JP2013127975A - 極端紫外光源装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この極端紫外光源装置は、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内の所定の位置に液体又は固体の金属ターゲットを供給するターゲット供給手段と、互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームを重ね合わせて、ターゲット供給手段によって供給されるターゲットに照射することによりプラズマを生成するレーザビーム生成部であって、互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームをそれぞれ生成する複数系列のレーザ装置を含み、それらのレーザ装置からそれぞれ出力される複数のパルスレーザビームが、プラズマ発生位置において重ね合わされる、レーザビーム生成部とを具備する。
【選択図】図5
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係るEUV光源装置の構成を示す概略図である。本実施形態に係るEUV光源装置は、レーザビームをターゲット物質に照射して励起させることによりEUV光を生成するレーザ励起プラズマ(LPP)方式を採用している。
さらに、上記の実施形態及び変形例の内の2つ以上を組み合わせることによって、ほぼ一定の強度を有する単一パルス又はパルス列を実現するようにしても良い。
Claims (4)
- ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生するレーザ生成プラズマ型極端紫外光源装置であって、
極端紫外光の生成が行われるチャンバと、
前記チャンバ内の所定の位置に液体又は固体の金属ターゲットを供給するターゲット供給手段と、
互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームを重ね合わせて、前記ターゲット供給手段によって供給されるターゲットに照射することによりプラズマを生成するレーザビーム生成部であって、互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームをそれぞれ生成する複数系列のレーザ装置を含み、前記複数系列のレーザ装置からそれぞれ出力される複数のパルスレーザビームが、プラズマ発生位置において重ね合わされる、前記レーザビーム生成部と、
を具備する極端紫外線光源装置。 - 前記プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーをさらに具備する、請求項1記載の極端紫外線光源装置。
- 前記コレクタミラーに、前記複数系列のレーザ装置からそれぞれ出力される複数のパルスレーザビームを通過させるための複数の開口が形成されている、請求項2記載の極端紫外線光源装置。
- 前記複数系列のレーザ装置の各々が、パルスレーザビームを出力する発振段レーザ装置と、前記発振段レーザ装置から出力されるパルスレーザビームを増幅する少なくとも1段の増幅器を含む増幅段装置とを有する、請求項1〜3のいずれか1項記載の極端紫外線光源装置。
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JP2006032322A (ja) * | 2004-06-11 | 2006-02-02 | Xtreme Technologies Gmbh | レーザにより誘発されるプラズマを用いたeuv放射線の時間的に安定な生成のための装置 |
JP2006303461A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-11-02 | Xtreme Technologies Gmbh | レーザ生成プラズマに基づく短波長放射線の効率的な生成のための方法および装置 |
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