JP2007529903A - Lppのeuv光源 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 90
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 48
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 32
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims abstract description 21
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000002679 ablation Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 9
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 143
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 63
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 34
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 34
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 23
- 229910016036 BaF 2 Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 21
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 21
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 21
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 19
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 14
- 229910017768 LaF 3 Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 13
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 claims description 13
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 11
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims description 11
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 9
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 7
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 6
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910005690 GdF 3 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000005298 paramagnetic effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 20
- 238000005286 illumination Methods 0.000 abstract description 6
- 210000002381 plasma Anatomy 0.000 description 86
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 41
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 38
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 13
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 13
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 12
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 11
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000005365 phosphate glass Substances 0.000 description 8
- 238000000985 reflectance spectrum Methods 0.000 description 8
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 8
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 7
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 7
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 230000036278 prepulse Effects 0.000 description 6
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 6
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 6
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 5
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 5
- 230000021615 conjugation Effects 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 3
- 230000001976 improved effect Effects 0.000 description 3
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 3
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 3
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N acridine Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3N=C21 DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N erbium Chemical compound [Er] UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000017899 Spathodea campanulata Nutrition 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- XBJJRSFLZVLCSE-UHFFFAOYSA-N barium(2+);diborate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[Ba+2].[O-]B([O-])[O-].[O-]B([O-])[O-] XBJJRSFLZVLCSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000023077 detection of light stimulus Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003058 plasma substitute Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N praseodymium atom Chemical compound [Pr] PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- -1 rare earth ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000007142 ring opening reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000790 scattering method Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000004936 stimulating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 1
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- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
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Abstract
【解決手段】初期ターゲット照射パルスでプラズマ開始ターゲットを照射して帯域内EUV光を放出する放出領域を有するプラズマを発生させるEUVを形成するレーザ初期ターゲット照射パルス発生機構と、プラズマの放出領域に向けてプラズマ内の放出材料を圧縮するために初期ターゲット照射パルス後にプラズマをプラズマ照射パルスで照射するレーザプラズマ照射パルス発生機構とを含むことができる、LPPのEUV光源においてプラズマ照射レーザ光パルスを有効かつ効率的に供給するための機器及び方法。プラズマ照射パルスは、関連のより低い臨海密度を有して放出材料の圧縮を達成するために初期ターゲット照射サイトから十分に分離されたプラズマ照射パルスの波長によって形成されたプラズマの領域におけるプラズマ内で発生する吸収をもたらすように、初期ターゲット照射パルスの波長よりも十分に長い波長を有するレーザパルスを含むことができ、かつ放出領域を圧縮することができる。レーザプラズマ照射パルスは、変換効率増大のために好都合に放出されるプラズマを閉じ込めるのに十分なプラズマの融除雲内の空中質量密度を生成することができる。プラズマ照射パルスに対する堆積領域は、好都合に放出されるプラズマの圧縮を保証するために初期ターゲット表面から十分に除去することができる。高変換効率レーザ生成プラズマ極紫外線(EUV)光源は、ターゲット照射パルスでプラズマ開始ターゲットを照射して帯域内EUV光を放出するプラズマを発生させるEUVを形成するレーザ初期ターゲット照射パルス発生機構と、プラズマを実質的に取り囲んでプラズマの膨張を抑制するプラズマタンパーとを含むことができる。
【選択図】図2
Description
関連出願
本発明は、代理人整理番号第2004−0064−01号である2004年11月1日出願の「LPPのEUV光源」という名称の米国特許出願出願番号第10/979,919号に対する優先権を主張するものであり、開示内容が本明細書において引用により組み込まれている、本出願と同じ出願人に譲渡された代理人整理番号第2003−0125号である2004年3月17日出願の「高繰返し数レーザ生成プラズマEUV光源」という名称の現在特許出願中の米国特許出願出願番号第10/803,526号の一部継続出願である。本出願は、代理人整理番号第2002−0030−01号である2003年4月8日出願の「極紫外線光源」という名称の米国特許出願出願番号第10/409,254号、代理人整理番号第2003−0083−01号である2004年3月10日出願の「EUV光源のための集光器」という名称の第10/798,740号、代理人整理番号第2003−0004−01号である2003年7月7日出願の「高密度プラズマ焦点放射線源」という名称の第10/615,321号、代理人整理番号第2003−0099−01号である2003年12月18日出願の「放電生成プラズマEUV光源」という名称の第10/742,233号、代理人整理番号第2003−0132−01号である2003年3月21日出願の「高密度プラズマ焦点放射線源」という名称の第10/442,544号、及び代理人整理番号第2004−0044−01号である2004年7月27日出願の「EUV光源」という名称の第10/900,836号に関連するものであり、その全ては、現在特許出願中であり、本出願と同じ出願人に譲渡され、その各々の開示内容は、本明細書において引用により組み込まれている。
S.Schiemann他共著「小型SBS発生器−増幅器構成におけるコヒーレントナノ秒パルスの効率的な時間的圧縮」、IEEE J.QE33、358〜366頁(1997年)。
SBS(誘導ブリユアン散乱)による位相共役は、高電力レーザのビーム品質を回折限界まで増大させる強力かつ単純なツールである。Nd:YAIOを活性媒体とした主発振器及び電力増幅器システムの達成は、近回折限界ビームにおいて1.08μmで210ワットまでの平均出力電力で行われた。また、位相共役ミラーを有するNd:YaG発振器の達成は、17ワットまでの平均出力電力及び高ビーム品質で行われた。UV範囲においては、SBSミラーを有するエキシマ発振器は、3倍の短さのパルスで従来の平面−平面共振器と同じか又はそれよりも高い品質ビームを送出する。エキシマ発振器増幅器構成は、既にSBSミラーで達成されている。可視及び紫外スペクトル範囲に対するSBSミラーは、十分に特徴付けられている。...
SBSによる位相共役は、高電力半導体レーザのビーム品質を回折限界まで増大させる強力なツールである。Nd:YAIOを活性媒体とした主発振器及び電力増幅器システムは実現されている。単純な単一ロッド増幅器システムは、回折限界の1.1倍のビーム品質で4から140ワットまでの調整可能な平均出力電力を生成するように最適化されたものである。...また、位相共役ミラーを有するNd;YAG発振器は、17ワットまでの平均出力電力及び高ビーム品質で実現されている。
UV範囲においては、SBSミラーを有するエキシマ発振器は、3倍の短さのパルスで従来の平面共振器と同じか又は若干優れた品質のビームを送出する。エキシマ発振器増幅器構成は、SBSミラーを用いて開発されたものである。出力ビーム品質の改善には、増幅歪のないエキシマ増幅器放電の使用が必要である。可視及び紫外線スペクトル範囲のためのSBSミラーは、十分に特徴付けられており、他のレーザ形式、例えば、プラセオジミウムレーザのチタン:サファイアにも適用することができる。
Shibin Jiang他著「小型マルチモードポンプ式エルビウムドープリン酸塩繊維増幅器」、Optical Engineering、第42巻、第10号(2003年10月)、2817〜2820頁では、ファイバ増幅器、例えば、小型マルチモードポンプ式エルビウムドープリン酸塩繊維増幅器の性能が説明されている。1W、975nmマルチモードレーザダイオードで励起された8cm長エルビウムドープリン酸塩繊維を使用した1535nmで41dB及び全C帯域にわたって21dBでの小信号正味利得を有するファイバ増幅器が説明されている。修正繰返し数方程式及び有効ビーム伝播法に基づくマルチモードポンプ式増幅器の理論的モデルも説明されている。また、http://www.npphotonics.com/files/oaa_2002.pdfも参照されたい。Michael.R.Lange他著「高利得係数リン酸塩グラスファイバ増幅器」、NFOEC2003、論文番号126はまた、希土類イオンに対する高い溶解性を有するリン酸塩ガラス材料が魅力的なホストの候補であると説明し、希土類ドープリン酸塩ガラスホスト材料に付随する物理的及び寸法パラメータをその恩典、制限、及び小型利得媒体としての適性を判断するために利用している。
本出願人は、レーザ生成プラズマ技術によるEUV光の生成の改善のために、上述の問題の解決策及び列挙した既存の技術の用途を提案するものである。
ターゲット送出制御システム90は、システムコントローラ60からの信号に応答して、例えばターゲット送出機構92によって放出されるようなターゲット液滴94の放出ポイントを修正して望ましい照射サイト28に到着するターゲット液滴の誤差を補正することができる。
また、中間焦点40又はその近くにあるEUV光源検出器100は、例えば有効及び効率的なLPPのEUV光の生成のために適正な場所及び時間でターゲット液滴を確実に途中で捕捉するように、レーザパルスのタイミング及び焦点などの項目の誤差を示すことができるフィードバックをシステムコントローラ60に供給することができる。
ここで図2を参照すると、本発明の実施形態の態様によるMOPA駆動レーザシステム22を示している。システム22は、約1mJから2mJ/パルスの出力で例えば約12kHzで作動する半導体Nd:YLFレーザを含むことができ、この出力は、約1053nm、すなわち、約351nmでNd:YLFレーザの出力の第3高調波を形成するために第3高調波発生器112を通過させる。次に、この半導体主発振器レーザ出力光パルスビームを偏光ビームスプリッタ114に通すことができ、この偏光ビームスプリッタは、第1の極性を有するMO出力レーザ光パルスビームの第1の部分を、半波プレート122を通じてMO出力レーザ光パルスビームの第1の部分を反射することができる全反射ミラー120に通すことができ、半波プレート122は、MO出力レーザ光パルスビームパルスの第1の部分の極性を逆の極性に変換し、次に、第1の電力増幅システム、例えばXeFエキシマガス放電レーザ電力増幅システムチャンバ124のための光学パスシステムにする。また、偏光ビームスプリッタ114は、第2の極性のMO出力レーザ光パルスビームの第2の部分を反射し、第2の電力増幅システム、例えばXeFエキシマガス放電レーザ電力増幅システムチャンバ126のための光学システム140にすることができる。
誘導ブリユアン散乱による有効かつ安定したパルス短縮の場合、シードレーザ(発振器)は、例えば、狭いスペクトル帯域幅及び良好な集束可能性を有することができる。
次に、生成SBSストークスシードパルスは、マルチパス増幅器272内でミラー(M1からM4)280aから280d及び増幅器部分272内の増幅媒体を通る更に別の2つのパスをもたらす偏光ビームスプリッタ274で増幅することができる。図4は、一例として4パス構成を示している。
また、この一般的な方法、すなわち、SBSによる先端を切断した前縁シードパルス生成及び飽和増幅によるパルスの急勾配化の達成は、図4に示す特定的な実施形態以外の構成によっても行うことができる。
例えば、XeFエキシマ電力増幅器段階460の増幅媒体においてレージングを生成するために、半導体シードレーザの初期波長は、例えば、数pm/℃の割合で結晶を加熱することによって若干調整すべきであろう。従って、初期に1064nmで光を出力するNd:YAg半導体レーザとは対照的に、先に参照したシードレーザを調整するために、約一桁のマグニチュードの温度変化が必要である。
1/λ1+1/λ2=1/λ3
例えば、λ3=308nmに対しては、1/λ1+1/λ2=1/λ3が、小数第8位までに対して、.00324675nm≒.00187969+.00136705=.00324674に変形されるように、例えば、1064nmで作動するNd:YAGレーザの第2高調波として生成される532nmのλ1と、731.5nmで作動するTi:サファイア又はアレクサンドライト半導体レーザから生成されるλ2とを使用することができる。同様に、1/λ1+1/λ2=1/λ3が、小数第8位までに対して.00324675=.00108225+.00216450に変形されるように、924nmの(Ti:サファイア半導体レーザの基本波)λ1と、λ2=462(Ti:サファイアレーザの第2高調波)とを使用することができる。248のλ3に対しては、266nm(Nd:YAg半導体レーザの第4高調波)のλ=1と、OPOレーザからの3664のλ2、又はλ1=744(Ti:サファイア又はアレクサンドライトレーザの基本波)と、λ2=372(Ti:サファイア又はアレクサンドライトレーザの第2高調波)とを使用することができる。Ti:サファイア又はアレクサンドライトレーザは、上述の基本波及び高調波周波数/波長を有効にする範囲を通じて調整可能であることが当業者によって理解されるであろう。
第3高調波Nd:YLFのMOの波長は、XeF利得スペクトルに適合させるためにシフトさせることができる。半導体MOは、所要の高シードビーム品質をもたらし、XeF電力増幅器は、確実なパルスエネルギを供給する。
本出願人は、LPPのEUV帯域内変換効率(CE)の測定を例えばターゲット、例えばプラズマ原料物質の平坦ホイルの位置決めに関連して行ったが、例えば平坦ターゲットシートの測定EUVのCEとレンズ位置の図表である図14に示すように、本出願人が考えるに、個別のターゲット、例えばターゲット液滴及び駆動レーザの焦点に対しても適切なスケーリングで適用可能である。これらの測定に対して、CE走査は、集束レンズを焦点を通るようにシフトさせることにより、レーザパルス〜10ns、不均一強度分布、かつ一定のレーザエネルギで行った。完全に均一なレーザビームプロフィールを意味する1−Dモデルで平坦上部レーザパルスが得られるようにモデルを設定した。リチウムにより、幅広いレーザ波長選択が得られる。CEは、一般的に、波長に対して<<2%帯域幅の中に〜2.5%から3%で一定のままであり、XeFエキシマ波長でのCEは高い。
図15A及び図15Bは、図15Sに対して、1064nm波長(550)、532nm波長(552)、355nm波長(554)、及び266nm波長(552)での駆動レーザによる照射に基づく各々13.5nmでのそれぞれ実測による組のCE曲線及び計算による組のCE曲線を示している。図15Bに対しては、曲線は、10.6μm(560)、1064nm(562)、523nm(564)、355nm(566)、及び266nm(568)を表している。
図18aから図18Dに示すように、Snスペクトルは、スペクトルとレーザのパラメータの変動を示している。Snは、多くの重なり合う線による幅広いスペクトル放出量を有する。曲線590は、Snのスペクトルを表す曲線であり、曲線592は、MLM表面の正規化された反射率スペクトルを表す曲線である。
表Iは、LPPのEUV源開発の計画表を示すものであり、企図されている上述の実施形態を含む様々な構成が使用されることになる。
当業者は、特許請求の範囲が網羅する意図及び範囲から逸脱することなく本発明に多くの変更及び修正を行うことができることを理解するであろう。上述の本発明の実施形態の態様は、好ましい実施形態を例示するように意図されており、特許請求の範囲は、いかなるこのような好ましい実施形態にもその範囲を限定されるべきではない。
112 第3高調波発生器
114 偏光ビームスプリッタ
124 XeFエキシマガス放電レーザ電力増幅システムチャンバ
126 XeFエキシマガス放電レーザ電力増幅システムチャンバ
Claims (155)
- 高変換効率レーザ生成プラズマ極紫外線(EUV)光源であって、
初期ターゲット照射パルスでプラズマ開始ターゲットを照射して帯域内EUV光を放出する放出領域を有するEUV発生プラズマを形成するレーザ初期ターゲット照射パルス発生機構と、
前記プラズマ内の放出材料を該プラズマの前記放出領域に向けて圧縮するために、前記初期ターゲット照射パルス後のプラズマ照射パルスで該プラズマを照射するレーザプラズマ照射パルス発生機構と、
を含むことを特徴とする光源。 - 前記プラズマ照射パルスは、初期ターゲット照射サイトから十分に分離された該プラズマ照射パルスの波長によって定められた前記プラズマの領域における該プラズマ内に発生する吸収をもたらして前記放出材料の圧縮を達成する関連のより低い臨海密度を有するように、前記初期ターゲット照射パルスの波長よりも十分に長い波長を有するレーザパルスを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記プラズマ照射パルスは、前記放出領域を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記レーザプラズマ照射パルスは、前記放出領域を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の機器。 - 前記レーザプラズマ照射パルスは、変換効率増大に対して有利に放出するプラズマを閉じ込めるのに十分な前記プラズマの融除雲内の空中質量密度を生成する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記レーザプラズマ照射パルスは、変換効率増大に対して有利に放出するプラズマを閉じ込めるのに十分な前記プラズマの融除雲内の空中質量密度を生成する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の機器。 - 前記レーザプラズマ照射パルスは、変換効率増大に対して有利に放出するプラズマを閉じ込めるのに十分な前記プラズマの融除雲内の空中質量密度を生成する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の機器。 - 前記レーザプラズマ照射パルスは、変換効率増大に対して有利に放出するプラズマを閉じ込めるのに十分な前記プラズマの融除雲内の空中質量密度を生成する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の機器。 - 前記プラズマ照射パルスに対する堆積領域は、前記有利に放出するプラズマの圧縮を保証するために前記初期ターゲットの表面から十分に除去される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の機器。 - 前記プラズマ照射パルスに対する堆積領域は、前記有利に放出するプラズマの圧縮を保証するために前記初期ターゲットの表面から十分に除去される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の機器。 - 前記プラズマ照射パルスに対する堆積領域は、前記有利に放出するプラズマの圧縮を保証するために前記初期ターゲットの表面から十分に除去される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の機器。 - 前記プラズマ照射パルスに対する堆積領域は、前記有利に放出するプラズマの圧縮を保証するために前記初期ターゲットの表面から十分に除去される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の機器。 - 高変換効率レーザ生成プラズマ極紫外線(EUV)光源であって、
ターゲット照射パルスでプラズマ開始ターゲットを照射して帯域内EUV光を放出するEUV発生プラズマを形成するレーザ初期ターゲット照射パルス発生機構と、
前記プラズマを実質的に取り囲んで該プラズマの膨張を抑制するプラズマタンパーと、
を含むことを特徴とする光源。 - 前記タンパーは、EUV波長の選択帯域内のEUV光に対して実質的に透明な材料を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の機器。 - 前記タンパーは、バッファガスを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の機器。 - 前記タンパーは、バッファガスを含む
ことを更に含むことを特徴とする請求項14に記載の機器。 - 前記タンパーは、前記ターゲット上のコーティングを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の機器。 - 前記タンパーは、前記ターゲット上のコーティングを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項14に記載の機器。 - 前記タンパーは、前記ターゲット周りのガスの柱を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の機器。 - 前記タンパーは、前記ターゲット周りのガスの柱を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項14に記載の機器。 - 前記ターゲットは、金属液滴を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の機器。 - 前記ターゲットは、金属液滴を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項14に記載の機器。 - 前記ターゲットは、金属液滴を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項15に記載の機器。 - 前記ターゲットは、金属液滴を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項16に記載の機器。 - 前記ターゲットは、金属液滴を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項17に記載の機器。 - 前記ターゲットは、金属液滴を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項18に記載の機器。 - 前記ターゲットは、金属液滴を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項19に記載の機器。 - 前記ターゲットは、金属液滴を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項20に記載の機器。 - 前記タンパーは、タンパー材料への運動量の移送により照射後の前記ターゲットの拡大を抑制する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項21に記載の機器。 - 前記タンパーは、タンパー材料への運動量の移送により照射後の前記ターゲットの拡大を抑制する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項22に記載の機器。 - 前記タンパーは、タンパー材料への運動量の移送により照射後の前記ターゲットの拡大を抑制する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項23に記載の機器。 - 前記タンパーは、タンパー材料への運動量の移送により照射後の前記ターゲットの拡大を抑制する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項24に記載の機器。 - 前記タンパーは、タンパー材料への運動量の移送により照射後の前記ターゲットの拡大を抑制する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項25に記載の機器。 - 前記タンパーは、タンパー材料への運動量の移送により照射後の前記ターゲットの拡大を抑制する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項26に記載の機器。 - 前記タンパーは、タンパー材料への運動量の移送により照射後の前記ターゲットの拡大を抑制する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項27に記載の機器。 - 前記タンパーは、タンパー材料への運動量の移送により照射後の前記ターゲットの拡大を抑制する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項28に記載の機器。 - レーザ生成プラズマ(LPP)極紫外線(EUV)光源であって、
駆動レーザと、
ブリユアン散乱セル、
を含む駆動レーザパルス持続時間圧縮機構と、
を含むことを特徴とする光源。 - 前記ブリユアン散乱セルは、誘導ブリユアン散乱セルを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項37に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、ラインナロード主発振器レーザによってシード光が注入される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項37に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、ラインナロード主発振器レーザによってシード光が注入される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項38に記載の機器。 - 前記主発振器レーザは、ガス放電レーザを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項39に記載の機器。 - 前記主発振器レーザは、ガス放電レーザを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項40に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
誘導ブリユアン散乱発生器セル及び誘導ブリユアン散乱増幅器セル、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項37に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
誘導ブリユアン散乱発生器セル及び誘導ブリユアン散乱増幅器セル、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項38に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
誘導ブリユアン散乱発生器セル及び誘導ブリユアン散乱増幅器セル、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項39に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
誘導ブリユアン散乱発生器セル及び誘導ブリユアン散乱増幅器セル、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項40に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
誘導ブリユアン散乱発生器セル及び誘導ブリユアン散乱増幅器セル、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項41に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
誘導ブリユアン散乱発生器セル及び誘導ブリユアン散乱増幅器セル、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項42に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
第1のブリユアン散乱セルと、
前記第1のブリユアン散乱セルの出力によってシード光が注入される第2のブリユアン散乱セルと、
前記第2のブリユアン散乱セルの出力を増幅するマルチパス増幅器と、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項37に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
第1のブリユアン散乱セルと、
前記第1のブリユアン散乱セルの出力によってシード光が注入される第2のブリユアン散乱セルと、
前記第2のブリユアン散乱セルの出力を増幅するマルチパス増幅器と、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項38に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
第1のブリユアン散乱セルと、
前記第1のブリユアン散乱セルの出力によってシード光が注入される第2のブリユアン散乱セルと、
前記第2のブリユアン散乱セルの出力を増幅するマルチパス増幅器と、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項39に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
第1のブリユアン散乱セルと、
前記第1のブリユアン散乱セルの出力によってシード光が注入される第2のブリユアン散乱セルと、
前記第2のブリユアン散乱セルの出力を増幅するマルチパス増幅器と、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項40に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
第1のブリユアン散乱セルと、
前記第1のブリユアン散乱セルの出力によってシード光が注入される第2のブリユアン散乱セルと、
前記第2のブリユアン散乱セルの出力を増幅するマルチパス増幅器と、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項41に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
第1のブリユアン散乱セルと、
前記第1のブリユアン散乱セルの出力によってシード光が注入される第2のブリユアン散乱セルと、
前記第2のブリユアン散乱セルの出力を増幅するマルチパス増幅器と、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項42に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
第1のブリユアン散乱セルと、
前記第1のブリユアン散乱セルの出力によってシード光が注入される第2のブリユアン散乱セルと、
前記第2のブリユアン散乱セルの出力を増幅するマルチパス増幅器と、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項43に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
第1のブリユアン散乱セルと、
前記第1のブリユアン散乱セルの出力によってシード光が注入される第2のブリユアン散乱セルと、
前記第2のブリユアン散乱セルの出力を増幅するマルチパス増幅器と、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項44に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
第1のブリユアン散乱セルと、
前記第1のブリユアン散乱セルの出力によってシード光が注入される第2のブリユアン散乱セルと、
前記第2のブリユアン散乱セルの出力を増幅するマルチパス増幅器と、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項45に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
第1のブリユアン散乱セルと、
前記第1のブリユアン散乱セルの出力によってシード光が注入される第2のブリユアン散乱セルと、
前記第2のブリユアン散乱セルの出力を増幅するマルチパス増幅器と、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項46に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
第1のブリユアン散乱セルと、
前記第1のブリユアン散乱セルの出力によってシード光が注入される第2のブリユアン散乱セルと、
前記第2のブリユアン散乱セルの出力を増幅するマルチパス増幅器と、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項47に記載の機器。 - 前記ブリユアン散乱セルは、
第1のブリユアン散乱セルと、
前記第1のブリユアン散乱セルの出力によってシード光が注入される第2のブリユアン散乱セルと、
前記第2のブリユアン散乱セルの出力を増幅するマルチパス増幅器と、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項48に記載の機器。 - ガス放電電力発振器システムであって、
選択出力波長λ3で部分反射性の出力カプラと該選択波長λ3に対して全反射性のミラーとによって形成された共振発振器空洞を有するガス放電レーザシステムと、
少なくとも2つの波長λ1及びλ2を含む、前記全反射性ミラーの非反射側を通じて前記空洞内に導入される外部シードビームと、
前記空洞における増幅のために前記選択波長で前記シードビームを空洞内シードビームに変換するように作動する該空洞内の非線形光学要素と、
を含むことを特徴とするシステム。 - 前記共振発振器空洞は、電力増幅器を形成し、
前記全反射性ミラーの前記非反射側は、前記空洞内への前記外部シードビームの波長結合をもたらす、
ことを更に含むことを特徴とする請求項61に記載の機器。 - 共振発振器空洞は、ガス放電ハロゲンガスパルスレーザシステムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項61に記載の機器。 - 共振発振器空洞は、ガス放電ハロゲンガスパルスレーザシステムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項62に記載の機器。 - λ1及びλ2は、実質的にλ3に中心がある駆動レーザシステムレーザ出力光パルスを生成するために、KrF、XeF、及びXeClの群から選択された利得媒体における増幅に対して前記発振器空洞において前記レーザにシード光を注入するのに適する出力λ3を前記非線形光学要素において生成するように選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項61に記載の機器。 - λ1及びλ2は、実質的にλ3に中心がある駆動レーザシステムレーザ出力光パルスを生成するために、KrF、XeF、及びXeClの群から選択された利得媒体における増幅に対して前記発振器空洞において前記レーザにシード光を注入するのに適する出力λ3を前記非線形光学要素において生成するように選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項62に記載の機器。 - λ1及びλ2は、実質的にλ3に中心がある駆動レーザシステムレーザ出力光パルスを生成するために、KrF、XeF、及びXeClの群から選択された利得媒体における増幅に対して前記発振器空洞において前記レーザにシード光を注入するのに適する出力λ3を前記非線形光学要素において生成するように選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項63に記載の機器。 - λ1及びλ2は、実質的にλ3に中心がある駆動レーザシステムレーザ出力光パルスを生成するために、KrF、XeF、及びXeClの群から選択された利得媒体における増幅に対して前記発振器空洞において前記レーザにシード光を注入するのに適する出力λ3を前記非線形光学要素において生成するように選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項64に記載の機器。 - パルスレーザビームを利用してプラズマ開始ターゲットを照射する高変換効率レーザ生成プラズマ極紫外線(EUV)光源であって、
選択パルス繰返し数でレーザ出力光パルスを生成し、かつ望ましいEUV変換効率を取得するには十分に短くない、パルスビーム源の作動の特性によるパルス持続時間を有するレーザ出力光パルスビーム源と、
電力増幅器レーザシステムと、
前記出力光パルスビーム源において生成された出力光パルスの第1の選択部分を選択して、増幅媒体が前記電力増幅器に存在する間に該電力増幅器を通じて該第1の選択部分を誘導し、かつ該出力光パルスビーム源において生成された該出力光パルスの第2の部分を選択して、該増幅媒体が該電力増幅器に存在する間に該電力増幅器を通じて該第2の選択部分を誘導するための選択機構、及び
前記第1及び第2の部分を実質的に重ね合わせて、前記望ましい変換効率を生成するのに十分に短いパルス持続時間を有する前記ターゲットを照射するための結合ビームを形成する結合機構、
を含むパルス持続時間短縮器と、
を含むことを特徴とする光源。 - 前記結合ビームは、前記レーザ出力光パルスビーム源によって生成された前記レーザ出力ビームパルスとして前記パルス持続時間の実質的に半分を有し、かつ該レーザ出力光パルス源によって生成された前記レーザ出力光パルスに含まれるエネルギの実質的に全てを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項69に記載の機器。 - 前記レーザ出力光パルス源は、出力パルス持続時間がレージング媒体の少なくとも1つの成分の遷移状態によって少なくとも部分的に判断される分子又はエキシマガス放電レーザ発振器を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項69に記載の機器。 - 前記レーザ出力光パルス源は、出力パルス持続時間がレージング媒体の少なくとも1つの成分の遷移状態によって少なくとも部分的に判断される分子又はエキシマガス放電レーザ発振器を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項70に記載の機器。 - 前記選択機構は、前記レーザ出力光パルスを該レーザ出力光パルスのエネルギの実質的に半分を含む第1の部分と、該レーザ出力光パルスのエネルギの実質的に他方の半分を含む第2の部分とに分離するパルス分離器を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項69に記載の機器。 - 前記選択機構は、前記レーザ出力光パルスを該レーザ出力光パルスのエネルギの実質的に半分を含む第1の部分と、該レーザ出力光パルスのエネルギの実質的に他方の半分を含む第2の部分とに分離するパルス分離器を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項70に記載の機器。 - 前記選択機構は、前記レーザ出力光パルスを該レーザ出力光パルスのエネルギの実質的に半分を含む第1の部分と、該レーザ出力光パルスのエネルギの実質的に他方の半分を含む第2の部分とに分離するパルス分離器を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項71に記載の機器。 - 前記選択機構は、前記レーザ出力光パルスを該レーザ出力光パルスのエネルギの実質的に半分を含む第1の部分と、該レーザ出力光パルスのエネルギの実質的に他方の半分を含む第2の部分とに分離するパルス分離器を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項72に記載の機器。 - 前記結合機構は、第1の光路と第2の光路を含み、該第2の光路は、該第1及び第2の光路の出力部において前記第1の部分と前記第2の部分を実質的に重ね合わせるのに十分な遅延を有する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項73に記載の機器。 - 前記結合機構は、第1の光路と第2の光路を含み、該第2の光路は、該第1及び第2の光路の出力部において前記第1の部分と前記第2の部分を実質的に重ね合わせるのに十分な遅延を有する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項74に記載の機器。 - 前記結合機構は、第1の光路と第2の光路を含み、該第2の光路は、該第1及び第2の光路の出力部において前記第1の部分と前記第2の部分を実質的に重ね合わせるのに十分な遅延を有する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項75に記載の機器。 - 前記結合機構は、第1の光路と第2の光路を含み、該第2の光路は、該第1及び第2の光路の出力部において前記第1の部分と前記第2の部分を実質的に重ね合わせるのに十分な遅延を有する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項76に記載の機器。 - 前記選択機構は、前記第1の選択部分を選択するように作動する第1の作動光学要素と、前記第2の選択部分を選択するように作動する第2の作動光学要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項73に記載の機器。 - 前記選択機構は、前記第1の選択部分を選択するように作動する第1の作動光学要素と、前記第2の選択部分を選択するように作動する第2の作動光学要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項74に記載の機器。 - 前記選択機構は、前記第1の選択部分を選択するように作動する第1の作動光学要素と、前記第2の選択部分を選択するように作動する第2の作動光学要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項75に記載の機器。 - 前記選択機構は、前記第1の選択部分を選択するように作動する第1の作動光学要素と、前記第2の選択部分を選択するように作動する第2の作動光学要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項76に記載の機器。 - 前記選択機構は、前記第1の選択部分を選択するように作動する第1の作動光学要素と、前記第2の選択部分を選択するように作動する第2の作動光学要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項77に記載の機器。 - 前記選択機構は、前記第1の選択部分を選択するように作動する第1の作動光学要素と、前記第2の選択部分を選択するように作動する第2の作動光学要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項78に記載の機器。 - 前記選択機構は、前記第1の選択部分を選択するように作動する第1の作動光学要素と、前記第2の選択部分を選択するように作動する第2の作動光学要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項79に記載の機器。 - 前記選択機構は、前記第1の選択部分を選択するように作動する第1の作動光学要素と、前記第2の選択部分を選択するように作動する第2の作動光学要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項80に記載の機器。 - 前記第1及び第2の作動光学要素は、それぞれ前記第1の選択部分と前記第2の選択部分の極性を変更するように作動する電気作動式光学要素を含み、更に、該第1の作動光学要素と前記電力増幅器の間の経路における第1の極性特定の反射要素と、該第2の作動光学要素と該電力増幅器の間の経路における第2の極性特定の反射要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項73に記載の機器。 - 前記第1及び第2の作動光学要素は、それぞれ前記第1の選択部分と前記第2の選択部分の極性を変更するように作動する電気作動式光学要素を含み、更に、該第1の作動光学要素と前記電力増幅器の間の経路における第1の極性特定の反射要素と、該第2の作動光学要素と該電力増幅器の間の経路における第2の極性特定の反射要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項74に記載の機器。 - 前記第1及び第2の作動光学要素は、それぞれ前記第1の選択部分と前記第2の選択部分の極性を変更するように作動する電気作動式光学要素を含み、更に、該第1の作動光学要素と前記電力増幅器の間の経路における第1の極性特定の反射要素と、該第2の作動光学要素と該電力増幅器の間の経路における第2の極性特定の反射要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項75に記載の機器。 - 前記第1及び第2の作動光学要素は、それぞれ前記第1の選択部分と前記第2の選択部分の極性を変更するように作動する電気作動式光学要素を含み、更に、該第1の作動光学要素と前記電力増幅器の間の経路における第1の極性特定の反射要素と、該第2の作動光学要素と該電力増幅器の間の経路における第2の極性特定の反射要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項76に記載の機器。 - 前記第1及び第2の作動光学要素は、それぞれ前記第1の選択部分と前記第2の選択部分の極性を変更するように作動する電気作動式光学要素を含み、更に、該第1の作動光学要素と前記電力増幅器の間の経路における第1の極性特定の反射要素と、該第2の作動光学要素と該電力増幅器の間の経路における第2の極性特定の反射要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項77に記載の機器。 - 前記第1及び第2の作動光学要素は、それぞれ前記第1の選択部分と前記第2の選択部分の極性を変更するように作動する電気作動式光学要素を含み、更に、該第1の作動光学要素と前記電力増幅器の間の経路における第1の極性特定の反射要素と、該第2の作動光学要素と該電力増幅器の間の経路における第2の極性特定の反射要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項78に記載の機器。 - 前記第1及び第2の作動光学要素は、それぞれ前記第1の選択部分と前記第2の選択部分の極性を変更するように作動する電気作動式光学要素を含み、更に、該第1の作動光学要素と前記電力増幅器の間の経路における第1の極性特定の反射要素と、該第2の作動光学要素と該電力増幅器の間の経路における第2の極性特定の反射要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項79に記載の機器。 - 前記第1及び第2の作動光学要素は、それぞれ前記第1の選択部分と前記第2の選択部分の極性を変更するように作動する電気作動式光学要素を含み、更に、該第1の作動光学要素と前記電力増幅器の間の経路における第1の極性特定の反射要素と、該第2の作動光学要素と該電力増幅器の間の経路における第2の極性特定の反射要素とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項80に記載の機器。 - レーザ生成プラズマEUV光源であって、
約1054nmの選択波長でレーザ出力光パルスを生成する半導体パルスレーザと、
前記半導体パルスレーザからのレーザ出力レーザパルスを増幅するファイバ増幅器とダイオードポンプ半導体増幅器レーザとを含む半導体増幅器機構と、
前記増幅レーザ出力光パルスを約351nmの波長に変換する高調波発生器と、
約351nmの前記増幅レーザ出力パルスを増幅してLPPのEUV光源駆動レーザシステム出力光パルスを生成する、XeFエキシマレーザ利得媒体を有するXeFエキシマレーザ増幅器チャンバと、
を含むことを特徴とする光源。 - 前記半導体シードレーザは、約1051.2nmから1053.8nmまでの中心波長の帯域で作動するNd3+に基づく常磁性イオンレーザを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項97に記載の機器。 - 前記半導体シードレーザは、
Nd:(Y,Nd)P5Ol4(1051.2nm)、NdP5Ol4(1051.3nm、YP5Ol4(1051.5nm)、NdP5Ol4(1051.5nm)、(Nd、La)P5Ol4(1052nm)、KNdP4Ol2(1052nm)、K5Ndi2F10(1052nm)、Y3Al5Ol2(1052nm)、BaF2−YF3(1052.1nm)、Y3AI5sO12(1052.1nm)、NdP5O14(1052.1nm)、YF3(1052.1nm)、LaF3(1052.3nm)、YP5O14(1052.5nm)、BaF2−GdF3(1052.6nm)、SrF2−GdF3(1052.8nm)、LiYF4(1052.8nm)、NdP5O14(1052.9nm)、BaY2F8(1052.9nm)、LiLuF4(1052.9nm)、LiYF4(1053nm)、(Nd、La)P5O14(1053nm)、Ca3(Nb、Ga)2Ga3O12(1053−1062nm)、LiYF4(1053nm)、BaF2YF8(1053nm)、CaF2−uF3(1053nm)、LaMgA11O19(1053−1059nm)、LiLuF4(1053.1nm)、LiKYF5(1053.2nm)、BaF2−LaF3(1054−1056.3nm)、Lu3Al5O12(1053.5nm)、CaF2−SrF2−BaF2−YF3−LaF3(1053.5−1054.7nm)、CaF2−CeF3(1053.7nm)、及びBaF2−LaF3(1053.8nm)レーザ、
を含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項98に記載の機器。 - 前記ファイバ増幅器は、リン酸塩繊維増幅器を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項97に記載の機器。 - 前記ファイバ増幅器は、リン酸塩繊維増幅器を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項98に記載の機器。 - 前記ファイバ増幅器は、リン酸塩繊維増幅器を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項99に記載の機器。 - 前記半導体増幅器レーザは、Nd:リン酸塩レーザを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項100に記載の機器。 - 前記半導体増幅器レーザは、Nd:リン酸塩レーザを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項101に記載の機器。 - 前記半導体増幅器レーザは、Nd:リン酸塩レーザを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項102に記載の機器。 - 前記半導体シードレーザの前記出力を調整して前記XeFエキシマ増幅器チャンバにおけるレージングの有効性を最大にする調整機構、
を含むことを特徴とする請求項97に記載の機器。 - 前記半導体シードレーザの前記出力を調整して前記XeFエキシマ増幅器チャンバにおけるレージングの有効性を最大にする調整機構、
を含むことを特徴とする請求項98に記載の機器。 - 前記半導体シードレーザの前記出力を調整して前記XeFエキシマ増幅器チャンバにおけるレージングの有効性を最大にする調整機構、
を含むことを特徴とする請求項99に記載の機器。 - 前記半導体シードレーザの前記出力を調整して前記XeFエキシマ増幅器チャンバにおけるレージングの有効性を最大にする調整機構、
を含むことを特徴とする請求項100に記載の機器。 - 前記半導体シードレーザの前記出力を調整して前記XeFエキシマ増幅器チャンバにおけるレージングの有効性を最大にする調整機構、
を含むことを特徴とする請求項101に記載の機器。 - 前記半導体シードレーザの前記出力を調整して前記XeFエキシマ増幅器チャンバにおけるレージングの有効性を最大にする調整機構、
を含むことを特徴とする請求項102に記載の機器。 - 前記半導体シードレーザの前記出力を調整して前記XeFエキシマ増幅器チャンバにおけるレージングの有効性を最大にする調整機構、
を含むことを特徴とする請求項103に記載の機器。 - 前記半導体シードレーザの前記出力を調整して前記XeFエキシマ増幅器チャンバにおけるレージングの有効性を最大にする調整機構、
を含むことを特徴とする請求項104に記載の機器。 - 前記半導体シードレーザの前記出力を調整して前記XeFエキシマ増幅器チャンバにおけるレージングの有効性を最大にする調整機構、
を含むことを特徴とする請求項105に記載の機器。 - 前記調整機構は、前記半導体シードレーザの温度を調節する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項106に記載の機器。 - 前記調整機構は、前記半導体シードレーザの温度を調節する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項107に記載の機器。 - 前記調整機構は、前記半導体シードレーザの温度を調節する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項108に記載の機器。 - 前記調整機構は、前記半導体シードレーザの温度を調節する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項109に記載の機器。 - 前記調整機構は、前記半導体シードレーザの温度を調節する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項110に記載の機器。 - 前記調整機構は、前記半導体シードレーザの温度を調節する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項111に記載の機器。 - 前記調整機構は、前記半導体シードレーザの温度を調節する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項112に記載の機器。 - 前記調整機構は、前記半導体シードレーザの温度を調節する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項113に記載の機器。 - 前記調整機構は、前記半導体シードレーザの温度を調節する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項114に記載の機器。 - レーザ生成プラズマEUV光源であって、
4パスガス放電レーザ増幅器チャンバを含み、
前記4パスガス放電レーザ増幅器チャンバは、
増幅のための直線偏光入力レーザ光パルスビームを受け取り、該入力レーザ光パルスビームを第1の光路に沿って第1の方向に通す第1の極性感応ビームスプリッタと、
前記入力レーザ光パルスビームを前記第1の光路に沿って第2の方向に反射して戻す、該第1の光路の終点の第1の全反射性ミラーと、
前記第1の光路に沿って前記第1及び第2の方向に修正機構を通過させることにより前記入力レーザ光パルスビームにおけるパルスの極性を90°回転させるように作動する、前記第1のビームスプリッタと第1の全反射性ミラーとの中間にある該第1の光路における極性修正機構と、
を含み、
前記第1の極性感応ビーム分割機構は、前記第1の光路に沿って進む前記入力レーザ光パルスビームを第2の光路に沿って前記第2の方向に反射するように作動し、
前記4パスガス放電レーザ増幅器チャンバは、更に、
前記入力レーザ光パルスビームを第3の光路に沿って第1の方向に反射するように作動する、前記第2の光路の終点の第2の極性感応ビーム分割機構と、
前記入力レーザ光パルスビームを前記第3の光路に沿って第2の方向に反射して戻す、該第3の光路の終点の第2の全反射性ミラーと、
前記第2の光路に沿って前記第1及び第2の方向に修正機構を通過させることにより前記入力レーザ光パルスビームにおけるパルスの極性を90°回転させるように作動する、前記第2のビームスプリッタと第2の全反射性ミラーとの中間にある前記第3の光路における極性修正機構と、
を含み、
前記第2の極性感応ビームスプリッタは、受け取った前記入力光レーザパルスビームを増幅出力レーザ光パルスビームとして前記第3の光路に沿って前記第2の方向に通すように作動し、
前記第1及び第3の光路は、前記ガス放電レーザ増幅器チャンバ内で交差している、
ことを特徴とする光源。 - 前記タンパーは、前記液滴を実質的に取り囲んでいる、
ことを更に含むことを特徴とする請求項21に記載の機器。 - 前記タンパーは、前記液滴を実質的に取り囲んでいる、
ことを更に含むことを特徴とする請求項22に記載の機器。 - 前記タンパーは、前記液滴を実質的に取り囲んでいる、
ことを更に含むことを特徴とする請求項23に記載の機器。 - 前記タンパーは、前記液滴を実質的に取り囲んでいる、
ことを更に含むことを特徴とする請求項24に記載の機器。 - 前記タンパーは、前記液滴を実質的に取り囲んでいる、
ことを更に含むことを特徴とする請求項25に記載の機器。 - 前記タンパーは、前記液滴を実質的に取り囲んでいる、
ことを更に含むことを特徴とする請求項26に記載の機器。 - 前記タンパーは、前記液滴を実質的に取り囲んでいる、
ことを更に含むことを特徴とする請求項27に記載の機器。 - 前記タンパーは、前記液滴を実質的に取り囲んでいる、
ことを更に含むことを特徴とする請求項28に記載の機器。 - LPPのEUV光源駆動レーザシステムであって、
約1054nmの発振器レーザ出力光パルスビーム波長を有する半導体発振器レーザと、
前記発振器レーザ出力光ビームの前記波長を約351nmに変換する波長修正機構と、
約351nmに利得中心を有する少なくとも1つのXeFエキシマガス放電増幅器チャンバと、
前記出力レーザ光ビーム波長を調節して前記XeFエキシマガス放電増幅器チャンバの実際の利得中心を適合させる半導体発振器レーザ出力レーザ光パルスビーム調節機構と、
を含むことを特徴とするシステム。 - 前記少なくとも1つのXeFエキシマガス放電増幅器チャンバは、第1及び第2のチャンバを含み、
前記発振器レーザ出力光パルスビームの第1の部分を前記第1のチャンバ内に、かつ該発振器レーザ出力光パルスビームの第2の部分を前記第2のチャンバ内に誘導するビームスプリッタと、
前記第1のチャンバからの第1の増幅出力レーザ光パルスビームを前記第2のチャンバからの第2の増幅出力レーザ光パルスビームと結合してLPPのEUV光源駆動レーザ出力光パルスビームにするビーム結合器と、
を更に含むことを特徴とする請求項133に記載の機器。 - 前記発振器レーザ出力光パルスビームは、前記少なくとも1つのXeFエキシマガス放電レーザチャンバに収容された利得媒体を通って該少なくとも1つのXeFエキシマガス放電チャンバを通過する少なくとも3つのパスを形成する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項133に記載の機器。 - 前記発振器レーザ出力光パルスビームは、前記少なくとも1つのXeFエキシマガス放電レーザチャンバに収容された利得媒体を通って該少なくとも1つのXeFエキシマガス放電チャンバを通過する少なくとも3つのパスを形成する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項134に記載の機器。 - 高変換効率LPPのEUV光源であって、
少なくとも2つの駆動レーザターゲット照射パルスを用いて異なる波長でプラズ開始ターゲットを同時に照射するレーザターゲット照射パルス発生機構、
を含むことを特徴とする光源。 - 前記少なくとも2つのターゲット照射パルスは、第1の波長での少なくとも第1のパルスと、該第1の波長よりも長く、かつ該第1の波長ほど前記ターゲット内に深く吸収されない該第1の波長よりも低い関連の臨界密度を有する第2の波長での第2のパルスとを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項137に記載の機器。 - 前記第2のパルスの吸収によって生じたプラズマは、該第2のパルスによって形成されたプラズマを圧縮する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項138に記載の機器。 - 前記第2のパルスによって生じたプラズマは、前記第1のパルスによって形成されたプラズマの方向にターゲット材料の融除を引き起こし、該第1のパルスによって形成された該プラズマを閉じ込める、
ことを更に含むことを特徴とする請求項137に記載の機器。 - 前記第2のパルスによって生じたプラズマは、前記第1のパルスによって形成されたプラズマの方向にターゲット材料の融除を引き起こし、該第1のパルスによって形成された該プラズマを閉じ込める、
ことを更に含むことを特徴とする請求項138に記載の機器。 - 前記少なくとも2つのパルスは、少なくとも前記第1の波長と、前記第2の波長とを含む単一パルスを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項140に記載の機器。 - 前記少なくとも2つのパルスは、少なくとも前記第1の波長と、前記第2の波長とを含む単一パルスを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項141に記載の機器。 - LPPのEUV光源であって、
少なくとも1つの駆動レーザと、
前記駆動レーザによる照射によるプラズマ開始のためのターゲットと、
プラズマ両極拡散相殺機構と、
を含むことを特徴とする光源。 - 前記両極拡散相殺機構は、負電界発生器を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項144に記載の機器。 - 前記負電界発生器は、前記ターゲットに対して負電界を付与するように作動する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項145に記載の機器。 - 前記両極拡散相殺機構は、ターゲット送出機構の一部分を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項144に記載の機器。 - 前記両極拡散相殺機構は、ターゲット送出機構の一部分を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項145に記載の機器。 - 前記両極拡散相殺機構は、ターゲット送出機構の一部分を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項146に記載の機器。 - 前記ターゲットは、液体金属液滴である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項144に記載の機器。 - 前記ターゲットは、液体金属液滴である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項145に記載の機器。 - 前記ターゲットは、液体金属液滴である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項146に記載の機器。 - 前記ターゲットは、液体金属液滴である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項147に記載の機器。 - 前記ターゲットは、液体金属液滴である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項148に記載の機器。 - 前記ターゲットは、液体金属液滴である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項149に記載の機器。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/803,526 US7087914B2 (en) | 2004-03-17 | 2004-03-17 | High repetition rate laser produced plasma EUV light source |
US10/979,919 US7317196B2 (en) | 2004-03-17 | 2004-11-01 | LPP EUV light source |
PCT/US2005/007063 WO2005089131A2 (en) | 2004-03-17 | 2005-03-03 | Lpp euv light source |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007529903A true JP2007529903A (ja) | 2007-10-25 |
JP2007529903A5 JP2007529903A5 (ja) | 2008-04-17 |
Family
ID=34994164
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007503940A Pending JP2007529903A (ja) | 2004-03-17 | 2005-03-03 | Lppのeuv光源 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1730764A4 (ja) |
JP (1) | JP2007529903A (ja) |
KR (1) | KR20060125905A (ja) |
WO (1) | WO2005089131A2 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005310453A (ja) * | 2004-04-19 | 2005-11-04 | Canon Inc | 光源装置、当該光源装置を有する露光装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2005-03-03 JP JP2007503940A patent/JP2007529903A/ja active Pending
- 2005-03-03 EP EP05724577A patent/EP1730764A4/en not_active Withdrawn
- 2005-03-03 WO PCT/US2005/007063 patent/WO2005089131A2/en not_active Application Discontinuation
- 2005-03-03 KR KR1020067019063A patent/KR20060125905A/ko not_active Application Discontinuation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060125905A (ko) | 2006-12-06 |
WO2005089131A3 (en) | 2006-06-08 |
EP1730764A4 (en) | 2010-08-18 |
EP1730764A2 (en) | 2006-12-13 |
WO2005089131A2 (en) | 2005-09-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080228 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080228 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101014 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
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