JP5488255B2 - シリカ粒子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
また、突起物を化学結合により母体粒子に結着する等して、表面を突起状にすることにより非球状としたシリカ粒子が提案されている(例えば、特許文献5乃至11参照)。
さらに、例えば、特許文献12又は13に、球状のシリカ粒子を合一させた、繭型ないし落花生様双子型のシリカ粒子が開示されている。
請求項1に係る発明は、
体積平均粒径が80nm以上200nm以下、粒度分布指標が1.10以上1.40以下、平均円形度が0.70以上0.92以下、円形度分布指標が1.05以上1.50以下である一次粒子を含み、かつ、円形度が0.95以上である一次粒子の割合は10個数%以下であるシリカ粒子である。
表面が疎水化処理されている請求項1に記載のシリカ粒子である。
アルコールと水を含む混合溶媒中に、0.6mol/L以上0.85mol/L以下の濃度でアンモニア、尿素、モノアミン、及び四級アンモニウム塩から選択される少なくとも1種の塩基性触媒が含まれる塩基性触媒溶液を準備する工程と、
前記塩基性触媒溶液中に、前記アルコールに対して、0.002mol/(mol・min)以上0.006mol/(mol・min)未満の供給量でテトラアルコキシシランを供給すると共に、前記テトラアルコキシシランの1分間当たりに供給される総供給量の1mol当たりに対して、0.1mol以上0.4mol以下で塩基性触媒を供給する工程と、
を有し、得られたシリカ粒子の体積平均粒径が80nm以上200nm以下であり、円形度が0.95以上である一次粒子の割合は10個数%以下であるシリカ粒子の製造方法である。
請求項4に係る発明は、
前記シリカ粒子が、体積平均粒径が80nm以上200nm以下、粒度分布指標が1.10以上1.40以下、平均円形度が0.70以上0.92以下、円形度分布指標が1.05以上1.50以下である一次粒子を含み、かつ、円形度が0.95以上である一次粒子の割合は10個数%以下である請求項3に記載のシリカ粒子の製造方法である。
請求項5に係る発明は、
更に、疎水化処理を行う請求項3又は請求項4に記載のシリカ粒子の製造方法である。
本実施形態に係るシリカ粒子は、体積平均粒径が80nm以上300nm以下、粒度分布指標が1.10以上1.40以下、平均円形度が0.70以上0.92以下、円形度分布指標が1.05以上1.50以下である一次粒子を含み、かつ、円形度が0.95以上である一次粒子の割合は10個数%以下である。
以下、単に「一次粒子」と称するときは、シリカ粒子の一次粒子を指すものとする。
本実施形態に係るシリカ粒子には、体積平均粒径が80nm以上200nm以下である一態様が含まれる。
特定の粒径範囲において、粒度分布が揃っていることにより、粒度分布が広い粒子群よりも粒子同士の密着性が少なくなるため、粒子同士の摩擦が生じ難くなると考えられる。その結果、流動性に優れると考えられる。更に、本実施形態に係るシリカ粒子は、円形度が低く、円形度分布も比較的狭く、かつ円形度が0.95以上の一次粒子の割合が10個数%以下である異型粒子であることから、球状粒子と異なり、さらに粒子同士の密着性が少なくなると考えられる。加えて、本実施形態に係るシリカ粒子が添加される他の粒子上での転がりや偏りが少なくなるため、付着性及び分散性に優れていると推察される。
以下、本実施形態のシリカ粒子について詳細に説明する。
−体積平均粒径−
本実施形態のシリカ粒子は、一次粒子の体積平均粒径が80nm以上300nm以下である。
一次粒子の体積平均粒径が80nm未満では、粒子の形状が球形となり易く、円形度が0.70以上0.92以下の形状とすることは困難である。一次粒子の体積平均粒径が300nmを超えると、シリカ粒子を樹脂粒子、鉄粉等の付着対象物に被覆した場合に、樹脂粒子の強度を向上しにくく、付着対象物の流動性を向上させるのが困難である。
本実施形態のシリカ粒子は、一次粒子の粒度分布指標が1.10以上1.40以下である。
一次粒子の粒度分布指標が1.10未満であるシリカ粒子は製造し難い。一次粒子の粒度分布指標が1.40を超えると、粗大粒子が発生したり、粒径のばらつきにより付着対象物への分散性が悪化する為、望ましくない。
一次粒子の粒度分布指標は、1.10以上1.25以下であることが望ましい。
本実施形態のシリカ粒子は、一次粒子の平均円形度が0.70以上0.92以下である。
一次粒子の平均円形度が0.92を超えると、一次粒子が球形となり、球形シリカ粒子と同じ特性を有し得る為、シリカ粒子を他の粒子、例えば樹脂粒子や粉体等の付着対象物へ添加した際に、混合性や、付着対象物への密着性が悪く、また、機械的負荷に弱くなり、流動性を損ない易くなる。そのため、例えば、シリカ粒子と樹脂粒子とを混合し攪拌した場合や、経時保存後に、シリカ粒子が偏って樹脂粒子等に付着したり、反対に脱離し得る。一次粒子の平均円形度が0.70未満であると、粒子の縦/横比が大きな形状となり、シリカ粒子に機械的負荷が加わった場合に応力集中が生じ、欠損し易くなる。また、ゾルゲル法では均円形度が0.70未満の一次粒子を製造し難い。
一次粒子の平均円形度は、0.72以上0.85以下であることが望ましい。
円形度(100/SF2)=4π×(A/I2) 式(1)
〔式(1)中、Iは画像上における一次粒子の周囲長を示し、Aは一次粒子の投影面積を表す。
一次粒子の平均円形度は、上記画像解析によって得られた一次粒子100個の円相当径の累積頻度における50%円形度として得られる。なお、後述する円形度分布指標は、累積頻度における84%円形度を16%円形度で除した値の平方根として得られる。
本実施形態のシリカ粒子は、一次粒子の円形度分布指標が1.05以上1.50以下である。
円形度分布指標が1.05以下である粒子は製造し難い。円形度分布指標が1.50を超えると、一次粒子の短径/長径比が大きく、細長い形状になり、用途によって使い分ける必要が生じる。例えば、研磨剤としては効果が得られ、研磨用途には好ましいが、樹脂粒子や粉体等の付着対象物への分散性が悪く、十分な強度や流動性が得られなくなる為、例えばトナーや現像剤用途としては好ましくない。
一次粒子の円形度分布指標は1.10以上1.45以下であることが望ましい。
本実施形態のシリカ粒子は、円形度が0.95以上の一次粒子の割合が、全一次粒子に対して10個数%以下である。
円形度が0.95以上の球形粒子は、異型状粒子に比べ、樹脂粒子や鉄粉等の付着対象物に付着しにくい。そのため、円形度が0.95以上の球形粒子が10個数%を超えると、付着対象物に付着し難い一次粒子の割合が増え、結果、例えば、シリカ粒子と付着対象物との付着性を損なう。
また、シリカ粒子と付着対象物とを混合し攪拌したときに、攪拌による負荷によりシリカ粒子が脱離したり、シリカ粒子と付着対象物と混合物を経時保存した場合に、シリカ粒子の付着位置が偏るため好ましくない。
円形度が0.95以上の一次粒子の割合は、少ないほど好ましく、具体的には、8個数%以下が好ましく、5個数%以下がより好ましい。
本実施形態に係るシリカ粒子は、シリカ、すなわちSiO2を主成分とする粒子であればよく、結晶性でも非晶性でもよい。また、水ガラスやアルコキシシラン等のケイ素化合物を原料に製造された粒子であってもよいし、石英を粉砕して得られる粒子であってもよい。
また、シリカ粒子の分散性の観点から、シリカ粒子表面は疎水化処理されていることが望ましい。例えば、シリカ粒子表面がアルキル基で被覆されることにより、シリカ粒子は疎水化される。そのためには、例えば、シリカ粒子にアルキル基を有する公知の有機珪素化合物を作用させればよい。疎水化処理の方法の詳細は後述する。
本実施形態に係るシリカ粒子の製造方法は、得られるシリカ粒子が、体積平均粒径が80nm以上300nm以下、粒度分布指標が1.10以上1.40以下、平均円形度が0.70以上0.92以下、円形度分布指標が1.05以上1.50以下である一次粒子を含み、円形度が0.95以上である一次粒子の割合が10個数%以下となる製法であれば、特に制限されない。
例えば、粒径が300nmを超えるシリカ粒子を粉砕し、分級する乾式方法によって得てもよいし、アルコキシシランに代表されるケイ素化合物を原料とし、ゾルゲル法によって粒子を生成する、いわゆる湿式方法によってシリカ粒子を製造してもよい。湿式方法としては、ゾルゲル法のほかに、水ガラスを原料としてシリカゾルを得る方法もある。
本実施形態に係るシリカ粒子の製造方法において、シリカ粒子にはシリカ粒子の体積平均粒径が80nm以上200nm以下である一態様が含まれる。
以下、本発明において、前記塩基性触媒は単にアルカリ触媒という場合がある。
本実施形態に係るシリカ粒子の製造方法では、上記手法により、粗大凝集物の発生が少なく、異型状のシリカ粒子が得られる。この理由は、定かではないが以下の理由によるものと考えられる。
そして、テトラアルコキシシランの供給と、アルカリ触媒の供給とをそれぞれ続けていくと、テトラアルコキシシランの反応により、生成した核粒子が成長し、シリカ粒子が得られる。ここで、このテトラアルコキシシランの供給とアルカリ触媒の供給とを、その供給量を上記関係で維持しつつ行うことで、2次凝集物等の粗大凝集物の生成を抑制しつつ、異型状の核粒子がその異型状を保ったまま粒子成長し、結果、異型状のシリカ粒子が生成されると考えられる。これは、このテトラアルコキシシランとアルカリ触媒との供給量を上記関係とすることで、核粒子の分散を保持しつつも、核粒子表面における張力と化学的親和性の部分的な偏りが保持されることから、異型状を保ちながらの核粒子の粒子成長が生じるためと考えられる。
従って、円形度が0.95以上である一次粒子は生成しにくく、円形度が0.95以上である一次粒子の割合を10個数%以下とし易い。
従って、テトラアルコキシシランの供給量を上記範囲とすることで、粒度分布指標が1.10以上1.40以下、平均円形度が0.70以上0.92以下、円形度分布指標が1.05以上1.50以下である一次粒子が生成され易いと考えられる。
なお、シリカ粒子の体積平均粒径は、テトラアルコキシシランの総供給量に依存すると考えられる。
また、本実施形態に係るシリカ粒子の製造方法では、生成した異型状の核粒子が異型状を保ったまま粒子成長され、シリカ粒子が得られると考えられることから、機械的負荷に強く、壊れ難いシリカ粒子が得られると考えられる。
また、本実施形態に係るシリカ粒子の製造方法では、アルカリ触媒溶液中に、テトラアルコキシシランとアルカリ触媒とをそれぞれ供給し、テトラアルコキシシランの反応を生じさせることで、粒子生成を行っていることから、従来のゾルゲル法により異型状のシリカ粒子を製造する場合に比べ、総使用アルカリ触媒量が少なくなり、その結果、アルカリ触媒の除去工程の省略も実現される。これは、特に、高純度が求められる製品にシリカ粒子を適用する場合に有利である。
アルカリ触媒溶液準備工程は、アルコールと水を含む混合溶媒を準備し、これにアルカリ触媒を添加して、アルカリ触媒溶液を準備する。
なお、アルコールとしては、例えば、メタノール、エタノール等の低級アルコールが挙げられる。
アルカリ触媒の濃度が、0.6mol/Lより少ないと、生成した核粒子の成長過程の核粒子の分散性が不安定となり、2次凝集物等の粗大凝集物が生成されたり、ゲル化状となったりして、粒度分布が悪化することがある。
一方、アルカリ触媒の濃度が、0.85mol/Lより多いと、生成した核粒子の安定性が過大となり、真球状の核粒子が生成され、平均円形度が0.85以下の異型状の核粒子が得られず、その結果、異型状のシリカ粒子が得られない。
なお、アルカリ触媒の濃度は、アルコール触媒溶液(アルカリ触媒+アルコールと水を含む混合溶媒)に対する濃度である。
粒子生成工程は、アルカリ触媒溶液中に、テトラアルコキシシランと、アルカリ触媒と、をそれぞれ供給し、当該アルカリ触媒溶液中で、テトラアルコキシシランを反応(加水分解反応、縮合反応)させて、シリカ粒子を生成する工程である。
この粒子生成工程では、テトラアルコキシシランの供給初期に、テトラアルコキシシランを反応により、核粒子が生成した後(核粒子生成段階)、この核粒子の成長を経て(核粒子成長段階)、シリカ粒子が生成する。
これは、アルカリ触媒溶液を準備する工程で用いたアルコール1molに対して、1分間当たり0.002mol以上0.006mol未満の供給量でテトラアルコキシシランを供給することを意味する。
テトラアルコキシシランの供給量を上記範囲とすることで、一次粒子の物性を、粒度分布指標が1.10以上1.40以下、平均円形度が0.70以上0.92以下、円形度分布指標が1.05以上1.50以下とし得る。
なお、シリカ粒子の粒径については、テトラアルコキシシランの種類や、反応条件にもよるが、粒子生成の反応に用いるテトラアルコキシシランの総供給量を、例えばシリカ粒子分散液1Lに対し0.855mol以上とすることで、粒径が80nm以上の一次粒子が得られ、シリカ粒子分散液1Lに対し3.288mol以下とすることで、粒径が300nm以下の一次粒子が得られる。
テトラアルコキシシランの供給量が0.006mol/(mol・min)以上であると、滴下されたテトラアルコキシシランと核粒子とが反応する前に、テトラアルコキシシラン同士の反応を生じさせることになると考えられる。そのため、核粒子へのテトラアルコキシシラン供給の偏在化を助長し、核粒子形成のバラツキをもたらすことから、粒径、形状分布の分布幅が拡大し、粒度分布指標が1.10以上1.40以下、平均円形度が0.70以上0.92以下、円形度分布指標が1.05以上1.50以下のシリカ粒子を製造し得ない。
アルカリ触媒の供給量が、0.1molより少ないと、生成した核粒子の成長過程の核粒子の分散性が不安定となり、2次凝集物等の粗大凝集物が生成さたり、ゲル化状となったりして、粒度分布が悪化することがある。
一方、アルカリ触媒の供給量が、0.4molより多いと、生成した核粒子の安定性が過大となり、核粒子生成段階で異型状の核粒子が生成されても、その核粒子成長段階で核粒子が球状に成長し、異型状のシリカ粒子が得られない。
乾燥されたシリカ粒子は、必要に応じて解砕、篩分により、粗大粒子や凝集物の除去を行うことがよい。解砕方法は、特に限定されないが、例えば、ジェットミル、振動ミル、ボールミル、ピンミルなどの乾式粉砕装置により行う。篩分方法は、例えば、振動篩、風力篩分機など公知のものにより行う。
疎水化処理剤としては、例えば、アルキル基(例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等)を有する公知の有機珪素化合物が挙げられ、具体例には、例えば、シラザン化合物(例えばメチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、トリメチルクロロシラン、トリメチルメトキシシランなどのシラン化合物、ヘキサメチルジシラザン、テトラメチルジシラザン等)等が挙げられる。疎水化処理剤は、1種で用いてもよいし、複数種用いてもよい。
これら疎水化処理剤の中でも、トリメチルメトキシシラン、ヘキサメチルジシラザンなどのトリメチル基を有する有機珪素化合物が好適である。
ここで、粉体のシリカ粒子を疎水化処理する方法としては、ヘンシェルミキサーや流動床などの処理槽内で粉体の親水性シリカ粒子を攪拌し、そこに疎水化処理剤を加え、処理槽内を加熱することで疎水化処理剤をガス化して粉体のシリカ粒子の表面のシラノール基と反応させる方法が挙げられる。処理温度は、特に限定されないが、例えば、80℃以上300℃以下がよく、望ましくは120℃以上200℃以下である。
−アルカリ触媒溶液準備工程〔アルカリ触媒溶液(1)の調製〕−
金属製撹拌棒、滴下ノズル(テフロン(登録商標)製マイクロチューブポンプ)、及び、温度計を有した容積3Lのガラス製反応容器にメタノール600g、10%アンモニア水100gを入れ、攪拌混合して、アルカリ触媒溶液(1)を得た。こときのアルカリ触媒溶液(1)のアンモニア触媒量:NH3量(NH3〔mol〕/(アンモニア水+メタノール)〔L〕)は、0.68mol/Lであった。
次に、アルカリ触媒溶液(1)の温度を25℃に調整し、アルカリ触媒溶液(1)を窒素置換した。その後、アルカリ触媒溶液(1)を撹拌しながら、テトラメトキシシラン(TMOS)450gと、触媒(NH3)濃度が4.4%のアンモニア水270gとを、下記供給量で、同時に滴下を開始し、30分かけて滴下を行い、シリカ粒子の懸濁液(シリカ粒子懸濁液(1))を得た。
また、4.4%アンモニア水の供給量は、テトラアルコキシシランの1分間当たりに供給される総供給量(0.0987mol/min)に対して、9g/minとした。これは、テトラアルコキシシランの1分間当たりに供給される総供給量の1molに対して0.24mol/minに相当する。
シリカ粒子懸濁液(1)200g(固形分13.985%)に、トリメチルシラン5.59gを添加して疎水化処理を行なった。その後、ホットプレートを用いて、65℃で加熱し、乾燥させることで、異型状の疎水性シリカ粒子(1)を生成した。
なお、疎水性シリカ粒子(1)の諸特性の評価方法の詳細は次のとおりである。
疎水性シリカ粒子(1)の一次粒子の分散性の評価は、純水40g、メタノール1gの混合液にシリカ粒子を0.05g添加し、超音波分散機で10分間分散した後の粒度分布をLSコールター(ベックマン-コールター社製粒度測定装置)により測定し、体積粒度分布の分布形態により行い、下記評価基準に基づいて評価した。
−評価基準−
○:体積粒度分布のピーク値が一山であり、分散性が良好なもの
△:体積粒度分布が二山であるが、メインピーク値が他ピーク値の10倍以上あり、実用上分散性に問題が無いもの
×:体積粒度分布のピーク値が三山以上あり、分散不良なもの、
疎水性シリカ粒子(1)の樹脂粒子へ分散した際の分散性、流動性、及び、強度の各評価は、以下に説明する各評価により行い、下記評価基準に基づいて評価した。
(樹脂へ分散した際の分散性)
疎水性シリカ粒子(1)の樹脂粒子へ分散した際の分散性の評価は、粒径100μmの樹脂粒子5gに疎水性シリカ粒子(1)0.005gを添加し、振とう機を用いて10分間振とうして混合した後、SEM装置により樹脂粒子表面の観察を行い、下記評価基準に基づいて評価した。
−評価基準(分散性)−
○:樹脂粒子表面にシリカ粒子が均一に分散しているもの
△:わずかにシリカ粒子の凝集体は見られるものの、樹脂粒子表面へのカバレッジの低下は見られず、実用上問題ないもの
×:シリカ粒子の凝集体が散見され、かつ、明らかな樹脂粒子表面へのカバレッジの低下が見られ、分散不良であるもの
疎水性シリカ粒子(1)の樹脂粒子へ分散した際の流動性の評価は、粒径10μmの樹脂粒子2gにシリカ粒子0.05gを添加し、振とう機を用いて20分間振とうして混合した後、75μmの篩にのせ、振幅1mmで90秒間振動させて、樹脂粒子の落下の様子を観察し、下記評価基準に基づいて評価した。
−評価基準(流動性)−
○:篩上に樹脂粒子が残らない。
△:篩上に樹脂粒子が若干残る。
×:篩上にかなりの樹脂粒子が残る。
疎水性シリカ粒子(1)の樹脂粒子へ分散した際の強度の評価は、粒径100μmの樹脂粒子(ポリエステル、重量平均分子量Mw=50000)5gに疎水性シリカ粒子(1)0.005gを添加し、振とう機を用いて10分間振とうして混合した後、SEM観察用に試料を採取した。採取した試料を試料(1)とした。試料(1)について更に振盪機を用いて30分間振盪を行った後採取した試料を、試料(2)とした。得られた試料(1)と試料(2)それぞれについて、SEM観察及び画像解析により、一次粒子100個の円相当径を求め、両者の比較により、下記評価基準に基づいて評価した。
−評価基準(強度)−
○:試料(1)と試料(2)との円相当径に差異が見られず、シリカ粒子の欠損が無いもの
△:試料(2)で円相当径の若干の低下がみられるが、実用上問題無いもの
×:試料(2)で円相当径の顕著な低下が見られ、強度不足であるもの
アルカリ触媒溶液(1)の調製において、10%アンモニア水「100g」を、表1の「被添加成分」「10%アンモニア水」「質量(g)」欄に示す量とした他は同様にして、アルカリ触媒溶液(2)〜アルカリ触媒溶液(10)、アルカリ触媒溶液(101)、及び、アルカリ触媒溶液(103)〜アルカリ触媒溶液(109)を調製した。
なお、アルカリ触媒溶液(102)については、メタノール600g、表1に示す組成の10%アンモニア水のほかに、水100gを混合したほかは、アルカリ触媒溶液(1)の調製と同様にして調製した。
上記調製後のアルカリ触媒溶液(2)〜アルカリ触媒溶液(10)、及び、アルカリ触媒溶液(101)〜アルカリ触媒溶液(109)中の各触媒量:NH3量を、表1の「被添加成分」「10%アンモニア水」「NH3量[mol/L]」欄に示した。
また、アルカリ触媒溶液(2)〜アルカリ触媒溶液(10)、及び、アルカリ触媒溶液(101)〜アルカリ触媒溶液(109)へのテトラアルコキシシラン(TMOS)の供給量であって、アルカリ触媒溶液(2)〜アルカリ触媒溶液(10)、及び、アルカリ触媒溶液(101)〜アルカリ触媒溶液(109)中のメタノール1molに対する量を、表1の「相対量」「TMOS量[mol/(mol・min)](対メタノール)」欄に示した。
なお、比較例4のシリカ粒子懸濁液(104)については、粒子生成工程中にゲル化し、親水性シリカ粒子が得られなかった。
疎水化処理に用いたシリカ粒子懸濁液(2)〜シリカ粒子懸濁液(10)、シリカ粒子懸濁液(101)、シリカ粒子懸濁液(102)、及び、シリカ粒子懸濁液(105)〜シリカ粒子懸濁液(109)の固形分量〔%〕を表2に示した。
なお、疎水化処理を行なわなかったシリカ粒子懸濁液(103)及びゲル化したシリカ粒子懸濁液(104)の固形分量〔%〕も表2に示した。
画像解析により得られた各一次粒子の平均円形度、円形度分布指標、円形度0.95以上の一次粒子の割合を、表2の「一次粒子特徴」欄に示した。
また、得られたシリカ粒子の形状を、表2の「一次粒子特徴」「形状」欄に示した。
例えば、疎水性シリカ粒子(102)は、平均円形度が0.94の球形粒子であり、球形シリカ粒子と同等の特性を持ち、分散性には優れたが、樹脂粒子へ分散した際の混合性、及び樹脂粒子の流動性には、実施例の疎水性シリカ粒子に比べ優れなかった。
Claims (5)
- 体積平均粒径が80nm以上200nm以下、粒度分布指標が1.10以上1.40以下、平均円形度が0.70以上0.92以下、円形度分布指標が1.05以上1.50以下である一次粒子を含み、かつ、円形度が0.95以上である一次粒子の割合は10個数%以下であるシリカ粒子。
- 表面が疎水化処理されている請求項1に記載のシリカ粒子。
- アルコールと水を含む混合溶媒中に、0.6mol/L以上0.85mol/L以下の濃度でアンモニア、尿素、モノアミン、及び四級アンモニウム塩から選択される少なくとも1種の塩基性触媒が含まれる塩基性触媒溶液を準備する工程と、
前記塩基性触媒溶液中に、前記アルコールに対して、0.002mol/(mol・min)以上0.006mol/(mol・min)未満の供給量でテトラアルコキシシランを供給すると共に、前記テトラアルコキシシランの1分間当たりに供給される総供給量の1mol当たりに対して、0.1mol以上0.4mol以下で塩基性触媒を供給する工程と、
を有し、得られたシリカ粒子の体積平均粒径が80nm以上200nm以下であり、円形度が0.95以上である一次粒子の割合は10個数%以下であるシリカ粒子の製造方法。 - 前記シリカ粒子が、体積平均粒径が80nm以上200nm以下、粒度分布指標が1.10以上1.40以下、平均円形度が0.70以上0.92以下、円形度分布指標が1.05以上1.50以下である一次粒子を含み、かつ、円形度が0.95以上である一次粒子の割合は10個数%以下である請求項3に記載のシリカ粒子の製造方法。
- 更に、疎水化処理を行う請求項3又は請求項4に記載のシリカ粒子の製造方法。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013053027A (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-21 | Fuji Xerox Co Ltd | シリカ粒子、及び、トナー |
Families Citing this family (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5477193B2 (ja) | 2010-06-24 | 2014-04-23 | 富士ゼロックス株式会社 | シリカ粒子及びその製造方法 |
| JP5644464B2 (ja) | 2010-12-15 | 2014-12-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 静電荷像現像用トナー、静電荷像現像剤、トナーカートリッジ、プロセスカートリッジ及び画像形成装置 |
| JP2012189960A (ja) * | 2011-03-14 | 2012-10-04 | Fuji Xerox Co Ltd | 静電荷像現像用トナー、静電荷像現像剤、トナーカートリッジ、プロセスカートリッジ、画像形成装置、及び、画像形成方法 |
| JP5724401B2 (ja) | 2011-01-19 | 2015-05-27 | 富士ゼロックス株式会社 | 樹脂粒子及びその製造方法 |
| JP5741005B2 (ja) * | 2011-01-20 | 2015-07-01 | 富士ゼロックス株式会社 | 樹脂粒子及びその製造方法 |
| CN102991678A (zh) * | 2011-09-09 | 2013-03-27 | 中国航天科工集团第三研究院第八三五七研究所 | 适用于无人机自动驾驶仪的新型减振装置 |
| JP5831378B2 (ja) * | 2011-12-01 | 2015-12-09 | 富士ゼロックス株式会社 | シリカ複合粒子及びその製造方法 |
| WO2014005272A1 (zh) * | 2012-07-03 | 2014-01-09 | 蚌埠鑫源石英材料有限公司 | 一种二氧化硅粉体材料及其制备方法 |
| JP6011093B2 (ja) * | 2012-07-13 | 2016-10-19 | 富士ゼロックス株式会社 | 静電荷像現像用トナー、静電荷像現像剤、トナーカートリッジ、プロセスカートリッジ、画像形成装置、及び、画像形成方法 |
| JP5880351B2 (ja) | 2012-08-24 | 2016-03-09 | 富士ゼロックス株式会社 | シリカ粒子及びその製造方法 |
| JP6011306B2 (ja) * | 2012-12-17 | 2016-10-19 | 富士ゼロックス株式会社 | 静電荷像現像用トナー、静電荷像現像剤、トナーカートリッジ、現像装置、画像形成装置、および画像形成方法 |
| JP5915555B2 (ja) | 2013-01-28 | 2016-05-11 | 富士ゼロックス株式会社 | シリカ複合粒子及びその製造方法 |
| JP5966968B2 (ja) * | 2013-02-25 | 2016-08-10 | 富士ゼロックス株式会社 | ゾルゲルシリカ粒子 |
| JP6036448B2 (ja) * | 2013-03-22 | 2016-11-30 | 富士ゼロックス株式会社 | 樹脂粒子及びその製造方法 |
| JP5910559B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2016-04-27 | 富士ゼロックス株式会社 | 静電荷像現像用トナー、静電荷像現像剤、トナーカートリッジ、プロセスカートリッジ、画像形成装置、及び、画像形成方法 |
| JP5904150B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2016-04-13 | 富士ゼロックス株式会社 | 静電荷像現像用トナー、静電荷像現像剤、トナーカートリッジ、プロセスカートリッジ、画像形成装置、及び画像形成方法 |
| JP5999029B2 (ja) * | 2013-06-03 | 2016-09-28 | 富士ゼロックス株式会社 | シリカ複合粒子及びその製造方法 |
| JP6020367B2 (ja) * | 2013-06-18 | 2016-11-02 | 富士ゼロックス株式会社 | 静電荷像現像用トナー、静電荷像現像剤、トナーカートリッジ、プロセスカートリッジ、画像形成装置、及び、画像形成方法 |
| JP6326896B2 (ja) * | 2014-03-25 | 2018-05-23 | 富士ゼロックス株式会社 | ゾルゲルシリカ粒子、静電荷像現像用トナー、静電荷像現像剤、トナーカートリッジ、プロセスカートリッジ、画像形成装置及び画像形成方法 |
| JP6607806B2 (ja) * | 2016-02-29 | 2019-11-20 | 株式会社トクヤマ | 疎水性異形シリカ粉末、その製造方法、及びそれを用いたトナー用外添剤 |
| JP6868970B2 (ja) * | 2016-04-28 | 2021-05-12 | 株式会社トクヤマ | 分散液、その製造方法、及び、それを用いたcmp用研磨剤 |
| JP6752658B2 (ja) * | 2016-08-25 | 2020-09-09 | 株式会社トクヤマ | 異形シリカ粉末、その製造方法、それを含有する樹脂組成物 |
| JP6772697B2 (ja) * | 2016-09-14 | 2020-10-21 | 富士ゼロックス株式会社 | シリカ粒子およびシリカ粒子の製造方法 |
| CN108341414B (zh) * | 2017-01-22 | 2020-08-04 | 华东师范大学 | 一种均匀二氧化硅微球及其制备方法和应用 |
| JP7155046B2 (ja) | 2019-03-06 | 2022-10-18 | 扶桑化学工業株式会社 | 疎水性シリカ粉末及びトナー樹脂粒子 |
| KR20210006641A (ko) * | 2019-07-09 | 2021-01-19 | 오씨아이 주식회사 | 실리콘 질화막 식각 용액 및 이를 사용한 반도체 소자의 제조 방법 |
| WO2021153502A1 (ja) * | 2020-01-28 | 2021-08-05 | 三菱ケミカル株式会社 | シリカ粒子、シリカゾル、研磨組成物、研磨方法、半導体ウェハの製造方法及び半導体デバイスの製造方法 |
| CN117425621A (zh) * | 2021-04-21 | 2024-01-19 | 弗萨姆材料美国有限责任公司 | 非球形初级二氧化硅纳米颗粒及其用途 |
Family Cites Families (67)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6252119A (ja) * | 1985-08-29 | 1987-03-06 | Tokuyama Soda Co Ltd | シリカ粒子の製造方法 |
| DE3616133A1 (de) | 1985-09-25 | 1987-11-19 | Merck Patent Gmbh | Kugelfoermige sio(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-partikel |
| JPH0725817B2 (ja) | 1986-04-23 | 1995-03-22 | 日本石油株式会社 | オレフイン重合用触媒 |
| JP2803134B2 (ja) | 1988-03-16 | 1998-09-24 | 日産化学工業株式会社 | 細長い形状のシリカゾル及びその製造法 |
| US5221497A (en) | 1988-03-16 | 1993-06-22 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Elongated-shaped silica sol and method for preparing the same |
| JPS63310714A (ja) * | 1988-06-07 | 1988-12-19 | Tokuyama Soda Co Ltd | シリカ粒子 |
| US4902598A (en) | 1988-07-01 | 1990-02-20 | Xerox Corporation | Process for the preparation of silica containing charge enhancing additives |
| JPH085657B2 (ja) | 1990-11-21 | 1996-01-24 | 触媒化成工業株式会社 | シリカゾルとその製法 |
| JPH04238807A (ja) * | 1990-12-28 | 1992-08-26 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 微粒子亜球状シリカ及びその製造方法並びにこれを用いた樹脂フィルム |
| JPH04255755A (ja) | 1991-02-08 | 1992-09-10 | Sanyo Chem Ind Ltd | 熱可塑性ウレタン樹脂粉末組成物 |
| JPH054812A (ja) * | 1991-06-25 | 1993-01-14 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 微粒子亜球状シリカ及びその製造方法並びにこれを用いた樹脂フイルム |
| DE69227448T2 (de) * | 1992-06-19 | 1999-07-01 | Cu Chemie Uetikon Ag, Uetikon | Verfahren zur Herstellung von Pulvern und Suspensionen von amorphen Siliziumdioxidmikrokugeln |
| JP3214078B2 (ja) | 1992-07-24 | 2001-10-02 | 大日本インキ化学工業株式会社 | 粉末状ポリウレタン樹脂組成物 |
| EP0710180A1 (en) * | 1992-12-09 | 1996-05-08 | Hoechst Aktiengesellschaft | Copolyester compositions, process for preparing the same and biaxially oriented copolyester films |
| JP3364261B2 (ja) * | 1993-03-01 | 2003-01-08 | 株式会社トクヤマ | 金属酸化物微粒子の製造方法 |
| JP3517913B2 (ja) | 1993-10-15 | 2004-04-12 | 日産化学工業株式会社 | 細長い形状のシリカゾルの製造法 |
| DE69508398T2 (de) * | 1994-06-17 | 1999-11-04 | Bio-Technical Resources Lp, Manitowoc | Verfahren zur herstellung sphärischer adsorbentpartikel |
| JP3214982B2 (ja) * | 1994-07-04 | 2001-10-02 | 株式会社トクヤマ | 無機組成物 |
| JP2909881B2 (ja) | 1995-04-17 | 1999-06-23 | 株式会社巴川製紙所 | 粉体塗料 |
| US5985229A (en) | 1995-09-21 | 1999-11-16 | Toagosei Co., Ltd. | Solid silica derivative and process for producing the same |
| JP3760498B2 (ja) * | 1996-01-24 | 2006-03-29 | 東亞合成株式会社 | Si−H結合含有シリカ誘導体微粒子およびその製造方法 |
| JP3583532B2 (ja) | 1995-11-22 | 2004-11-04 | 株式会社巴川製紙所 | 粉体塗料 |
| JP3195569B2 (ja) | 1997-08-11 | 2001-08-06 | 守 磯 | 繭型コロイダルシリカの製造方法 |
| JP4047443B2 (ja) | 1998-04-03 | 2008-02-13 | 株式会社日本触媒 | 吸水性樹脂組成物およびその製造方法 |
| KR100283124B1 (ko) | 1998-06-09 | 2001-04-02 | 서경배 | 색조화장료용복합분체의제조방법및이것에의해제조된복합분체를함유하는색조화장료 |
| JP2000344512A (ja) * | 1999-04-01 | 2000-12-12 | Toagosei Co Ltd | 球状シリカ |
| JP4076681B2 (ja) | 1999-08-24 | 2008-04-16 | 富士ゼロックス株式会社 | 静電潜像現像用トナーの製造方法 |
| JP2001189009A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-10 | Toagosei Co Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| JP2002038049A (ja) | 2000-07-28 | 2002-02-06 | Ube Nitto Kasei Co Ltd | シリカ系微粒子およびその製造方法 |
| JP4107817B2 (ja) | 2000-09-29 | 2008-06-25 | 株式会社リコー | 画像形成用トナー、画像形成方法及び画像形成装置 |
| JP2001150334A (ja) | 2000-10-12 | 2001-06-05 | Nissan Chem Ind Ltd | 半導体ウェーハーの研磨方法及び研磨剤 |
| JP4306951B2 (ja) * | 2000-11-07 | 2009-08-05 | 電気化学工業株式会社 | 表面処理された微細球状シリカ粉末および樹脂組成物 |
| US6875549B2 (en) * | 2001-04-10 | 2005-04-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Dry toner, toner production process, image forming method and process cartridge |
| JP4278020B2 (ja) | 2001-10-30 | 2009-06-10 | 日揮触媒化成株式会社 | 研磨用粒子および研磨材の製造方法 |
| JP2003165718A (ja) * | 2001-11-27 | 2003-06-10 | Fuso Chemical Co Ltd | 無孔質球状シリカ及びその製造方法 |
| JP2003171117A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-17 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 疎水性シリカ微粉末及びその製造方法 |
| TWI276604B (en) | 2001-12-27 | 2007-03-21 | Tokuyama Corp | Silica composite oxide particles and method of producing the same |
| JP2004035293A (ja) | 2002-07-01 | 2004-02-05 | Ube Nitto Kasei Co Ltd | シリカ系粒子、その製造方法及び導電性シリカ系粒子 |
| JP4003962B2 (ja) | 2002-07-15 | 2007-11-07 | 株式会社リコー | 電子写真トナー用外添剤、電子写真用トナー、電子写真用現像剤、および画像形成方法 |
| EP1383010B1 (en) * | 2002-07-15 | 2011-03-16 | Ricoh Company, Ltd. | External additive for toner for electrophotography, toner for electrophotography, double-component developer for electrophotography, image forming process using the toner, and image-forming apparatus using the toner |
| EP1424604B1 (en) | 2002-11-29 | 2006-06-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Toner |
| JP2004203638A (ja) | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Ube Nitto Kasei Co Ltd | 落花生様双子型コロイダルシリカ粒子およびその製造方法 |
| US7153583B2 (en) * | 2003-05-07 | 2006-12-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Liquid silicone rubber coating composition and airbag |
| JP3988936B2 (ja) | 2003-05-13 | 2007-10-10 | 信越化学工業株式会社 | シラン表面処理球状シリカチタニア系微粒子、その製造方法、および、それを用いた静電荷像現像用トナー外添剤 |
| JPWO2005024522A1 (ja) * | 2003-09-03 | 2007-10-04 | 日本ゼオン株式会社 | トナー |
| JP4190985B2 (ja) | 2003-09-08 | 2008-12-03 | コニカミノルタビジネステクノロジーズ株式会社 | 静電荷像現像用トナーおよびフルカラー画像形成方法 |
| JP2006028319A (ja) | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Sanyo Chem Ind Ltd | スラッシュ成形用樹脂粉末組成物及び成形品 |
| US7867613B2 (en) | 2005-02-04 | 2011-01-11 | Oxane Materials, Inc. | Composition and method for making a proppant |
| JP2006251220A (ja) | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Nippon Zeon Co Ltd | 負帯電性トナー |
| JP4994611B2 (ja) * | 2005-07-13 | 2012-08-08 | 株式会社Kri | 複合酸化物粒子およびその作製方法 |
| JP2007279702A (ja) | 2006-03-17 | 2007-10-25 | Ricoh Co Ltd | トナー、並びにそれを用いた現像剤、及び画像形成方法 |
| CN100522807C (zh) * | 2006-07-24 | 2009-08-05 | 北京化工大学 | 一种大孔容、大孔径二氧化硅的制备方法 |
| JP5137521B2 (ja) | 2006-10-12 | 2013-02-06 | 日揮触媒化成株式会社 | 金平糖状シリカ系ゾルおよびその製造方法 |
| JP2008174430A (ja) * | 2007-01-22 | 2008-07-31 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 疎水性球状シリカ微粒子、その製造方法、及び、それを用いた静電荷像現像用トナー外添剤 |
| CN100500562C (zh) * | 2007-01-23 | 2009-06-17 | 吉林大学 | 比表面积和水热稳定性可调控的介孔二氧化硅制备方法 |
| JP4579265B2 (ja) | 2007-04-25 | 2010-11-10 | 信越化学工業株式会社 | 高度の流動性を有する疎水性球状シリカ微粒子、その製造方法、それを用いた静電荷像現像用トナー外添剤およびそれを含有する有機樹脂組成物 |
| JP2009078935A (ja) | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Jgc Catalysts & Chemicals Ltd | 金平糖状複合シリカゾル |
| US20100330488A1 (en) | 2007-09-29 | 2010-12-30 | Zeon Corporation | Positively-chargeable toner for developing electrostatic images |
| JP5602358B2 (ja) | 2007-11-30 | 2014-10-08 | 日揮触媒化成株式会社 | 非球状シリカゾル、その製造方法および研磨用組成物 |
| WO2010052945A1 (ja) * | 2008-11-07 | 2010-05-14 | 日揮触媒化成株式会社 | 非球状シリカゾル、その製造方法および研磨用組成物 |
| JP2009137791A (ja) | 2007-12-05 | 2009-06-25 | Jgc Catalysts & Chemicals Ltd | 非球状複合シリカゾルおよびその製造方法 |
| JP5188175B2 (ja) | 2007-12-28 | 2013-04-24 | 日揮触媒化成株式会社 | シリカゾルおよびその製造方法 |
| JP2008285406A (ja) * | 2008-06-23 | 2008-11-27 | Ube Nitto Kasei Co Ltd | シリカ球状粒子 |
| JP5310052B2 (ja) | 2009-02-12 | 2013-10-09 | 富士ゼロックス株式会社 | 静電荷像現像トナー、静電荷像現像剤、画像形成方法及び画像形成装置 |
| JP2011185998A (ja) * | 2010-03-04 | 2011-09-22 | Morimura Chemicals Ltd | 静電像現像トナーおよび外添用電荷制御粒子 |
| JP5477192B2 (ja) | 2010-06-23 | 2014-04-23 | 富士ゼロックス株式会社 | シリカ粒子の製造方法 |
| JP5477193B2 (ja) | 2010-06-24 | 2014-04-23 | 富士ゼロックス株式会社 | シリカ粒子及びその製造方法 |
-
2010
- 2010-06-25 JP JP2010145221A patent/JP5488255B2/ja active Active
- 2010-10-26 US US12/912,057 patent/US8871344B2/en active Active
- 2010-11-09 KR KR1020100110979A patent/KR101463879B1/ko active Active
- 2010-11-11 CN CN201010546805.8A patent/CN102295292B/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013053027A (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-21 | Fuji Xerox Co Ltd | シリカ粒子、及び、トナー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US8871344B2 (en) | 2014-10-28 |
| KR101463879B1 (ko) | 2014-11-21 |
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| CN102295292B (zh) | 2016-01-20 |
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