JP6600688B2 - ターゲット収容装置 - Google Patents
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Description
1.EUV光生成システムの全体説明
1.1 構成
1.2 動作
2.用語の説明
3.課題
3.1 比較例の構成
3.2 比較例の動作
3.3 課題
4.第1実施形態
4.1 構成
4.2 動作及び作用効果
5.第2実施形態
5.1 構成
5.2 動作及び作用効果
6.第3実施形態
6.1 構成
6.2 動作及び作用効果
7.第4実施形態
7.1 構成
7.2 動作及び作用効果
8.第5実施形態
8.1 構成
8.2 動作
8.3 作用効果
9.第6実施形態
9.1 構成
9.2 動作
9.3 作用効果
10.その他
10.1 各制御部のハードウェア環境
10.2 その他の変形例等
[1.1 構成]
図1に、例示的なLPP方式のEUV光生成システムの構成を概略的に示す。
EUV光生成装置1は、少なくとも1つのレーザ装置3と共に用いられてもよい。本願においては、EUV光生成装置1及びレーザ装置3を含むシステムを、EUV光生成システム11と称する。図1に示し、かつ、以下に詳細に説明するように、EUV光生成装置1は、チャンバ2、ターゲット供給装置26を含んでもよい。チャンバ2は、密閉可能であってもよい。ターゲット供給装置26は、例えば、チャンバ2の壁を貫通するように取り付けられてもよい。ターゲット供給装置26から供給されるターゲット27の材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノン、又は、それらの内のいずれか2つ以上の組合せを含んでもよいが、これらに限定されない。
図1を参照すると、レーザ装置3から出力されたパルスレーザ光31は、レーザ光進行方向制御部34を経て、パルスレーザ光32としてウインドウ21を透過してチャンバ2内に入射してもよい。パルスレーザ光32は、少なくとも1つのレーザ光経路に沿ってチャンバ2内を進み、レーザ光集光ミラー22で反射されて、パルスレーザ光33として少なくとも1つのターゲット27に照射されてもよい。
「ターゲット」は、チャンバ内に導入されたレーザ光の被照射物である。レーザ光が照射されたターゲットは、プラズマ化してEUV光を放射する。
「ドロップレット」は、チャンバ内へ供給されるターゲットの一形態である。
「プラズマ生成領域」は、チャンバ内の所定領域である。プラズマ生成領域は、チャンバ内に出力されたターゲットに対してレーザ光が照射され、ターゲットがプラズマ化される領域である。
「ターゲット軌道」は、チャンバ内に出力されたターゲットが進行する経路である。ターゲット軌道は、プラズマ生成領域において、チャンバ内に導入されたレーザ光の光路と交差してもよい。
「ターゲット収容装置」は、チャンバに接続され、ターゲットを収容するための装置である。ターゲット収容装置は、ターゲット供給装置及びターゲット回収装置を少なくとも含む。ターゲット収容装置がターゲット供給装置である場合、ターゲット収容装置は、チャンバ内に出力されるターゲットを収容するための装置である。ターゲット収容装置がターゲット回収装置である場合、ターゲット収容装置は、チャンバ内に出力されたターゲットのうち、レーザ光が照射されなかったターゲットを収容するための装置である。
「Z軸方向」は、EUV光生成装置がEUV光を出力する方向である。すなわち、Z軸方向は、EUV光生成装置のチャンバから露光装置へEUV光が出力される方向である。
「Y軸方向」は、ターゲット供給装置がチャンバ内にターゲットを出力する方向である。
「X軸方向」は、Y軸方向及びZ軸方向に直交する方向である。
図2及び図3を用いて、比較例のターゲット収容装置の一例として、ターゲット回収装置28について説明する。
ターゲット回収装置28は、図1に示されるように、ターゲット供給装置26からチャンバ2内に出力されたターゲット27を回収する装置であってもよい。
特に、ターゲット回収装置28は、ターゲット供給装置26からチャンバ2内に出力されたターゲット27のうち、パルスレーザ光33が照射されなかったターゲット27を回収する装置であってもよい。
ターゲット回収装置28は、図1に示されるように、チャンバ2の側面部に設けられていてもよい。ターゲット回収装置28は、ターゲット軌道の延長線上に配置されてもよい。ターゲット回収装置28は、チャンバ2の内部に配置されてもよい。
また、ターゲット供給装置26は、ターゲット27を溶融させた状態で収容してもよい。ターゲット供給装置26は、溶融状態のターゲット27をドロップレットとしてチャンバ2内のプラズマ生成領域25に向かって出力してもよい。それにより、ターゲット供給装置26は、ターゲット27をプラズマ生成領域25に供給してもよい。
図2は、比較例のターゲット収容装置の一例であるターゲット回収装置28を説明するための図を示す。
ターゲット回収装置28は、タンク281と、捕集部282と、ヒータ283と、ヒータ電源284と、温度センサ285と、温度制御部286と、ケース287とを備えてもよい。
タンク281は、ターゲット27と反応し難い材料を用いて形成されてもよい。ターゲット27がスズである場合、ターゲット27と反応し難い材料は、例えばSiC、石英を含むSiO2、Al2O3、モリブデン、タングステン、タンタルのうちの少なくとも1つであってもよい。
タンク281は、溶融したターゲット27に濡れ難い材料で形成されてもよい。タンク281は、溶融したターゲット27との接触角が90°以上180°以下となる材料を用いて形成されてもよい。
タンク281は、ターゲット27の融点以上の温度に対して耐熱性を有する材料を用いて形成されてもよい。
ターゲット27がスズである場合、タンク281は、例えばモリブデン又は石英を用いて形成されてもよい。
タンク281は、中空の筒形状に形成されてもよい。
タンク281は、チャンバ2内に配置されてもよい。タンク281は、チャンバ2の壁2aに接続されてもよい。
タンク281は、その内部に傾斜部281aを含んでもよい。
傾斜部281aは、タンク281の壁の一部として形成されてもよい。
傾斜部281aは、ターゲット27と反応し難い材料を用いて形成されてもよい。
傾斜部281aは、溶融したターゲット27に濡れ難い材料で形成されてもよい。傾斜部281aは、溶融したターゲット27との接触角が90°以上180°以下となる材料を用いて形成されてもよい。
傾斜部281aは、ターゲット27の融点以上の温度に対して耐熱性を有する材料を用いて形成されてもよい。
傾斜部281aは、タンク281と同じ材料を用いて形成されてもよい。
ターゲット27がスズである場合、傾斜部281aは、例えばモリブデン又はステンレスで形成されてもよい。
傾斜部281aの表面は、ターゲット軌道Fに対して傾斜するように形成されてもよい。傾斜部281aの表面は、ターゲット軌道Fに対する傾斜角度が90°以外の角度となるように形成されてもよい。
傾斜部281aの表面は、パルスレーザ光33が照射されなかったターゲット27を衝突させて受ける面であってもよい。傾斜部281aの表面は、衝突したターゲット27をタンク281の内部空間に向けて反射するように形成されてもよい。
捕集部282は、ターゲット27と反応し難い材料を用いて形成されてもよい。
捕集部282は、溶融したターゲット27に濡れ難い材料で形成されてもよい。捕集部282は、溶融したターゲット27との接触角が90°以上180°以下となる材料を用いて形成されてもよい。
捕集部282は、ターゲット27の融点以上の温度に対して耐熱性を有する材料を用いて形成されてもよい。
ターゲット27がスズである場合、捕集部282は、例えばモリブデン又は石英を用いて形成されてもよい。
捕集部282は、タンク281と同じ材料を用いて形成されてもよい。
捕集部282は、中空の筒状に形成されてもよい。
捕集部282は、ターゲット軌道Fに沿って延びるように形成されてもよい。捕集部282は、その中心軸がターゲット軌道Fと略一致するように配置されてもよい。
捕集部282は、タンク281に接続されてもよい。捕集部282は、タンク281のプラズマ生成領域25側の端部に接続されてもよい。捕集部282は、タンク281と一体的に形成されてもよい。
開口部282aは、パルスレーザ光33が照射されなかったターゲット27を捕集部282内に進入させる入口であってもよい。開口部282aは、捕集部282のターゲット軌道Fに交差する位置に形成されてもよい。
ヒータ283は、タンク281及び捕集部282のそれぞれに接続されてもよい。ヒータ283は、タンク281及び捕集部282のそれぞれの外表面を覆うように配置されてもよい。
ヒータ283は、ヒータ電源284に接続されてもよい。
ヒータ電源284の動作は、温度制御部286によって制御されてもよい。
温度センサ285は、タンク281及び捕集部282の少なくとも1つの外表面に設置されてもよい。
温度センサ285は、検出されたタンク281及び捕集部282の温度に応じた温度検出信号を温度制御部286に出力してもよい。
温度制御部286は、ヒータ電源284及び温度センサ285に接続されてもよい。
温度制御部286は、EUV光生成制御部5に接続されてもよい。
ケース287は、チャンバ2内に配置されてもよい。ケース287は、チャンバ2の壁2aに接続されてもよい。ケース287内の圧力は、チャンバ2内の圧力と略同じ圧力に保持されてもよい。
ケース287のプラズマ生成領域25側の端部には、開口部287aが形成されてもよい。開口部287aは、パルスレーザ光33が照射されなかったターゲット27をケース287内に進入させる入口であってもよい。開口部287aは、ケース287のターゲット軌道Fに交差する位置に形成されてもよい。
比較例のターゲット回収装置28の動作について説明する。
温度制御部286は、EUV光生成制御部5から出力されたタンク281及び捕集部282の目標温度を指定する信号を受信してもよい。
温度制御部286は、温度センサ285から出力された温度検出信号を受信してもよい。
温度制御部286は、温度検出信号が示す検出値が当該目標温度に近付くよう、ヒータ283に電力を供給するヒータ電源284の動作を制御してもよい。
タンク281及び捕集部282の目標温度は、ターゲット27の融点以上の温度であって、タンク281内のターゲット27が溶融状態となる温度であってもよい。
ターゲット27がスズである場合、ターゲット27の融点は231.5℃である。ターゲット27が、ガドリニウムである場合、ターゲット27の融点は1312℃である。ターゲット27がテルビウムである場合、ターゲット27の融点は1356℃である。
また、レーザ装置3は、EUV光生成制御部5からの制御により、プラズマ生成領域25においてパルスレーザ光33がターゲット27を照射するようパルスレーザ光31を出力してもよい。
一方、パルスレーザ光33が照射されなかったターゲット27は、プラズマ生成領域25を通過して、そのままターゲット軌道Fに沿って進行し得る。プラズマ生成領域25を通過したターゲット27は、開口部287aからケース287内に進入し得る。
このように、捕集部282は、パルスレーザ光33が照射されなかったターゲット27を開口部282aから進入させることによって、当該ターゲット27を捕集してもよい。捕集部282は、捕集部282内に進入したターゲット27をタンク281内に通過させることによって、パルスレーザ光33が照射されなかったターゲット27をタンク281に導いてもよい。
タンク281の壁に付着したターゲット27は、タンク281がターゲット27の融点以上に加熱されているため、溶融した状態でタンク281の壁を伝って流れて落ち、タンク281内に収容され得る。
また、傾斜部281aに衝突したターゲット27の一部分は、飛沫となって捕集部282の壁に飛散し、捕集部282の壁の内表面に付着し得る。
捕集部282の壁に付着したターゲット27は、捕集部282がターゲット27の融点以上に加熱されているため、溶融した状態で捕集部282及びタンク281の壁を伝って流れて落ち、タンク281内に収容され得る。
図3は、比較例のターゲット回収装置28の課題を説明するための図を示す。
ターゲット回収装置28は、タンク281を大型化することが望まれ得る。
タンク281が大型化すると、ターゲット回収装置28は、多量のターゲット27を収容し得る。すると、タンク281の交換頻度が減少し得るため、ターゲット回収装置28の稼働時間が増加し得る。
タンク281の放熱面積が大きくなると、ターゲット回収装置28は、タンク281及び捕集部282の温度をターゲット27の融点以上の温度に保つためにヒータ283の出力を高くする必要があり得る。
このとき、タンク281及び捕集部282の温度が局所的にターゲット27の融点よりも低温となり、ターゲット27を溶融させた状態で収容することが困難となることがあり得る。特に、傾斜部281aに衝突したターゲット27がタンク281及び捕集部282のターゲット27の融点より低温な箇所に飛散すると、当該ターゲット27がタンク281及び捕集部282の壁にそのまま固着することがあり得る。すると、後続するターゲット27は、既に固着したターゲット27の上に更に固着して堆積し得る。固着したターゲット27の堆積物は、ターゲット軌道Fに交差するまで成長し、後続するターゲット27が適切に回収されることを妨げ得る。
ターゲット供給装置26は、図9を用いて後述するように、タンク261と、ノズル262と、ヒータ263とを備えてもよい。但し、比較例のターゲット供給装置26は、図9に示された輻射部材7を備えない。
タンク261は、チャンバ2内に出力されるターゲット27を溶融状態で収容する容器であってもよい。
ノズル262は、タンク261に接続され、タンク261内に収容されたターゲット27をチャンバ2内に出力する部材であってもよい。
ヒータ263は、タンク261及びノズル262を加熱するヒータであってもよい。
しかしながら、タンク261が大型化するとタンク261の放熱面積は大きくなるため、ターゲット供給装置26は、ターゲット回収装置28と同様に、ヒータ263の出力を高くする必要があり得る。
更に、タンク261が大型化すると、タンク261及びノズル262の温度を均一に保つことが困難となり得る。
このとき、タンク261及びノズル262の温度が局所的にターゲット27の融点よりも低温となり、ターゲット27がタンク261及びノズル262の壁に固着することがあり得る。すると、固着したターゲット27による圧力損失によって、溶融したターゲット27は、適切に出力され難くなり得る。例えば、溶融したターゲット27は、所望の速度よりも低い速度で出力されたり、所望のターゲット軌道Fからずれた軌道で出力されたりし得る。
図4を用いて、第1実施形態のターゲット収容装置について説明する。具体的には、第1実施形態のターゲット収容装置の一例として、第1実施形態のターゲット回収装置28について説明する。
第1実施形態のターゲット回収装置28は、比較例のターゲット回収装置28に対して、輻射部材7が追加された構成を備えてもよい。
第1実施形態のターゲット回収装置28の構成において、比較例のターゲット回収装置28と同様の構成については説明を省略する。
図4は、第1実施形態のターゲット収容装置の一例であるターゲット回収装置28を説明するための図を示す。図4では、図3に示された、ヒータ電源284、温度センサ285、温度制御部286及びEUV光生成制御部5の図示が省略されている。以降の図5〜図7も同様である。
第1実施形態のターゲット回収装置28は、比較例のターゲット回収装置28と同様に、タンク281と、捕集部282と、ヒータ283と、ヒータ電源284と、温度センサ285と、温度制御部286と、ケース287とを備えてもよい。
更に、第1実施形態のターゲット回収装置28は、輻射部材7を備えてもよい。
輻射部材7は、板状に形成されてもよい。
輻射部材7は、ヒータ283が接続されたタンク281の少なくとも一部を覆うように配置されてもよい。輻射部材7は、ヒータ283が接続された捕集部282の少なくとも一部を覆うように配置されてもよい。輻射部材7は、ヒータ283が接続されたタンク281及び捕集部282に対して、略平行に対向して配置されてもよい。輻射部材7は、タンク281及び捕集部282並びにヒータ283のそれぞれと、間隔をあけて配置されてもよい。
輻射部材7は、ヒータ283が接続されたタンク281及び捕集部282と、ケース287との間に配置されてもよい。輻射部材7は、熱伝導率の低い材料で形成された不図示の支持部材を介してケース287に保持されてもよい。
輻射部材7は、それ自体が、0.01以上0.1以下の放射率を有する材料で形成されてもよい。
或いは、輻射部材7は、バルク状の板材の表面に対して、0.01以上0.1以下の放射率を有する材料をコーティングすることによって形成されてもよい。輻射部材7をコーティングする方法は、めっき、溶射及び蒸着の少なくとも1つであってもよい。
輻射部材7の少なくともタンク281側の表面を形成する材料は、アルミニウム、タングステン、白金、金、銀、銅、黄銅及びニッケルのうちの少なくとも1つであってもよい。
輻射部材7の少なくともタンク281側の表面は、光沢を有するような表面粗さに加工されてもよい。輻射部材7の少なくともタンク281側の表面は、鏡面となる表面粗さに研磨加工されてもよい。
この輻射部材7の放射率は、0.05以上0.1以下であってもよい。
第1実施形態に係るケース287の他の構成については、比較例に係るケース287と同様であってもよい。
輻射部材7は、タンク281及び捕集部282並びにヒータ283からの熱輻射を、タンク281及び捕集部282に向けて反射し得る。輻射部材7は、タンク281及び捕集部282並びにヒータ283から熱輻射によってケース287側に放出されていた熱を、タンク281及び捕集部282に加え得る。言い換えると、輻射部材7は、タンク281及び捕集部282並びにヒータ283からの熱輻射による放熱を抑制し得る。
すなわち、タンク281及び捕集部282は、ヒータ283から遠い部分が、ヒータ283からの熱伝導だけでなく、輻射部材7が反射した熱輻射によっても加熱され得る。このため、タンク281及び捕集部282において、ヒータ283に近い部分とヒータ283から遠い部分との温度差は、輻射部材7がない場合よりも格段に小さくなり得る。
それにより、第1実施形態のターゲット回収装置28は、ヒータ283の出力を抑制しつつ、タンク281及び捕集部282の温度をターゲット27の融点以上の温度で略均一に保ち得る。
その結果、第1実施形態のターゲット回収装置28は、ヒータ283の出力を抑制しつつ、ターゲット27がタンク281及び捕集部282の壁に固着することを抑制し得る。
[5.1 構成]
図5を用いて、第2実施形態のターゲット収容装置について説明する。具体的には、第2実施形態のターゲット収容装置の一例として、第2実施形態のターゲット回収装置28について説明する。
図5は、第2実施形態のターゲット収容装置の一例であるターゲット回収装置28を説明するための図を示す。
第2実施形態のターゲット回収装置28は、第1実施形態のターゲット回収装置28に対して、輻射部材7の構成が主に異なってもよい。
第2実施形態に係る輻射部材7は、ケース287の内表面に対して、0.01以上0.1以下の放射率を有する材料をコーティングすることによって形成されてもよい。
第2実施形態に係る輻射部材7の他の構成については、第1実施形態に係る輻射部材7と同様であってもよい。
第2実施形態のターゲット回収装置28は、輻射部材7がケース287の内表面上に形成されるため、ケース287の内表面が輻射部材7を兼ね得る。
それにより、第2実施形態のターゲット回収装置28は、輻射部材7を支持する支持部材を省略し得る。
その結果、第2実施形態のターゲット回収装置28は、第1実施形態のターゲット回収装置28よりも、装置構成を簡略化させ得ると共に小型化させ得る。
[6.1 構成]
図6を用いて、第3実施形態のターゲット収容装置について説明する。具体的には、第3実施形態のターゲット収容装置の一例として、第3実施形態のターゲット回収装置28について説明する。
図6は、第3実施形態のターゲット収容装置の一例であるターゲット回収装置28を説明するための図を示す。
第3実施形態のターゲット回収装置28は、第1実施形態のターゲット回収装置28に対して、輻射部材7の構成が主に異なってもよい。更に、ターゲット回収装置28は、第1実施形態のターゲット回収装置28に対して、断熱部材8が追加された構成を備えてもよい。
複数の輻射部材7は、互いに間隔を開けて配置されてもよい。複数の輻射部材7のそれぞれは、ヒータ283が接続されたタンク281及び捕集部282からケース287側に向かって積層するように配置されてもよい。複数の輻射部材7における積層数は、4層又は5層であってもよい。複数の輻射部材7における積層数が多いほど、タンク281及び捕集部282並びにヒータ283からの熱輻射による放熱は抑制され易くなり得る。
第3実施形態に係る輻射部材7の他の構成については、第1実施形態に係る輻射部材7と同様であってもよい。
断熱部材8は、熱伝導率の低い材料を用いて形成されてもよい。断熱部材8は、耐熱性の高い材料を用いて形成されてもよい。断熱部材8は、石英又はマシナブルセラミックを用いて形成されてもよい。
断熱部材8は、繊維状、布状、板状又はフィルム状に形成されてもよい。
複数の輻射部材7のうちの最もケース287側に位置する輻射部材7は、他の輻射部材7に比べて低温となり得る。
そのため、この断熱部材8は、樹脂材料を用いて形成されてもよい。この断熱部材8は、カプトンフィルムであってもよい。
複数の輻射部材7は、輻射部材7の積層数が多いほど、タンク281及び捕集部282並びにヒータ283からの熱輻射による放熱を抑制し得る。
断熱部材8は、複数の輻射部材7同士の熱の移動を抑制し得る。断熱部材8が複数の輻射部材7とケース287との間隔にも配置される場合、当該断熱部材8は、複数の輻射部材7からケース287への熱の移動を抑制し得る。
このため、第3実施形態のターゲット回収装置28は、第1実施形態のターゲット回収装置28よりも、タンク281及び捕集部282並びにヒータ283からの熱輻射による放熱を抑制し得る。
それにより、第3実施形態のターゲット回収装置28は、第1実施形態のターゲット回収装置28よりも、ヒータ283の出力を抑制しつつ、タンク281及び捕集部282の温度をターゲット27の融点以上の温度で略均一に保ち得る。
その結果、第3実施形態のターゲット回収装置28は、第1実施形態のターゲット回収装置28よりも、ヒータ283の出力を抑制しつつ、ターゲット27がタンク281及び捕集部282の壁に固着することを抑制し得る。
[7.1 構成]
図7を用いて、第4実施形態のターゲット収容装置について説明する。具体的には、第4実施形態のターゲット収容装置の一例として、第4実施形態のターゲット回収装置28について説明する。
図7は、第4実施形態のターゲット収容装置の一例であるターゲット回収装置28を説明するための図を示す。
第4実施形態のターゲット回収装置28は、第1実施形態のターゲット回収装置28に対して、レシーバ280が追加された構成を備えてもよい。
レシーバ280は、繊維状部材を用いて構成された弾性体であってもよい。
レシーバ280は、ターゲット27と反応し難い材料を用いて形成されてもよい。
レシーバ280は、溶融したターゲット27に濡れ難い材料を用いて形成されてもよい。レシーバ280は、溶融したターゲット27との接触角が90°以上180°以下となる材料を用いて形成されてもよい。
レシーバ280は、ターゲット27の融点以上の温度に対して耐熱性を有する材料を用いて形成されてもよい。
ターゲット27がスズである場合、レシーバ280は、炭素繊維及びタングステン細線の少なくとも1つを束ねることによって構成されてもよい。
レシーバ280は、ターゲット軌道Fに対して傾斜するように配置されてもよい。レシーバ280は、ターゲット軌道Fに対する傾斜角度が90°以外の角度となるように配置されてもよい。
レシーバ280は、タンク281及び捕集部282の少なくとも1つの内部に配置されてもよい。
レシーバ280の一方の端部は、支持部材280aを介して傾斜部281aに支持された固定端であってもよい。レシーバ280の他方の端部は、自由端であってもよい。
レシーバ280は、タンク281又は捕集部282を介して、ヒータ283によって間接的に加熱されてもよい。或いは、レシーバ280は、不図示のヒータによって直接加熱されてもよい。レシーバ280は、ターゲット27の融点以上の温度に加熱されてもよい。
レシーバ280は、繊維状部材の弾性体であるため、ターゲット27が衝突すると、たわむように変形し、衝突したターゲット27の運動エネルギを低減させ得る。
運動エネルギが低減されたターゲット27は、レシーバ280を貫通し、傾斜部281aを伝って流れ落ち、タンク281内に収容され得る。
すなわち、ターゲット27は、レシーバ280によって運動エネルギが低減されるため、傾斜部281aに衝突する際に飛沫となって飛散することを抑制されて、タンク281内に収容され得る。
仮に、レシーバ280を貫通したターゲット27が傾斜部281aに衝突する際に飛沫となって飛散しても、飛散したターゲット27は、繊維状部材の弾性体であるレシーバ280に付着して捕集され得る。
捕集されたターゲット27は、レシーバ280がターゲット27の融点以上に加熱されていることから、レシーバ280に固着せずにレシーバ280を伝って流れ落ち、タンク281内に収容され得る。
それにより、第4実施形態のターゲット回収装置28は、第1実施形態のターゲット回収装置28よりも、ターゲット27がタンク281及び捕集部282の壁に固着することを抑制し得る。
加えて、第4実施形態のターゲット回収装置28は、輻射部材7を備えているため、ヒータ283の出力を高くしなくとも、レシーバ280の温度をターゲット27の融点以上の温度で略均一に保ち得る。
その結果、第4実施形態のターゲット回収装置28は、ヒータ283の出力を抑制しつつ、ターゲット27がタンク281及び捕集部282の壁に固着することを抑制し得る。
図8を用いて、第5実施形態のターゲット収容装置について説明する。具体的には、第5実施形態のターゲット収容装置の一例として、第5実施形態のターゲット回収装置28について説明する。
EUV光生成装置1は、チャンバ2から露光装置6に向かってEUV光252を導出する方向を、水平方向に対して傾斜させてもよい。このため、略円筒形状のチャンバ2は、その中心軸方向が水平方向に対して傾斜するように設けられてもよい。
チャンバ2の側面部に設けられたターゲット供給装置26は、ターゲット軌道Fが重力方向に対して傾斜するようターゲット27を出力してもよい。
第5実施形態に係るターゲット回収装置28は、重力方向に対して傾斜したターゲット軌道Fの延長線上に配置されてもよい。
第5実施形態のターゲット回収装置28の構成において、第4実施形態のターゲット回収装置28と同様の構成については説明を省略する。
図8は、第5実施形態のターゲット収容装置の一例であるターゲット回収装置28を説明するための図を示す。図8では、図3に示された、温度センサ285及びEUV光生成制御部5の図示が省略されている。
第5実施形態のターゲット回収装置28は、チャンバ2の外部に配置されてもよい。
第5実施形態のターゲット回収装置28は、タンク281が、捕集部282に対して着脱自在に形成されてもよい。
第5実施形態のターゲット回収装置28は、ヒータ283が、タンク281及び捕集部282のそれぞれを独立して加熱してもよい。
第5実施形態のターゲット回収装置28は、タンク281と、捕集部282と、ヒータ283と、ヒータ電源284と、温度センサ285と、温度制御部286と、ケース287と、輻射部材7と、レシーバ280とを備えてもよい。
捕集部282の中心軸は、重力方向に対して傾斜したターゲット軌道Fと略一致してもよい。
捕集部282のプラズマ生成領域25側の端部は、チャンバ2の壁2aの外表面に接続されてもよい。捕集部282のプラズマ生成領域25側の端部に形成された開口部282aは、ターゲット軌道Fと交差する壁2aに形成された貫通孔2bに連通してもよい。
捕集部282のタンク281側の端部は、タンク281と分離していてもよい。
開口部282aは、レシーバ280に衝突したターゲット27をタンク281に向けて通過させる出口であってもよい。開口部282bは、捕集部282内に配置されたレシーバ280を基準とする重力方向の延長線上に形成されてもよい。開口部282bは、レシーバ280の直下に形成されてもよい。開口部282bは、タンク281に向かって開口するように形成されてもよい。開口部282bは、重力方向に向かって開口するように形成されてもよい。開口部282bは、タンク281の捕集部282側の端部に形成された開口部281bに連通してもよい。
第5実施形態に係る捕集部282の他の構成については、第4実施形態に係る捕集部282と同様であってもよい。
タンク281は、傾斜部281aを含まなくてもよい。
タンク281の捕集部282側の端部は、捕集部282と分離していてもよい。
タンク281の捕集部282側の端部には、開口部281bが形成されてもよい。
開口部281bは、捕集部282を通過したターゲット27をタンク281内に進入させる入口であってもよい。開口部281bは、捕集部282内に配置されたレシーバ280を基準とする重力方向の延長線上に形成されてもよい。開口部281bは、捕集部282に向かって開口するように形成されてもよい。開口部281bは、重力方向の反対方向に向かって開口するように形成されてもよい。開口部281bは、捕集部282のタンク281側の端部に形成された開口部282bに連通してもよい。
連通路281cは、捕集部282の連通路282cと嵌合する形状に形成されてもよい。連通路281cの内径は、図8に示されるように、捕集部282の連通路282cの外径よりも大きくてもよい。或いは、図示していないが、連通路281cの外径は、捕集部282の連通路282cの内径よりも小さくてもよい。
第5実施形態に係るタンク281の他の構成については、第4実施形態に係るタンク281と同様であってもよい。
第1ヒータ2831と第2ヒータ2832とは、互いに独立していてもよい。
第1ヒータ2831は、タンク281に接続されてもよい。第1ヒータ2831は、タンク281の外表面を覆うように配置されてもよい。
第1ヒータ2831は、第1ヒータ電源2841に接続されてもよい。
第2ヒータ2832は、捕集部282に接続されてもよい。第2ヒータ2832は、捕集部282の外表面を覆うように配置されてもよい。
第2ヒータ2832は、第2ヒータ電源2842に接続されてもよい。
第5実施形態に係る第1ヒータ2831及び第2ヒータ2832の他の構成については、第4実施形態に係るヒータ283と同様であってもよい。
第1ヒータ電源2841と第2ヒータ電源2842とは、互いに独立していてもよい。
第1ヒータ電源2841の動作は、温度制御部286によって制御されてもよい。
第2ヒータ電源2842の動作は、温度制御部286によって制御されてもよい。
第5実施形態に係る第1ヒータ電源2841及び第2ヒータ電源2842の他の構成については、第4実施形態に係るヒータ電源284と同様であってもよい。
温度制御部286は、第1ヒータ電源2841及び第2ヒータ電源2842のそれぞれに接続されてもよい。
第5実施形態に係る温度制御部286の他の構成については、第4実施形態に係る温度制御部286と同様であってもよい。
第1ケース2871及び第2ケース2872は、チャンバ2外に配置されてもよい。
第1ケース2871と第2ケース2872とは、互いに分離可能に構成されてもよい。
第2ケース2872のプラズマ生成領域25側の端部は、チャンバ2の壁2aの外表面に接続されてもよい。
第2ケース2872のタンク281側の端部には、捕集部282の連通路282cの周囲にフランジ2872aが形成されてもよい。
第1ケース2871の捕集部282側の端部は、タンク281の連通路281cの周囲にフランジ2871aが形成されてもよい。フランジ2871aは、第2ケース2872のフランジ2872aと、不図示のボルトを介して着脱自在に連結されてもよい。フランジ2871a及びフランジ2872aは、気密的に接続可能に構成されてもよい。
第1ケース2871の捕集部282とは反対側の端部は、タンク281を支持してもよい。
第5実施形態に係る第1ケース2871及び第2ケース2872の他の構成については、第4実施形態に係るケース287と同様であってもよい。
第1輻射部材71は、タンク281及び第1ヒータ2831からの熱輻射を反射する部材であってもよい。
第1輻射部材71は、第1ヒータ2831が接続されたタンク281の少なくとも一部を覆うように配置されてもよい。第1輻射部材71は、第1ヒータ2831が接続されたタンク281に対して、略平行に対向して配置されてもよい。第1輻射部材71は、タンク281及び第1ヒータ2831のそれぞれと、間隔をあけて配置されてもよい。
第1輻射部材71は、第1ヒータ2831が接続されたタンク281と、第1ケース2871との間に配置されてもよい。第1輻射部材71は、熱伝導率の低い材料で形成された不図示の支持部材を介して第1ケース2871に保持されてもよい。
第1輻射部材71は、それ自体が、0.01以上0.1以下の放射率を有する材料で形成されてもよい。
或いは、第1輻射部材71は、バルク状の板材の表面に対して、0.01以上0.1以下の放射率を有する材料をコーティングすることによって形成されてもよい。
第1輻射部材71の少なくともタンク281側の表面を形成する材料は、アルミニウム、タングステン、白金、金、銀、銅、黄銅及びニッケルのうちの少なくとも1つであってもよい。
第1輻射部材71の少なくともタンク281側の表面は、光沢を有するような表面粗さに加工されてもよい。第1輻射部材71の少なくともタンク281側の表面は、鏡面となる表面粗さに研磨加工されてもよい。
第1輻射部材71の他の構成については、第4実施形態に係る輻射部材7と同様であってもよい。
第2輻射部材72は、第2ヒータ2832が接続された捕集部282の少なくとも一部を覆うように配置されてもよい。第2輻射部材72は、第2ヒータ2832が接続された捕集部282に対して、略平行に対向して配置されてもよい。第2輻射部材72は、捕集部282及び第2ヒータ2832のそれぞれと、間隔をあけて配置されてもよい。
第2輻射部材72は、第2ヒータ2832が接続された捕集部282と、第2ケース2872との間に配置されてもよい。第2輻射部材72は、熱伝導率の低い材料で形成された不図示の支持部材を介して第2ケース2872に保持されてもよい。
第2輻射部材72は、それ自体が、0.01以上0.1以下の放射率を有する材料で形成されてもよい。
或いは、第2輻射部材72は、バルク状の板材の表面に対して、0.01以上0.1以下の放射率を有する材料をコーティングすることによって形成されてもよい。
第2輻射部材72の少なくとも捕集部282側の表面を形成する材料は、アルミニウム、タングステン、白金、金、銀、銅、黄銅及びニッケルのうちの少なくとも1つであってもよい。
第2輻射部材72の少なくとも捕集部282側の表面は、光沢を有するような表面粗さに加工されてもよい。第2輻射部材72の少なくとも捕集部282側の表面は、鏡面となる表面粗さに研磨加工されてもよい。
第2輻射部材72の他の構成については、第4実施形態に係る輻射部材7と同様であってもよい。
レシーバ280の端部を支持する支持部材280aは、捕集部282に固定されてもよい。
レシーバ280は、捕集部282を介して、第2ヒータ2832によって間接的に加熱されてもよい。或いは、レシーバ280は、不図示のヒータによって直接加熱されてもよい。レシーバ280は、ターゲット27の融点以上の温度に加熱されてもよい。
第5実施形態に係るレシーバ280の他の構成については、第4実施形態に係るレシーバ280と同様であってもよい。
第5実施形態のターゲット回収装置28の動作について説明する。
第5実施形態のターゲット回収装置28の動作において、比較例及び第4実施形態のターゲット回収装置28の動作と同様の動作については、説明を省略する。
温度制御部286は、捕集部282に接続された温度センサ285からの温度検出信号が示す検出値が目標温度に近付くよう、第2ヒータ電源2842から第2ヒータ2832に供給される電力を制御してもよい。
ターゲット27がスズである場合、タンク281及び捕集部282のそれぞれの目標温度は、例えば240℃〜400℃の範囲内にある温度であってもよい。タンク281及び捕集部282のそれぞれの目標温度は、例えば370℃であってもよい。
この場合、タンク281及び捕集部282の温度は、ターゲット27の融点以上の温度である略370℃に保たれ得る。レシーバ280の温度は、ターゲット27の融点以上の温度である略290℃に保たれ得る。
タンク281及び捕集部282内のターゲット27並びにレシーバ280に衝突したターゲット27は、溶融状態であり得る。
なお、タンク281及び捕集部282のそれぞれの目標温度は、異なる温度であってもよい。
運動エネルギが低減されたターゲット27は、重力方向に向かって流れ落ち、開口部282b及び連通路282cに進入し得る。この際、ターゲット27は、レシーバ280を伝って流れ落ちるか、或いは、レシーバ280を貫通後に捕集部282の壁を伝って流れ落ち、開口部282b及び連通路282cに進入し得る。
開口部282b及び連通路282cに進入したターゲット27は、開口部282b、連通路282c、連通路281c及び開口部281bを順次通過し、タンク281内に収容され得る。
第5実施形態のターゲット回収装置28は、タンク281及び捕集部282を互いに分離可能に形成し、タンク281を捕集部282に対して着脱自在に形成してもよい。
それにより、第5実施形態のターゲット回収装置28は、タンク281のみを交換し得るため、メンテナンス時のダウンタイムを低減し、ターゲット回収装置28の稼働時間を増加させ得る。
加えて、第5実施形態のターゲット回収装置28は、タンク281及び捕集部282のそれぞれの形状を、タンク281及び捕集部282のそれぞれの機能に適合した形状に形成し得る。すなわち、第5実施形態のターゲット回収装置28は、捕集部282の形状をレシーバ280の配置に必要な所望の容積となる形状に形成し得る。第5実施形態のターゲット回収装置28は、タンク281の形状をターゲット27の収容に必要な所望の容積となる形状に形成し得る。このことは、ターゲット軌道Fが重力方向に対して傾斜する場合に特に有効であり得る。
それにより、第5実施形態のターゲット回収装置28は、タンク281及び捕集部282のそれぞれを、タンク281及び捕集部282のそれぞれの機能に適合した温度に加熱し得る。
すなわち、第5実施形態のターゲット回収装置28は、タンク281の温度がターゲット27の溶融に必要な所望の温度となるよう、タンク281を加熱する第1ヒータ2831の出力を調整し得る。第5実施形態のターゲット回収装置28は、捕集部282の温度だけでなく捕集部282内のレシーバ280の温度がターゲット27の融点以上の温度になるよう、捕集部282を加熱する第2ヒータ2832の出力を調整し得る。
しかも、第5実施形態のターゲット回収装置28は、第1輻射部材71及び第2輻射部材72を備えるため、第1ヒータ2831及び第2ヒータ2832の出力を抑制しつつ、タンク281及び捕集部282をターゲット27の融点以上の温度で略均一に保ち得る。
図9を用いて、第6実施形態のターゲット収納装置について説明する。具体的には、第6実施形態のターゲット収容装置の一例として、第6実施形態のターゲット供給装置26について説明する。
第6実施形態のターゲット供給装置26は、比較例のターゲット供給装置26に対して、輻射部材7が追加された構成を備えてもよい。
第6実施形態のターゲット供給装置26の構成において、比較例のターゲット供給装置26と同様の構成については説明を省略する。
図9は、第6実施形態のターゲット収容装置の一例であるターゲット供給装置26を説明するための図を示す。
第6実施形態のターゲット供給装置26は、いわゆるコンティニュアスジェット方式でターゲット27を出力する装置であってもよい。
ターゲット供給装置26は、チャンバ2の壁2aを貫通するように取り付けられてもよい。
第6実施形態のターゲット供給装置26は、タンク261と、ノズル262と、ヒータ263と、フィードスルー264a及び264bと、圧力調節器265と、ピエゾ素子266と、カバー267と、輻射部材7とを備えてもよい。
タンク261は、ターゲット27と反応し難い材料で形成されてもよい。
タンク261は、溶融したターゲット27に濡れ難い材料で形成されてもよい。タンク261は、溶融したターゲット27との接触角が90°以上180°以下となる材料を用いて形成されてもよい。
タンク261は、ターゲット27の融点以上の温度に対して耐熱性を有する材料を用いて形成されてもよい。
ターゲット27がスズである場合、タンク261は、例えばモリブデン又は石英を用いて形成されてもよい。
タンク261は、中空の筒形状に形成されてもよい。
タンク261は、ターゲット軌道Fに沿って延びるように形成されてもよい。タンク261は、その中心軸がターゲット軌道Fと略一致するように配置されてもよい。
タンク261は、チャンバ2の壁2aを貫通するように配置されてもよい。タンク261は、チャンバ2の壁2aに気密的に接続されてもよい。
ノズル262は、ターゲット27と反応し難い材料で形成されてもよい。
ノズル262は、溶融したターゲット27に濡れ難い材料で形成されてもよい。ノズル262は、溶融したターゲット27との接触角が90°以上180°以下となる材料を用いて形成されてもよい。
ノズル262は、ターゲット27の融点以上の温度に対して耐熱性を有する材料を用いて形成されてもよい。
ターゲット27がスズである場合、ノズル262は、例えばモリブデン又は石英を用いて形成されてもよい。
ノズル262は、タンク261に接続されてもよい。ノズル262は、タンク261のプラズマ生成領域25側の端部であるネック部261aの先端に接続されてもよい。
ノズル262は、板状に形成されてもよい。
ノズル262の中央には、ノズル孔262aが形成されてもよい。ノズル孔262aは、ノズル262を貫通するように形成されてもよい。ノズル孔262aは、その中心軸がターゲット軌道Fと略一致するように形成されてもよい。
ノズル262のノズル孔262aの周縁部分は、プラズマ生成領域25に向かって突出するように形成されてもよい。ノズル孔262a及びその周縁部分は、溶融したターゲット27をチャンバ2内へジェット状に噴出するような形状に形成されてもよい。
ヒータ263は、タンク261に接続されてもよい。ヒータ263は、タンク261の外表面を覆うように配置されてもよい。
ヒータ263は、フィードスルー264aを介して不図示のヒータ電源に接続されてもよい。ヒータ263は、ヒータ電源からの電力供給によってタンク261を加熱してもよい。ヒータ電源の動作は、EUV光生成制御部5によって制御されてもよい。
圧力調節器265は、タンク261内に連結されてもよい。
圧力調節器265は、不図示のガスボンベに連結されてもよい。ガスボンベには、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが充填されてもよい。圧力調節器265は、ガスボンベに充填された不活性ガスを、タンク261内に給気してもよい。
圧力調節器265は、不図示の排気口を備えてもよい。圧力調節器265は、排気口からタンク261内のガスを排気してもよい。
圧力調節器265は、タンク261内にガスを給気し又はタンク261内のガスを排気することによって、タンク261内のターゲット27に加わる圧力を調節してもよい。圧力調節器265の動作は、EUV光生成制御部5によって制御されてもよい。
ピエゾ素子266は、略円筒形状のネック部261aの外側側面部に固定されてもよい。
ピエゾ素子266は、フィードスルー264bを介して不図示のピエゾ電源に接続されてもよい。ピエゾ素子266は、ピエゾ電源からの電力供給によって振動してもよい。ピエゾ電源の動作は、EUV光生成制御部5によって制御されてもよい。
カバー267は、チャンバ2の壁2aに接続されてもよい。
カバー267は、ターゲット軌道F上であって、ノズル262とプラズマ生成領域25との間に配置されてもよい。
カバー267の中央には、貫通孔267aが形成されてもよい。貫通孔267aは、ノズル262から出力されたターゲット27を通過させる孔であってもよい。貫通孔267aは、カバー267のターゲット軌道Fと交差する位置に形成されてもよい。
輻射部材7は、板状に形成されてもよい。
輻射部材7は、ヒータ263及びピエゾ素子266が接続されたタンク261の少なくとも一部を覆うように配置されてもよい。輻射部材7は、ノズル262の少なくとも一部を覆うように配置されてもよい。輻射部材7は、タンク261及びノズル262並びにヒータ263及びピエゾ素子266のそれぞれと、間隔をあけて配置されてもよい。
輻射部材7は、ヒータ263及びピエゾ素子266が接続されたタンク261及びノズル262と、壁2a及びカバー267との間に配置されてもよい。輻射部材7は、熱伝導率の低い材料で形成された不図示の支持部材を介して壁2aに保持されてもよい。
輻射部材7の中央には、貫通孔7aが形成されてもよい。貫通孔7aは、ノズル262から出力され貫通孔267aを通過したターゲット27を通過させる孔であってもよい。貫通孔7aは、輻射部材7のターゲット軌道Fと交差する位置に形成されてもよい。
輻射部材7は、それ自体が、0.01以上0.1以下の放射率を有する材料で形成されてもよい。
或いは、輻射部材7は、バルク状の板材の表面に対して、0.01以上0.1以下の放射率を有する材料をコーティングすることによって形成されてもよい。輻射部材7をコーティングする方法は、めっき、溶射及び蒸着の少なくとも1つであってもよい。
輻射部材7の少なくともタンク261側の表面を形成する材料は、アルミニウム、タングステン、白金、金、銀、銅、黄銅及びニッケルのうちの少なくとも1つであってもよい。
輻射部材7の少なくともタンク261側の表面は、光沢を有するような表面粗さに加工されてもよい。輻射部材7の少なくともタンク261側の表面は、鏡面となる表面粗さに研磨加工されてもよい。
この空間を形成するチャンバ2の壁2aの一部及びカバー267は、ヒータ263が接続されたタンク261及びノズル262並びに輻射部材7を収容するケースを構成し得る。
すなわち、図9の例では、ヒータ263が接続されたタンク261及びノズル262並びに輻射部材7が収容されるケースは、チャンバ2の壁2aの一部及びカバー267によって構成されてもよい。
しかしながら、第6実施形態のターゲット供給装置26では、ヒータ263が接続されたタンク261及びノズル262並びに輻射部材7を収容するケースが、チャンバ2の壁2aとは別の部材として設けられてもよい。
この場合、ヒータ263が接続されたタンク261及びノズル262並びに輻射部材7を収容するケースは、図9に示された上述のチャンバ2の壁2aの一部及びカバー267と同様の形状に形成されてもよい。そして、このケースは、チャンバ2の壁2aに接続されると共に、ターゲット軌道Fと交差する位置にターゲット27を通過させる貫通孔が形成されてもよい。そして、このケースは、プラズマ生成領域25から放射されたEUV光251から、タンク261及びノズル262を遮蔽してもよい。
第6実施形態のターゲット供給装置26の動作について説明する。
EUV光生成制御部5は、タンク261及びノズル262の温度が目標温度に近付くよう、ヒータ263に電力を供給するヒータ電源の動作を制御してもよい。
タンク261及びノズル262の目標温度は、ターゲット27の融点以上の温度であって、タンク261及びノズル262内のターゲット27が溶融状態となる温度であってもよい。
すなわち、タンク261及びノズル262は、ヒータ263から遠い部分が、ヒータ263からの熱伝導だけでなく、輻射部材7が反射した熱輻射によっても加熱され得る。このため、タンク261及びノズル262において、ヒータ263に近い部分とヒータ263から遠い部分との温度差は、輻射部材7がない場合よりも格段に小さくなり得る。
ターゲット27に加わる圧力の目標圧力は、タンク261内のターゲット27がノズル孔262aから所定速度でジェット状に噴出するような圧力であってもよい。
所定波形は、ドロップレットが所定周波数で生成されるような波形であってもよい。
ドロップレットとして出力されたターゲット27は、ターゲット軌道F上を進行し、輻射部材7の貫通孔7a及びカバー267の貫通孔267aを通過し得る。貫通孔267aを通過したターゲット27は、ターゲット軌道F上を進行し、プラズマ生成領域25に到達し得る。
第6実施形態に係るターゲット供給装置26は、輻射部材7を備えることにより、ヒータ263の出力を抑制しつつ、タンク261及びノズル262の温度をターゲット27の融点以上の温度で略均一に保ち得る。
その結果、第6実施形態のターゲット供給装置26は、ヒータ263の出力を抑制しつつ、ターゲット27がタンク261及びノズル262の壁に固着することを抑制し得る。
[10.1 各制御部のハードウェア環境]
当業者は、汎用コンピュータまたはプログラマブルコントローラにプログラムモジュールまたはソフトウェアアプリケーションを組み合わせて、ここに述べられる主題が実行されることを理解するだろう。一般的に、プログラムモジュールは、本開示に記載されるプロセスを実行できるルーチン、プログラム、コンポーネント、データストラクチャー等を含む。
上記で説明した実施形態は、変形例を含めて各実施形態同士で互いの技術を適用し得ることは、当業者には明らかであろう。
第2実施形態係る輻射部材7は、第5実施形態に係る第1輻射部材71及び第2輻射部材72のそれぞれに適用されてもよい。この場合、第5実施形態に係る第1輻射部材71及び第2輻射部材72は、第1ケース2871及び第2ケース2872のそれぞれの内表面上に形成されてもよい。
第2実施形態に係る輻射部材7は、第6実施形態に係る輻射部材7に適用されてもよい。この場合、第6実施形態に係る輻射部材7は、ヒータ263が接続されたタンク261及びノズル262並びに輻射部材7を収容するチャンバ2の壁2aの一部及びカバー267のそれぞれの内表面上に形成されてもよい。
第3実施形態係る輻射部材7は、第5実施形態に係る第1輻射部材71及び第2輻射部材72のそれぞれに適用されてもよい。この場合、第5実施形態に係る複数の第1輻射部材71同士の間隔には、断熱部材8が配置されてもよい。第5実施形態に係る複数の第2輻射部材72同士の間隔には、断熱部材8が配置されてもよい。
第3実施形態係る輻射部材7は、第6実施形態に係る輻射部材7に適用されてもよい。この場合、第6実施形態に係る複数の輻射部材7同士の間隔には、断熱部材8が配置されてもよい。
11 …EUV光生成システム
2 …チャンバ
2a …壁
2b …貫通孔
21 …ウインドウ
22 …レーザ光集光ミラー
23 …EUV集光ミラー
24 …貫通孔
25 …プラズマ生成領域
251 …EUV光
252 …EUV光
26 …ターゲット供給装置
261 …タンク
261a …ネック部
262 …ノズル
262a …ノズル孔
263 …ヒータ
264a …フィードスルー
264b …フィードスルー
265 …圧力調節器
266 …ピエゾ素子
267 …カバー
267a …貫通孔
27 …ターゲット
28 …ターゲット回収装置
280 …レシーバ
280a …支持部材
281 …タンク
281a …傾斜部
281b …開口部
281c …連通路
282 …捕集部
282a …開口部
282b …開口部
282c …連通路
283 …ヒータ
2831 …第1ヒータ
2832 …第2ヒータ
284 …ヒータ電源
2841 …第1ヒータ電源
2842 …第2ヒータ電源
285 …温度センサ
286 …温度制御部
287 …ケース
287a …開口部
2871 …第1ケース
2871a …フランジ
2872 …第2ケース
2872a …フランジ
29 …接続部
291 …壁
292 …中間集光点
293 …アパーチャ
3 …レーザ装置
31 …パルスレーザ光
32 …パルスレーザ光
33 …パルスレーザ光
34 …レーザ光進行方向制御部
4 …ターゲットセンサ
5 …EUV光生成制御部
6 …露光装置
7 …輻射部材
7a …貫通孔
71 …第1輻射部材
72 …第2輻射部材
8 …断熱部材
100 …ハードウェア環境
1000 …処理ユニット
1001 …CPU
1002 …メモリ
1003 …タイマ
1004 …GPU
1005 …ストレージユニット
1010 …ユーザインターフェイス
1020 …パラレルI/Oコントローラ
1030 …シリアルI/Oコントローラ
1040 …A/D、D/Aコンバータ
Claims (9)
- ターゲット受け部と、
レーザ光が照射されると極端紫外光を生成するターゲットを収容するタンクと、
前記タンクに接続され前記タンクを加熱するヒータと、
前記ヒータが接続された前記タンクの少なくとも一部を覆うように配置された輻射部材とを備え、
前記ターゲット受け部は、前記レーザ光が照射されなかったターゲットを衝突させて受ける傾斜部を備え、
前記タンクは、前記傾斜部によって受けた前記ターゲットを収容し、
前記輻射部材は、前記タンク及び前記ヒータからの熱輻射を前記タンク及び前記傾斜部に向けて反射する
ターゲット収容装置。 - ターゲット受け部と、
レーザ光が照射されると極端紫外光を生成するターゲットを収容するタンクと、
前記タンクに接続され前記タンクを加熱するヒータと、
前記ヒータが接続された前記タンクの少なくとも一部を覆うように配置された輻射部材とを備え、
前記ターゲット受け部は、前記ターゲットの軌道に交差する位置に配置され、又は前記ターゲットの軌道に対して傾斜して配置され、前記レーザ光が照射されなかった前記ターゲットを衝突させて受けるレシーバを備え、
前記タンクは、前記レシーバによって受けた前記ターゲットを収容し、
前記輻射部材は、前記タンク及び前記ヒータからの熱輻射を前記タンク及び前記レシーバに向けて反射する
ターゲット収容装置。 - 前記傾斜部は、前記ターゲットの軌道に対して傾斜して配置される
請求項1に記載のターゲット収容装置。 - 前記傾斜部は、溶融した前記ターゲットとの接触角が90°以上180°以下となる材料を用いて形成されている
請求項1に記載のターゲット収容装置。 - レーザ光が照射されると極端紫外光を生成するターゲットであって、スズ、テルビウム及びガドリニウムの少なくとも1つの金属材料を含み、溶融されたターゲットを収容するタンクと、
前記タンクに接続され前記タンクを加熱するヒータと、
前記ヒータが接続された前記タンクの少なくとも一部を覆うように配置され、前記タンク及び前記ヒータからの熱輻射を前記タンクに向けて反射する輻射部材であって、互いに間隔を開けて配置された複数の輻射部材と、
前記複数の輻射部材の前記間隔に配置された断熱部材と、
を備えるターゲット収容装置。 - レーザ光が照射されると極端紫外光を生成するターゲットであって、スズ、テルビウム及びガドリニウムの少なくとも1つの金属材料を含み、溶融されたターゲットを収容するタンクと、
ヒータと、
輻射部材とを備え、
前記極端紫外光が生成されるチャンバに接続され、前記チャンバ内に出力され前記レーザ光が照射されなかった前記ターゲットを収容可能なターゲット収容装置であって、
前記タンクに接続され、前記レーザ光が照射されなかった前記ターゲットを捕集し前記タンクに導く捕集部を更に備え、
前記タンクは、前記捕集部によって導かれた前記ターゲットを収容し、
前記ヒータは、前記タンク及び前記捕集部のそれぞれに接続され、前記タンク及び前記捕集部のそれぞれを加熱し、
前記輻射部材は、前記タンク及び前記捕集部のそれぞれの少なくとも一部を覆うように配置され、前記タンク及び前記捕集部並びに前記ヒータからの熱輻射を、前記タンク及び前記捕集部に向けて反射する
ターゲット収容装置。 - 前記チャンバ内に出力された前記ターゲットの軌道に対して傾斜して配置され、前記レーザ光が照射されなかった前記ターゲットを衝突させて受けるレシーバを更に備える
請求項6に記載のターゲット収容装置。 - 前記ターゲットの前記軌道は、重力方向に対して傾斜しており、
前記捕集部は、前記ターゲットの前記軌道に沿って延びる筒状に形成され、
前記レシーバは、前記捕集部内に配置され、
前記タンクは、前記捕集部に対して着脱自在に形成され、
前記ヒータは、前記タンク及び前記捕集部のそれぞれを独立して加熱する
請求項7に記載のターゲット収容装置。 - 前記レシーバは、溶融した前記ターゲットとの接触角が90°以上180°以下となる材料を用いて形成された繊維状部材で構成されている
請求項8に記載のターゲット収容装置。
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