JP2010103104A - 極端紫外光源装置、極端紫外光源装置用レーザ光源装置及び極端紫外光源装置で使用される可飽和吸収体の制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可飽和吸収体(SA)装置33は、自励発振光や寄生発振光あるいは戻り光のような微弱な光を吸収するために、レーザビームライン中に設けられる。SAガスボンベ334(1)からのSAガスとバッファガスボンベ334(2)からのバッファガスとは混合されて、混合ガスとなる。混合ガスは、供給管路333(1)を介して、SAガスセル330に供給され、レーザ光L1に含まれる微弱光を吸収する。混合ガスは、排出管路333(2)を介して排出され、熱交換器332に送られる。熱交換器332で冷却された混合ガスは、循環ポンプ331(1)により、再びSAガスセル330に送られる。
【選択図】図2
Description
第20観点では、第1〜16観点のいずれかにおいて、前記温度調節部は前記可飽和吸収体が吸収した熱を廃熱するための廃熱装置と前記可飽和吸収帯の温度を制御するための制御装置で構成されている。
Claims (26)
- 極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置であって、
チャンバ内にターゲット物質を供給するターゲット物質供給部と、
パルスレーザ光を出力するためのレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出力される前記レーザ光を増幅させる少なくとも2つ以上の増幅器と、
前記増幅器により増幅されて出力されるレーザ光を前記チャンバ内の所定位置に集光させることにより、前記増幅後のレーザ光を前記ターゲット物質に照射させる集光光学系と、
前記レーザ発振器と前記所定位置との間の光路中に設けられ、少なくとも所定値以下の光強度のレーザ光を吸収し、透過するのを抑制するための可飽和吸収体装置とを備え、
前記可飽和吸収体装置は、
可飽和吸収体の流通する流通空間を有する本体部と、前記流通空間に前記可飽和吸収体を流入させるための流入口と、前記流通空間から前記可飽和吸収体を流出させるための流出口と、前記流通空間に前記レーザ発振器の出力レーザ光を通過させるためのウインドウとを備える可飽和吸収体セルと、
前記流入口と前記流出口とを接続するための管路と、
前記管路の途中に設けられ、前記流出口から流出する前記可飽和吸収体を前記流入口から前記流通空間に流入させるように輸送する輸送部と、
前記管路の途中に設けられ、前記輸送部により輸送される前記可飽和吸収体の温度を調節するための温度調節部と、
を備える極端紫外光源装置。 - 前記可飽和吸収体セルは、
前記レーザ発振器の出力レーザ光の入射する入射側に配置される入射ウインドウと、
前記レーザ発振器の出力レーザ光の出射する出射側に配置される出射ウインドウと、
前記各ウインドウ間に形成される前記流通空間と、
前記流入口と、
前記流出口とを、備えて構成される請求項1に記載の極端紫外光源装置。 - 前記流通空間内の前記可飽和吸収体の流れが、前記流通空間を通過する前記レーザ光の光軸に対して略対称となるように、前記流入口及び前記流出口が配置されている、請求項1に記載の極端紫外光源装置。
- 前記流通空間内の前記可飽和吸収体の流れが、前記各ウインドウ間を通過する前記レーザ光の光軸に対して略対称となるように、前記流入口及び前記流出口が配置されている、請求項2に記載の極端紫外光源装置。
- 前記各ウインドウの内面側を前記可飽和吸収体が流通し、かつ、前記ウインドウ間を前記レーザ光の光軸に沿って前記可飽和吸収体が移動するように、前記流入口または前記流出口が前記各ウインドウの近傍に設けられる、請求項2に記載の極端紫外光源装置。
- 前記流入口は、前記入射ウインドウの側及び前記出射ウインドウの側の両方にそれぞれ設けられており、
前記流出口は、前記各ウインドウ間に設けられる、請求項2に記載の極端紫外光源装置。 - 前記流出口は、前記入射ウインドウの側及び前記出射ウインドウの側の両方にそれぞれ設けられており、
前記流入口は、前記各ウインドウ間の略中央部に位置して設けられる、請求項2に記載の極端紫外光源装置。 - 前記流入口は、前記各ウインドウの内面中心に向けて傾斜して設けられている、請求項6に記載の極端紫外光源装置。
- 前記流出口は、前記各ウインドウの内面中心に向けて傾斜して設けられている、請求項7に記載の極端紫外光源装置。
- 前記各ウインドウはそれぞれ円形状に形成されており、
前記流入口は、前記入射ウインドウの側及び前記出射ウインドウの側のそれぞれの側において、前記各ウインドウ間を通過する前記レーザ光の光軸に軸対称となるように複数ずつ設けられており、かつ、前記入射ウインドウ側に設けられる前記各流入口は前記入射ウインドウの接線方向と平行に設けられており、前記出射ウインドウ側に設けられる前記各流入口は前記出射ウインドウの接線方向と平行に設けられており、
前記流出口は、前記各ウインドウの間に位置して、前記レーザ光の光軸に軸対称となるように複数設けられている、請求項2に記載の極端紫外光源装置。 - 前記各ウインドウはそれぞれ円形状に形成されており、
前記流出口は、前記入射ウインドウの側及び前記出射ウインドウの側のそれぞれの側において、前記各ウインドウ間を通過する前記レーザ光に対称となるように複数ずつ設けられており、かつ、前記入射ウインドウ側に設けられる前記各流出口は前記入射ウインドウの接線方向と平行に設けられており、前記出射ウインドウ側に設けられる前記各流出口は前記出射ウインドウの接線方向と平行に設けられており、
前記流入口は、前記各ウインドウの間に位置して、前記レーザ光に対称となるように複数設けられている、請求項2に記載の極端紫外光源装置。 - 前記各ウインドウはそれぞれ円形状に形成されており、
前記流出口は、前記入射ウインドウの側及び前記出射ウインドウの側のそれぞれの側において、前記各ウインドウ間を通過する前記レーザ光軸に軸対称となるように複数ずつ設けられており、
前記流入口は、前記各ウインドウの間に位置して、前記レーザ光軸に軸対称となるように複数設けられており、
前記各ウインドウの内面外周側と前記各流出口との間には、前記可飽和吸収体を流通させるための流通孔が複数形成されている流通制御部材が設けられている、請求項2に記載の極端紫外光源装置。 - 前記流通制御部材は、
前記各ウインドウに同軸に配置される筒状部材であって、その一方の端部が前記各ウインドウの内面側に設けられ、前記各流通孔を有する筒状部材と、
前記可飽和吸収体が前記各流通孔以外から前記各流出口に流れ込まないように、前記筒状部材の他方の端部と前記流通空間の内壁部との間を施蓋する環状の鍔部と、
を備えて構成されている、請求項12に記載の極端紫外光源装置。 - 前記可飽和吸収体セルは複数設けられており、一方の可飽和吸収体セル内の前記可飽和吸収体の流通方向と他方の可飽和吸収体セル内の前記可飽和吸収体の流通方向とは、逆向きになるように設定されている、請求項2に記載の極端紫外光源装置。
- 前記入射ウインドウと前記出射ウインドウとは共通のウインドウにより構成されており、かつ、前記流通空間には、前記共通のウインドウから入射する前記レーザ発振器の出力レーザ光を反射させて、前記共通のウインドウから出射させるための反射光学系が設けられている、請求項2に記載の極端紫外光源装置。
- 前記可飽和吸収体装置を通過する前記レーザ光の波面を補正するための波面補正装置を備える、請求項1〜請求項15のいずれかに記載の極端紫外光源装置。
- 前記波面補正装置は、
前記レーザ光の方向及び波面の形状を直接的または間接的に計測するための波面計測部と、
前記レーザ光の前記方向及び前記波面の形状を所定の方向及び所定の波面の形状に補正させるための波面補正部と、
前記波面計測部からの計測結果に基づいて前記波面補正部を動作させるための波面制御部と、を備えて構成される、請求項16に記載の極端紫外光源装置。 - 前記輸送部及び前記温度調節部を制御するための制御部を備える、請求項1に記載の極端紫外光源装置。
- 前記温度調節部は、可飽和吸収体が吸収した熱を廃熱するための廃熱装置で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の極端紫外光源装置。
- 前記温度調節部は、可飽和吸収体が吸収した熱を廃熱するための廃熱装置と前記可飽和吸収体の温度を制御するための制御装置で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の極端紫外光源装置。
- 極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置であって、
チャンバ内にターゲット物質を供給するターゲット物質供給部と、
パルスレーザ光を出力するためのレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出力される前記レーザ光を増幅させる少なくとも2つ以上の増幅器と、
前記増幅器により増幅されて出力されるレーザ光を前記チャンバ内の所定位置に集光させることにより、前記増幅後のレーザ光を前記ターゲット物質に照射させる集光光学系と、
前記レーザ発振器と前記所定位置との間の光路中に設けられ、少なくとも所定値以下の光強度のレーザ光を吸収し、透過するのを抑制するための可飽和吸収体装置とを備え、
前記可飽和吸収体装置は、
可飽和吸収体の流通する流通空間を有する本体部と、前記流通空間に前記可飽和吸収体を流入させるための流入口と、前記流通空間から前記可飽和吸収体を流出させるための流出口と、前記流通空間に前記レーザ発振器の出力レーザ光を通過させるための、ダイヤモンドから形成されるウインドウとを備える可飽和吸収体セルと、
を備える極端紫外光源装置。 - パルスレーザ光を出力するためのレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出力される前記レーザ光を増幅させる少なくとも2つ以上の増幅器と、
前記レーザ発振器と前記増幅器との間の光路中または前記各増幅器の間の光路中に設けられ、少なくとも所定値以下の光強度のレーザ光を吸収し、透過するのを抑制するための可飽和吸収体装置とを備え、
前記可飽和吸収体装置は、
可飽和吸収体の流通する流通空間を有する本体部と、前記流通空間に前記可飽和吸収体を流入させるための流入口と、前記流通空間から前記可飽和吸収体を流出させるための流出口と、前記流通空間に前記レーザ発振器の出力レーザ光を通過させるためのウインドウとを備える可飽和吸収体セルと、
前記流入口と前記流出口とを接続するための管路と、
前記管路の途中に設けられ、前記流出口から流出する前記可飽和吸収体を前記流入口から前記流通空間に流入させるように輸送する輸送部と、
前記管路の途中に設けられ、前記輸送部により輸送される前記可飽和吸収体の温度を調節するための温度調節部と、
を備えるパルスレーザ装置。 - 前記温度調節部は、可飽和吸収体が吸収した熱を廃熱するための廃熱装置で構成されていることを特徴とする請求項22に記載のパルスレーザ装置。
- 前記温度調節部は、可飽和吸収体が吸収した熱を廃熱するための廃熱装置と前記可飽和吸収体の温度を制御するための制御装置で構成されていることを特徴とする請求項22に記載のパルスレーザ装置。
- パルスレーザ光を出力するためのレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出力される前記レーザ光を増幅させる少なくとも2つ以上の増幅器と、
前記レーザ発振器と前記増幅器との間の光路中または前記各増幅器の間の光路中に設けられ、少なくとも所定値以下の光強度のレーザ光を吸収し、透過するのを抑制するための可飽和吸収体装置とを備え、
前記可飽和吸収体装置は、
可飽和吸収体の流通する流通空間を有する本体部と、前記流通空間に前記可飽和吸収体を流入させるための流入口と、前記流通空間から前記可飽和吸収体を流出させるための流出口と、前記流通空間に前記レーザ発振器の出力レーザ光を通過させるための、ダイヤモンドから形成されるウインドウとを備える可飽和吸収体セルと、
を備えるレーザ装置。 - 極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置で使用される可飽和吸収体を制御するための方法であって、
前記極端紫外光を発生させるためのレーザ光が透過する可飽和吸収体セルに、前記可飽和吸収体を循環させ、
循環される前記可飽和吸収体の温度を所定温度に維持し、
前記可飽和吸収体セルの有する一つまたは複数のウインドウの温度分布が前記レーザ光の光軸に対して略対称となるように、前記可飽和吸収体セルに前記可飽和吸収体を流通させる、
極端紫外光源装置で使用される可飽和吸収体の制御方法。
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