JP4738705B2 - 配線材料及びそれを用いた配線基板 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、TFT型液晶表示ディスプレイ(TFT−LCD)または有機EL用の配線材料、反射電極及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
TFT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)型液晶ディスプレイ(以下、単にTFT−LCDという)は、表示性能が高く、省エネルギー等の特徴があるので、携帯用パソコンやラップトップパソコン、テレビ等の表示機として主流を占めるに至っている。このTFT−LCDの製造方法は各社、各様の方法があるが、TFTを製造する工程が複雑で、また、各種の金属、金属酸化物を積層するため、工程の簡略化が求められている。
【0003】
また、表示装置の他の方式である有機EL(有機Electroluminescence)においてもTFT駆動による表示が試みられている。
【0004】
TFT−LCDの基本構造
従来のTFT−LCDの基本的な構造を説明する。図2には、透過型TFT−LCDの断面を模式的に表した断面模式図が示されている。この図に示すように、透過型TFT−LCDは、液晶10をカラーフィルター基板12と、TFT基板14とで挟み込んだ構造を基本構造としている。そして、TFT基板14の裏面にはバックライト16が設けられており、透過型TFT−LCDを裏面から照らしている。
【0005】
カラーフィルター基板12はガラス基板18aと透明電極20との間にカラーフィルター22が挟み込まれた構造をなしており、赤(R)、緑(G)、青(B)それぞれの色の光を透過させる。
【0006】
TFT基板14は、ガラス基板18bの上に透明電極20bが形成されており、この透明電極20bに対して、信号電圧がTFT24を介して印加される。
【0007】
なお、図2では、省略しているが、カラーフィルター基板12側に1枚の偏光板が、TFT基板14側にさらに1枚の偏光板が設けられている。これらの構成はよく知られている構成である。
【0008】
図2では、透過型TFT−LCDの構成を示したが、反射型TFT−LCDの構成は、TFT基板14側の電極が透明電極20bではなく、外光を反射するようにアルミニウム等を用いた反射型の電極になっている。また、反射型TFT−LCDの場合は、外光を反射させているのでバックライト16は不要である。
【0009】
図3には、透過型TFT−LCDの上記TFT基板14上の1個の画素の基本的な構造を示す平面模式図が示されている。この図に示すように、信号ライン30上のデータは、TFT24によるスイッチを介して透明電極20bに印加される。TFT24は、ソース電極32、ゲート電極34、ドレイン電極36とを有しており、ゲート電極34の部位にはアモルファスシリコン38等が積層されている。
【0010】
図4には、図3のIV−IV´線における断面模式図が示されている。ガラス基板18bの上に、ゲート電極34が設けられ、その上にSiNx膜35が積層されている。さらに、ゲート電極34の上方にはアモルファスシリコン38の層が設けられている。
【0011】
このアモルファスシリコン38を挟んでゲート電極と一部重畳するように、ソース電極32と、ドレイン電極36とが配置されている。さらにその上に全体的に絶縁膜40が設けられている。そして、絶縁膜40上に透明電極20bが設けられている。透明電極20bは、絶縁膜40に開けられたスルーホール40bを介して、ドレイン電極36と電気的に接続されている。
【0012】
TFT−LCDにおいて利用される配線
従来のTFT−LCDを駆動するTFTアレイの製造工程では、TFTのゲート電極、ソース・ドレイン電極にCrや、TaW、MoW等の金属の使用が検討されている。
【0013】
この内、Crは加工しやすい反面、腐食されやすい問題があり、TaW、MoWは腐食等には強いが、電気抵抗が大きいなどの問題があった。
【0014】
そこで、加工しやすく、電気抵抗の低い金属が広く使用されている。単純に、電気抵抗が低い金属と言えば、Ag、Cu、Al、等が挙げられる。そこで、従来から、アルミニウムを主体とする配線を用いるTFTアレイ(トランジスタアレイ)が提案されている。また、アルミニウムを用いる場合、ヒロックと呼ばれる突起が電極表面に形成されるおそれがあることが知られている。このヒロックがTFTのソース等の電極に生じると、その上層の絶縁層を突き破り、さらに上層の透明電極と接触し不良品を形成してしまうおそれがある。そこで、このヒロックを防止するために、アルミニウムにNdを添加する構成が従来から採用されている。
【0015】
しかし、このようなアルミニウム電極とシリコン層及び透明電極を直接接触させると、アルミニウムがシリコン層へ拡散し、素子性能を劣化させたり、アルミニウムが酸化されアルミナに変換することにより、透明電極との間の電気抵抗が大きくなるおそれが大である。その結果、TFTアレイを構成する各素子が正常に作動しない問題が知られている。
【0016】
さらに、アルミニウムにNdを添加すると、TaW、MoWと同様に電気抵抗が高くなってしまうおそれがあった。
【0017】
そこで、従来の改良された手法においては、アルミニウム電極をMoやTiでサンドイッチ(挟む構造と)し、酸化物透明電極との接触抵抗を下げる構造が現在利用されている。すなわち、アルミニウムがシリコン層へ拡散することを防止するためにMoをシリコン層の上に成膜してからその上にアルミニウムの層をのせるのである。そして、酸化されることにより、透明電極との接触抵抗が増加してしまうことを防止するために、アルミニウムの上にさらにMoの層を設けている。このように、従来は、Mo/Al/Moの3層構造の配線が利用されている。同様の理由により、Ti/Al/Tiの3層構造も利用されている。
【0018】
なお、Agを主成分とする合金で、電気接点材料として利用した例として、特許1297072号が知られている。同号特許には、Fe、Co、Niの1種または2種を5〜20wt%含有するAg合金、その他の構成のAg合金が示されている。また、特許1585932号特許には、Niを5〜25wt%、Zrを0.05〜8wt%含むAg合金が示されている。
【0019】
また、Agを主成分とする合金で、電子部品用金属材料として利用する例としては、たとえば特開2001−192752号公報がある。同号公報には、Pdを0.1〜3wt%含み、Au、Pt、Cu、Ta、Cr、Ti、Ni、Co、Si等を合計0.1〜3wt%含むAg合金が示されている。
【0020】
また、Agを主成分とし、Zn、Co、Fe、Cr、Mn、Tiから選択した1種以上の金属と、Pdとを含む合金をゲート電極として使用している例が、特開2001−102592号公報に示されている。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】
上で述べた3層構造の配線を採用する場合には、アルミニウム電極をサンドイッチするために、最初にMoやTiを成膜し、その後アルミニウムを主体とする金属を成膜し、再びMoやTiを成膜しなければならず、複雑な工程になってしまうという欠点があった。
【0022】
また、上述したように、電気抵抗の低い金属としては、アルミニウムの他、AgやCuも知られている。したがって、AgやCu電極により上記問題を解決する試みもなされているが、AgやCuは基板であるガラスやシリコン膜との密着性が低く、製造工程中に剥がれてしまう等の問題があった。
【0023】
本発明は、このような問題にかんがみなされたものであり、その目的は、Agを主成分とする合金(Ag合金)であって、ガラス基板やシリコン膜との密着性が改善された合金を実現し、このAg合金を用いた配線材料を提供することである。
【0024】
【課題を解決するための手段】
上記課題に対して、本発明者らが鋭意研究した結果、Ag、Zrを必須成分とし、さらに、Au、Ni、Co、またはAlからなる群から1種類または2種以上の金属を含有したAg合金を配線に用いれば上記課題を解決できることが判明した。
【0025】
このAg合金配線は、基板ガラスとの密着性も良好で、抵抗が低く、しかもシリコン層と直接接触しても、金属原子がシリコン層へほとんど拡散しないことが判明した。その結果、TFTアレイを構成する各素子の性能を劣化させるおそれがほとんどないことが判明した。
【0026】
また、このAg合金からなる金属電極に、直接酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛を主成分とする液晶駆動用電極(透明電極)を形成しても、金属電極とこの透明電極の間で接触抵抗が過度に大きくなることもなく、素子が安定して作動することが判明した。
【0027】
このAg合金の成膜に当たっては、スパッタリングによる成膜を行うことが好ましい。
【0028】
用いるターゲットは、AgとZrを必須成分とするものである。具体的には、Agが60〜99wt%、Zrが1〜5wt%かつ Au、Ni、Coの組成比率がそれぞれ0〜20wt%、かつ、Alの組成比率が0〜39%である薄膜を形成できるように組成を調整されたターゲットである。一般には、作成したい薄膜の組成と同様の組成のターゲットをスパッタリングターゲットとして用いることにより、所望の組成の薄膜を生成することができる。
【0029】
このように組成で、AgZr2やAgZrなどの化合物を作られることになる。これによって、Zrの分散性が促進され、一部NiZr、NiZr2、Ni3Zrなどの化合物や、AuZr2、Au2Zrなどの化合物の生成により第三成分の分散も促進され、安定したスパッタが得られると考えられる。
【0030】
また、このAg合金による金属電極は基板であるガラスやシリコン膜への密着性も大きく、製造工程で膜が剥がれることもなく、安定して製造することが可能である。
【0031】
本発明の具体的な構成は以下の通りである。
【0032】
A 配線材料に関する発明
上記課題を解決するために、本発明は、Ag、Zrを必須成分とし、さらに、Au、Ni、Co、またはAlからなる群から選択される1種または2種以上の金属を含有するAg合金からなる配線材料である。このような構成のAg合金は、ガラス基板やシリコンウェハとの密着性が向上している。
【0033】
また、本発明は、上で述べたAg合金において、Agの組成比率が60〜99wt%であり、かつ、Zrの組成比率が1〜5wt%であることを特徴とする請求項1記載の配線材料である。
【0034】
Zrが1wt%以下としてしまうと、添加効果がなく、シリコンウェハとの密着強度が低いままである。一方、Zrが多すぎる場合には、その配線材料による薄膜の抵抗値(比抵抗)が大きくなり、4μΩ・cmより大きくなってしまう場合や、スパッタリング中の異常放電が増えてしまう場合も観察された。その結果、Zrの組成比率の範囲を1〜5wt%の範囲以外とすると、低抵抗配線材料としては望ましくない特性を生じるおそれがある。
【0035】
また、本発明は、上で最初に述べたAg合金において、Agの組成比率が60〜99wt%であり、Zrの組成比率が1〜5wt%であり、Auの組成比率が0〜20wt%であり、Niの組成比率が0〜20wt%であり、Coの組成比率が0〜20wt%であり、かつ、Alの組成比率が0〜39wt%であることを特徴とする配線材料である。
【0036】
Au及びNi及びCoを添加することにより、ガラスへの密着強度が高くなることが観察された。しかし、これらの組成比率が20wt%を超えると、Auの場合にはコストが増大してしまうという問題が生じる。また、Niの場合には、その組成比率が20wt%を超えると、抵抗値(比抵抗)が4μΩ・cm より大きくなる場合や、スパッタリング中の異常放電が増える等の場合も観察された。その結果、低抵抗配線材料としては、好ましくない特性を示す可能性がある。
【0037】
ここでは、Au、Ni、Coについて述べたが、これら第三金属は、半導体層へ拡散しない金属、または、拡散しても半導体素子の性能に影響を及ぼさない金属あるいは影響を及ぼさない範囲の量に限定すべきであることは言うまでもない。
【0038】
なお、Ag/Zr合金としては、AgZr2やAgZr、等が挙げられる。また、Zr/Ni合金としては、NiZr,NiZr2,Ni3Zrなどが挙げられる。また、Zr/Au合金では、AuZr2、Au2Zr、AuZr3、Au4Zr等が挙げられる。
【0039】
さらに、本発明は、これまで述べた配線材料において、Re、Ru、Pd、Irのからなる群から選択される1種または2種以上の金属を0〜1wt%の範囲で含有する配線材料である。
【0040】
さらに、本発明は、上記の配線材料において、比抵抗が4μΩ・cm以下であることを特徴とする。
【0041】
半導体素子用の配線薄膜として上記材料を利用する場合、その比抵抗が4μΩ・cm以上では、その値が大きすぎ信号の遅延が無視できない程度になると考えられる。したがって、比抵抗が4μΩ・cm以下の配線材料を構成することによって、信号遅延の少ない半導体素子用の配線薄膜が提供できる。
【0042】
B 配線基板に関する発明
本発明は、基板と、その上に設けられた配線であって、上記組成を有する配線材料からなる配線と、を備えた配線基板である。
【0043】
また、本発明は、上記基板がガラス基板やシリコン基板であることを特徴とする。上記構成に配線材料は、ガラス基板やシリコンウェハとの密着強度に優れており、剥離しない配線を実現できる。
【0044】
また、本発明は、前記配線と、前記基板との密着強度をスクラッチ試験法により測定した値が3ニュートン以上であることを特徴とする。請求項5または6記載の配線基板である。3ニュートン未満では、工程中に薄膜が剥がされたりする問題がある。
【0045】
また、本発明は、前記配線が、前記配線基板上に形成された薄膜トランジスタのゲート配線及びゲート電極であることを特徴とする。このような場合、本発明は、半導体素子配線基板とも呼ばれる。このような構成によって、薄膜トランジスタのゲート電極の抵抗値を小さくすることができ、薄膜トランジスタの性能の向上に寄与することができる。
【0046】
また、本発明は、前記配線が、前記配線基板上に形成された薄膜トランジスタのソース配線及びドレイン配線並びにソース電極及びドレイン電極であることを特徴とする。この場合も、本発明の配線基板は半導体素子配線基板である。このような構成によって、薄膜トランジスタのソース及びゲート電極の抵抗値を小さくすることができ、薄膜トランジスタの性能の向上に寄与することができる。
【0047】
また、本発明は、前記基板は、少なくとも表面が絶縁性であり、前記配線上に金属酸化物導電膜層が形成されていることを特徴とする配線基板である。
【0048】
また、本発明は、前記配線と前記金属酸化物層とが、2層構造の積層配線を構成していることを特徴とする配線基板である。
【0049】
これらの発明における金属酸化物導電膜とは、たとえばIZO/アイ・ゼット・オー(登録商標)などの透明電極である。
【0050】
このような構成によって、反射型のLCDや、有機ELを製造すれば、電極の抵抗を小さく抑えることができ、性能の向上した薄膜トランジスタ等を製造することができる。その結果、反射型のLCDや有機EL等の性能を向上させることが可能である。
【0051】
また、本発明は、前記金属酸化物導電膜が酸化インジウム及び酸化亜鉛の非晶質透明導電膜からなり、この非晶質透明導電膜の原子構成がIn/(In+Zn)=0.8〜0.95の関係を満たすことを特徴とする。この数式の値が0.8未満では金属酸化物薄膜の抵抗が大きくなってしまい、一方、0.95を越える場合にはエッチング速度が低下するおそれがある。
【0052】
また、本発明は、前記非晶質透明導電膜の仕事関数が5.4eV以上であることを特徴とする。特に、本発明の配線基板を用いて有機ELを構成させようとする場合、正孔の注入性を上げるには、仕事関数が5.4eV以上であることが望ましいのである。
【0053】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0054】
本実施の形態では、Agを主成分とする合金であって、ガラス基板やシリコンウェハとの密着性が良好な配線材料を提案する。
【0055】
特に本実施の形態では、スパッタリング法によって、かかる合金を形成する例を説明する。まず、スパッタリングで用いるターゲットについて簡単に説明する。Agに所定の比率でZr及びNiやMo、Auを真空溶解炉により溶解し、冷却固化させた後、圧延を行い板状に加工し、その後、切削、研削加工を行い4インチφのターゲットとする。このターゲットをスパッタ装置のバッキングプレートに張り合わせて、スパッタリングを行う。その結果、ガラス及びシリコンウェハ上にこのターゲットに基づく成膜が行われる。成膜した薄膜の性能を以下、比較してみよう。比較結果を図1の表に示す。この図1の表には、組成や導電率等が示されている。
【0056】
この薄膜の組成はX線マイクロアナライザ(EPMA:Electron Probe Micro-Analysis)により測定した。また、導電率は、四端針法で測定した。
【0057】
さらに、剥離強度は、スクラッチ試験とテープ剥離試験により測定した。スクラッチ試験を実行するスクラッチ試験機は、CSME社製、Micro-Scratch-Testerを用いた。ここで、剥離強度の測定条件は、以下の通りである。
【0058】
スクラッチ距離:20mm
スクラッチ荷重:0−10ニュートン
荷重レート:10ニュートン/min
スクラッチ速度:20mm/min
ダイヤモンドコーン形状:先端200μmφ
上記条件でのスクラッチ試験後の試料を、光学顕微鏡により観測し、下地のガラス(ウェハ)またはシリコンが露出した点を皮膜の剥離点とし、スクラッチ開始点からの距離を測長することにより、剥離荷重を算出した。
【0059】
次に、テープ剥離試験は、薄膜の上に1mmピッチで碁盤の目状にナイフで溝を付け、その上に粘着テープを貼り、テープを剥がした際に、どの程度剥離するかで密着の程度を検査する試験である。
【0060】
もちろん、スクラッチ試験も、テープ剥離試験もJIS(Japanese Industrial Standards)で規定されている基準に従って測定を行った。
【0061】
この図1の表には、まず、AgにZr、Au、Co、Ni等を添加した場合の合金をターゲットとして利用し、スパッタリングによってガラス基板やシリコンウェハ上に成膜した場合の例が6例示されている。
【0062】
例2は、Ag+ZrにCoを添加した構成をターゲットとして使用した例である。また、例3はAg+ZrにNiを、例4はAg+ZrにAlを、添加した例である。さらに例5では、例1で示したAg+ZrにAuを添加した構成にさらにPdを添加した例である。例6では、例1で示したAg+ZrにAuを添加した構成にさらにRuを添加した例である。
いずれの例においても、密着強度が3ニュートン以上を達成でき、また、テープ剥離試験においても、ガラス基板、シリコンウェハともに剥離は見られなかった。
【0063】
また、比較例1は、Agのみの場合であり、密着強度は1ニュートン以下であり、ガラス基板上、シリコン基板ウェハともに剥離が観察された。比較例2は、比較例にZrを添加した例でり、ガラス基板上でもシリコン基板ウェハ上でも一部剥離が観察された。
比較例3から8は、Zrを入れない場合の例を示した。いずれの場合もガラス基板上もしくはシリコンウェハともに剥離が観察された。
比較例9では、比較例2にPdを添加した場合であり、比抵抗が大きくなり目標をクリアーできていない。また、ガラス基板上で剥離が観察されている。
【0064】
[実施例1] 透過型TFT−LCDに、本発明のAg合金の一例を配線として利用した参考例を説明する。透過型TFT−LCDの基本的な構造に関しては図2〜図4で既に説明しているが、実際の製造に当たっては、図2〜図4には現れていないが、種々の保護膜・層が適宜成膜されている。
【0065】
まず、透過性のガラス基板18bに、Zrを1.7wt%、Auを3.5wt%含有するAg合金を高周波スパッタリング法により室温で膜厚1500オングストローム(抵抗率:2.8μΩ・cm)に堆積する。これを硝酸、酢酸、リン酸系水溶液をエッチング液として用いたホトエッチング法により所望の形状のゲート電極34及びゲート電極配線とする。
【0066】
次にグロー放電CVD法により、窒化シリコン(SiNx)膜となるゲート絶縁膜を膜厚3000オングストローム堆積する。続いて、α−Si:H(i)膜38を膜厚3500オングストローム堆積する。この時、放電ガスとして、SiNx膜35はSiH4−NH3−N2系ガスを用い、α−Si:H(i)膜38は、SiH4−N2系の混合ガスをそれぞれ用いる。このSiNx膜35は、CF4ガスを用いたドライエッチングにより所望のゲート絶縁膜を形成する。
【0067】
続いてα−Si:H(n)膜をSiH4−H2−PH3系の混合ガスを用いて膜厚3000オングストローム堆積する。次にこの上に、Zrを1.7wt%、Niを1.7wt%含有するAg合金層膜を膜厚0.3μm(抵抗率:3.4μΩ・cm)をスパッタリング法により室温で堆積する。
【0068】
この層を硝酸、酢酸、リン酸系水溶液エッチング液を用いて、ホトエッチング法で所望のソース電極32及びドレイン電極36のパターンとする。さらにα−Si:H膜をCF4ガスを用いたドライエッチング及びヒドラジン(NH2NH2・H2O)水溶液を用いたウエットエッチングを併用することにより、所望のパターンのα−Si:H(i)膜38のパターン、α−Si:H(n)膜のパターンとする。この上に、グロー放電CVD法により、窒化シリコン(SiNx)膜となるチャンネル保護層を膜厚3000オングストローム堆積する。この時、放電ガスとして、SiNx膜はSiH4−NH3−N2系ガスを用いる。さらに、CF4ガスを用いたドライエッチング法を用いたホトエッチング法により、ゲート電極34取出し口と、ソース電極32取出し口と、ドレイン電極36と透明電極20bの電気的接続点として所望のスルーホール40bと、を形成する。その後、Ag合金電極表面にアルゴンプラズマを作用させ、表面を洗浄化する。
【0069】
そして、酸化インジウムと酸化亜鉛の主成分とする非晶質透明導電膜をスパッタリング法で堆積する。この際用いられるターゲットは、InとZnの原子比[In/(In+Zn)]が0.83に調整されているIn2O3−ZnO焼結体である。この焼結体をプレーナマグネトロン型スパッタ装置のカソードに設置してターゲットとして用いる。放電ガスは純アルゴンまたは1Vol%程度の微量の酸素ガスを混入させたアルゴンガスを用いる方法で透明電極20b膜を膜厚1200オングストロームで堆積した。このIn2O3−ZnO膜はX線回折法で分析するとピークは観察されず非晶質であった。
【0070】
この透明電極20b膜を蓚酸3.4wt%の水溶液でホトエッチング法により所望の画素電極、及び取出し電極をパターンニングした。遮光膜パターンを形成して、α−SiTFT基板14が完成する。このTFT基板14を用いてTFT−LCD方式平面ディスプレイを製造した。その後、ビデオ信号を入力し、良好な表示性能を示すことを確認できた。
【0071】
[実施例2] 反射型TFT−LCDに、本発明のAg合金の一例を配線として利用した実施例を説明する。反射型TFT−LCDの基本的な構造に関しては透過型TFT−LCDのTFT基板14側の透明電極20bが光を反射する反射電極になった点が原理的に異なる点である。実際の製造に当たっては、図2〜図4には現れていない種々の保護膜・層が適宜成膜され、また、電極以外にも透過型TFT−LCDと異なる点が多々あることはよく知られている。
【0072】
まず、透過性のガラス基板18bに、Zrを1.7wt%、Auを3.5wt%含有するAg合金を高周波スパッタリング法により室温で膜厚1500オングストローム(抵抗率:2.8μΩ・cm)に堆積する。これを硝酸、酢酸、リン酸系水溶液をエッチング液として用いたホトエッチング法により所望の形状のゲート電極34及びゲート電極配線とする。
【0073】
次にグロー放電CVD法により、窒化シリコン(SiNx)膜となるゲート絶縁膜を膜厚3000オングストローム堆積する。続いて、α−Si:H(i)膜38を膜厚3500オングストローム堆積する。この時、放電ガスとして、SiNx膜35はSiH4−NH3−N2系ガスを用い、α−Si:H(i)膜38は、SiH4−N2系の混合ガスをそれぞれ用いる。このSiNx膜35は、CF4ガスを用いたドライエッチングにより所望のゲート絶縁膜を形成する。
【0074】
続いてα−Si:H(n)膜をSiH4−H2−PH3系の混合ガスを用いて膜厚3000オングストローム堆積する。次にこの上に、Zrを1.7wt%、Niを1.7wt%含有するAg合金層膜を膜厚0.3μm(抵抗率:3.4μΩ・cm)をスパッタリング法により室温で堆積する
そして、酸化インジウムと酸化亜鉛を主成分とする非晶質透明導電膜をスパッタリング法で堆積する。
【0075】
この層を硝酸、酢酸、リン酸系水溶液エッチング液を用いて、ホトエッチング法で所望のソース電極32及びドレイン電極36のパターンとする。さらにα−Si:H膜をCF4ガスを用いたドライエッチング及びヒドラジン(NH2NH2・H2O)水溶液を用いたウエットエッチングを併用することにより、所望のパターンのα−Si:H(i)膜38のパターン、α−Si:H(n)膜のパターンとする。この上に、グロー放電CVD法により、窒化シリコン(SiNx)膜となるチャンネル保護層を膜厚3000オングストローム堆積する。この時、放電ガスとして、SiNx膜はSiH4−NH3−N2系ガスを用いる。さらに、CF4ガスを用いたドライエッチング法を用いたホトエッチング法により、ゲート電極34取出し口と、ソース電極32取出し口と、ドレイン電極36と透明電極20bの電気的接続点として所望のスルーホール40bと、を形成する。その後、Ag合金電極表面にアルゴンプラズマを作用させ、表面を洗浄化する。
【0076】
次にこの上にZrを1.7wt%、Auを3.5wt%含有するAg合金層膜を膜厚0.2μm(抵抗率:2.8μΩ・cm)をスパッタリング法により室温で堆積する。
【0077】
そして、酸化インジウムと酸化亜鉛の主成分とする非晶質透明導電膜をスパッタリング法で堆積する。この際用いられるターゲットは、InとZnの原子比[In/(In+Zn)]が0.83に調整されているIn2O3−ZnO焼結体である。この焼結体をプレーナマグネトロン型スパッタ装置のカソードに設置してターゲットとして用いる。放電ガスは純アルゴンまたは1Vol%程度の微量の酸素ガスを混入させたアルゴンガスを用いる方法で透明電極20b膜を膜厚1200オングストロームで堆積した。このIn2O3−ZnO膜はX線回折法で分析するとピークは観察されず非晶質であった。
【0078】
この透明電極20b膜をAg合金層及び酸化インジウム−酸化亜鉛層を同時にエッチングできるよう濃度を調節した硝酸、酢酸、リン酸水溶液系エッチング液でホトエッチング法により所望の反射型画素電極、及び取出し電極をパターンニングした。
【0079】
遮光膜パターンを形成して、α−SiTFT基板14が完成する。このTFT基板14を用いてTFT−LCD方式平面ディスプレイを製造した。その後、ビデオ信号を入力し、良好な表示性能を示すことを確認できた。
【0080】
[実施例3] 有機EL用基板に本発明のAg合金の一例を配線として利用した参考例を説明する。
【0081】
実施例1において、金属酸化物導電膜を成膜する。この成膜InとZnの原子比[In/(In+Zn)]が0.83に調整されたIn2O3−ZnOをターゲットとして利用したスパッタリング法で行い、300オングストロームの厚さで成膜した。すなわち、この金属酸化物導電膜は、実施例1で言及した透明電極である。
【0082】
本実施例3において特徴的なことは、この金属酸化物導電膜の組成成分としてPdを全金属量に対し3原子%含むことである。この導電膜の仕事関数を大気中紫外線電子分析装置(理研計器(株)製:AC−1)にて測定した値は5.65eVであり、有機EL用陽極として好ましい性質を有していることが判明した。
【0083】
なお、この例では、Pdを用いる例を説明したが、Ru、Re、Irを用いることも好ましい。それぞれの物質を添加した場合、仕事関数は、それぞれ5.51eV、5.63eV、5.61eVであった。その結果、いずれも有機EL用陽極として好ましい性質を有している。
【0084】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、抵抗値を低く抑えたまま、ガラス基板やシリコンウェハとの密着強度が向上した配線材料が得られる。その結果、TFT−LCDや有機EL装置その他の電子装置に応用した場合にも、剥離が生じることがなく、かつ、低抵抗であるため、素子の特性を向上させることが可能である。
【0085】
また、本発明によれば、上記のようなAg合金をスパッタリングにより成膜し、金属電極を構成する工程を採用することにより、製造工程を簡略化でき、TFTアレイを効率よく生産可能である。その結果、TFT−LCDやTFT駆動有機ELを低コストで供給可能である。特に、本発明のような組成を採用することにより、スパッタリング工程における以上放電の可能性を小さく抑えることができ、効率のよい生産を実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態の配線材料の特性を表す表を示した図である。
【図2】_透過型TFT−LCDの断面模式図である。
【図3】 透過型TFT−LCDの1個の画素の基本的な構造を示す平面模式図である。
【図4】図3のIV−IV´における断面模式図である。
【符号の説明】
10 液晶
12 カラーフィルター基板
14 TFT基板
16 バックライト
18a、18b ガラス基板
20a、20b 透明電極
22 カラーフィルター
24 TFT
30 信号ライン
32 ソース電極
34 ゲート電極
35 SiNx
36 ドレイン電極
38 アモルファスシリコン
40 絶縁膜
Claims (12)
- Ag、Zrを必須成分とし、さらに、Au、Co、及びAlからなる群から選択される1種または2種以上の金属からなるAg合金であって、ガラス基板またはシリコン基板の表面に形成される配線基板用配線材料において、
前記Ag合金のAgの組成比率が60〜99wt%であり、Zrの組成比率が1〜5wt%であり、
Auの組成比率が0〜20wt%であり、
Coの組成比率が0〜20wt%であり、
かつ、Alの組成比率が0〜39wt%である
ことを特徴とする配線基板用配線材料。 - Ag、Zr、Niを必須成分とし、さらに、Au、Co、及びAlからなる群から選択される1種または2種以上の金属からなるAg合金であって、ガラス基板またはシリコン基板の表面に形成される配線基板用配線材料において、
前記Ag合金のAgの組成比率が60〜99wt%であり、Zrの組成比率が1〜5wt%であり、かつ、Niの組成比率が1.7〜20wt%であり、
Auの組成比率が0〜20wt%であり、
Coの組成比率が0〜20wt%であり、
かつ、Alの組成比率が0〜37.3wt%である
ことを特徴とする配線基板用配線材料。 - Re、Ru、Pd、Irからなる群から選択される1種または2種以上の金属を0〜1wt%の範囲で含有する請求項1〜2のいずれかに記載の配線基板用配線材料。
- 比抵抗が4μΩ・cm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のAg合金からなる配線基板用配線材料。
- ガラス基板またはシリコン基板と、
請求項1〜3のいずれかに記載の配線基板用配線材料からなる配線と、
を具備してなる配線基板。 - 前記配線と、前記ガラス基板またはシリコン基板との密着強度をスクラッチ試験法により測定した値が3ニュートン以上であることを特徴とする請求項5記載の配線基板。
- 前記配線が、前記配線基板上に形成された薄膜トランジスタのゲート配線及びゲート電極であることを特徴とする請求項5〜6のいずれか1項に記載の配線基板。
- 前記配線が、前記配線基板上に形成された薄膜トランジスタのソース配線及びドレイン配線並びにソース電極及びドレイン電極であることを特徴とする請求項5〜6のいずれか1項に記載の配線基板。
- 前記配線上に金属酸化物導電膜が形成されていることを特徴とする請求項5〜8のいずれかに記載の配線基板。
- 前記配線と前記金属酸化物導電膜とが、2層構造の積層配線を構成していることを特徴とする請求項9記載の配線基板。
- 前記金属酸化物導電膜が酸化インジウム及び酸化亜鉛の非晶質透明導電膜からなり、この非晶質透明導電膜の原子構成がIn/(In+Zn)=0.8〜0.95の関係を満たすことを特徴とする請求項9または10に記載の配線基板。
- 前記非晶質透明導電膜の仕事関数が5.4eV以上であることを特徴とする請求項11に記載の配線基板。
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