)、インジウムガリウム亜鉛酸化物(IGZO)、インジウム亜鉛錫酸化物(IZTO)などを含んでもよい。
酸化物半導体層220は、化学気相成長法、プラズマ化学気相成長法、溶液コーティング法などによって形成してもよい。
具体的には、酸化物半導体層220上にフォトレジストパターンPRを形成し、フォトレジストパターンPRをマスクとして利用して、酸化物半導体層220の露出した部分をエッチングする。これによって、バッファ層250の上面が部分的に露出する。
従って、酸化物半導体パターン222、バッファパターン150及び遮光パターン140は実質的に同じ形状及び大きさを有する。
ゲート絶縁層は上部ゲート絶縁層262及び下部ゲート絶縁層264を含む。
上部ゲート絶縁層262は、下部ゲート絶縁層264上に形成される。
上部ゲート絶縁層262はシリコン窒化物などを含んでもよく、約500Å〜約2000Åであり得る。
例えば、上部バリア層282及び下部バリア層286はインジウム亜鉛酸化物のような酸化物を含み、銅層284は銅などの金属を含む。
ゲート金属層の具体的な構成は、データ金属層と実質的に同一であることのできるので、重複される具体的な説明は省略する。
他の実施形態において、ゲート金属層はデータ金属層とは異なる構造を有してもよく、例えば、ゲート金属層は、銅層及び銅層の下部に配置されるチタン層の二重構造を有してもよい。
例えば、上部バリア層282上にフォトレジスト組成物を塗布した後、ゲート電極GE及びゲートラインGLの形状に対応するフォトレジストパターンを形成し、フォトレジストパターンによってカバーされなかった上部バリア層282、銅層284及び下部バリア層286を順次にエッチングして、上部バリアパターン182、銅パターン184及び下部バリアパターン186によるゲート電極GE及びゲートラインGLを形成する。
これにより、ゲートラインGLは大きいテーパ角を有することができ、従って、表示基板の開口率を向上させることができる。
従って、ゲート絶縁パターン160は、ゲートラインGL及びゲート電極GEと実質的に同じ形状及び大きさを有する。
具体的には、ゲート電極GE及びゲート絶縁パターン160によってカバーされないで露出された酸化物半導体パターン222をソース電極124及びドレイン電極126に変換する。
例えば、水素(H2)、ヘリウム(He)、ホスフィン(PH3)、アンモニア(NH3)、シラン(SiH4)、メタン(CH4)、アセチレン(C2H2)、ジボラン(B2H6)、二酸化炭素(CO2)、ゲルマン(GeH4)、セレン化水素(H2Se)、硫化水素(H2S)、アルゴン(Ar)、窒素(N2)、酸化窒素(N2O)、フルオロホルム(CHF3)などの気体プラズマ(PT)を露出した酸化物半導体パターン222に加えることができる。
従って、還元処理された酸化物半導体パターン222は、ソース電極124及びドレイン電極126を形成し、ゲート電極GE及びゲート絶縁パターン160によってカバーされた部分は残留してチャネル122を形成する。
第2平坦化膜119は、表示基板の表面を平坦化し、フォトレジスト組成物をパッシベーション層117上にスピンコートして形成できる。
透明導電層は、インジウム亜鉛酸化物、インジウム錫酸化物などを含んでもよい。
透明導電層をパターニングして、接続電極130及び画素電極PEを形成する。
接続電極130は、第1コンタクトホールCH1を通じてデータラインDLと接触し、第2コンタクトホールCH2を通じてソース電極124に接触する。
画素電極PEは、第3コンタクトホールCH3を通じてドレイン電極124に接触する。
また、信号配線のテーパ角を増加させることによって、厚い厚さを有する低抵抗配線を具現できる。
下記の表1に従って、リン酸、硝酸、酢酸、銅イオン化合物として、Cu(NO3)2・3H2O、フルオロ金属酸としてH2TiF6、硝酸塩としてKNO3、酢酸塩としてCH3CO2NH4及び残りの水を含むエッチング組成物を準備する。
ガラス基板上に順次に積層された約300Åのチタン膜、約30000Åの銅層及びフォトレジストパターンを含むサンプルを準備する。
各サンプルに実施例1〜実施例8のエッチング組成物を噴射して、EPD(end point detection)まで必要とされる時間を基準として銅層を60%オーバーエッチングし、フッ酸溶液を利用してチタン層を60%オーバーエッチングした。
各サンプルに対するエッチング速度を測定し、CDスキュー及びテーパ角を走査電子顕微鏡写真を利用して測定した後、その結果を下記の表2に示す。
下記の表2において、「◎」は約0.7μm〜約1.3μmのCDスキューと、約450Å/秒〜約550Å/秒のエッチング速度を示し、「○」は約0.4μm〜約0.7μm又は約1.3μm〜約1.6μmのCDスキューと約400Å/秒〜約450Å/秒又は約550Å/秒〜約600Å/秒のエッチング速度を示し、「△」は約0.4μm以下又は約1.6μm以上のCDスキューと約400Å/秒以下又は約600Å/秒以上のエッチング速度を示す。
実施例5のエッチング組成物を約25℃で一定期間保管した後、エッチング組成物をガラス基板上に順次に積層した約300Åのチタン膜、約30000Åの銅層、及びフォトレジストパターンを含むサンプルに噴射して、エッチングEPDまで必要とされる時間を基準として銅層を60%オーバーエッチングし、フッ酸溶液を利用してチタン層を60%オーバーエッチングした。
各サンプルに対するエッチングEPDまで必要とされる時間を測定し、CDスキュー及びテーパ角を走査電子顕微鏡写真を利用して測定した後、その結果を下記の表3に示す。
実施例5のエッチング組成物の銅イオン濃度を変化させながら、エッチング組成物をガラス基板上に順次に積層した約300Åのチタン膜、約30000Åの銅層、及びフォトレジストパターンを含むサンプルに噴射して、エッチングEPDまで必要とされる時間を基準として銅層を30%オーバーエッチングし、フッ酸溶液を利用してチタン層を30%オーバーエッチングした。
各サンプルに対するエッチングEPDまで必要とされる時間を測定し、CDスキュー及びテーパ角を走査電子顕微鏡写真を利用して測定した後、その結果を下記の表4に示す。
ガラス基板上に順次に積層された約300Åのインジウム−亜鉛酸化物層、約5000Åの銅層、約300Åのインジウム−亜鉛酸化物層、及びフォトレジストパターンを含むサンプル1、ガラス基板上に順次に積層された約300Åのインジウム−亜鉛酸化物層、約10000Åの銅層、約300Åのインジウム−亜鉛酸化物層、及びフォトレジストパターンを含むサンプル2、ガラス基板上に順次に積層された約300Åのインジウム−亜鉛酸化物層、約30000Åの銅層、約300Åのインジウム−亜鉛酸化物層、及びフォトレジストパターンを含むサンプル3を準備する。
各サンプルに対するエッチング速度を測定し、CDスキュー及びテーパ角を走査電子顕微鏡写真を利用して測定した後、その結果を下記の表5に示す。
従って、実施例8のエッチング組成物を利用して銅層及びインジウム−亜鉛酸化物層を一括的にエッチングでき、多様な厚さ、特に10000Å以上の厚さを有する低抵抗銅配線の形成のための信頼性を確保できることがわかる。
ガラス基板上に順次に積層された約300Åのインジウム−亜鉛酸化物層及びフォトレジストパターンを含み、インジウム−亜鉛酸化物層の酸化亜鉛の含有量がそれぞれ異なる複数のサンプルを準備する。
各サンプルに対するエッチング速度を測定し、エッチング状態を走査電子顕微鏡写真を利用して観察した後、その結果を下記の表6に示す。
下記の表6において、エッチング状態は、側面エッチング均一性、ベース基板の損傷などを考慮して、「○」は優秀、「△」は良好、「X」は不良を示す。
従って、エッチング組成物は酸化亜鉛の含有量が約35重量%未満のインジウム−亜鉛酸化物層のエッチングに有利であることがわかる。
ガラス基板上に順次に積層された約300Åのインジウム−亜鉛酸化物層、約5000Åの銅層、約300Åのインジウム−亜鉛酸化物層、及びフォトレジストパターンを含むサンプルを準備し、インジウム−亜鉛酸化物層の酸化亜鉛の含有量及びエッチング時間の変化によるエッチング状態を観察する。
各サンプルのエッチングには実施例8のエッチング組成物を使う。
また、インジウム−亜鉛酸化物層の酸化亜鉛の含有量が増加しなくてもエッチング時間を増加させるにつれて上部インジウム−亜鉛酸化物層が側面に突出された長さが減少することが確認できる。
113 データ絶縁層
115 第1平坦化膜
117 パッシベーション層
119 第2平坦化膜
120 アクティブパターン
130 接続電極
140 遮光パターン
150 バッファパターン
160 ゲート絶縁パターン
162 上部ゲート絶縁パターン
164 下部ゲート絶縁パターン
172、182 上部バリアパターン
174、184 金属(銅)パターン
176、186 下部バリアパターン
220 酸化物半導体層
222 酸化物半導体パターン
240 遮光層
250 バッファ層
262 上部ゲート絶縁層
264 下部ゲート絶縁層
272、282 上部バリア層
274、284 銅層
276、286 下部バリア層
CH1、CH2、CH3 (第1〜第3)コンタクトホール
DL データライン
GE ゲート電極
GL ゲートライン
PE 画素電極
Claims (27)
- 銅、銅合金、インジウム−亜鉛酸化物、ガリウム−亜鉛酸化物、亜鉛−アルミニウム酸化物、インジウム−錫酸化物、又はインジウム−ガリウム−亜鉛酸化物の単一膜、又はこれらの積層膜をエッチングするためのエッチング組成物であって、
リン酸40重量%〜60重量%と、
硝酸1重量%〜10重量%と、
酢酸3重量%〜15重量%と、
銅イオン化合物0.01重量%〜0.1重量%と、
硝酸塩1重量%〜10重量%と、
酢酸塩1重量%〜10重量%と、
余分の水と、
を含むことを特徴とするエッチング組成物。 - 前記銅イオン化合物は、CuSO4・5H2O、CuSO4・3H2O、Cu(NO3)2・3H2O、及びCu2P2O7・3H2Oからなる群から選択された少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1に記載のエッチング組成物。
- 前記硝酸塩は、NH4NO3、NaNO3、KNO3、LiNO3、Mg(NO3)2、Al(NO3)3、Zn(NO3)2、Fe(NO3)3、Ni(NO3)2、及びCa(NO3)2からなる群から選択された少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1に記載のエッチング組成物。
- 前記酢酸塩は、CH3CO2NH4、CH3CO2Na、CH3CO2K、Mg(CH3CO2)2、Ca(CH3CO2)2、Al(CH3CO2)3、及びCH3CO2Liからなる群から選択された少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1に記載のエッチング組成物。
- 1重量%以下のフルオロ金属酸をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のエッチング組成物。
- 前記フルオロ金属酸は、H2SiF6、HBF4、H2TiF6、及びH2ZrF6からなる群から選択された少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項5に記載のエッチング組成物。
- ベース基板上に銅層を含むデータ金属層を形成するステップと、
前記データ金属層上にフォトレジストパターンを形成するステップと、
前記データ金属層及び前記フォトレジストパターンを有するベース基板にリン酸40重量%〜60重量%、硝酸1重量%〜10重量%、酢酸3重量%〜15重量%、銅イオン化合物0.01重量%〜0.1重量%、硝酸塩1重量%〜10重量%、酢酸塩1重量%〜10重量%、及び余分の水を含むエッチング組成物を提供して前記データ金属層を部分的に除去してデータラインを形成するステップと、
を含むことを特徴とする表示基板の製造方法。 - 前記データ金属層は、前記銅層の上部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層をさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の表示基板の製造方法。
- 前記銅層の上部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層の酸化亜鉛含有量は、10重量%以上35重量%未満であることを特徴とする請求項8に記載の表示基板の製造方法。
- 前記データ金属層は、前記銅層の下部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層を含むことを特徴とする請求項7に記載の表示基板の製造方法。
- 前記銅層の下部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層の酸化亜鉛含有量は、10重量%以上35重量%未満であることを特徴とする請求項10に記載の表示基板の製造方法。
- 前記データ金属層は、前記銅層の上部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層並びに前記銅層の下部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層を含むことを特徴とする請求項7に記載の表示基板の製造方法。
- 前記銅層の上部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層並びに前記銅層の下部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層の酸化亜鉛含有量は、10重量%以上35重量%未満であることを特徴とする請求項12に記載の表示基板の製造方法。
- 前記ベース基板に平行な面に対して前記銅層の側面が成すテーパー角は、50゜以上であることを特徴とする請求項7に記載の表示基板の製造方法。
- 前記ベース基板に平行な面に対して前記銅層の側面が成すテーパー角は、60゜〜85゜であることを特徴とする請求項14に記載の表示基板の製造方法。
- 前記銅層の厚さは、1μm〜3μmであることを特徴とする請求項7に記載の表示基板の製造方法。
- 請求項7に記載のデータラインをカバーする絶縁膜を形成するステップと、
前記絶縁膜の上に酸化物半導体層を形成するステップと、
前記酸化物半導体層をパターニングして酸化物半導体パターンを形成するステップと、
前記酸化物半導体パターンの上にゲート絶縁層及びゲート金属層を順次に形成するステップと、
前記ゲート金属層をパターニングしてゲートライン及びゲート電極を形成するステップと、
前記ゲート絶縁層をパターニングしてゲート絶縁パターンを形成して前記酸化物半導体パターンを露出するステップと、
前記酸化物半導体パターンの露出した部分を還元して、金属を含むソース電極及びドレイン電極を形成するステップと、
前記ソース電極と前記データラインとを電気的に連結する接続電極及び前記ドレイン電極に連結される画素電極を形成するステップと、
を含むことを特徴とする表示基板の製造方法。 - 前記ゲート金属層は、銅層を含み、リン酸40重量%〜60重量%、硝酸1重量%〜10重量%、酢酸3重量%〜15重量%、銅イオン化合物0.01重量%〜0.1重量%、硝酸塩1重量%〜10重量%、酢酸塩1重量%〜10重量%、及び余分の水を含むエッチング組成物を用いてパターニングされることを特徴とする請求項17に記載の表示基板の製造方法。
- 前記ゲート金属層は、前記銅層の上部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層
をさらに含むことを特徴とする請求項18に記載の表示基板の製造方法。 - 前記ゲート金属層で前記銅層の上部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層の酸化亜鉛含有量は10重量%以上35重量%未満であることを特徴とする請求項19に記載の表示基板の製造方法。
- 前記ゲート金属層は、前記銅層の下部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層を含むことを特徴とする請求項18に記載の表示基板の製造方法。
- 前記ゲート金属層で前記銅層の下部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層の酸化亜鉛含有量は10重量%以上35重量%未満であることを特徴とする請求項21に記載の表示基板の製造方法。
- 前記ゲート金属層は、前記銅層の上部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層並びに前記銅層の下部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層を含むことを特徴とする請求項18に記載の表示基板の製造方法。
- 前記ゲート金属層で前記銅層の上部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層並びに前記銅層の下部に配置されたインジウム及び亜鉛を含む酸化物層の酸化亜鉛含有量は10重量%以上35重量%未満であることを特徴とする請求項23に記載の表示基板の製造方法。
- 前記ゲート金属層の銅層の厚さは、1μm〜3μmであることを特徴とする請求項18に記載の表示基板の製造方法。
- 前記ゲート絶縁層に平行な面に対して前記ゲート金属層の銅層の側面が成すテーパー角は、50゜以上であることを特徴とする請求項18に記載の表示基板の製造方法。
- 前記ゲート絶縁層に平行な面に対して前記ゲート金属層の銅層の側面が成すテーパー角は、60゜〜85゜であることを特徴とする請求項26に記載の表示基板の製造方法。
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