JP5662214B2 - ターゲット供給装置 - Google Patents
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- 239000013077 target material Substances 0.000 claims description 64
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 11
- 239000013076 target substance Substances 0.000 claims description 9
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 6
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 18
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
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Description
1.概要
2.用語の説明
3.EUV光生成装置の全体説明
3.1 構成
3.2 動作
4.ターゲット供給装置の実施形態
4.1 第1の実施形態
4.1.1 構成
4.1.2 動作
4.2 第2の実施形態
4.3 第3の実施形態
本開示の各実施形態においては、EUV光生成装置においてターゲット物質として使用される金属を溶融させ、融点以上の温度を維持するために、リザーバの内部のターゲット物質を直接加熱する。リザーバを加熱することによってターゲット物質を加熱する場合に比べて、ターゲット物質を直接加熱することによって、ターゲット物質を効率よく加熱して溶融させ、融点以上の温度を維持することができる。
本願において使用する用語を説明する。
「チャンバ」は、EUV光の生成が行われる空間を大気から隔絶するためのチャンバである。
「ドロップレット発生器」は、EUV光を生成するために用いられるスズ等のターゲット物質を液滴の状態でチャンバ内に供給する装置である。
「レーザシステム」は、ターゲット物質を励起してプラズマ化するためのレーザ光を発生するシステムである。レーザ光のエネルギーによってターゲット物質が励起されてプラズマ化される。
「EUV集光ミラー」は、プラズマ化されたターゲット物質から放射されるEUV光を集光反射して、チャンバ外に出力するミラーである。
3.1 構成
図1に、例示的なLPP方式のEUV光生成装置(極端紫外光生成装置)1の概略構成を示す。EUV光生成装置1は、少なくとも1つのレーザシステム3と共に用いてもよい(EUV光生成装置1及びレーザシステム3を含むシステムを、以下、EUV光生成システム(極端紫外光生成システム)11と称する)。図1に示し、かつ以下に詳細に説明するように、EUV光生成装置1は、チャンバ2を含んでもよい。チャンバ2は、密閉可能であってもよい。EUV光生成装置1は、ターゲット供給装置(例えばドロップレット発生器26)を更に含んでもよい。ターゲット供給装置は、例えばチャンバ2の壁に取り付けられていてもよい。ターゲット供給装置が供給するターゲットの材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノン、又はそれらのうちのいずれか2つ以上の組合せを含んでもよいが、これらに限定されない。
図1を参照すると、レーザシステム3から出射されたパルスレーザ光31は、レーザ光進行方向制御装置34を経てパルスレーザ光32としてウィンドウ21を透過してチャンバ2内に入射してもよい。パルスレーザ光32は、少なくとも1つのレーザビーム経路に沿ってチャンバ2内に進み、レーザ光集光ミラー22で反射して、パルスレーザ光33として少なくとも1つのドロップレットターゲット27に照射されてもよい。
4.1 第1の実施形態
4.1.1 構成
図2は、第1の実施形態に係るターゲット供給装置が適用されたEUV光生成装置を示す一部断面図である。図2に示すように、チャンバ2の内部には、レーザ光集光光学系22aと、EUV集光ミラー23と、ターゲット回収部28と、EUV集光ミラーホルダ41と、プレート42及び43と、レーザダンパ44と、レーザダンパ支持部材45とが設けられてもよい。
レーザダンパ44は、レーザダンパ支持部材45を介してチャンバ2に固定され、パルスレーザ光の光路上に設置されてもよい。ターゲット回収部28は、ドロップレットターゲット27の軌道上において、プラズマ生成領域25よりもドロップレット進行方向下流側(図中下側)の位置に設置されてもよい。
図3は、第1の実施形態に係るターゲット供給装置を示す一部断面図である。図3に示すように、ドロップレット発生器26は、リザーバ61と、ノズル62と、電極63と、投げ込みヒータ64aと、電気絶縁部材65と、引出電極66とを含んでもよい。リザーバ61及びノズル62は、一体的に形成されてもよいし、別個に形成されてもよい。このドロップレット発生器26は、オンデマンドでドロップレットターゲット27を生成する装置であってもよい。なお、ターゲット供給装置は、ドロップレット発生器26に限られず、液体状のターゲット物質を連続噴流(continuous jet)の状態で出力するものでもよい。
また、ドロップレット発生器26は、リザーバ61内のターゲット物質の温度を検出するための温度センサ72aを含んでもよい。投げ込みヒータ64a及び温度センサ72aは、ターゲット物質との反応性が低い物質、例えばシリコンカーバイドによってコーティングされていてもよい。
リザーバ61は、蓋86を介してカバー81に取り付けられている。蓋86の材料としては、例えば、ムライト等の電気絶縁材料を用いることができる。
また、液体状のターゲット物質にパルス信号を印加する電極63の配線は、蓋86に設けられた中継端子90bを介して、パルス電圧生成器55に接続されてもよい。投げ込みヒータ64aの配線は、蓋86に設けられた中継端子90cを介して、ヒータ電源58aに接続されてもよい。温度センサ72aの配線は、蓋86に設けられた中継端子90dを介して、温度制御器59aに接続されてもよい。
また、フレキシブルヒータ64b及び温度センサ72bの配線は、蓋86に設けられた中継端子90eを介して、ヒータ電源58b及び温度制御器59bにそれぞれ接続されてもよい。
また、カバー81とリザーバ61との間の空間は、貫通孔83を介してチャンバ2内の空間と繋がっており、チャンバ2内と同様の低圧状態に維持されている。
ヒータ電源58a及び58bが投げ込みヒータ64a及びフレキシブルヒータ64bにそれぞれ電流を流すことによって、投げ込みヒータ64a及びフレキシブルヒータ64bにおいてジュール熱が発生する。このジュール熱がターゲット物質に熱伝導することにより、ターゲット物質が加熱される。温度制御器59a及び59bは、温度センサ72a及び72bからそれぞれ出力される検出信号を受信し、ヒータ電源58a及び58bが投げ込みヒータ64a及びフレキシブルヒータ64bに流す電流値をそれぞれ制御する。リザーバ61内のターゲット物質の温度は、ターゲット物質の融点以上に制御される。
また、カバー81とリザーバ61との間の空間が、チャンバ2内と同様の低圧状態に維持されている。従って、リザーバ61内のターゲット物質の熱エネルギーが、カバー81とリザーバ61との間の空間のガスを介した熱伝導によってカバー81の外部に放出されることも抑制される。
従って、第1の実施形態によれば、ターゲット物質を効率よく加熱して、溶融状態を維持することができる。
ドロップレット制御装置52は、ドロップレット出力信号に従って、パルス電圧生成器55にドロップレット生成信号を出力する。パルス電圧生成器55は、ドロップレット生成信号に従って、パルス状の電圧をリザーバ61内のターゲット物質に印加する。これによって、リザーバ61内のターゲット物質と引出電極66との間に静電気力が発生し、ノズル62の先端部からターゲット物質が引き出されて、帯電したドロップレットターゲット27が生成される。ドロップレットターゲット27は、ドロップレット発生器26からプラズマ生成領域25に向けて出力される。
図4は、第2の実施形態に係るターゲット供給装置を示す一部断面図である。
第2の実施形態は、リザーバ61内に投げ込みヒータが収容される代わりに、リザーバ61とカバー81との間の空間に、赤外線ヒータ64cが配置されている点で第1の実施形態と異なる。
その他の点は第1の実施形態と同様である。
図5は、第3の実施形態に係るターゲット供給装置を示す一部断面図である。
第3の実施形態は、リザーバ61内に投げ込みヒータが収容される代わりに、リザーバ61とカバー81との間の空間に、誘導加熱ヒータを構成するコイル64dが配置されている点で第1の実施形態と異なる。
コイル64dは、高周波加熱用電源58dから高周波電流を供給される。この高周波電流は、周期的に変化する磁界をコイル64dの内側に発生させる。この磁界によって、ターゲット物質を構成する金属において渦電流が発生し、この渦電流によってターゲット物質においてジュール熱が発生する。
温度制御器59dは、放射温度計72dから出力される検出信号を受信し、高周波加熱用電源58dがコイル64dに流す高周波電流の電流値を制御する。
その他の点は第1の実施形態と同様である。
Claims (7)
- ターゲット物質を内部に収容したリザーバと、
前記リザーバの外部に配置された赤外線ヒータであって、前記リザーバの内部に収容されたターゲット物質を放射熱によって溶融させる前記赤外線ヒータと、
前記赤外線ヒータに電流を供給するヒータ電源と、
前記リザーバの内部において溶融したターゲット物質を外部に出力するターゲット出力部と、
前記リザーバの周囲を外部から遮蔽する遮蔽部材であって、前記ターゲット出力部から出力されたドロップレットが通過する貫通孔を有する前記遮蔽部材と、
を含むターゲット供給装置。 - 前記リザーバの赤外線の透過率は、前記ターゲット物質の赤外線の透過率より高い、請求項1記載のターゲット供給装置。
- ターゲット物質を内部に収容したリザーバと、
前記リザーバの外部に配置された誘導加熱ヒータであって、前記リザーバの内部に収容されたターゲット物質を誘導加熱によって溶融させる前記誘導加熱ヒータと、
前記誘導加熱ヒータに高周波電流を供給する高周波電源と、
前記リザーバの内部において溶融したターゲット物質を外部に出力するターゲット出力部と、
前記リザーバの周囲を外部から遮蔽する遮蔽部材であって、前記ターゲット出力部から出力されたドロップレットが通過する貫通孔を有する前記遮蔽部材と、
を含むターゲット供給装置。 - 前記誘導加熱ヒータは、前記リザーバの周囲に巻き付けられたコイルを含む、請求項3記載のターゲット供給装置。
- 前記遮蔽部材の内面に、前記リザーバよりも赤外線の反射率が高い反射部が形成されている、請求項1又は3記載のターゲット供給装置。
- 前記遮蔽部材の内部の圧力は、大気に対して低圧である、請求項1又は3記載のターゲット供給装置。
- 前記遮蔽部材の内部は、前記貫通孔を介して、大気に対して低圧であるチャンバ内に連通している、請求項1又は3記載のターゲット供給装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011060903A JP5662214B2 (ja) | 2011-03-18 | 2011-03-18 | ターゲット供給装置 |
US13/401,389 US8742378B2 (en) | 2011-03-18 | 2012-02-21 | Target supply unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011060903A JP5662214B2 (ja) | 2011-03-18 | 2011-03-18 | ターゲット供給装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012199005A JP2012199005A (ja) | 2012-10-18 |
JP5662214B2 true JP5662214B2 (ja) | 2015-01-28 |
Family
ID=46828188
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011060903A Active JP5662214B2 (ja) | 2011-03-18 | 2011-03-18 | ターゲット供給装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8742378B2 (ja) |
JP (1) | JP5662214B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6103894B2 (ja) * | 2012-11-20 | 2017-03-29 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット供給装置 |
JP2014102980A (ja) * | 2012-11-20 | 2014-06-05 | Gigaphoton Inc | ターゲット供給装置 |
JP6166551B2 (ja) * | 2013-02-25 | 2017-07-19 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置 |
WO2016001973A1 (ja) | 2014-06-30 | 2016-01-07 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット供給装置、ターゲット物質の精製方法、ターゲット物質の精製プログラム、ターゲット物質の精製プログラムを記録した記録媒体、および、ターゲット生成器 |
US9544983B2 (en) * | 2014-11-05 | 2017-01-10 | Asml Netherlands B.V. | Apparatus for and method of supplying target material |
WO2016079838A1 (ja) | 2014-11-20 | 2016-05-26 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置 |
WO2017042915A1 (ja) | 2015-09-09 | 2017-03-16 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット収容装置 |
JP6513237B2 (ja) * | 2018-01-10 | 2019-05-15 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット供給装置 |
WO2019162994A1 (ja) * | 2018-02-20 | 2019-08-29 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置、電子デバイスの製造方法 |
JP6676127B2 (ja) * | 2018-10-26 | 2020-04-08 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット供給装置、極端紫外光生成装置及び電子デバイスの製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7405416B2 (en) | 2005-02-25 | 2008-07-29 | Cymer, Inc. | Method and apparatus for EUV plasma source target delivery |
JP2008193014A (ja) * | 2007-02-08 | 2008-08-21 | Komatsu Ltd | Lpp型euv光源装置用ターゲット物質供給装置及びシステム |
JP5454881B2 (ja) * | 2008-08-29 | 2014-03-26 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置及び極端紫外光の発生方法 |
JP5702164B2 (ja) * | 2010-03-18 | 2015-04-15 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置、極端紫外光源装置の制御方法及びターゲット供給装置 |
-
2011
- 2011-03-18 JP JP2011060903A patent/JP5662214B2/ja active Active
-
2012
- 2012-02-21 US US13/401,389 patent/US8742378B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012199005A (ja) | 2012-10-18 |
US20120236273A1 (en) | 2012-09-20 |
US8742378B2 (en) | 2014-06-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20120713 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130403 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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