JP5277496B2 - 極端紫外光源装置および極端紫外光源装置の光学素子汚染防止装置 - Google Patents
極端紫外光源装置および極端紫外光源装置の光学素子汚染防止装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5277496B2 JP5277496B2 JP2007118965A JP2007118965A JP5277496B2 JP 5277496 B2 JP5277496 B2 JP 5277496B2 JP 2007118965 A JP2007118965 A JP 2007118965A JP 2007118965 A JP2007118965 A JP 2007118965A JP 5277496 B2 JP5277496 B2 JP 5277496B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical element
- plasma
- ultraviolet light
- extreme ultraviolet
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B17/00—Methods preventing fouling
- B08B17/02—Preventing deposition of fouling or of dust
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/003—X-ray radiation generated from plasma being produced from a liquid or gas
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
- H05G2/001—X-ray radiation generated from plasma
- H05G2/008—X-ray radiation generated from plasma involving a beam of energy, e.g. laser or electron beam in the process of exciting the plasma
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Description
チャンバ内のターゲットをレーザビームで励起することによって生成されるプラズマから極端紫外光と共に放出される飛散物が、チャンバ内に設けられた光学素子を汚染することを防止する極端紫外光源装置の光学素子汚染防止方法において、
ターゲットを固体の錫とし且つこの固体の錫の励起源をCO2レーザとすることによって、プラズマから放出される飛散物の大きさをナノサイズ以下にし、
ナノサイズ以下の飛散物に、当該飛散物が光学素子に到達することを妨げる作用を付与すること
を特徴とする。
チャンバ内のターゲットをレーザビームで励起することによって生成されるプラズマから極端紫外光と共に放出される飛散物が、チャンバ内に設けられた光学素子を汚染することを防止する極端紫外光源装置の光学素子汚染防止装置において、
ターゲットを固体の錫とし、
固体の錫の励起源をCO2レーザとし、
固体の錫をCO2レーザで励起するに伴い発生するプラズマから放出されるナノサイズ以下の飛散物に、当該飛散部が光学素子に到達することを妨げる作用を付与する汚染防止手段を備えたこと
を特徴とする。
前記汚染防止手段は、
ナノサイズの飛散物が光学素子に到達することを妨げる雰囲気ガスを前記チャンバ内に供給する雰囲気ガス供給手段を有すること
を特徴とする。
前記汚染防止手段は、
ナノサイズの飛散物が当該光学素子に到達することを妨げるガスフローを前記チャンバ内に発生させるガスフロー生成手段を有すること
を特徴とする。
前記汚染防止手段は、
前記飛散物を帯電させる帯電手段と、
帯電したナノサイズの飛散物が当該光学素子に到達することを妨げる磁場を前記チャンバ内に発生させる磁場生成手段と、を有すること
を特徴とする。
前記汚染防止手段は、
前記飛散物を帯電させる帯電手段と、
帯電したナノサイズの飛散物が当該光学素子に到達することを妨げる電場を前記チャンバ内に発生させる電場生成手段と、を有すること
を特徴とする。
前記汚染防止手段は、
ナノサイズの飛散物を蒸発(熱運動による拡散)させる加熱手段を有すること
を特徴とする。
本発明の各実施形態を説明する前に、本発明に係るEUV光源装置の基本的な構成について、図1、図2を参照して説明する。なお、後述する全ての実施形態は、図1、図2を用いて説明する構成を有するものとする。
この装置は、プレート状の錫1′と、錫1′の表面に対する鉛直方向に配置されたTEA−CO2レーザ13′と、錫1′の表面に対する鉛直方向から約30度傾いた方向であって錫から約120mmだけ離間した位置に配置された分析用のMo/Siサンプルミラー15′とを備える。本発明者らは、TEA−CO2レーザ13′のエネルギーを約15〜25mJ程度、パルス時間半値幅10ns、集光スポットサイズ約100μm程度において、EUV発光が十分可能な条件のレーザビームを15万ショット以上照射して、Mo/Siサンプルミラー15′に付着したデブリを観察した。
図4からは、Mo/Siサンプルミラー15′の表面に金属膜が形成されていることを確認できる。しかしながら、図4からは、Mo/Siサンプルミラー15′の表面に粒子が付着していることは確認できない。一方、真空蒸着によってサンプル表面に錫を付着させた場合は、図5に示すように、サンプル表面に10μmほどの粒子が付着していることを確認できる。これらの結果から、Mo/Siサンプルミラー15′の表面に形成される金属膜は、マイクロサイズより小さいサブナノ〜ナノサイズ程度の粒子によって構成されていると推測される。すなわち、固体の錫をCO2レーザで励起した場合に、プラズマから放出されるデブリの多くはサブナノ〜ナノサイズ程度であると推測される。
本実施形態では、ナノサイズの飛散物が光学素子に到達することを妨げる作用を、雰囲気ガスを利用することによって実現している。すなわち、真空チャンバの内部に雰囲気ガスを供給し、雰囲気ガスの粒子をデブリと衝突させてデブリの運動エネルギーを低減させている。
本実施形態では、ナノサイズの飛散物が光学素子に到達することを妨げる作用を、ガスフローを利用することによって実現している。すなわち、プラズマの発生領域と光学素子との間にガスフローを発生させて、光学素子に向けて飛散するデブリを吹き飛ばしている。
Q=(64π2ε0r3σ)1/2 …(1)
で決定される。ε0は誘電率、rは粒径、σは表面張力である。
また粒子の質量は式
M=4/3r3ρ …(2)
で決定される。ρは物質の密度である。
本実施形態では、ナノサイズの飛散物が光学素子に到達することを妨げる作用を、磁場を利用することによって実現している。すなわち、デブリを帯電させると共に、プラズマの発生領域と光学素子との間に磁場を発生させて、光学素子に向けて飛散するデブリを偏向する。
本実施形態と第3実施形態とが異なるのは、デブリの帯電手段のみである。本実施形態では、第3実施形態と同様に、ナノサイズの飛散物が光学素子に到達することを妨げる作用を、磁場を利用することによって実現している。すなわち、デブリを帯電させると共に、プラズマの発生領域と光学素子との間に磁場を発生させて、光学素子に向けて飛散するデブリを偏向する。
本実施形態では、ナノサイズの飛散物が光学素子に到達することを妨げる作用を、電場を利用することによって実現している。すなわち、デブリを帯電させると共に、プラズマの発生領域と光学素子との間に電場を発生させて、光学素子に向けて飛散するデブリを偏向する。
本実施形態と第5実施形態とが異なるのは、デブリの帯電手段のみである。本実施形態では、第5実施形態と同様に、ナノサイズの飛散物が光学素子に到達することを妨げる作用を、電場を利用することによって実現している。すなわち、デブリを帯電させると共に、プラズマの発生領域と光学素子との間に電場を発生させて、光学素子に向けて飛散するデブリを偏向する。
本実施形態では、ナノサイズの飛散物が光学素子に到達することを妨げる作用を、電場を利用することによって実現している。すなわち、デブリを帯電させると共に、プラズマの発生領域と光学素子との間に電場を発生させて、光学素子に向けて飛散するデブリを偏向する。
本実施形態では、ナノサイズの飛散物が光学素子に到達することを妨げる作用を、拡散効果(蒸発)を利用することによって実現している。すなわち、光学素子に向けて飛散するデブリを加熱して蒸発させる。
10…真空チャンバ、13…ドライバレーザ(CO2レーザ)、
15…EUVコレクタミラー、18…導入窓、19…導出窓、
21…ミラー損傷検出器、22…イオン検出器、
23…多層膜ミラー、24…EUV光検出器
Claims (8)
- チャンバ内のターゲットをレーザビームで励起する極端紫外光源装置であって、
ターゲットを錫とし、 当該錫の励起源をCO2レーザとし、前記チャンバ内にガスフロー生成手段を有し、当該ガスフロー生成手段の前記ガス放出端は、前記光学素子の表面近傍に配置され、
前記ガス放出端からガスが放出される向きは、前記光学素子の表面の面方向に沿って、ガスフローが発生する向きに設定され、
前記ガス放出端は、前記光学素子の周囲の複数箇所に設けられ、
前記複数箇所に設けられたガス放出端は、当該光学素子の内側に向けて開口していること
を特徴とする極端紫外光源装置。 - 前記光学素子は、前記プラズマから放出される極端紫外光を集光するコレクタミラーであること
を特徴とする請求項1記載の極端紫外光源装置。 - 前記チャンバの内部を2〜3Paの真空度に保つように前記ガス放出端から放出されるガスの流量を制御する流量制御手段を更に備えたこと を特徴とする請求項1または2に記載の極端紫外光源装置。
- チャンバ内のターゲットをレーザビームで励起することによって生成されるプラズマから極端紫外光と共に放出される飛散物が、チャンバ内に設けられた光学素子を汚染することを防止する極端紫外光源装置の光学素子汚染防止装置において、
ターゲットを錫とし、
当該錫の励起源をCO2レーザとし、
前記錫をCO2レーザで励起するに伴い発生するプラズマから放出される飛散物に、当該飛散物が光学素子に到達することを妨げる作用を付与する汚染防止手段を備え、
当該汚染防止手段は、
前記光学素子と前記プラズマの発生領域との間にあって、前記光学素子の表面に対向するように設けられ、前記光学素子と前記プラズマ発生領域との間に電場を発生させるグリッド電極と、
前記レーザビームによって生成されるプラズマとは異なるプラズマを、前記プラズマ発生領域に生成するプラズマ用電極と
を含み、
前記飛散物を、前記プラズマ用電極によって生成されたプラズマによって帯電させ、イオン化された飛散物に対して、前記光学素子と前記プラズマ発生領域との間に発生した電場を、前記光学素子の表面に対して反発させる向きに作用させること
を特徴とする極端紫外光源装置の光学素子汚染防止装置。 - 前記光学素子は、前記プラズマから放出される極端紫外光を集光するコレクタミラーであり、
直流電源のプラス側が前記グリッド電極に接続され、前記直流電源のマイナス側が前記コレクタミラーに接続され、
イオン化された飛散物に対して、前記コレクタミラーと前記プラズマ発生領域との間に発生した電場を、前記コレクタミラーの反射面に対して反発させる向きに作用させること
を特徴とする請求項4記載の極端紫外光源装置の光学素子汚染防止装置。 - 前記プラズマ発生領域に電子を供給する電子供給手段を更に備えたこと
を特徴とする請求項4または5に記載の極端紫外光源装置の光学素子汚染防止装置。 - チャンバ内のターゲットをレーザビームで励起することによって生成されるプラズマから極端紫外光と共に放出される飛散物が、チャンバ内に設けられた光学素子を汚染することを防止する極端紫外光源装置の光学素子汚染防止装置において、
ターゲットを錫とし、
当該錫の励起源をCO2レーザとし、
前記錫をCO2レーザで励起するに伴い発生するプラズマから放出される飛散物に、当該飛散物が光学素子に到達することを妨げる作用を付与する汚染防止手段を備え、
当該汚染防止手段は、
前記光学素子と前記プラズマの発生領域との間にあって、前記光学素子の表面に対向するように設けられ、前記光学素子と前記プラズマ発生領域との間に電場を発生させるグリッド電極と、
前記プラズマ発生領域に電子ビームを照射して、前記飛散物を帯電させる電子供給手段と
を含み、
前記電子ビームの照射により帯電され、イオン化された飛散物に対して、前記光学素子と前記プラズマ発生領域との間に発生した電場を、前記光学素子の表面に対して反発させる向きに作用させること
を特徴とする極端紫外光源装置の光学素子汚染防止装置。 - 前記光学素子は、前記プラズマから放出される極端紫外光を集光するコレクタミラーであり、
直流電源のプラス側が前記グリッド電極に接続され、前記直流電源のマイナス側が前記コレクタミラーに接続され、
イオン化された飛散物に対して、前記コレクタミラーと前記プラズマ発生領域との間に発生した電場を、前記コレクタミラーの反射面に対して反発させる向きに作用させること
を特徴とする請求項7記載の極端紫外光源装置の光学素子汚染防止装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007118965A JP5277496B2 (ja) | 2007-04-27 | 2007-04-27 | 極端紫外光源装置および極端紫外光源装置の光学素子汚染防止装置 |
US12/150,077 US8129700B2 (en) | 2007-04-27 | 2008-04-24 | Optical element contamination preventing method and optical element contamination preventing device of extreme ultraviolet light source |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007118965A JP5277496B2 (ja) | 2007-04-27 | 2007-04-27 | 極端紫外光源装置および極端紫外光源装置の光学素子汚染防止装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008277522A JP2008277522A (ja) | 2008-11-13 |
JP5277496B2 true JP5277496B2 (ja) | 2013-08-28 |
Family
ID=39887205
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007118965A Active JP5277496B2 (ja) | 2007-04-27 | 2007-04-27 | 極端紫外光源装置および極端紫外光源装置の光学素子汚染防止装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8129700B2 (ja) |
JP (1) | JP5277496B2 (ja) |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7259373B2 (en) * | 2005-07-08 | 2007-08-21 | Nexgensemi Holdings Corporation | Apparatus and method for controlled particle beam manufacturing |
JP4850558B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2012-01-11 | キヤノン株式会社 | 光源装置、及びそれを用いた露光装置、デバイス製造方法 |
JP5133740B2 (ja) * | 2008-03-10 | 2013-01-30 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置 |
JP5246916B2 (ja) * | 2008-04-16 | 2013-07-24 | ギガフォトン株式会社 | Euv光発生装置におけるイオン回収装置および方法 |
EP2161725B1 (en) * | 2008-09-04 | 2015-07-08 | ASML Netherlands B.V. | Radiation source and related method |
JP5368221B2 (ja) * | 2008-09-16 | 2013-12-18 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置 |
US8232537B2 (en) * | 2008-12-18 | 2012-07-31 | Asml Netherlands, B.V. | Radiation source, lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP5486797B2 (ja) * | 2008-12-22 | 2014-05-07 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置 |
JP5559562B2 (ja) | 2009-02-12 | 2014-07-23 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光光源装置 |
NL2004085A (en) * | 2009-03-11 | 2010-09-14 | Asml Netherlands Bv | Radiation source, lithographic apparatus, and device manufacturing method. |
KR20120003916A (ko) * | 2009-04-02 | 2012-01-11 | 에테하 취리히 | 데브리 완화 및 냉각된 집광기 광학계를 갖는 극자외선 광원 |
US8138487B2 (en) * | 2009-04-09 | 2012-03-20 | Cymer, Inc. | System, method and apparatus for droplet catcher for prevention of backsplash in a EUV generation chamber |
JP2011023712A (ja) * | 2009-06-19 | 2011-02-03 | Gigaphoton Inc | 極端紫外光源装置 |
US8330131B2 (en) * | 2010-01-11 | 2012-12-11 | Media Lario, S.R.L. | Source-collector module with GIC mirror and LPP EUV light source |
JP5687488B2 (ja) * | 2010-02-22 | 2015-03-18 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光生成装置 |
JP5758153B2 (ja) * | 2010-03-12 | 2015-08-05 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 放射源装置、リソグラフィ装置、放射発生および送出方法、およびデバイス製造方法 |
EP2550564B1 (en) * | 2010-03-25 | 2015-03-04 | ETH Zurich | A beam line for a source of extreme ultraviolet (euv) radiation |
US9759912B2 (en) | 2012-09-26 | 2017-09-12 | Kla-Tencor Corporation | Particle and chemical control using tunnel flow |
CN103064259B (zh) * | 2012-12-10 | 2014-11-12 | 华中科技大学 | 一种极紫外激光等离子体光源碎屑的隔离方法及系统 |
US9000405B2 (en) * | 2013-03-15 | 2015-04-07 | Asml Netherlands B.V. | Beam position control for an extreme ultraviolet light source |
CN107708744B (zh) * | 2015-07-08 | 2021-09-07 | 卡丽·马特兹 | 用于对复杂装置进行储存和消毒的系统 |
US10307803B2 (en) * | 2016-07-20 | 2019-06-04 | The United States Of America As Represented By Secretary Of The Navy | Transmission window cleanliness for directed energy devices |
EP3291650B1 (en) | 2016-09-02 | 2019-06-05 | ETH Zürich | Device and method for generating uv or x-ray radiation by means of a plasma |
US10880981B2 (en) * | 2017-09-29 | 2020-12-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Collector pellicle |
US10871647B2 (en) * | 2018-07-31 | 2020-12-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and method for prevention of contamination on collector of extreme ultraviolet light source |
JP6740299B2 (ja) * | 2018-08-24 | 2020-08-12 | ファナック株式会社 | 加工条件調整装置及び機械学習装置 |
US11150564B1 (en) | 2020-09-29 | 2021-10-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | EUV wafer defect improvement and method of collecting nonconductive particles |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001133597A (ja) * | 1999-11-02 | 2001-05-18 | Toyota Macs Inc | X線装置 |
US7928416B2 (en) * | 2006-12-22 | 2011-04-19 | Cymer, Inc. | Laser produced plasma EUV light source |
US7491954B2 (en) * | 2006-10-13 | 2009-02-17 | Cymer, Inc. | Drive laser delivery systems for EUV light source |
US7598509B2 (en) * | 2004-11-01 | 2009-10-06 | Cymer, Inc. | Laser produced plasma EUV light source |
US7439530B2 (en) * | 2005-06-29 | 2008-10-21 | Cymer, Inc. | LPP EUV light source drive laser system |
US7372056B2 (en) * | 2005-06-29 | 2008-05-13 | Cymer, Inc. | LPP EUV plasma source material target delivery system |
US7671349B2 (en) * | 2003-04-08 | 2010-03-02 | Cymer, Inc. | Laser produced plasma EUV light source |
JP4111487B2 (ja) * | 2002-04-05 | 2008-07-02 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置 |
JP2004214013A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Toyota Macs Inc | 軟x線光源装置 |
JP2004213993A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | Toyota Macs Inc | 軟x線光源装置 |
US7217941B2 (en) * | 2003-04-08 | 2007-05-15 | Cymer, Inc. | Systems and methods for deflecting plasma-generated ions to prevent the ions from reaching an internal component of an EUV light source |
US7217940B2 (en) | 2003-04-08 | 2007-05-15 | Cymer, Inc. | Collector for EUV light source |
JP4189658B2 (ja) * | 2003-05-15 | 2008-12-03 | ウシオ電機株式会社 | 極端紫外光発生装置 |
JP4535732B2 (ja) * | 2004-01-07 | 2010-09-01 | 株式会社小松製作所 | 光源装置及びそれを用いた露光装置 |
US7078717B2 (en) * | 2004-03-22 | 2006-07-18 | Gigaphoton Inc. | Light source device and exposure equipment using the same |
JP2005294087A (ja) * | 2004-04-01 | 2005-10-20 | Nikon Corp | 光源ユニット、照明光学装置、露光装置および露光方法 |
TWI305296B (en) * | 2004-07-27 | 2009-01-11 | Cymer Inc | Systems and methods for reducing the influence of plasma-generated debris on the internal components of an euv light source |
JP4578901B2 (ja) | 2004-09-09 | 2010-11-10 | 株式会社小松製作所 | 極端紫外光源装置 |
JP2006128157A (ja) * | 2004-10-26 | 2006-05-18 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置用ドライバレーザシステム |
US7355191B2 (en) * | 2004-11-01 | 2008-04-08 | Cymer, Inc. | Systems and methods for cleaning a chamber window of an EUV light source |
JP5176037B2 (ja) * | 2005-05-30 | 2013-04-03 | 国立大学法人大阪大学 | 極端紫外光源用ターゲット |
US7141806B1 (en) * | 2005-06-27 | 2006-11-28 | Cymer, Inc. | EUV light source collector erosion mitigation |
JP4954584B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2012-06-20 | 株式会社小松製作所 | 極端紫外光源装置 |
JP2008071570A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Osaka Univ | 極端紫外光源用ターゲット、その製造装置及び極端紫外光源 |
JP5075389B2 (ja) * | 2006-10-16 | 2012-11-21 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置 |
US20080237498A1 (en) * | 2007-01-29 | 2008-10-02 | Macfarlane Joseph J | High-efficiency, low-debris short-wavelength light sources |
JP5358060B2 (ja) * | 2007-02-20 | 2013-12-04 | ギガフォトン株式会社 | 極端紫外光源装置 |
-
2007
- 2007-04-27 JP JP2007118965A patent/JP5277496B2/ja active Active
-
2008
- 2008-04-24 US US12/150,077 patent/US8129700B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008277522A (ja) | 2008-11-13 |
US8129700B2 (en) | 2012-03-06 |
US20080267816A1 (en) | 2008-10-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5277496B2 (ja) | 極端紫外光源装置および極端紫外光源装置の光学素子汚染防止装置 | |
JP4885587B2 (ja) | ターゲット供給装置 | |
JP5075389B2 (ja) | 極端紫外光源装置 | |
US8530869B2 (en) | Extreme ultraviolet light source apparatus | |
Richardson et al. | High conversion efficiency mass-limited Sn-based laser plasma source for extreme ultraviolet lithography | |
US8519366B2 (en) | Debris protection system having a magnetic field for an EUV light source | |
JP5108367B2 (ja) | 極端紫外光源装置 | |
US7394083B2 (en) | Systems and methods for EUV light source metrology | |
JP5368221B2 (ja) | 極端紫外光源装置 | |
JP5130267B2 (ja) | プラズマに基づく短波長放射線源の動作方法およびその装置 | |
US20100140513A1 (en) | Extreme ultraviolet light source apparatus | |
JP2008270533A (ja) | 極端紫外光源装置 | |
WO2003026363A1 (en) | Discharge source with gas curtain for protecting optics from particles | |
TW200934308A (en) | Radiation source, lithographic apparatus and device manufacturing method | |
US20150296602A1 (en) | Method and Apparatus for Generating Radiation | |
JP2007134679A (ja) | 電磁放射線源、リソグラフィ装置、デバイス製造方法、および該製造方法によって製造されたデバイス | |
JP2007258069A (ja) | 極端紫外光源装置 | |
US8101930B2 (en) | Method of increasing the operation lifetime of a collector optics arranged in an irradiation device | |
Takahashi et al. | Emission characteristics of debris from CO 2 and Nd: YAG laser-produced tin plasmas for extreme ultraviolet lithography light source | |
Amano et al. | Laser-plasma extreme ultraviolet source incorporating a cryogenic Xe target | |
Endo et al. | CO2 laser-produced Sn plasma as the solution for high-volume manufacturing EUV lithography | |
Komori et al. | Laser-produced plasma light source development for extreme ultraviolet lithography | |
Higashiguchi et al. | Enhancement of conversion efficiency of extreme ultraviolet radiation from a liquid aqueous solution microjet target by use of dual laser pulses | |
JP2011253818A (ja) | ターゲット供給装置 | |
JP7159290B2 (ja) | 材料経路を進む材料を捕捉するためのレセプタクル |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100210 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110118 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120425 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120612 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20120706 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120910 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20120910 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20121018 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20121207 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20130204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130311 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130502 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5277496 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |