JP6182601B2 - 放射源及びリソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2012年6月22日出願の米国仮出願第61,663,210号、2012年8月3日出願の米国仮出願第61,679,567号、2012年9月18日出願の米国仮出願第61,702,443号、2012年10月15日出願の米国仮出願第61,713,922号、2012年11月5日出願の米国仮出願第61,722,488号、2012年12月19日出願の米国仮出願第61,739,358号及び2013年3月29日出願の米国仮出願第61,806,644号の利益を主張し、それらの全体が参照により本明細書に組み込まれる。
[0123] 1.ステップモードにおいては、支持構造(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは、基本的に静止状態に維持される一方、放射ビームに与えたパターン全体が1回でターゲット部分Cに投影される(すなわち単一静的露光)。次に、別のターゲット部分Cを露光できるように、基板テーブルWTがX方向及び/又はY方向に移動される。
[0124] 2.スキャンモードにおいては、支持構造(例えばマスクテーブル)MT及び基板テーブルWTは同期的にスキャンされる一方、放射ビームに与えられるパターンがターゲット部分Cに投影される(すなわち単一動的露光)。支持構造(例えばマスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影システムPSの拡大(縮小)及び像反転特性によって求めることができる。
[0125] 3.別のモードにおいては、支持構造(例えばマスクテーブル)MTはプログラマブルパターニングデバイスを保持して基本的に静止状態に維持され、基板テーブルWTを移動又はスキャンさせながら、放射ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する。このモードでは、一般にパルス状放射源を使用して、基板テーブルWTを移動させるごとに、又はスキャン中に連続する放射パルス間で、プログラマブルパターニングデバイスを必要に応じて更新する。この動作モードは、以上で言及したようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用できる。
1.燃料がEUV放射を放出する位置に燃料を給送するように構成された燃料源を備える放射源であって、該放射源が、複数の溝を設けた固定燃料デブリ受け面をさらに備え、前記溝が、液体燃料の流れを重力の影響で1つ以上の所望の方向に誘導するように配置された向きを有する、放射源。
2.前記燃料デブリ受け面に複数のベーンを備え、前記複数の溝が前記ベーン内に設けられる、条項1に記載の放射源。
3.前記溝の少なくとも幾つかが、毛管作用を引き起こす断面サイズ及び/又は形状を有する、条項1に記載の放射源。
4.前記溝の少なくとも幾つかが、液体燃料を前記溝内に引き込む吸い上げ作用を引き起こす断面サイズ及び/又は形状を有する、条項1に記載の放射源。
5.1つ以上の前記溝が、前記溝に沿って長手方向に延在する隅部を含む、条項1に記載の放射源。
6.1つ以上の前記溝の断面形状がv形である、条項1に記載の放射源。
7.前記v形の溝が、約30°〜50°の開き角を有する、条項6に記載の放射源。
8.前記溝が、互いに実質的に平行に延在する溝の集合から成る、条項1に記載の放射源。
9.前記溝の少なくとも幾つかの深さが0.1mm以上である、条項1に記載の放射源。
10.前記溝の少なくとも幾つかの深さが2mm以下である、条項1に記載の放射源。
11.前記溝の少なくとも幾つかの幅が0.1mm以上である、条項1に記載の放射源。
12.前記溝の少なくとも幾つかの幅が10mm以下である、条項1に記載の放射源。
13.隣接する溝が、前記液体燃料の毛管長さの2倍以下である、条項1に記載の放射源。
14.前記ベーンが、前記放射源のハウジングの周囲に配分される、条項2に記載の放射源。
15.前記ベーンが、前記放射源の中間焦点の近傍に位置する反射構造である、条項2に記載の放射源。
16.前記ベーンが、前記放射源の燃料キャッチャ内に位置する、条項2に記載の放射源。
17.前記溝が、前記液体燃料の流れを重力の影響でドレン又は排出溝に誘導するように配置された向きを有する、条項1に記載の放射源。
18.前記溝が、前記ドレン又は排出溝に接続される、条項17に記載の放射源。
19.前記ベーンが、加熱装置によって、前記燃料の溶解温度超で前記燃料の蒸発温度未満の温度に加熱される、条項1に記載の放射源。
20.前記固定燃料デブリ受け面が、前記放射源の内部を横切って延在し、それによって放射を遮るバーである、条項1に記載の放射源。
21.前記バーが非水平の向きを有する、条項20に記載の放射源。
22.前記バーの最下部から残りの部分への熱伝達が制限されるように、前記バーが、前記バーの残りの部分から熱的に分離された最下部を含む、条項20に記載の放射源。
23.前記熱的分離が、前記バーの前記最下部と前記残りの部分との間の接続部を狭めることによってもたらされる、条項22に記載の放射源。
24.前記熱的分離が、使用時に、前記バーの前記最下部が前記燃料の蒸発温度超の温度に加熱されるような熱的分離である、条項22に記載の放射源。
25.燃料がEUV放射を放出する位置に前記燃料を給送するように構成された燃料源を備える放射源を備える装置であって、前記放射源が、複数の溝を設けた固定燃料デブリ受け面をさらに備え、前記溝が、液体燃料の流れを重力の影響で1つ以上の所望の方向に誘導するように配置された向きを有する、装置。
26.放射源を用いてEUV放射を生成する方法であって、
EUV放射を放出するプラズマが燃料を用いて生成される位置に燃料を給送するステップと、
前記放射源の固定面上に液体燃料を受けるステップと、を含み、
前記固定面上に設けられた溝が、液体燃料の流れを重力の影響で1つ以上の所望の方向に誘導する、方法。
27.燃料がEUV放射を放出する位置に前記燃料を給送するように構成された燃料源を備える放射源であって、前記放射源が、燃料デブリ受け面と、液体燃料の流れを前記燃料デブリ受け面に給送するように構成された液体燃料入口とをさらに備える、放射源。
28.前記液体燃料入口が、前記燃料デブリ受け面に接続される、条項27に記載の放射源。
29.前記液体燃料入口が、液体燃料のコーティングを前記燃料デブリ受け面に供給するように構成された、条項27に記載の放射源。
30.前記燃料デブリ受け面が、複数のベーンを備える、条項27に記載の放射源。
31.前記ベーン間の空間が、前記液体燃料の流れを重力の影響で1つ以上の所望の方向に誘導する溝である、条項30に記載の放射源。
32.前記液体燃料入口が、前記ベーンの間に、又は前記ベーンに隣接して位置する開口を備える、条項30に記載の放射源。
33.前記液体燃料入口が、前記ベーンのベース領域を所望の充填レベルに充填する速度で液体燃料を給送するように構成された、条項30に記載の放射源。
34.前記ベーンが、液体燃料を前記ベーンの先端から引き込む毛管圧を生じるような形状とされる、条項30に記載の放射源。
35.前記液体燃料入口が、導管に接続された複数の開口を備える、条項27に記載の放射源。
36.前記放射源が、前記燃料デブリ受け面を前記燃料の溶解温度超の温度に加熱するように構成されたヒータをさらに備える、条項27に記載の放射源。
37.EUV放射を生成するために燃料を使用する放射源内の汚染を制御する方法であって、
液体燃料のコーティングが燃料デブリ受け面上に維持されるように、入口を経て液体燃料を前記燃料デブリ受け面に給送するステップを含む、方法。
38.燃料がEUV放射を放出する位置に前記燃料を給送するように構成された燃料源を備える放射源を備える装置であって、前記放射源が、燃料デブリ受け面と、液体燃料の流れを前記燃料デブリ受け面上に給送するように構成された液体燃料入口とをさらに備える、装置。
39.放射源を使用してEUV放射を生成する方法であって、
燃料を使用してEUV放射を放出するプラズマが生成される位置に前記燃料を給送するステップと、
液体燃料を前記放射源の固定面上に受けるステップと、
前記固定面に設けられた溝を用いて液体燃料の流れを重力の影響で1つ以上の所望の方向に誘導するステップと、
を含む、方法。
40.放射源であって、
燃料がEUV放射を放出する位置に燃料を給送するように構成された燃料源と、
燃料デブリ受け面、及び液体合金又は金属の流れを前記燃料デブリ受け面に給送するように構成された液体入口と、
を備える、放射源。
41.前記液体入口が、前記燃料デブリ受け面に接続される、条項40に記載の放射源。
42.前記液体燃料入口が、液体合金又は金属のコーティングを前記燃料デブリ受け面に供給するように構成された、条項40に記載の放射源。
43.前記燃料デブリ受け面が、複数のベーンを備える、条項40に記載の放射源。
44.前記ベーン間の空間が、液体合金又は金属の流れを重力の影響で1つ以上の所望の方向に誘導する溝である、条項43に記載の放射源。
45.前記液体入口が、前記ベーンの間に、又は前記ベーンに隣接して位置する開口を備える、条項43に記載の放射源。
46.前記液体入口が、前記ベーンのベース領域を所望の充填レベルに充填する速度で液体合金又は金属を給送するように構成された、条項43に記載の放射源。
47.前記ベーンが、液体合金又は金属を前記ベーンの先端から引き離す毛管圧を生成するような形状とされる、条項43に記載の放射源。
48.前記液体入口が、導管に接続された複数の開口を備える、条項40に記載の放射源。
49.前記液体合金又は金属が、液体燃料である、条項40に記載の放射源。
50.前記放射源が、前記燃料デブリ受け面を前記燃料の溶解温度超の温度に加熱するように構成されたヒータをさらに備える、条項49に記載の放射源。
51.前記液体入口が、前記金属又は合金がそこを通って給送される多孔質金属から成る、条項40に記載の放射源。
52.前記液体入口が、室温で液体である金属又は合金を前記燃料デブリ受け面に給送するように構成される、条項40に記載の放射源。
53.前記金属又は合金が、ガリンスタンである、条項52に記載の放射源。
54.前記放射源が、前記放射源のハウジングを冷却するように構成された冷却装置をさらに備える、条項52に記載の放射源。
55.前記冷却装置が、前記放射源の前記ハウジングをほぼ室温に冷却するように構成された、条項54に記載の放射源。
56.燃料を使用してEUV放射を生成する放射源内の汚染を制御する方法であって、
液体合金又は金属のコーティングが前記燃料デブリ受け面上に維持されるように、液体合金又は金属を燃料デブリ受け面上に給送するステップを含む、方法。
57.前記合金又は金属が、前記入口を経て連続的に給送される、条項56に記載の方法。
58.前記合金又は金属が、前記入口を経て断続的に給送される、条項56に記載の方法。
59.前記入口が、前記金属又は合金が給送される多孔質金属から成る、条項56に記載の方法。
60.前記金属又は合金が、液体燃料である、条項56に記載の方法。
61.前記金属又は合金が、室温で液体である、条項56に記載の方法。
62.前記金属又は合金が、ガリスタンである、条項61に記載の方法。
63.前記方法が、前記放射源のハウジングを室温に冷却するステップをさらに含む、条項61に記載の方法。
64.液体燃料デブリガイド装置であって、
表面と、
絶縁層によって前記表面から離間された2つの電極であって、前記表面上の経路を画定するギャップが前記2つの電極間に設けられる2つの電極と、
前記電極の1つに電圧を印加するように構成され、それによって、前記電極間の前記ギャップを横切る電位差を確立し、前記電位差は、液体燃料小滴を前記ギャップによって画定される前記経路に沿って案内するように作用する、電圧源と、
を備える、液体燃料デブリガイド装置。
65.前記装置が、1つ以上の電圧源に接続された1つ以上の追加の電極をさらに備え、該電極間に前記表面上の経路を画定するギャップが設けられる、条項64の液体燃料デブリガイド装置。
66.液体燃料デブリの流れを誘導する方法であって、
絶縁層によって表面から離間された2つの電極の1つに電圧を印加するステップであって、前記2つの電極間に前記表面上の経路を画定するギャップが設けられ、前記電圧は、前記電極間のギャップを横切る電位差を確立し、前記電位差は、前記ギャップによって画定される前記経路に沿って液体燃料小滴を案内するように作用する、ステップを含む、方法。
67.EUV放射源用の燃料コレクタであって、
レセプタクルと、
前記レセプタクルの上方に位置するリザーバと、を備え、
前記リザーバに、液体燃料を前記リザーバから前記レセプタクルに排出し得る穴を設け、
隆起リップが前記穴の周囲に延在し、液体燃料のレベルが前記隆起リップの高さを越えるまで、液体燃料が前記穴に入ることを前記隆起リップが防止する、燃料コレクタ。
68.前記隆起リップが、非湿潤性材料から形成される、条項67に記載の燃料コレクタ。
69.前記隆起リップが、モリブデンから形成される、条項67に記載の燃料コレクタ。
70.前記隆起リップが、丸みを帯びた上表面を有する、条項67に記載の燃料コレクタ。
71.前記隆起リップの高さが、前記液体燃料の毛管長さ以上である、条項67に記載の燃料コレクタ。
72.前記穴から下方に突起するリップをさらに備える、条項67に記載の燃料コレクタ。
73.前記下方に突起するリップが、鋭利な内隅部を有する、条項72に記載の燃料コレクタ。
74.EUV放射を放出する位置に燃料を給送するように構成された放射源であって、
燃料デブリ受け面と、
レセプタクルとリザーバとを備えた燃料コレクタであって、前記リザーバが前記レセプタクルの上方に位置する燃料コレクタと、を備え、
前記リザーバに、液体燃料を前記リザーバから前記レセプタクルに排出する穴を設け、
隆起リップが前記穴の周囲に延在し、前記隆起リップが、前記液体燃料のレベルが前記隆起リップの高さを越えるまで前記液体燃料が前記穴に入ることを防止する、放射源。
75.放射源収納装置であって、
回転自在に取り付けられたハウジングと、
前記ハウジングを駆動して回転させるように配置されたアクチュエータと、
前記ハウジングの第1の部分に隣接して位置するヒータと、
前記ハウジングの第2の異なる部分に隣接して位置するクーラと、
を備える、放射源収納装置。
76.前記ハウジングの前記第1の部分が下向きの内表面を有していない、条項75に記載の放射源収納装置。
77.前記ハウジングの前記第1の部分が、液体燃料がその内部から滴下できる内表面を有していない、条項75に記載の放射源収納装置。
78.前記ハウジングの前記第1の部分が、前記回転自在に取り付けられたハウジングの最も下側である、条項75に記載の放射源収納装置。
79.前記ヒータが、前記回転自在に取り付けられたハウジングの前記第1の部分を、スズの溶解温度超の温度に加熱するように配置され、前記クーラが、前記回転自在に取り付けられたハウジングの前記第2の部分を、スズの溶解温度未満の温度に冷却するように配置される、条項75に記載の放射源収納装置。
80.前記クーラが、前記回転自在に取り付けられたハウジングの周囲の少なくとも約2/3に延在する、条項75に記載の放射源収納装置。
81.前記ヒータが、前記回転自在に取り付けられたハウジングの周囲の約1/3未満に延在する、条項75に記載の放射源収納装置。
82.前記ヒータとクーラとが、前記回転自在に取り付けられたハウジングのほぼ周囲で重ならない、条項75に記載の放射源収納装置。
83.前記ヒータが、スズが下向きの表面にあるポイントまで前記ハウジングが回転した後、スズが液体状を保つほど遠くまで前記ハウジングのほぼ周囲に延在しない、条項75に記載の放射源収納装置。
84.前記ハウジングの前記内表面に溝を設ける、条項75に記載の放射源収納装置。
85.放射源であって、
燃料がEUV放射を放出する位置に燃料を給送するように構成された燃料源と、
回転自在に取り付けられたハウジングと、前記ハウジングを駆動して回転させるように配置されたアクチュエータと、前記ハウジングの第1の部分に隣接して位置するヒータと、前記ハウジングの第2の異なる部分に隣接して位置するクーラと、を有する放射源収納装置と、
を備える、放射源。
86.前記ヒータが、前記回転自在に取り付けられたハウジングの前記第1の部分を、前記燃料の溶解温度超の温度に加熱するように配置され、前記クーラが、前記回転自在に取り付けられたハウジングの前記第2の部分を、前記燃料の溶解温度未満の温度に冷却するように配置される、条項85に記載の放射源。
87.前記ヒータが、前記回転自在に取り付けられたハウジングの前記第1の部分を、前記ハウジング上の燃料が液体状になる温度まで加熱するように配置され、前記クーラが、前記回転自在に取り付けられたハウジングの前記第2の部分を、前記ハウジング上の燃料が固体状になる温度まで冷却するように配置される、条項85に記載の放射源。
88.EUV放射を生成する方法であって、
前記燃料がEUV放射を放出する位置に燃料を給送するステップと、
放射源ハウジングを駆動して回転させるステップと、
前記ハウジングの部分を前記燃料の溶解温度超の温度に加熱するステップと、
前記ハウジングの部分を前記燃料の溶解温度未満の温度に冷却するステップと、
を含む、方法。
89.EUV放射源用の燃料コレクタであって、
入口と貯蔵部とを設けたレセプタクルと、
前記入口を通過する燃料がその表面に入射するように、前記レセプタクル内に配置されたオブジェクトと、
前記表面上に収集された燃料を前記貯蔵部に移送するように構成された燃料移送機構と、
を備える、燃料コレクタ。
90.前記オブジェクトが、収集したい燃料に対して低湿潤性材料から形成される、条項89に記載の燃料コレクタ。
91.前記オブジェクトが、モリブデンから形成される、条項90に記載の燃料コレクタ。
92.前記オブジェクトが、第1の位置と第2の位置との間で移動するように動作可能である、条項89から90のいずれかに記載の燃料コレクタ。
93.前記第1及び第2の位置との間の前記オブジェクトの移動により前記燃料移送機構を提供する、条項92に記載の燃料コレクタ。
94.前記オブジェクトが、燃料が前記表面上に累積するように配置され、前記オブジェクトが前記第1の位置から前記第2の位置の方向に移動する、条項92に記載の燃料コレクタ。
95.前記オブジェクトが、前記第1の位置の方向に弾性偏倚される、条項92に記載の燃料コレクタ。
96.前記オブジェクトが、片持ち梁構造を備える、条項89から91のいずれかに記載の燃料コレクタ。
97.前記オブジェクトがホイールを備え、該ホイールの回転が燃料移送機構を提供する、条項89から91のいずれかに記載の燃料コレクタ。
98.前記オブジェクトが棚を備え、前記棚を横切って掃き出すように操作可能な部材が、前記燃料移送機構を提供する、条項89から91のいずれかに記載の燃料コレクタ。
99.前記燃料コレクタが、エアロックを形成するように配置された第1及び第2のバルブをさらに備える、条項89から91のいずれかに記載の燃料コレクタ。
100.EUV放射源用の燃料コレクタであって、レセプタクルを備え、該レセプタクルは、前記レセプタクルの入口を通過する燃料がその上に入射するように配置された表面を設け、該表面が収集したい燃料に対して湿潤性が低い材料から形成され、前記表面の温度が前記燃料の溶解温度未満であり、前記表面がスライドを形成するように水平に対して傾斜される、燃料コレクタ。
101.前記燃料コレクタが、前記レセプタクルの入口端部の方向に配置された第1のバルブを備える、条項100に記載の燃料コレクタ。
102.前記レセプタクルが、その下部に位置する出口を備える、条項100又は条項101に記載の燃料コレクタ。
103.前記燃料コレクタが、前記レセプタクルの出口に位置する第2のバルブを備える、条項100又は条項101に記載の燃料コレクタ。
104.前記燃料コレクタが、前記レセプタクルの出口に位置する第2のバルブを備え、前記第1及び第2のバルブがエアロックを形成する、条項101に記載の燃料コレクタ。
Claims (12)
- 燃料がEUV放射を放出する位置に燃料を給送する燃料源を備える放射源であって、
前記放射源は、複数の溝を設けた固定燃料デブリ受け面をさらに備え、
前記溝は、液体燃料の流れを重力の影響で1つ以上の所望の方向に誘導する向きを有し、
前記溝の少なくとも幾つかは、毛管作用を引き起こす断面サイズ及び/又は形状を有する、
放射源。 - 燃料がEUV放射を放出する位置に燃料を給送する燃料源を備える放射源であって、
前記放射源は、複数の溝を設けた固定燃料デブリ受け面をさらに備え、
前記溝は、液体燃料の流れを重力の影響で1つ以上の所望の方向に誘導する向きを有し、
前記溝の少なくとも幾つかは、液体燃料を前記溝内に引き込む吸い上げ作用を引き起こす断面サイズ及び/又は形状を有する、
放射源。 - 前記燃料デブリ受け面に複数のベーンを備え、
前記複数の溝は、前記ベーン内に設けられる、請求項1又は2に記載の放射源。 - 燃料がEUV放射を放出する位置に燃料を給送する燃料源を備える放射源であって、
前記放射源は、複数の溝を設けた固定燃料デブリ受け面をさらに備え、
前記溝は、液体燃料の流れを重力の影響で1つ以上の所望の方向に誘導する向きを有し、
前記燃料デブリ受け面に複数のベーンを備え、
前記複数の溝は、前記ベーン内に設けられ、
前記ベーンは、前記放射源の中間焦点の近傍に位置する反射構造である、
放射源。 - 燃料がEUV放射を放出する位置に燃料を給送する燃料源を備える放射源であって、
前記放射源は、複数の溝を設けた固定燃料デブリ受け面をさらに備え、
前記溝は、液体燃料の流れを重力の影響で1つ以上の所望の方向に誘導する向きを有し、
前記燃料デブリ受け面に複数のベーンを備え、
前記複数の溝は、前記ベーン内に設けられ、
前記ベーンは、前記放射源の燃料キャッチャ内に位置する、
放射源。 - 前記溝は、互いに実質的に平行に延在する溝の集合を有する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の放射源。
- 隣接する溝は、前記液体燃料の毛管長さの2倍以下の距離だけ離間されている、請求項1〜5のいずれか一項に記載の放射源。
- 前記ベーンは、前記放射源のハウジングの周囲に配分される、請求項3に記載の放射源。
- 前記溝は、前記液体燃料の流れを重力の影響でドレン又は排出溝に誘導する向きを有する、請求項1〜8のいずれか一項に記載の放射源。
- 前記ベーンは、加熱装置によって、前記燃料の溶解温度超で前記燃料の蒸発温度未満の温度に加熱される、請求項3〜5、8のいずれか一項に記載の放射源。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の放射源を備える装置。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の放射源を用いてEUV放射を生成する方法であって、
EUV放射を放出するプラズマが燃料を用いて生成される位置に燃料を給送するステップと、
前記放射源の固定面上に液体燃料を受けるステップと、を含み、
前記固定面上に設けられた溝が、液体燃料の流れを重力の影響で1つ以上の所望の方向に誘導する、方法。
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