JP2008270533A - 極端紫外光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この極端紫外光源装置は、真空チャンバと、真空チャンバ内の所定の位置にターゲットを供給するターゲット供給部と、レーザビームをターゲットに照射することによってプラズマを生成するドライバレーザと、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーと、コレクタミラーを支持固定するコレクタミラーホルダと、プラズマから発生するイオンに対してコレクタミラーホルダ等の構造物を遮蔽し、EUV光の透過率が高い材料で形成された遮蔽材とを有する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係るEUV光源装置を示す側面図である。本実施形態に係るEUV光源装置は、レーザビームをターゲット物質に照射して励起させることによりEUV光を生成するレーザ励起プラズマ(LPP)方式を採用している。
図5は、遮蔽プレートにより構造物を覆う本発明の第2の実施形態に係るEUV光源装置の内部構造を示す概略図である。真空チャンバ内でプラズマに対して露出するコレクタミラーホルダ16や構造物100を覆うために、EUV光の透過率が高い材料で形成される遮蔽プレート22が設けられている。本実施形態においては、遮蔽プレート22の材料として、EUV光の透過率が高いシリコン(Si)が用いられるが、ジルコニウム(Zr)、モリブデン(Mo)、リチウム(Li)、又は、アルミニウム(Al)を用いても良く、それらの合金を用いても良い。
Claims (9)
- ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われる真空チャンバと、
前記真空チャンバ内の所定の位置にターゲットを供給するターゲット供給部と、
前記ターゲット供給部によって供給されるターゲットに対して、パルス動作によりレーザビームを照射することによってプラズマを生成するドライバレーザと、
前記真空チャンバ内に設置され、反射面に多層膜を有し、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーと、
前記真空チャンバ内において前記コレクタミラーを支持するコレクタミラーホルダと、
前記真空チャンバ内に設置され、プラズマから発生するイオンに対して、前記コレクタミラーホルダ、前記ターゲット供給部、及び、前記真空チャンバの内壁の内の少なくとも1つの構造物を遮蔽し、前記構造物を形成する第1の材料よりもEUV光の透過率が高い第2の材料で形成された遮蔽材と、
を具備する極端紫外光源装置。 - 前記構造物と前記遮蔽材との間に、前記遮蔽材を冷却するための冷却装置が配置されている、請求項1記載の極端紫外光源装置。
- 前記ドライバレーザによって生成される励起用レーザビームを集光するレンズと、前記レンズを支持するレンズホルダとが、前記真空チャンバ内に設置されており、前記遮蔽材が、プラズマから発生するイオンに対して前記レンズホルダを遮蔽する遮蔽材を含む、請求項1又は2記載の極端紫外光源装置。
- ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われる真空チャンバと、
前記真空チャンバ内の所定の位置にターゲットを供給するターゲット供給部と、
前記ターゲット供給部によって供給されるターゲットに対して、パルス動作によりレーザビームを照射することによってプラズマを生成するドライバレーザと、
前記真空チャンバ内に設置され、反射面に多層膜を有し、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーと、
前記真空チャンバ内において前記コレクタミラーを支持するコレクタミラーホルダと、
を具備し、前記コレクタミラーホルダ、前記ターゲット供給部、及び、前記真空チャンバの内壁の内の少なくとも1つの構造物の少なくとも一部が、前記構造物を形成する第1の材料よりもEUV光の透過率が高い第2の材料によってコーティングされている、極端紫外光源装置。 - 前記ドライバレーザによって生成される励起用レーザビームを集光するレンズと、前記レンズを支持するレンズホルダとが、前記真空チャンバ内に設置されており、前記レンズホルダの少なくとも一部が、前記第2の材料によってコーティングされている、請求項4記載の極端紫外光源装置。
- 前記第1の材料が、ステンレス鋼を含む、請求項1〜5のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。
- 前記第2の材料が、シリコン(Si)、ジルコニウム(Zr)、モリブデン(Mo)、リチウム(Li)、アルミニウム(Al)、又は、それらの合金を含む、請求項1〜6のいずれか1項記載の極端紫外光源装置。
- ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生する極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われる真空チャンバと、
前記真空チャンバ内の所定の位置にターゲットを供給するターゲット供給部と、
前記ターゲット供給部によって供給されるターゲットに対して、パルス動作によりレーザビームを照射することによってプラズマを生成するドライバレーザと、
前記真空チャンバ内に設置され、反射面に多層膜を有し、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーと、
前記真空チャンバ内において前記コレクタミラーを支持するコレクタミラーホルダと、
を具備し、前記コレクタミラーホルダ、前記ターゲット供給部、及び前記真空チャンバの内壁の内の少なくとも1つの構造物の少なくとも一部が、シリコン(Si)、ジルコニウム(Zr)、モリブデン(Mo)、リチウム(Li)、アルミニウム(Al)、又は、それらの合金を含む材料で形成されている、極端紫外光源装置。 - 前記ドライバレーザによって生成される励起用レーザビームを集光するレンズと、前記レンズを支持するレンズホルダとが、前記真空チャンバ内に設置されており、前記レンズホルダの少なくとも一部が、シリコン(Si)、ジルコニウム(Zr)、モリブデン(Mo)、リチウム(Li)、アルミニウム(Al)、又は、それらの合金を含む材料で形成されている、請求項8記載の極端紫外光源装置。
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