JP5358060B2 - 極端紫外光源装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係るEUV光源装置の構成を示す概略図である。本実施形態に係るEUV光源装置は、レーザビームをターゲット物質に照射して励起させることによりEUV光を生成するレーザ励起プラズマ(LPP)方式を採用している。
さらに、上記の実施形態及び変形例の内の2つ以上を組み合わせることによって、ほぼ一定の強度を有する単一パルス又はパルス列を実現するようにしても良い。
Claims (4)
- ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生するレーザ生成プラズマ型極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われるチャンバと、
前記チャンバ内の所定の位置に液体又は固体の金属ターゲットを供給するターゲット供給手段と、
互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームを重ね合わせて強度が時間的に略均一の単一パルスレーザビームを生成し、前記ターゲット供給手段によって供給されるターゲットに該レーザビームを照射することによりプラズマを生成するレーザビーム生成部であって、互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームをそれぞれ出力する複数の発振段レーザ装置と、前記複数の発振段レーザ装置からそれぞれ出力される複数のパルスレーザビームを重ね合わせるビーム合成手段と、前記ビーム合成手段から出力される単一パルスレーザビームを増幅する少なくとも1段の増幅器を含む増幅段装置とを含む前記レーザビーム生成部と、
を具備する極端紫外線光源装置。 - ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生するレーザ生成プラズマ型極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われるチャンバと、
前記チャンバ内の所定の位置に液体又は固体の金属ターゲットを供給するターゲット供給手段と、
互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームを重ね合わせて強度が時間的に略均一の単一パルスレーザビームを生成し、前記ターゲット供給手段によって供給されるターゲットに該レーザビームを照射することによりプラズマを生成するレーザビーム生成部であって、パルスレーザビームを出力する発振段レーザ装置と、前記発振段レーザ装置から出力されるパルスレーザビームを複数の光路に分岐させるビーム分岐手段と、それぞれの光路に応じて互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームを重ね合わせるビーム合成手段と、前記ビーム合成手段から出力される単一パルスレーザビームを増幅する少なくとも1段の増幅器を含む増幅段装置とを含む前記レーザビーム生成部と、
を具備する極端紫外線光源装置。 - 前記プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーをさらに具備する、請求項1又は2記載の極端紫外線光源装置。
- 前記レーザビーム生成部が、互いに異なる遅延を伴う複数のパルス列レーザビームを重ね合わせて強度が時間的に略均一の単一パルスレーザビームを生成する、請求項1〜3のいずれか1項記載の極端紫外線光源装置。
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