JP5108367B2 - 極端紫外光源装置 - Google Patents
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図1は、本発明の基本概念を説明するための図である。図1に示すEUV光源装置は、レーザビームをターゲット物質に照射して励起させることによりEUV光を生成するレーザ励起プラズマ(LPP)方式を採用している。
Claims (7)
- 金属ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生させる極端紫外光源装置であって、
前記レーザビームが照射された前記金属ターゲットから発生する金属デブリを帯電させる帯電部と、帯電した該金属デブリを捕集電極により捕集する捕集部とを有して、前記金属デブリを帯電させて捕集する静電除塵装置と、
前記捕集部で捕集した前記金属デブリを該捕集部から離脱させるデブリ離脱部と、離脱させた前記金属デブリを回収する回収ポッドとを有して、前記捕集部で捕集した前記金属デブリを離脱させて回収するデブリ回収機構と、
を備えて、前記レーザビームが照射された前記金属ターゲットから発生する前記金属デブリを捕集して回収する除塵装置、
を具備する極端紫外光源装置。 - 前記帯電部は、マイクロ波を照射して電子サイクロトロン共鳴により金属デブリを帯電させるマイクロ波源を備える、請求項1記載の極端紫外光源装置。
- 前記帯電部は、電子シャワーを吹きかけて金属デブリを帯電させる電子銃を備える、請求項1または2記載の極端紫外光源装置。
- 前記帯電部は、コロナ放電により金属デブリを帯電させる帯電電極を備える、請求項1記載の極端紫外光源装置。
- 前記デブリ離脱部は、捕集した前記金属デブリを前記捕集部から離脱させるためのブローガスを供給するブローノズルを具備する、請求項1から4のいずれか1項に記載の極端紫外光源装置。
- 前記デブリ離脱部は、前記ブローガスを供給するときに前記捕集部を振動させる振動素子をさらに備える、請求項5記載の極端紫外光源装置。
- 前記デブリ離脱部は、捕集した前記金属デブリを前記捕集部から離脱させるために該金属デブリを加熱する加熱装置を具備する、請求項1から4のいずれか1項に記載の極端紫外光源装置。
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