JP5904471B2 - 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 - Google Patents
発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5904471B2 JP5904471B2 JP2014063900A JP2014063900A JP5904471B2 JP 5904471 B2 JP5904471 B2 JP 5904471B2 JP 2014063900 A JP2014063900 A JP 2014063900A JP 2014063900 A JP2014063900 A JP 2014063900A JP 5904471 B2 JP5904471 B2 JP 5904471B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bank
- layer
- light emitting
- forming
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 42
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 25
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 89
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 89
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 53
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 31
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 21
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 claims description 13
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 13
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 6
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical group [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 3
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 221
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 32
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 8
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 7
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 5
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 2
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Natural products C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000000788 chromium alloy Substances 0.000 description 2
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 2
- GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N fluoranthrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=C22)=C3C2=CC=CC3=C1 GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- TWZYORZPYCRVAX-UHFFFAOYSA-N 2-(2h-thiopyran-1-ylidene)propanedinitrile Chemical class N#CC(C#N)=S1CC=CC=C1 TWZYORZPYCRVAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KYGSXEYUWRFVNY-UHFFFAOYSA-N 2-pyran-2-ylidenepropanedinitrile Chemical class N#CC(C#N)=C1OC=CC=C1 KYGSXEYUWRFVNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZSLUVFAKFWKJRC-IGMARMGPSA-N 232Th Chemical compound [232Th] ZSLUVFAKFWKJRC-IGMARMGPSA-N 0.000 description 1
- 239000005725 8-Hydroxyquinoline Substances 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical class C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDECIBYCCFPHNR-UHFFFAOYSA-N Chrysene Natural products C1=CC=CC2=CC=C3C4=CC=CC=C4C=CC3=C21 WDECIBYCCFPHNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015202 MoCr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N Phenanthrene Natural products C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C=CC2=C1 YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N Stilbene Natural products C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 1
- XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N Tetrahydroanthracene Natural products C1=CC=C2C=C(CCCC3)C3=CC2=C1 XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052776 Thorium Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N antipyrene Natural products C1=CC=C2C=CC3=CC=CC4=CC=C1C2=C43 BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N benzo-alpha-pyrone Natural products C1=CC=C2OC(=O)C=CC2=C1 ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N benzoquinolinylidene Natural products C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3N=C21 DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005385 borate glass Substances 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960005057 canrenone Drugs 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 229960000956 coumarin Drugs 0.000 description 1
- 235000001671 coumarin Nutrition 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N endo-cyclopentadiene Natural products C1C=CC=C1 ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- GNBHRKFJIUUOQI-UHFFFAOYSA-N fluorescein Chemical class O1C(=O)C2=CC=CC=C2C21C1=CC=C(O)C=C1OC1=CC(O)=CC=C21 GNBHRKFJIUUOQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N hexabenzobenzene Natural products C1=C(C2=C34)C=CC3=CC=C(C=C3)C4=C4C3=CC=C(C=C3)C4=C2C3=C1 VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 238000007644 letterpress printing Methods 0.000 description 1
- OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N lutetium atom Chemical compound [Lu] OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- AWOORJZBKBDNCP-UHFFFAOYSA-N molybdenum;oxotungsten Chemical compound [Mo].[W]=O AWOORJZBKBDNCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N naphthalene-acid Natural products C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N o-biphenylenemethane Natural products C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960003540 oxyquinoline Drugs 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 239000005365 phosphate glass Substances 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N pyrazol-3-one Chemical class O=C1C=CN=N1 JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003219 pyrazolines Chemical class 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 1
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical compound [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 235000021286 stilbenes Nutrition 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/14—Carrier transporting layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/30—Organic light-emitting transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
- H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
- H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/20—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning
- H10K71/231—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning by etching of existing layers
- H10K71/233—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning by etching of existing layers by photolithographic etching
Description
さらに、特許文献1には、バンクを、撥水性の材料からなる上層部と親液性の材料からなる下層部との二層構造にすることで、バンク上層部ではインクに対する濡れ性を悪くしインクが流れ出にくいようにし、バンク下層部ではインクに対する濡れ性を良くしピクセル領域にインクが留まりやすくして、より高精細に発光層をパターニングする技術が開示されている。
本発明は、上記の課題に鑑み、発光層が高精細にパターニングされており、かつ安価に製造可能な発光素子を提供することを目的とする。
本発明の一態様に係る発光素子は、第1電極、電荷注入輸送層、中間層、発光層、第2電極がこの順に積層され、少なくとも前記発光層がバンクにより規定されてなる発光素子であって、前記電荷注入輸送層は、金属酸化物、金属窒化物又は金属酸窒化物のうちの少なくとも1つを含み、前記中間層の底面に接触する内底面と、前記内底面に連続する内側面とを備えた凹入部を有し、前記凹入部の内側面は、前記内底面と連続する下部側の端縁と、前記下部側の端縁と連続する上部側の端縁とを備え、前記凹入部の内側面は、前記上部側の端縁において前記バンクの前記中間層側の下端縁と一致した形状または前記バンクの底面に接触した形状であり、前記中間層の側面の少なくとも一部に接触し、前記中間層は親液性を有することを特徴とする。
また、上記発光素子の特定の局面では、前記電荷注入輸送層は、前記バンクを形成の際にレジスト膜の一部を除去するための親液性の現像液、または/および、前記バンク形成後に残留するレジスト残渣を洗浄するための洗浄液に対して溶解可能である金属化合物を含み、前記凹入部は、前記現像液または/および前記洗浄液により溶解されて形成されていることを特徴とする。
また、上記発光素子の特定の局面では、前記金属酸化物は、タングステンまたはモリブテンの酸化物であることを特徴とする。
本発明の一態様に係る表示装置は、上記いずれかに記載の発光素子を含むことを特徴とする。
[第1の実施形態]
<発光素子の概略構成>
図1は、第1の実施形態に係る発光素子の各層の積層状態を示す模式図であり、図2は、図1における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図である。
TFT基板1(以下、単に「基板1」)上には、陽極である第1電極2がマトリックス状又はライン状に形成されており、第1電極2上に、ITO(酸化インジウムスズ)層3及び、電荷注入輸送層としてのホール注入層4がその順で積層されている。なお、ITO層3が第1電極2上にのみ積層されているのに対し、ホール注入層4は第1電極2の上方だけでなく基板1の上面側全体に亘って形成されている。
バンク5で規定された領域は、ITO層3、ホール注入層4、発光層6、及び電子注入層7がその順で積層された多層積層構造となっており、それらの積層構造で機能層が構成されている。なお、機能層にはホール輸送層や電子輸送層等の他の層が含まれていても良い。
基板1は、例えば、ソーダガラス、無蛍光ガラス、燐酸系ガラス、硼酸系ガラス、石英、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリエステル、シリコーン系樹脂、又はアルミナ等の絶縁性材料で形成されている。
ホール注入層4は、所定の溶剤に対して溶解可能である金属化合物を含み、具体的には、WOx(酸化タングステン)又はMoWOx(モリブデン−タングステン酸化物)で形成されている。なお、ホール注入層4は、バンク5の表面と比較して親液性を有する金属化合物で形成されていれば良く、親液性を有する金属化合物としては、例えば、金属酸化物、金属窒化物又は金属酸窒化物が挙げられる。
図2に示すように、ホール注入層4は、バンク5の底面に沿って隣のピクセル方向に拡がっていると共に、バンク5で規定された領域においてはバンク5底面のレベルよりも沈下した凹入構造に形成されており、所定の溶剤により溶解されて形成された凹入部4a(図2において網目のハッチングで示す部分)を備える。そして、ホール注入層4は、バンク5で規定された領域だけが他の領域と比べて膜厚が薄くなっており、前記他の領域の膜厚は全体に亘って略均一である。ホール注入層4が親液性を有する金属化合物からなるため、凹入部4aの内面4bはインクに対して濡れ性が良い。したがって、バンク5で規定された領域に滴下されたインクが凹入部4aの内面4bに密着しやすく、インクがバンク5で規定された領域に留まりやすい。
ホール注入層4の凹入構造をさらに詳しく説明すると、図3(a)に示すように、凹入部4aの内側面4dは、内底面4cと連続する下部側の端縁と、当該下部側の端縁と連続する上部側の端縁4e(以下、「上端縁4e」と称する。)とを備え、前記凹入部4aの内側面4dは、前記上端縁4eにおいて前記バンク5の発光層6側の下端縁5dと一致した形状であり、かつ、前記内側面4dと前記内底面4cとが連続する部分がR形状になっている。なお、内側面4dの上端縁4eがバンク5の下端縁5dと一致している場合において、凹入部4aは、図3(a)に示すような前記内側面4dが内底面4cに対して略垂直な形状に限定されず、図3(b)に示すように前記内側面4dがバンク5の側面5eと略同じ傾きでそれらが面一の形状でも良く、図3(c)に示すように前記内側面4dと前記内底面4cとが連続する部分がR形状でない形状でも良く、図3(d)に示すように前記内側面4dが前記バンク5の下側に入り込むように前記バンク5の側面5eとは反対側に傾いた形状でも良い。
一方、発光層6の膜厚は特に特定されるものではないが、例えば発光層6の乾燥後の平均膜厚hが100nm以上の場合において凹入部4aの平均深さtが100nm以下であれば、バンク5で規定された領域における発光層6の膜厚を均一にすることができる。
また、バンク5は、ピクセルバンクであっても、ラインバンクであっても良い。ピクセルバンクの場合、ピクセルごと発光層6の全周を囲繞するようにバンク5が形成される。一方、ラインバンクの場合、複数のピクセルを列ごと又は行ごとに区切るようにバンク5が形成され、バンク5は発光層6の行方向両側又は列方向両側だけに存在し、発光層6は同列又は同行のものが連続した構成となる。
第2電極8は、例えば、ITO、IZO(酸化インジウム亜鉛)等で形成される。トップエミッション型の発光素子の場合は、光透過性の材料で形成されることが好ましい。
<発光素子の製造方法>
図8は、第1の実施形態に係る発光素子の製造方法を説明する工程図であり、図9は、図8に続く第1の実施形態に係る発光素子の製造方法を説明する工程図である。
次に、図8(b)に示すように、例えばスパッタリングによりITO薄膜を形成し、当該ITO薄膜を例えばフォトリソグラフィによりパターニングすることによりITO層3を形成する。
次に、図8(c)に示すように、例えばフォトリソグラフィ法によって各ピクセル領域(第1電極2が配置された領域)を取り囲むようにバンク5を形成する。その場合、例えば、薄膜11上に塗布等によりレジスト材料を含むレジスト膜(例えば樹脂膜)を形成し、さらに当該レジスト膜上にレジストパターンを形成し、その後現像液によりエッチング処理してレジスト膜の所望の部位を除去しバンク5のパターンを形成する。なお、バンク5を無機物材料で形成する場合は、例えばCVD法等を用いる。エッチング後に残った薄膜11の表面に付着するレジスト残渣は、例えばフッ酸等で除去する。さらに、必要に応じてバンク5の表面に撥液処理を施す。
なお、凹入部4aの形成は上記所定の溶剤を用いる場合に限定されず、例えば、まず、スパッタとフォトリソを用いて第1電極2が配置された領域を除いた全ての領域にWOx又はMoWOxの薄膜を形成し、その上から全ての領域にWOx又はMoWOxの薄膜を形成することによって、第1電極2が配置された領域に凹型のホール注入層4を形成する等他の方法で行っても良い。
次に、図9(f)に示すように、例えば真空蒸着により電子注入層7となるバリウム薄膜を形成し、図9(g)に示すように、例えばスパッタリングにより第2電極8となるITO薄膜を形成し、図9(h)に示すように、さらに封止層9を形成する。
第2の実施形態に係る発光素子は、ホール注入層の下にITO層が形成されていない点、及び、ホール注入層の上に保護膜が形成される点が、第1の実施形態に係る発光素子とは大きく異なる。以下では、第1の実施形態と異なる点について重点的に説明し、第1の実施形態と同様の点ついては重複を避けるため説明を簡略若しくは省略する。
図10は、第2の実施形態に係る発光素子の各層の積層状態を示す模式図である。図10に示すように、第2の実施形態に係る発光素子は、基板101上に陽極である第1電極102が形成されており、その上に電荷注入輸送層としてのホール注入層104及び保護層110がその順で積層されている。なお、ホール注入層104が基板101の上面側全体に亘って形成されているのに対し、保護層110は第1電極102の上方には形成されていない。また、第1電極102とホール注入層104との間にITO層は介在していない。
<発光素子の製造方法>
図11は、第2の実施形態に係る発光素子の製造方法を説明する工程図である。第2の実施形態に係る発光素子の製造工程では、まず、図11(a)に示すように、ガラス製の基板101上にAl(アルミニウム)系の材料で第1電極102を形成し、その上に、後にホール注入層104となるWOx又はMoWOxの薄膜111を形成し、さらにその上に、後に保護層110となるWOx又はMoWOxの薄膜112を形成する。当該薄膜112はバンク105形成時のエッチングの際にホール注入層104を保護する機能を有する。
[第3の実施形態]
第3の実施形態に係る発光素子は、ホール注入層が形成されている領域が、第2の実施形態に係る発光素子とは大きく異なる。以下では、第2の実施形態と異なる点について重点的に説明し、第2の実施形態と同様の点ついては重複を避けるため説明を簡略若しくは省略する。
図12は、第3の実施形態に係る発光素子の各層の積層状態を示す模式図である。図12に示すように、第3の実施形態に係る発光素子は、基板201上に陽極である第1電極202が形成されており、その上に電荷注入輸送層としてのホール注入層204及び保護層210がその順で積層されている。ホール注入層204は、基板1の上面全体に亘って形成されておらず、第1電極202上及び当該第1電極202の周辺部のみに形成されている。一方、保護層210は第1電極202の上方には形成されていない。
<発光素子の製造方法>
図13は、第3の実施形態に係る発光素子の製造方法を説明する工程図である。第3の実施形態に係る発光素子の製造工程では、まず、図13(a)に示すように、ガラス製の基板101上にAl系の材料で第1電極102を形成し、次に、第1電極102の露出面(上面及び側面)を酸化させることによってホール注入層204となる酸化膜211を形成し、さらにその上に、後に保護層210となるWOx又はMoWOxの薄膜212を形成する。
さらに、図13(c)に示すように、洗浄液による処理を続けると、薄膜212はバンク205で規定された領域が全て溶けて最終形態である保護層210の状態になる。また、薄膜212が溶けたことによって酸化膜211のバンク205で規定された領域が露出するため、その領域の上面も溶けて沈下し、凹入部204aが形成される。このようにしてホール注入層204が形成される。
[第4の実施形態]
図14は、第4の実施形態に係る表示装置等を示す斜視図である。図14に示すように、本発明の一態様に係る表示装置300は、R、G、又はBの光を出射する各ピクセルが行方向及び列方向にマトリックス状に規則的に配置されてなる有機ELディスプレイであって、各ピクセルが本発明の一態様に係る発光素子で構成されている。
以上、本実施の形態に係る発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法を実施の形態に基づいて具体的に説明してきたが、本発明の一態様に係る発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法は、上記の実施の形態に限定されない。
例えば、電荷注入輸送層は、ホール注入層に限定されず、ホール輸送層、ホール注入兼輸送層であっても良い。また、第1電極が陰極、第2電極が陽極であっても良く、その場合は、電荷注入輸送層が電子注入層、電子輸送層、又は電子注入兼輸送層であっても良い。
4,104,204 電荷注入輸送層
4a 凹入部
4c 凹入部の内底面
4d 凹入部の内側面
4e 上部側の端縁
5,105,205 バンク
5a バンクの底面
5d バンクの下端縁
6,106,206 発光層
6a 発光層の底面
6b 発光層の側面
8,108,208 第2電極
300 表示装置
Claims (7)
- 第1電極、電荷注入輸送層、中間層、発光層、第2電極がこの順に積層され、
少なくとも前記発光層がバンクにより規定されてなる発光素子であって、
前記電荷注入輸送層は、
金属酸化物、金属窒化物又は金属酸窒化物のうちの少なくとも1つを含み、
前記中間層の底面に接触する内底面と、前記内底面に連続する内側面とを備えた凹入部を有し、
前記凹入部の内側面は、
前記内底面と連続する下部側の端縁と、前記下部側の端縁と連続する上部側の端縁とを備え、
前記凹入部の内側面は、
前記上部側の端縁において前記バンクの前記中間層側の下端縁と一致した形状または前記バンクの底面に接触した形状であり、前記中間層の側面の少なくとも一部に接触し、
前記中間層は親液性を有する
ことを特徴とする発光素子。 - 前記電荷注入輸送層は親液性を有し、前記バンクは溌液性を有することを特徴とする請求項1記載の発光素子。
- 前記電荷注入輸送層は、金属酸化物を含むホール注入層であることを特徴とする請求項1記載の発光素子。
- 前記金属酸化物は、タングステンまたはモリブテンの酸化物であることを特徴とする請求項3記載の発光素子。
- 請求項1〜4いずれかに記載の発光素子を含むことを特徴とする表示装置。
- 基板上に第1電極を形成する第1工程と、
前記第1電極の上方に、所定の溶剤に対して溶解可能である金属化合物を含む薄膜を形成する第2工程と、
前記薄膜上に、レジスト材料を含むレジスト膜を形成し、現像液によりエッチング処理し、バンクを形成する第3工程と、
前記バンクを形成後、前記薄膜表面に付着するレジスト残渣を洗浄液を用いて洗浄すると共に、前記洗浄液により前記薄膜の一部を溶解させ、内底面と前記内底面に連続する内側面とを備える凹入部を有し、前記内側面は、前記内底面と連続する下部側の端縁と、前記下部側の端縁と連続する上部側の端縁とを備え、
前記凹入部の内側面は、前記上部側の端縁において前記バンクの下端縁と一致した形状または前記バンクの底面に接触した形状である電荷注入輸送層を形成する第4工程と、
前記バンクにより規定された領域内に、前記電荷注入輸送層の前記内底面および前記内側面に沿って中間層を形成する第5工程と、
前記中間層の上方に、インクを滴下して乾燥させ、発光層を形成する第6工程と、
前記発光層の上方に、第2電極を形成する第7工程と、
を有することを特徴とする発光素子の製造方法。 - 基板上に第1電極を形成する第1工程と、
前記第1電極の上方に、所定の溶剤に対して溶解可能である金属化合物を含む薄膜を形成する第2工程と、
前記薄膜上に、レジスト材料を含むレジスト膜を形成し、現像液によりエッチング処理し、バンクを形成すると共に、前記現像液により薄膜表面に付着するレジスト残渣を洗浄し、かつ、前記薄膜の一部を溶解させ、内底面と前記内底面に連続する内側面とを備える凹入部を有し、前記内側面は、前記内底面と連続する下部側の端縁と、前記下部側の端縁と連続する上部側の端縁とを備え、
前記凹入部の内側面は、前記上部側の端縁において前記バンクの下端縁と一致した形状または前記バンクの底面に接触した形状である電荷注入輸送層を形成する第3工程と、
前記バンクにより規定された領域内に、前記電荷注入輸送層の前記内底面および前記内側面に沿って中間層を形成する第4工程と、
前記中間層の上方に、インクを滴下して乾燥させ、発光層を形成する第5工程と、
前記発光層の上方に、第2電極を形成する第6工程と、
を有することを特徴とする発光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014063900A JP5904471B2 (ja) | 2009-02-10 | 2014-03-26 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009028971 | 2009-02-10 | ||
JP2009028971 | 2009-02-10 | ||
JP2014063900A JP5904471B2 (ja) | 2009-02-10 | 2014-03-26 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010550453A Division JP5513414B2 (ja) | 2009-02-10 | 2010-02-09 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014146824A JP2014146824A (ja) | 2014-08-14 |
JP5904471B2 true JP5904471B2 (ja) | 2016-04-13 |
Family
ID=42561645
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010550455A Active JP5513415B2 (ja) | 2009-02-10 | 2010-02-09 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
JP2010550453A Active JP5513414B2 (ja) | 2009-02-10 | 2010-02-09 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
JP2014063901A Active JP5904472B2 (ja) | 2009-02-10 | 2014-03-26 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
JP2014063900A Active JP5904471B2 (ja) | 2009-02-10 | 2014-03-26 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
Family Applications Before (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010550455A Active JP5513415B2 (ja) | 2009-02-10 | 2010-02-09 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
JP2010550453A Active JP5513414B2 (ja) | 2009-02-10 | 2010-02-09 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
JP2014063901A Active JP5904472B2 (ja) | 2009-02-10 | 2014-03-26 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8890174B2 (ja) |
EP (2) | EP2398085B1 (ja) |
JP (4) | JP5513415B2 (ja) |
KR (2) | KR101643018B1 (ja) |
CN (3) | CN102308404B (ja) |
WO (2) | WO2010092797A1 (ja) |
Families Citing this family (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102308671B (zh) | 2009-02-10 | 2015-01-21 | 松下电器产业株式会社 | 发光元件的制造方法和发光元件、以及发光装置的制造方法和发光装置 |
JP5357194B2 (ja) | 2009-02-10 | 2013-12-04 | パナソニック株式会社 | 発光素子、発光素子を備えた発光装置および発光素子の製造方法 |
WO2010092797A1 (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-19 | パナソニック株式会社 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
JP5437736B2 (ja) | 2009-08-19 | 2014-03-12 | パナソニック株式会社 | 有機el素子 |
KR101386828B1 (ko) | 2009-09-29 | 2014-04-17 | 파나소닉 주식회사 | 발광 소자 및 그것을 이용한 표시 장치 |
JP5209123B2 (ja) | 2009-11-04 | 2013-06-12 | パナソニック株式会社 | 表示パネル装置及びその製造方法 |
WO2011101918A1 (ja) * | 2010-02-22 | 2011-08-25 | パナソニック株式会社 | 発光装置とその製造方法 |
JP5720006B2 (ja) | 2010-06-24 | 2015-05-20 | 株式会社Joled | 有機el素子、表示装置および発光装置 |
WO2011161727A1 (ja) | 2010-06-24 | 2011-12-29 | パナソニック株式会社 | 有機el素子の製造方法、表示装置、発光装置および紫外光照射装置 |
WO2012014256A1 (ja) | 2010-07-30 | 2012-02-02 | パナソニック株式会社 | 有機el素子 |
WO2012017490A1 (ja) | 2010-08-06 | 2012-02-09 | パナソニック株式会社 | 有機el素子、表示装置および発光装置 |
JP5612693B2 (ja) | 2010-08-06 | 2014-10-22 | パナソニック株式会社 | 有機el素子およびその製造方法 |
WO2012017491A1 (ja) | 2010-08-06 | 2012-02-09 | パナソニック株式会社 | 発光素子、発光素子を備えた発光装置および発光素子の製造方法 |
JP5658256B2 (ja) | 2010-08-06 | 2015-01-21 | パナソニック株式会社 | 発光素子とその製造方法、および発光装置 |
WO2012017485A1 (ja) | 2010-08-06 | 2012-02-09 | パナソニック株式会社 | 有機el素子、表示装置および発光装置 |
JP5620494B2 (ja) * | 2010-08-06 | 2014-11-05 | パナソニック株式会社 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
JP5677432B2 (ja) | 2010-08-06 | 2015-02-25 | パナソニック株式会社 | 有機el素子、表示装置および発光装置 |
CN103053041B (zh) | 2010-08-06 | 2015-11-25 | 株式会社日本有机雷特显示器 | 有机el元件 |
JP5612691B2 (ja) | 2010-08-06 | 2014-10-22 | パナソニック株式会社 | 有機el素子およびその製造方法 |
CN103053040B (zh) | 2010-08-06 | 2015-09-02 | 株式会社日本有机雷特显示器 | 有机el元件 |
JP5620495B2 (ja) | 2010-08-06 | 2014-11-05 | パナソニック株式会社 | 発光素子、発光素子を備えた発光装置および発光素子の製造方法 |
JP5574456B2 (ja) | 2010-08-06 | 2014-08-20 | パナソニック株式会社 | 発光素子とその製造方法、および発光装置 |
JP5543599B2 (ja) | 2010-08-06 | 2014-07-09 | パナソニック株式会社 | 発光素子の製造方法 |
JP5677436B2 (ja) | 2010-08-06 | 2015-02-25 | パナソニック株式会社 | 有機el素子 |
JP5612692B2 (ja) | 2010-08-06 | 2014-10-22 | パナソニック株式会社 | 有機el素子およびその製造方法 |
JP5573616B2 (ja) * | 2010-11-12 | 2014-08-20 | 住友化学株式会社 | 表示装置 |
WO2012073269A1 (ja) * | 2010-11-29 | 2012-06-07 | パナソニック株式会社 | 有機elパネル、有機elパネルの製造方法、有機elパネルを用いた有機発光装置、及び有機elパネルを用いた有機表示装置 |
US8884281B2 (en) | 2011-01-21 | 2014-11-11 | Panasonic Corporation | Organic EL element |
WO2012114648A1 (ja) | 2011-02-23 | 2012-08-30 | パナソニック株式会社 | 有機el表示パネルおよび有機el表示装置 |
JP5809234B2 (ja) | 2011-02-25 | 2015-11-10 | 株式会社Joled | 有機el表示パネルおよび有機el表示装置 |
JPWO2012153445A1 (ja) | 2011-05-11 | 2014-07-28 | パナソニック株式会社 | 有機el表示パネルおよび有機el表示装置 |
KR101917752B1 (ko) * | 2011-05-11 | 2018-11-13 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 발광 소자, 발광 모듈, 발광 패널, 발광 장치 |
KR101356151B1 (ko) | 2011-05-23 | 2014-01-24 | 에스엘 주식회사 | 차량용 헤드램프 및 그 제어 방법 |
WO2012164628A1 (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-06 | パナソニック株式会社 | 有機el表示パネルの製造方法、および有機el表示パネルの製造装置 |
JP5827858B2 (ja) * | 2011-09-29 | 2015-12-02 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置 |
JP6111484B2 (ja) * | 2012-04-18 | 2017-04-12 | 株式会社Joled | 有機el素子 |
TWI469194B (zh) * | 2012-05-16 | 2015-01-11 | Au Optronics Corp | 有機電致發光裝置之畫素結構 |
KR102046157B1 (ko) * | 2012-12-21 | 2019-12-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
US9614191B2 (en) | 2013-01-17 | 2017-04-04 | Kateeva, Inc. | High resolution organic light-emitting diode devices, displays, and related methods |
US9444050B2 (en) | 2013-01-17 | 2016-09-13 | Kateeva, Inc. | High resolution organic light-emitting diode devices, displays, and related method |
KR102119159B1 (ko) * | 2013-08-14 | 2020-06-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 표시 장치 |
KR102083982B1 (ko) * | 2013-10-29 | 2020-04-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기발광소자 및 그 제조방법 |
JP2017091946A (ja) * | 2015-11-16 | 2017-05-25 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置および表示装置の製造方法 |
CN107706217B (zh) | 2017-09-22 | 2020-06-09 | 上海天马微电子有限公司 | 显示面板、显示基板及应用于显示基板的喷墨打印方法 |
KR102152623B1 (ko) * | 2017-10-26 | 2020-09-09 | 한국전자통신연구원 | 표시소자 및 그 제조방법 |
CN112740833A (zh) * | 2018-09-27 | 2021-04-30 | 夏普株式会社 | 显示装置以及显示装置的制造方法 |
CN111081740A (zh) * | 2019-12-06 | 2020-04-28 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种显示面板 |
CN112349854A (zh) * | 2019-12-25 | 2021-02-09 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 显示器件及其制备方法和显示面板 |
Family Cites Families (116)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05163488A (ja) | 1991-12-17 | 1993-06-29 | Konica Corp | 有機薄膜エレクトロルミネッセンス素子 |
US5443922A (en) | 1991-11-07 | 1995-08-22 | Konica Corporation | Organic thin film electroluminescence element |
US5294869A (en) | 1991-12-30 | 1994-03-15 | Eastman Kodak Company | Organic electroluminescent multicolor image display device |
US5688551A (en) | 1995-11-13 | 1997-11-18 | Eastman Kodak Company | Method of forming an organic electroluminescent display panel |
JPH10162959A (ja) | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
EP1119221B1 (en) | 1996-11-29 | 2004-03-03 | Idemitsu Kosan Company Limited | Organic electroluminescent device |
JP3782245B2 (ja) | 1998-10-28 | 2006-06-07 | Tdk株式会社 | 有機el表示装置の製造装置及び製造方法 |
US6309801B1 (en) | 1998-11-18 | 2001-10-30 | U.S. Philips Corporation | Method of manufacturing an electronic device comprising two layers of organic-containing material |
JP4198253B2 (ja) | 1999-02-02 | 2008-12-17 | 出光興産株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 |
JP2002075661A (ja) | 2000-08-31 | 2002-03-15 | Fujitsu Ltd | 有機el素子及び有機el表示装置 |
US7153592B2 (en) | 2000-08-31 | 2006-12-26 | Fujitsu Limited | Organic EL element and method of manufacturing the same, organic EL display device using the element, organic EL material, and surface emission device and liquid crystal display device using the material |
TWI257496B (en) | 2001-04-20 | 2006-07-01 | Toshiba Corp | Display device and method of manufacturing the same |
JP2002318556A (ja) | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Toshiba Corp | アクティブマトリクス型平面表示装置およびその製造方法 |
JP4220253B2 (ja) | 2001-05-18 | 2009-02-04 | ケンブリッジ・ユニバーシティ・テクニカル・サービシズ・リミテッド | エレクトロルミネセンス装置 |
JP2003007460A (ja) | 2001-06-22 | 2003-01-10 | Sony Corp | 表示装置の製造方法および表示装置 |
JP3823916B2 (ja) | 2001-12-18 | 2006-09-20 | セイコーエプソン株式会社 | 表示装置及び電子機器並びに表示装置の製造方法 |
JP2003264083A (ja) | 2002-03-08 | 2003-09-19 | Sharp Corp | 有機led素子とその製造方法 |
KR100437533B1 (ko) * | 2002-05-29 | 2004-06-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액티브 매트릭스형 유기전계발광 소자 및 그의 제조방법 |
JP4216008B2 (ja) * | 2002-06-27 | 2009-01-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置およびその作製方法、ならびに前記発光装置を有するビデオカメラ、デジタルカメラ、ゴーグル型ディスプレイ、カーナビゲーション、パーソナルコンピュータ、dvdプレーヤー、電子遊技機器、または携帯情報端末 |
US7086917B2 (en) | 2002-08-12 | 2006-08-08 | National Research Council Of Canada | Photoresist mask/smoothing layer ensuring the field homogeneity and better step-coverage in OLED displays |
JP4165173B2 (ja) | 2002-10-15 | 2008-10-15 | 株式会社デンソー | 有機el素子の製造方法 |
GB0224121D0 (en) * | 2002-10-16 | 2002-11-27 | Microemissive Displays Ltd | Method of patterning a functional material on to a substrate |
KR100491146B1 (ko) * | 2002-11-04 | 2005-05-24 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기전계 발광표시장치 및 그의 제조방법 |
JP2004228355A (ja) | 2003-01-23 | 2004-08-12 | Seiko Epson Corp | 絶縁膜基板の製造方法、絶縁膜基板の製造装置及び絶縁膜基板並びに電気光学装置の製造方法及び電気光学装置 |
JP2004234901A (ja) * | 2003-01-28 | 2004-08-19 | Seiko Epson Corp | ディスプレイ基板、有機el表示装置、ディスプレイ基板の製造方法および電子機器 |
JP4500304B2 (ja) | 2003-05-12 | 2010-07-14 | ケンブリッジ エンタープライズ リミティド | ポリマーデバイスの製造 |
WO2004100281A1 (en) | 2003-05-12 | 2004-11-18 | Cambridge University Technical Services Limited | Polymer transistor |
JP2005012173A (ja) | 2003-05-28 | 2005-01-13 | Seiko Epson Corp | 膜パターン形成方法、デバイス及びデバイスの製造方法、電気光学装置、並びに電子機器 |
JP2004363170A (ja) | 2003-06-02 | 2004-12-24 | Seiko Epson Corp | 導電パターンの形成方法、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
JP2005203339A (ja) | 2003-12-16 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセント素子およびその製造方法 |
US20090160325A1 (en) | 2003-12-16 | 2009-06-25 | Panasonic Corporation | Organic electroluminescent device and method for manufacturing the same |
EP1695396B1 (en) | 2003-12-16 | 2009-06-03 | Panasonic Corporation | Organic electroluminescent device and method for manufacturing the same |
JP2005203340A (ja) | 2003-12-16 | 2005-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
JP4857521B2 (ja) | 2004-01-09 | 2012-01-18 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置の製造方法、電気光学装置、及び電子機器 |
JP4002949B2 (ja) | 2004-03-17 | 2007-11-07 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 両面発光有機elパネル |
JP2005268099A (ja) | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Mitsubishi Electric Corp | 有機el表示パネル、有機el表示装置、および有機el表示パネルの製造方法 |
JP4645064B2 (ja) * | 2004-05-19 | 2011-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置の製造方法 |
JP4161956B2 (ja) | 2004-05-27 | 2008-10-08 | セイコーエプソン株式会社 | カラーフィルタ基板の製造方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器 |
US7211456B2 (en) | 2004-07-09 | 2007-05-01 | Au Optronics Corporation | Method for electro-luminescent display fabrication |
JP4148933B2 (ja) * | 2004-08-31 | 2008-09-10 | シャープ株式会社 | 機能膜の製造方法、機能膜形成用塗液、機能素子、電子デバイス及び表示装置 |
WO2006041027A1 (ja) * | 2004-10-13 | 2006-04-20 | Sharp Kabushiki Kaisha | 機能基板 |
JP2006185747A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 表示装置の製造方法 |
JP2006185869A (ja) | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Asahi Glass Co Ltd | 有機電界発光素子及びその製造方法 |
JP2006224395A (ja) * | 2005-02-16 | 2006-08-31 | Seiko Epson Corp | 機能液供給装置の制御方法、機能液供給装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器 |
JP2006253443A (ja) | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Seiko Epson Corp | 有機el装置、その製造方法および電子機器 |
JP2006294261A (ja) | 2005-04-05 | 2006-10-26 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 有機el発光素子およびその製造方法 |
TWI307612B (en) | 2005-04-27 | 2009-03-11 | Sony Corp | Transfer method and transfer apparatus |
JP2006344459A (ja) | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Sony Corp | 転写方法および転写装置 |
JP2007073499A (ja) | 2005-08-08 | 2007-03-22 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置およびその作製方法 |
US7994711B2 (en) | 2005-08-08 | 2011-08-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device and manufacturing method thereof |
GB0517195D0 (en) | 2005-08-23 | 2005-09-28 | Cambridge Display Tech Ltd | Molecular electronic device structures and fabrication methods |
KR100958480B1 (ko) * | 2005-09-29 | 2010-05-17 | 파나소닉 주식회사 | 유기 el 디스플레이 및 그 제조 방법 |
JP2007095606A (ja) | 2005-09-30 | 2007-04-12 | Seiko Epson Corp | 有機el装置、その製造方法、及び電子機器 |
KR100643376B1 (ko) * | 2005-10-24 | 2006-11-10 | 삼성전자주식회사 | 표시장치와 표시장치의 제조방법 |
JP4318689B2 (ja) | 2005-12-09 | 2009-08-26 | 出光興産株式会社 | n型無機半導体、n型無機半導体薄膜及びその製造方法 |
JP4251331B2 (ja) * | 2005-12-27 | 2009-04-08 | カシオ計算機株式会社 | 表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法 |
JP5256605B2 (ja) * | 2006-01-18 | 2013-08-07 | 凸版印刷株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
JP2007214066A (ja) | 2006-02-13 | 2007-08-23 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネセンス装置の製造方法 |
US20070241665A1 (en) | 2006-04-12 | 2007-10-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Organic electroluminescent element, and manufacturing method thereof, as well as display device and exposure apparatus using the same |
JP2007287353A (ja) | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセント素子の製造方法およびそれを用いて作成された有機エレクトロルミネッセント素子 |
JP2007287586A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセント素子の製造方法、有機エレクトロルミネッセント素子、これを用いた表示装置および露光装置 |
JP2007288074A (ja) | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセント素子およびその製造方法 |
JP2007288071A (ja) | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセント素子およびその製造方法、それを用いた表示装置、露光装置 |
JP4415971B2 (ja) * | 2006-05-10 | 2010-02-17 | カシオ計算機株式会社 | 表示装置及びその製造方法 |
US20070290604A1 (en) | 2006-06-16 | 2007-12-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Organic electroluminescent device and method of producing the same |
JP2008041747A (ja) | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセント発光装置およびその製造方法 |
JP4915650B2 (ja) | 2006-08-25 | 2012-04-11 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2008091072A (ja) | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置、およびその製造方法 |
JP4915913B2 (ja) | 2006-11-13 | 2012-04-11 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
US7977866B2 (en) * | 2006-11-22 | 2011-07-12 | Toppan Printing Co., Ltd | Organic electroluminescence element having partition wall covered by insulating layer |
JP2008140724A (ja) | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Toppan Printing Co Ltd | 有機el素子の製造方法および有機el素子 |
WO2008075615A1 (en) | 2006-12-21 | 2008-06-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting element and light-emitting device |
JP2008235033A (ja) * | 2007-03-20 | 2008-10-02 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | 表示装置及び表示装置の製造方法 |
JP5326289B2 (ja) | 2007-03-23 | 2013-10-30 | 凸版印刷株式会社 | 有機el素子およびそれを備えた表示装置 |
US8471461B2 (en) | 2007-03-29 | 2013-06-25 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Organic electroluminescent device and method for producing the same |
JP2009004347A (ja) | 2007-05-18 | 2009-01-08 | Toppan Printing Co Ltd | 有機el表示素子の製造方法及び有機el表示素子 |
CN101543136B (zh) | 2007-05-30 | 2012-05-23 | 松下电器产业株式会社 | 有机电致发光显示屏和其制造方法 |
ATE523897T1 (de) | 2007-05-31 | 2011-09-15 | Panasonic Corp | Organisches el-element und herstellungsverfahren dafür |
EP2175504A4 (en) | 2007-07-31 | 2012-08-22 | Sumitomo Chemical Co | ORGANIC ELECTROLUMINESCENE ELEMENT AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
JP5001745B2 (ja) | 2007-08-10 | 2012-08-15 | 住友化学株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及び製造方法 |
JP2009048960A (ja) | 2007-08-23 | 2009-03-05 | Canon Inc | 電極洗浄処理方法 |
JP2009058897A (ja) | 2007-09-03 | 2009-03-19 | Hitachi Displays Ltd | 表示装置 |
US8310152B2 (en) | 2007-12-10 | 2012-11-13 | Panasonic Corporation | Organic EL device and EL display panel having a low driving voltage and high light emitting frequency, and method for manufacturing |
WO2009084209A1 (ja) | 2007-12-28 | 2009-07-09 | Panasonic Corporation | 有機elデバイスおよび有機elディスプレイパネル、ならびにそれらの製造方法 |
KR100959466B1 (ko) * | 2008-02-28 | 2010-05-25 | 파나소닉 주식회사 | 유기 el 디스플레이 패널 |
JP2009218156A (ja) | 2008-03-12 | 2009-09-24 | Casio Comput Co Ltd | Elパネル及びelパネルの製造方法 |
JP5267246B2 (ja) | 2008-03-26 | 2013-08-21 | 凸版印刷株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法並びに有機エレクトロルミネッセンス表示装置 |
JP2009239180A (ja) | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
WO2009133903A1 (ja) | 2008-04-28 | 2009-11-05 | 大日本印刷株式会社 | 正孔注入輸送層を有するデバイス、及びその製造方法、並びに正孔注入輸送層形成用インク |
JP4931858B2 (ja) | 2008-05-13 | 2012-05-16 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセント素子の製造方法 |
JP4678421B2 (ja) | 2008-05-16 | 2011-04-27 | ソニー株式会社 | 表示装置 |
JP2008241238A (ja) | 2008-05-28 | 2008-10-09 | Mitsubishi Electric Corp | 冷凍空調装置及び冷凍空調装置の制御方法 |
JP4975064B2 (ja) | 2008-05-28 | 2012-07-11 | パナソニック株式会社 | 発光装置及びその製造方法 |
JP2010021138A (ja) | 2008-06-09 | 2010-01-28 | Panasonic Corp | 有機エレクトロルミネッセント装置およびその製造方法 |
JP5199773B2 (ja) | 2008-07-30 | 2013-05-15 | 住友化学株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 |
KR101153037B1 (ko) | 2008-09-19 | 2012-06-04 | 파나소닉 주식회사 | 유기 일렉트로 루미네슨스 소자 및 그 제조 방법 |
JP5138542B2 (ja) | 2008-10-24 | 2013-02-06 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 |
JP2011040167A (ja) | 2008-11-12 | 2011-02-24 | Panasonic Corp | 表示装置およびその製造方法 |
JP2010123716A (ja) | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Fujifilm Corp | 有機電界発光素子 |
JP4856753B2 (ja) | 2008-12-10 | 2012-01-18 | パナソニック株式会社 | 光学素子および光学素子を具備する表示装置の製造方法 |
WO2010070798A1 (ja) | 2008-12-18 | 2010-06-24 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法 |
JP2010161185A (ja) | 2009-01-08 | 2010-07-22 | Ulvac Japan Ltd | 有機el表示装置、有機el表示装置の製造方法 |
WO2010092797A1 (ja) | 2009-02-10 | 2010-08-19 | パナソニック株式会社 | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 |
JP5357194B2 (ja) | 2009-02-10 | 2013-12-04 | パナソニック株式会社 | 発光素子、発光素子を備えた発光装置および発光素子の製造方法 |
CN102308671B (zh) * | 2009-02-10 | 2015-01-21 | 松下电器产业株式会社 | 发光元件的制造方法和发光元件、以及发光装置的制造方法和发光装置 |
WO2011013523A1 (en) | 2009-07-31 | 2011-02-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
JP5437736B2 (ja) | 2009-08-19 | 2014-03-12 | パナソニック株式会社 | 有機el素子 |
JP4659141B1 (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-30 | パナソニック株式会社 | 発光素子とその製造方法、および発光装置 |
KR101539478B1 (ko) | 2009-12-22 | 2015-07-24 | 가부시키가이샤 제이올레드 | 표시 장치와 그 제조 방법 |
CN102165593B (zh) | 2009-12-22 | 2015-01-28 | 松下电器产业株式会社 | 显示装置及其制造方法 |
KR101643009B1 (ko) | 2009-12-22 | 2016-07-27 | 가부시키가이샤 제이올레드 | 표시 장치와 그 제조 방법 |
WO2011101918A1 (ja) | 2010-02-22 | 2011-08-25 | パナソニック株式会社 | 発光装置とその製造方法 |
JP5612693B2 (ja) | 2010-08-06 | 2014-10-22 | パナソニック株式会社 | 有機el素子およびその製造方法 |
CN103053040B (zh) | 2010-08-06 | 2015-09-02 | 株式会社日本有机雷特显示器 | 有机el元件 |
CN103053041B (zh) | 2010-08-06 | 2015-11-25 | 株式会社日本有机雷特显示器 | 有机el元件 |
JP5612691B2 (ja) | 2010-08-06 | 2014-10-22 | パナソニック株式会社 | 有機el素子およびその製造方法 |
-
2010
- 2010-02-09 WO PCT/JP2010/000783 patent/WO2010092797A1/ja active Application Filing
- 2010-02-09 CN CN201080007024.XA patent/CN102308404B/zh active Active
- 2010-02-09 EP EP10741077.1A patent/EP2398085B1/en active Active
- 2010-02-09 CN CN201080007063.XA patent/CN102308405B/zh active Active
- 2010-02-09 JP JP2010550455A patent/JP5513415B2/ja active Active
- 2010-02-09 EP EP10741075.5A patent/EP2398083B1/en active Active
- 2010-02-09 WO PCT/JP2010/000781 patent/WO2010092795A1/ja active Application Filing
- 2010-02-09 CN CN201310591394.8A patent/CN103646959B/zh active Active
- 2010-02-09 JP JP2010550453A patent/JP5513414B2/ja active Active
- 2010-02-09 KR KR1020117017474A patent/KR101643018B1/ko active IP Right Grant
- 2010-02-09 KR KR1020117017463A patent/KR101581989B1/ko active IP Right Review Request
-
2011
- 2011-08-09 US US13/205,778 patent/US8890174B2/en active Active
- 2011-08-09 US US13/205,748 patent/US8890173B2/en active Active
-
2014
- 2014-03-26 JP JP2014063901A patent/JP5904472B2/ja active Active
- 2014-03-26 JP JP2014063900A patent/JP5904471B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102308405B (zh) | 2015-07-08 |
KR101643018B1 (ko) | 2016-07-27 |
EP2398085B1 (en) | 2018-06-27 |
EP2398083B1 (en) | 2018-06-13 |
KR101581989B1 (ko) | 2015-12-31 |
CN102308405A (zh) | 2012-01-04 |
KR20110124215A (ko) | 2011-11-16 |
KR20110124216A (ko) | 2011-11-16 |
JP5513414B2 (ja) | 2014-06-04 |
EP2398083A1 (en) | 2011-12-21 |
JP2014160834A (ja) | 2014-09-04 |
CN103646959B (zh) | 2016-09-14 |
JP5904472B2 (ja) | 2016-04-13 |
EP2398085A4 (en) | 2013-03-13 |
EP2398085A1 (en) | 2011-12-21 |
EP2398083A4 (en) | 2013-03-13 |
JP5513415B2 (ja) | 2014-06-04 |
JPWO2010092795A1 (ja) | 2012-08-16 |
WO2010092795A1 (ja) | 2010-08-19 |
WO2010092797A1 (ja) | 2010-08-19 |
US20110291087A1 (en) | 2011-12-01 |
JPWO2010092797A1 (ja) | 2012-08-16 |
CN102308404A (zh) | 2012-01-04 |
US20110291128A1 (en) | 2011-12-01 |
CN102308404B (zh) | 2016-01-20 |
CN103646959A (zh) | 2014-03-19 |
JP2014146824A (ja) | 2014-08-14 |
US8890174B2 (en) | 2014-11-18 |
US8890173B2 (en) | 2014-11-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5904471B2 (ja) | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 | |
JP5620494B2 (ja) | 発光素子、表示装置、および発光素子の製造方法 | |
JP5357194B2 (ja) | 発光素子、発光素子を備えた発光装置および発光素子の製造方法 | |
JP4659141B1 (ja) | 発光素子とその製造方法、および発光装置 | |
US8889474B2 (en) | Organic light-emitting element and process for production thereof, and organic display panel and organic display device | |
JP5336524B2 (ja) | 発光素子の製造方法と発光素子、および発光装置の製造方法と発光装置 | |
JP5543600B2 (ja) | 発光素子、発光素子を備えた発光装置および発光素子の製造方法 | |
JP5543599B2 (ja) | 発光素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140328 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20140606 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150120 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20150213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150714 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160209 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160307 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5904471 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S303 | Written request for registration of pledge or change of pledge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316303 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S803 | Written request for registration of cancellation of provisional registration |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316803 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |