JP5739411B2 - Euv生成チャンバにおけるはね返り防止のための液滴捕集器に関するシステム、方法、及び装置 - Google Patents
Euv生成チャンバにおけるはね返り防止のための液滴捕集器に関するシステム、方法、及び装置 Download PDFInfo
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Description
本出願は、2010年3月9日出願の「System, Method and Apparatus for Droplet Catcher For Prevention of Backsplash in a EUV Generator Chamber」という名称の米国特許出願番号第12/720,190号に基づく優先権を主張し、また、全ての目的について全体が引用により本明細書に組み入れられる2009年4月9日出願の「Extreme Ultraviolet Light Output」という名称の米国仮特許出願番号第61/168,033号に基づく優先権を主張するものである。本出願はまた、全ての目的について全体が引用により本明細書に組み入れられる2009年4月9日出願の「System, Method and Apparatus for Laser Produced Plasma Extreme Ultraviolet Chamber with Hot Walls and Cold Collector Mirror」という名称の米国仮特許出願番号第61/168,012号に基づく優先権を主張するものである。本出願はまた、全ての目的について全体が引用により本明細書に組み入れられる2009年4月9日出願の「System, Method and Apparatus for Droplet Catcher for Prevention of Backsplash in a EUV Generation Chamber」という名称の米国仮特許出願番号第61/168,000号に基づく優先権を主張するものである。
本発明は、一般に、レーザ生成プラズマ極紫外線のシステム、方法、及び装置に関し、より具体的には、レーザ生成プラズマ極紫外線システムにおける液滴管理のためのシステム、方法、及び装置に関する。
22:光パルス生成システム
23:光パルス
24:ターゲット材料送出システム
26:EUVチャンバ
28:照射領域
30:集光ミラー
31:第一焦点
32:開口部
34、230:EUV発光
40:中間領域(中間位置)
42:装置
60:EUVコントローラ
62:液滴位置検出フィードバックシステム
65:発射制御システム
70:液滴撮像器
90:液滴制御システム
92:ターゲット材料ディスペンサ
94、212:リザーバ
96、242、242A:ターゲット材料
98:オリフィス
100:連続流
102A、102B:液滴
102C:未使用の液滴
209、394、394’:ターゲット材料経路
210:第1の液滴捕集部
211:下端(底部)
213、423:角度
222:微粒子(微小液滴)
223、1208:中心線
224:(開放端)第1の端部
231:微小液滴(断片)
236:はね返り
240:第2の液滴捕集部
244:チューブ(フリーズバルブ)
250:ガスノズル
410、420、430、440、496、510、610:代替的な第1の捕集部
412:バッフル
414、424A、424B、496A、496B:はね返り飛沫
420A:第1の部分
420B:角度を付けられた第2の部分
424C:未使用の液滴の一部
432:段部
450:捕集部
451:ガス流
452:開口部
454:或る量のガス
455:二重壁
456:空間
457:壁
457A、457B:抵抗性コーティング
458:出口
460:温度制御システム
602:水平線
604:僅かな角度
702:第1のリザーバ
710:液体カーテン
802:第1のシリンダ
804、904、1106、1106’:方向
806、908:材料
812:ブレード
902:第2のシリンダ
1000:統合システム
1010:統合システムコントローラ
1012:ネットワーク
1014:ユーザインターフェース
1016:コンピュータプログラム
1018:データ
1201:EUVチャンバ壁
1202:捕捉システム
1204、1204’:微小液滴捕集部
1206:深さ
Claims (20)
- 集光ミラーと、
ターゲット材料経路に沿って複数の液滴を排出するように位置合わせされた液滴出口を有する液滴生成システムと、
第1の捕集部と、
を備え、
前記第1の捕集部は、
前記ターゲット材料経路と実質的に位置合わせされた第1の開放端部と、
前記第1の開放端部とは反対側の第2の閉鎖端部と、
少なくとも1つの段部を含み、前記第1の捕集部の前記第2の端部の方向に向かう、少なくとも1つの内表面と、
複数のバッフルであって、各々は第1の端部と、第2の端部と、第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面とを有し、前記第2の表面は、前記第1の捕集部の内表面に取り付けられた前記第1の端部に向かって前記第1の捕集部の前記内表面との間に鋭角を形成し、かつ、前記第1の捕集部の前記第2の端部の方を向いている、複数のバッフルと、
を含むことを特徴とする、極紫外光チャンバ。 - 前記第1の捕集部は、前記ターゲット材料経路に対して選択された角度の中心軸をさらに含み、前記選択された角度は0度から30度までの間であることを特徴とする、請求項1に記載のチャンバ。
- 前記第1の表面と前記第2の表面の少なくとも一方は、前記ターゲット材料経路と垂直でないことを特徴とする請求項1に記載のチャンバ。
- 前記第1の捕集部は、前記ターゲット材料経路と実質的に位置合わせされた中心軸を有する第1の部分と、前記ターゲット材料経路に対して約1度から約45度までの間の角度を形成する第2の部分とをさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載のチャンバ。
- 前記第1の捕集部は、前記第1の開放端部とは反対側の第2の端部をさらに含み、前記第2の端部の近傍において或る量の液体をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載のチャンバ。
- 前記第2の端部の近傍における前記或る量の液体は、液体カーテンを含むことを特徴とする、請求項5に記載のチャンバ。
- 前記ターゲット材料経路は、水平であることを特徴とする、請求項1に記載のチャンバ。
- 前記ターゲット材料経路は、垂直であることを特徴とする、請求項1に記載のチャンバ。
- 集光ミラーと、
ターゲット材料経路に沿って複数の液滴を排出するように位置合わせされた液滴出口を有する液滴生成システムと、
第1の捕集部と、
を備え、
前記第1の捕集部は、
前記ターゲット材料経路と実質的に位置合わせされた第1の開放端部と、
前記第1の開放端部とは反対側の第2の閉鎖端部と、
少なくとも1つの段部を含み、前記第1の捕集部の前記第2の端部の方向に向かう、少なくとも1つの内表面と、
を含み、前記第1の捕集部は、前記第1の開放端部とは反対側の第2の端部をさらに含み、前記第2の端部の近傍において少なくとも1つの回転シリンダをさらに含み、前記少なくとも1つの回転シリンダは、前記ターゲット材料経路が前記少なくとも1つの回転シリンダの第1の回転面の実質的に接線方向となるように位置決めされることを特徴とする、極紫外光チャンバ。 - 第2の捕集部をさらに備え、前記第2の捕集部は、前記第1の捕集部より実質的に広い幅を有し、前記第1の捕集部を囲むことを特徴とする、請求項1に記載のチャンバ。
- 前記第1の捕集部からの出口をさらに備え、第1の捕集部からの前記出口は、フリーズバルブを含むことを特徴とする、請求項1に記載のチャンバ。
- 極紫外光チャンバ内の液滴生成器から、ターゲット材料経路に沿って排出される複数の液滴を排出し、
前記複数の液滴の選択された1つの液滴に光源の焦点を合わせ、
前記複数の液滴の前記選択された1つの液滴に照射し、
前記照射された液滴から生成されたプラズマから放出された極紫外光を集光ミラーに集光し、
前記集光された極紫外光を前記極紫外光チャンバの出力部に向けて集束させ、
前記複数の液滴のうちの複数の選択されない液滴を、
前記ターゲット材料経路と実質的に位置合わせされた第1の開放端部と、
前記第1の開放端部とは反対側の第2の閉鎖端部と、
前記第1の捕集部の前記第2の端部の方向に向かう少なくとも1つの内表面と、
複数のバッフルであって、各々は第1の端部と、第2の端部と、第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面とを有し、前記第2の表面は、前記第1の捕集部の内表面に取り付けられた前記第1の端部に向かって前記第1の捕集部の前記内表面との間に鋭角を形成し、かつ、前記第1の捕集部の前記第2の端部の方を向いている、複数のバッフルと、
を有する第1の捕集部内に回収する、
ことを含むことを特徴とする、極紫外光を生成する方法。 - 前記複数の選択されない液滴からの微小液滴のはね返りを実質的に除去することをさらに含むことを特徴とする、請求項12に記載の方法。
- 微小液滴のはね返りを実質的に除去することは、前記微小液滴を、
前記第1の捕集部の長さ、
前記第1の捕集部における段部、
前記第1の捕集部における複数のバッフル、
前記第1の捕集部における或る量の液体、又は、
前記第1の捕集部における移動表面、
のうちの少なくとも1つにおいて捕捉することを含むことを特徴とする、請求項13に記載の方法。 - 微小液滴のはね返りを実質的に除去することは、前記複数の選択されない液滴を前記ターゲット材料の融点より低い温度まで冷却することを含むことを特徴とする、請求項13に記載の方法。
- 前記複数の選択されない液滴を前記ターゲット材料の融点より低い温度まで冷却することは、冷却されたガス流を前記複数の選択されない液滴に向かわせること、又は、前記第1の捕集部を前記ターゲット材料の融点より低い温度まで冷却することのうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする、請求項15に記載の方法。
- 前記第2の端部は、シリンダ表面を含むことを特徴とする請求項1に記載の極紫外光チャンバ。
- 前記ターゲット材料経路は、接線方向の角度で前記シリンダ表面と交差することを特徴とする請求項17に記載の極紫外光チャンバ。
- 前記第2の端部は、シリンダ表面を含むことを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 前記ターゲット材料経路は、接線方向の角度で前記シリンダ表面と交差することを特徴とする請求項19に記載の方法。
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