JP5154441B2 - 二相の基板洗浄化合物、洗浄化合物を使用するための方法および装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 126
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 77
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title claims description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 40
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 162
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 claims description 128
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 68
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 claims description 27
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 18
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 11
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 9
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 8
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 claims description 7
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 claims description 7
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 claims description 7
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 claims description 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 7
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 claims description 6
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- YWWVWXASSLXJHU-AATRIKPKSA-N (9E)-tetradecenoic acid Chemical compound CCCC\C=C\CCCCCCCC(O)=O YWWVWXASSLXJHU-AATRIKPKSA-N 0.000 claims description 4
- LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 20:1omega9c fatty acid Natural products CCCCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Chemical compound CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- YZXBAPSDXZZRGB-DOFZRALJSA-N arachidonic acid Chemical compound CCCCC\C=C/C\C=C/C\C=C/C\C=C/CCCC(O)=O YZXBAPSDXZZRGB-DOFZRALJSA-N 0.000 claims description 4
- UKMSUNONTOPOIO-UHFFFAOYSA-N docosanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O UKMSUNONTOPOIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N dodecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCC(O)=O POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- KEMQGTRYUADPNZ-UHFFFAOYSA-N heptadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O KEMQGTRYUADPNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N hexadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O IPCSVZSSVZVIGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N octanoic acid Chemical compound CCCCCCCC(O)=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- SECPZKHBENQXJG-FPLPWBNLSA-N palmitoleic acid Chemical compound CCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O SECPZKHBENQXJG-FPLPWBNLSA-N 0.000 claims description 4
- IJTNSXPMYKJZPR-UHFFFAOYSA-N parinaric acid Chemical compound CCC=CC=CC=CC=CCCCCCCCC(O)=O IJTNSXPMYKJZPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 235000021353 Lignoceric acid Nutrition 0.000 claims description 3
- CQXMAMUUWHYSIY-UHFFFAOYSA-N Lignoceric acid Natural products CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OCCC1=CC=C(O)C=C1 CQXMAMUUWHYSIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- BTBJBAZGXNKLQC-UHFFFAOYSA-N ammonium lauryl sulfate Chemical group [NH4+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O BTBJBAZGXNKLQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 3
- FARYTWBWLZAXNK-WAYWQWQTSA-N ethyl (z)-3-(methylamino)but-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)\C=C(\C)NC FARYTWBWLZAXNK-WAYWQWQTSA-N 0.000 claims description 3
- GWHCXVQVJPWHRF-KTKRTIGZSA-N (15Z)-tetracosenoic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCCCCCCCC(O)=O GWHCXVQVJPWHRF-KTKRTIGZSA-N 0.000 claims description 2
- OYHQOLUKZRVURQ-NTGFUMLPSA-N (9Z,12Z)-9,10,12,13-tetratritiooctadeca-9,12-dienoic acid Chemical compound C(CCCCCCC\C(=C(/C\C(=C(/CCCCC)\[3H])\[3H])\[3H])\[3H])(=O)O OYHQOLUKZRVURQ-NTGFUMLPSA-N 0.000 claims description 2
- WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N (E)-8-Octadecenoic acid Natural products CCCCCCCCCC=CCCCCCCC(O)=O WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 9-Heptadecensaeure Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- YWWVWXASSLXJHU-UHFFFAOYSA-N 9E-tetradecenoic acid Natural products CCCCC=CCCCCCCCC(O)=O YWWVWXASSLXJHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 235000021357 Behenic acid Nutrition 0.000 claims description 2
- DPUOLQHDNGRHBS-UHFFFAOYSA-N Brassidinsaeure Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCCCCCC(O)=O DPUOLQHDNGRHBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000005635 Caprylic acid (CAS 124-07-2) Substances 0.000 claims description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- URXZXNYJPAJJOQ-UHFFFAOYSA-N Erucic acid Natural products CCCCCCC=CCCCCCCCCCCCC(O)=O URXZXNYJPAJJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000005639 Lauric acid Substances 0.000 claims description 2
- XJXROGWVRIJYMO-SJDLZYGOSA-N Nervonic acid Natural products O=C(O)[C@@H](/C=C/CCCCCCCC)CCCCCCCCCCCC XJXROGWVRIJYMO-SJDLZYGOSA-N 0.000 claims description 2
- 239000005642 Oleic acid Substances 0.000 claims description 2
- ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N Oleic acid Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 235000021314 Palmitic acid Nutrition 0.000 claims description 2
- 235000021319 Palmitoleic acid Nutrition 0.000 claims description 2
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 claims description 2
- DTOSIQBPPRVQHS-PDBXOOCHSA-N alpha-linolenic acid Chemical compound CC\C=C/C\C=C/C\C=C/CCCCCCCC(O)=O DTOSIQBPPRVQHS-PDBXOOCHSA-N 0.000 claims description 2
- 235000020661 alpha-linolenic acid Nutrition 0.000 claims description 2
- IJTNSXPMYKJZPR-WVRBZULHSA-N alpha-parinaric acid Natural products CCC=C/C=C/C=C/C=CCCCCCCCC(=O)O IJTNSXPMYKJZPR-WVRBZULHSA-N 0.000 claims description 2
- 235000021342 arachidonic acid Nutrition 0.000 claims description 2
- 229940114079 arachidonic acid Drugs 0.000 claims description 2
- 229940116226 behenic acid Drugs 0.000 claims description 2
- SECPZKHBENQXJG-UHFFFAOYSA-N cis-palmitoleic acid Natural products CCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O SECPZKHBENQXJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- GWHCXVQVJPWHRF-UHFFFAOYSA-N cis-tetracosenoic acid Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O GWHCXVQVJPWHRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- DPUOLQHDNGRHBS-KTKRTIGZSA-N erucic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCCCCCC(O)=O DPUOLQHDNGRHBS-KTKRTIGZSA-N 0.000 claims description 2
- LQJBNNIYVWPHFW-QXMHVHEDSA-N gadoleic acid Chemical compound CCCCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O LQJBNNIYVWPHFW-QXMHVHEDSA-N 0.000 claims description 2
- QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N isooleic acid Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCCC(O)=O QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229960004488 linolenic acid Drugs 0.000 claims description 2
- KQQKGWQCNNTQJW-UHFFFAOYSA-N linolenic acid Natural products CC=CCCC=CCC=CCCCCCCCC(O)=O KQQKGWQCNNTQJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N n-Pentadecanoic acid Natural products CCCCCCCCCCCCCCC(O)=O WQEPLUUGTLDZJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229960002446 octanoic acid Drugs 0.000 claims description 2
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 claims description 2
- 235000021313 oleic acid Nutrition 0.000 claims description 2
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 claims description 2
- TUNFSRHWOTWDNC-HKGQFRNVSA-N tetradecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCC[14C](O)=O TUNFSRHWOTWDNC-HKGQFRNVSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 25
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 19
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- -1 nitro, nitroso, pyridyl Chemical group 0.000 description 4
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 4
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 3
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 3
- 239000011538 cleaning material Substances 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 3
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 3
- WFOVEDJTASPCIR-UHFFFAOYSA-N 3-[(4-methyl-5-pyridin-4-yl-1,2,4-triazol-3-yl)methylamino]-n-[[2-(trifluoromethyl)phenyl]methyl]benzamide Chemical compound N=1N=C(C=2C=CN=CC=2)N(C)C=1CNC(C=1)=CC=CC=1C(=O)NCC1=CC=CC=C1C(F)(F)F WFOVEDJTASPCIR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 2
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 239000013043 chemical agent Substances 0.000 description 2
- 150000002466 imines Chemical class 0.000 description 2
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 230000010399 physical interaction Effects 0.000 description 2
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 2
- 229920001184 polypeptide Polymers 0.000 description 2
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 2
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 2
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 150000001345 alkine derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 125000000751 azo group Chemical group [*]N=N[*] 0.000 description 1
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000010980 cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 description 1
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000005595 deprotonation Effects 0.000 description 1
- 238000010537 deprotonation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical group 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical group 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- 150000002540 isothiocyanates Chemical group 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000006194 liquid suspension Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- 239000012454 non-polar solvent Substances 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000000864 peroxy group Chemical group O(O*)* 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 150000004713 phosphodiesters Chemical group 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 150000003077 polyols Chemical group 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 150000003141 primary amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000006254 rheological additive Substances 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 150000003335 secondary amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L sulfate group Chemical group S(=O)(=O)([O-])[O-] QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- 229910021654 trace metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003190 viscoelastic substance Substances 0.000 description 1
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/02—Inorganic compounds ; Elemental compounds
- C11D3/12—Water-insoluble compounds
- C11D3/14—Fillers; Abrasives ; Abrasive compositions; Suspending or absorbing agents not provided for in one single group of C11D3/12; Specific features concerning abrasives, e.g. granulometry or mixtures
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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-
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Description
【0001】
集積回路およびメモリセルなどの半導体デバイスの製作では、半導体基板(「基板」)上に特徴を定めるために、一連の製造動作が実施される。一連の製造動作の間、基板表面は、各種の汚染物質に曝される。汚染源としては、製造動作中に存在する基本的に任意の材料が考えられる。例えば、汚染源は、数あるなかでも、とりわけ、プロセスガス、化学剤、堆積材料、エッチング副産物、および液体を含むであろう。各種の汚染物質は、粒子状の形態(粒子)で、ウエハ表面上に堆積することができる。
【0002】
半導体基板の表面は、基板汚染物質を取り除かれる必要がある。もし除去されないと、汚染付近のデバイスが動作不可能になる恐れがある。基板の汚染物質は、また、デバイスの性能特性に影響を及ぼし、通常より速い速度でデバイスの障害を引き起こす可能性もある。このため、基板表面および基板上に定められた特徴を損なうことなく、実質的に完璧な手法で、基板表面から汚染物質を取り除く必要がある。粒子状汚染のサイズは、ウエハ上に製作される特徴の微小寸法とおおよそ同程度であることが多い。したがって、表面および基板上の特徴に悪影響を及ぼすことなくこのような小さい粒子状汚染を除去することは、極めて困難である恐れがある。
【0003】
以上から、基板表面から汚染物質を除去してデバイスの歩留まりを向上させるための、改善された基板洗浄技術が必要とされていることがわかる。
【発明の開示】
【0004】
概して、本発明は、基板表面から汚染物質を除去してデバイスの歩留まりを向上させるための、改善された基板洗浄技術を提供することによって、これらのニーズを満たすものである。本発明は、溶液、方法、プロセス、装置、またはシステムを含む多くの形態で実現可能であることを理解されるべきである。以下では、発明のいくつかの実施形態について説明される。
【0005】
一実施形態では、半導体基板表面から粒子状汚染物質を除去するための洗浄化合物が提供される。洗浄化合物は、約1cPから約10,000cPまでの間の粘度を有する粘性液体を含む。洗浄化合物は、また、粘性液体の中に分散された複数の固体成分を含む。複数の固体成分は、基板表面から粒子状汚染物質を除去するために、基板表面上の粒子状汚染物質と相互作用する。
【0006】
別の一実施形態では、基板の基板表面から粒子状汚染物質を取り除くための装置が提供される。装置は、基板を保持するための基板サポートアセンブリを含む。装置は、また、基板表面から粒子状汚染物質を取り除くために洗浄化合物を分配するためのアプリケータを含む。洗浄化合物は、1/秒のせん断速度で約1cPから約10,000cPまでの間の粘度を有する粘性液体であり、粘性液体の中には、複数の固体成分が分散されている。
【0007】
さらに別の一実施形態では、基板表面から粒子状汚染物質を取り除くための方法が提供される。方法は、中に固体成分を分散された粘性液体を基板表面に塗布することを含む。方法は、また、少なくとも1つの固体成分を基板表面上の粒子状汚染物質に接近させるために、下向き成分およびせん断成分を有する力を粘性液体に加えることを含む。方法は、さらに、少なくとも1つの固体成分および粒子状汚染物質を基板表面から除去することを含む。
【0008】
本発明の原理を例として示した添付の図面と関連させた、以下の詳細な説明から、本発明のその他の態様および利点がより明らかになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0009】
本発明は、添付の図面と関連させた以下の詳細な説明によって、容易に理解される。類似の参照符号は、類似の構成要素を表すものとする。
【0010】
基板から粒子状汚染物質を除去してプロセスの歩留まりを向上させるための、改善された基板洗浄技術について、いくつかの代表的な実施形態が提供される。本発明は、溶液、プロセス、方法、装置、またはシステムを含む多くの形態で実現可能であることを理解されるべきである。以下では、本発明のいくつかの実施形態について説明される。当業者ならば、本発明が、本明細書で特定された一部または全部の詳細をともなわずとも実施可能であることがわかる。
【0011】
本明細書で説明される実施形態は、研磨性の接触の必要性を排除するとともに、高アスペクト比の特徴を一部含むであろう半導体基板から汚染物質を取り除くに際して効率的であるような、洗浄技術を提供する。これらの実施形態は、半導体洗浄の応用に関連した具体例を提供するが、これらの洗浄応用は、基板からの汚染物質の除去を必要とする任意の技術に拡大適用可能である。後述されるように、連続液相および分散固相を有する洗浄溶液が提供される。個体粒子は、液相全体に分散されている。
【0012】
図1Aは、本発明の一実施形態にしたがった、半導体基板105の表面106から汚染物質103を除去するための洗浄溶液(または化合物)101の具体図を示している。洗浄溶液101は、粘性液体107と、固体成分109とを含む。固体成分109は、粘性液体107の中に分散されている。粘性液体107は、固体成分109と汚染物質103とを相互作用させ、最終的に基板表面106から汚染物質103を除去するために、固体成分109を汚染物質103に接近させるための媒介物を提供する。一実施形態では、固体成分109は、化学剤によって、または追加の界面活性剤によって加水分解される。一実施形態では、洗浄溶液101は、カルボン酸の固体を2%を超える重量/重量パーセントで脱イオン水(DIW)に溶解させることによって作成することができる。固体成分109は、DIWに溶解されたカルボン酸から沈殿したカルボン酸の固体である。一実施形態では、カルボン酸の炭素数は、4以上である。溶解されたカルボン酸は、1/秒のせん断速度で1cP(センチポアズ)から約10,000cPまでの間の粘度を有する粘性液体107を形成するであろう。留意すべきは、洗浄化合物(または溶液)が、水以外の溶媒にカルボン酸(または塩)を混ぜることによって作成可能であることである。アルコールなど、その他の極性溶媒または非極性溶媒もまた、使用することができる。
【0013】
固体成分109は、懸濁した状態で粘性液体107の中に分散される。一実施形態では、粘性液体107は、図1Bに示されるように、基板表面106に塗布することができる洗浄化合物101を、固体成分109網と合わさって形成するゲルである。固体成分109は、互いに相互作用することによって、ファンデルワールス力を通じて固体化合物網を形成する。固体成分109は、ゲルの形態をとる粘性液体107の中に懸濁されている。比較的高いゲルの粘度は、ゲルに加えられた力がゲル内の固体化合物に力を伝えることを可能にする。図1Bに示されるような洗浄化合物101は、カルボン酸の固体を、約3%から約5%までの間、好ましくは約4%から約5%までの間など、高めの濃度でDIWと混ぜることによって形成することができる。一実施形態では、カルボン酸の固体とDIWとの混合は、DIWに固体を溶解させる時間を短くするために、約75℃から約85℃までの温度に加熱することができる。ひとたび固体が溶解されると、洗浄溶液は、冷却することができる。冷却プロセス中は、針状または板状の形態の固体化合物が沈殿する。
【0014】
一実施形態では、粘性液体107は、せん断速度の増大とともに粘度を減少させる非ニュートン流体である。しかしながら、粘性液体107は、ニュートン流体であることも可能である。図1Cは、説明された実施形態の非ニュートン流体の図を示している。粘度は、せん断速度が非常に高いとゼロに近づく。非ニュートン流体の粘度は、せん断速度の増大とともに減少する。洗浄動作中は、一定範囲のせん断速度が選択される。一例として、DIWの中で3〜4重量/重量パーセントのカルボン酸を有する液体ゲルは、0.1/秒のせん断速度で約1000cPの粘度を有し、その粘度は、せん断速度が1000/秒に増大すると約10cPまで落ちる。
【0015】
上述のように、粘性液体107は、約10cPから約10,000cPまでの間の粘度を有する。溶液101の表面にせん断力が加えられると、粘性液体107は、そのせん断力の一部を固体成分109に伝えることができる。固体成分109は、汚染物質103に接触し、それらの汚染物質を基板表面から遠ざける。
【0016】
特定の実施形態に応じて、洗浄剤101の中の固体成分109は、固相の中の基本的に任意のサブ相を表すような物理的性質を持ちうることを理解されるべきである。ここで、固相は、液体でも気体でもない相として定められる。例えば、弾力性および可塑性などの物理的性質は、洗浄剤101の中の様々な異なるタイプの固体成分109の間で可変である。また、各種の実施形態では、固体成分109は、結晶性の固体または非晶質の固体として定められることを理解されるべきである。それらの特定の物理的性質にかかわらず、洗浄剤101の中の固体成分109は、基板表面106に近接近してまたは接触して配置された際に、基板表面106の表面に対する付着を回避可能であることが望ましい。また、固体成分109の機械的性質は、洗浄プロセス中に、基板表面106を損傷させないことが望ましい。一実施形態では、固体成分109の硬度は、基板表面106の硬度より小さい。
【0017】
さらに、固体成分109は、基板表面106上に存在する汚染物質103に近接近してまたは接触して配置された際に、それらの汚染物質103との間に相互作用を確立可能であることが望ましい。例えば、固体成分109のサイズおよび形状は、固体成分109と汚染物質103との間に相互作用を確立するのに好都合なものであることが望ましい。一実施形態では、固体成分109は、汚染物質の断面積より大きい断面積を有する。図1Dに示されるように、固体成分109’が、粒子状汚染物質103’の表面積A103'と比べて大きい表面積A109'を有する場合、固体成分109’に及ぼされるせん断力FS'は、大雑把に言うと、面積比(FS'×A109'/A103')を乗じたせん断力で粒子状汚染物質103’に伝えられる。例えば、粒子状汚染物質103’の有効径Dは、約0.1ミクロン未満である。固体成分109’の幅Wおよび長さLは、いずれも、約5ミクロンから約50ミクロンまでの間であり、固体成分109’の厚さは、約1ミクロンから約5ミクロンまでの間である。面積比(または力の乗数)は、2,500から約250,000までの間、またはそれより大きいことが可能である。粒子状汚染物質103’に及ぼされるせん断力は、非常に大きく、基板表面106から粒子状汚染物質103’を撤去することが可能である。
【0018】
固体成分109’から汚染物質103’へのエネルギの伝達は、直接的または間接的な接触を通じて生じ、基板表面106からの汚染物質103’の撤去を引き起こすことができる。この実施形態では、固体成分109’は、汚染物質103’より柔らかいまたは堅いことが可能である。もし固体成分109’が汚染物質103’より柔らかい場合は、固体成分109’は、衝突の最中に、より大きな変形を生じやすくなり、その結果、汚染物質103’を基板表面106から撤去するための運動エネルギの伝達が減少する。しかしながら、固体成分109’が汚染物質103’より柔らかい場合は、固体成分109’と汚染物質103’との間の付着結合は強くなるであろう。反対に、もし固体成分109’が少なくとも汚染物質103’と同程度に堅い場合は、固体成分109’と汚染物質103’との間に実質的に完璧なエネルギ伝達を生じることができるので、汚染物質103’を基板表面106から撤去する働きをする力が増大する。しかしながら、固体成分109’が汚染物質103’と少なくとも同程度に堅い場合は、固体成分109’の変形に依存する相互作用の力は低減されるであろう。固体成分109’および汚染物質103’に関連した物理的性質ならびに相対速度は、それらの間における衝突の相互作用に影響を及ぼすことを理解されるべきである。
【0019】
図1Eおよび図1Fは、基板表面106から汚染物質103を除去するために洗浄剤101がどのように機能するかの別の一実施形態を示している。洗浄プロセス中は、粘性液体107の中の固体成分109が基板表面106上の汚染物質103に接近するまたは接触するように、その固体成分109に、力Fの下向き成分である下向きの力FDが作用される。比較的高い粘性液体107の粘度は、粘性液体107に加えられた下向きの力のかなりの部分を固体成分109に作用させることを可能にする。固体成分109が汚染物質103に十分に接近するまたは接触すると、固体成分109と汚染物質103との間に相互作用が確立される。固体成分109と汚染物質103との間の相互作用は、汚染物質103と基板表面106との間の付着力、および固体成分109と汚染物質との間のあらゆる反発力に打ち勝つのに十分である。したがって、固体成分109が、力Fのせん断成分であるせん断力FSによって基板表面106から遠ざけられる際は、固体成分109と相互作用した汚染物質103もまた、基板表面106から遠ざけられる、すなわち、汚染物質103は、基板表面106から取り除かれる。一実施形態では、固体成分109が汚染物質103に十分に近づけられたときに、固体成分109と汚染物質103との間に相互作用が生じる。一実施形態では、この距離は、約10ナノメートル以内であることが可能である。別の一実施形態では、固体成分109が汚染物質103に実際に接触したときに、固体成分109と汚染物質103との間に相互作用が生じる。この相互作用は、固体成分109が汚染物質103と係合すると表現することも可能である。
【0020】
固体成分109と汚染物質103との間の相互作用の力は、汚染物質103を基板表面106につなぐ力よりも強い。図1Fは、固体成分109が基板表面106から遠ざけられる際に、固体成分109と結合された汚染物質103もまた、基板表面106から遠ざけられることを示している。洗浄プロセス中は、複数の汚染物質除去メカニズムが発生可能であることに留意するべきである。
【0021】
固体成分109は、汚染103と相互作用することによって洗浄プロセスに影響を及ぼすので、基板表面106全体にわたる汚染103の除去は、固体成分109が基板表面106全体に如何に良く分布しているかに依存することを理解されるべきである。好ましい一実施形態では、固体成分109は、非常に良く分布しているので、基板表面106上の基本的にどの汚染物質103も、少なくとも1つの固体成分109に接近している。また、1つの固体成分109は、同時的であれ順次的であれ、2つ以上の汚染物質103と接触できるまたは相互作用できることも理解されるべきである。さらに、固体成分109は、全て同じ成分ではなく、異なる成分の混合であることが可能である。このため、洗浄溶液は、特定の用途に合わせて、すなわち特定の汚染物質を対象として、設計することができる。あるいは、洗浄溶液は、複数の固体成分を提供された場合に、広範囲におよぶ汚染物質を対象にすることができる。
【0022】
固体成分109と汚染物質103との間の相互作用は、数あるなかでも、とりわけ、付着、衝突、および引力を含む1つまたは複数のメカニズムを通じて確立することができる。固体成分109と汚染物質103との間の付着は、化学的および/または物理的相互作用を通じて確立することができる。例えば、一実施形態では、化学的相互作用が、固体成分109と汚染物質103との間に糊に似た効果を生じさせる。別の一実施形態では、固体成分109の機械的性質によって、固体成分109と汚染物質103との間の物理的相互作用が促進される。例えば、固体成分109は、汚染物質103に押し付けられたときに汚染物質103が固体成分109の中に刷り込まれるように、可展性であることが可能である。別の一実施形態では、固体成分109網の中に汚染物質103を巻き込ませることが可能である。この実施形態では、固体成分109網を通じて機械的応力を汚染物質103に伝えることによって、基板表面106からの汚染物質103の除去に必要とされる機械力を提供することができる。
【0023】
汚染物質103による刷り込みに起因する固体成分109の変形は、固体成分109と汚染物質103との間に機械的結合を形成する。例えば、汚染物質103の表面トポグラフィは、汚染物質103が固体成分109の中に押し込まれるにつれて、固体成分109材料の部分が汚染物質103の表面トポグラフィの中の領域に入り、そこから容易に脱出することができなくなり、そうして固定のメカニズムが形成されるような、表面トポグラフィであることが可能である。
【0024】
上記に加えて、一実施形態では、固体成分109と汚染物質103との間の相互作用は、静電気引力に起因することができる。例えば、もし固体成分109と汚染物質103とが反対の表面電荷を有する場合は、それらは、互いに電気的に引きつけられる。固体成分109と汚染物質103との間の静電気引力は、汚染物質103を基板表面106につなぐ力に打ち勝つのに十分であることが可能である。
【0025】
別の一実施形態では、固体成分109と汚染物質103との間に静電反発力が存在することが可能である。例えば、固体成分109および汚染物質103は、ともに、負の表面電荷または正の表面電荷のいずれかを有することができる。もし、固体成分109と汚染物質103とを十分に近接近させることが可能であれば、それらの間の静電反発力は、ファンデルワールス力を通じて打ち負かすことが可能である。粘性液体107によって固体成分109に加えられる力は、静電反発力を打ち負かして固体成分109と汚染物質103との間にファンデルワールス引力を確立させるのに十分である。
【0026】
また、別の一実施形態では、固体成分109および汚染物質103の一方の上または両方の上に存在する表面電荷を相殺することによって、固体成分109と汚染物質103との間の静電反発力が低減されて、それらの間の相互作用が促進されるように、あるいは固体成分または汚染のいずれかが互いに対して表面電荷の反転を呈して、その結果として静電気引力を生じるように、粘性液体107のpHを調整することができる。例えば、3〜4%のカルボン酸をDIWに溶解させ、ゲル(粘性液体)のpH値を増大させるために脂肪酸の固体成分を加えて作成されたカルボン酸ゲルに、水酸化アンモニウム(NH4OH)などの塩基を加えることができる。加えられるNH4OHの量は、約0.05%から約5%までの間、好ましくは約0.25%から約2%までの間である。水酸化アンモニウムは、脂肪酸の固体を加水分解させてゲル中に分散させることを助ける。水酸化アンモニウムは、また、汚染物質103を加水分解することもできる。金属汚染物質を取り除くには、より低いpHの溶液を使用することもできる。pH値を約6から約8までの間に調節するために、緩衝HF溶液を使用することができる。
【0027】
洗浄効率を高めるためには、水酸化アンモニウムなどの塩基の使用に加えて、ドデシル硫酸アンモニウム、すなわちCH3(CH2)11OSO3NH4などの界面活性剤をカルボン酸ゲルに加えることもできる。一実施形態では、約0.1%から約5%までの界面活性剤が、洗浄溶液101に加えられる。好ましい一実施形態では、約0.5%から約2%までの界面活性剤が、洗浄溶液101に加えられる。
【0028】
また、固体成分109は、粘性液体107への溶解を回避すること、または粘性液体107の中で限られた溶解度を有することが望ましく、なおかつ、粘性液体107全体への分散を可能にする表面機能性を有することが望ましい。液体媒質107全体への分散を可能にする表面機能性を有さない固体成分109については、それらの固体成分109の分散を可能にするために、液体媒質107に化学分散剤を加えることができる。固体成分109は、それらの特定の化学的特性およびそれらを取り囲む粘性気体107との相互作用に応じて、いくつかの異なる形態のうちの1つまたは複数の形態をとることができる。例えば、各種の実施形態では、固体成分109は、集合体、コロイド、ゲル、合体球、または基本的にその他の任意のタイプの膠着、凝結、凝集、集塊、もしくは合体を形成することができる。その他の実施形態では、固体成分109は、本明細書に明記されていない形態をとることができる。したがって、理解されるべきは、固体成分109が、基板表面106および汚染物質103との相互作用について上述された方式で機能することができるような基本的に任意の固形材料として定められることである。
【0029】
代表的な一部の固体成分109は、脂肪族酸、カルボン酸、パラフィン、セルロース、ワックス、高分子、ポリスチレン、ポリペプチド、およびその他の粘弾性材料を含む。固体成分109材料は、粘性液体107の中でのその溶解限度を超える濃度で存在することが望ましい。また、特定の固体成分109材料に関連した洗浄の有効性は、温度、pH、およびその他の環境条件の関数として可変であることを理解されるべきである。
【0030】
脂肪族酸は、炭素原子が開鎖を形成するような有機化合物によって定められる基本的に任意の酸を表している。脂肪酸は、洗浄剤101の中の固体成分109として使用できる脂肪族酸の一例およびカルボン酸の一例である。固体成分109として使用できる脂肪酸の例は、数あるなかでも、とりわけ、ラウリン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、アラキドン酸、ガドレイン酸、エルカ酸、酪酸、カプロン酸、カプリル酸、ミリスチン酸、マルガリン酸、ベヘン酸、リグノセリン酸、ミリストレイン酸、パルミトレイン酸、ネルボン酸、パリナリン酸、ティムノドン酸、ブラシジン酸、クルパノドン酸、リグノセリン酸、セロチン酸、およびこれらの混合を含む。一実施形態では、固体成分109は、C−4から約C−26に到るまでの様々な炭素鎖長によって定められる脂肪酸の混合を表すことができる。カルボン酸は、1つまたは複数のカルボキシル基(COOH)を含む基本的に任意の有機酸によって定められる。また、カルボン酸は、メチル、ビニル、アルキン、アミド、第1級アミン、第2級アミン、第3級アミン、アゾ、ニトリル、ニトロ、ニトロソ、ピリジル、カルボキシル、ペルオキシ、アルデヒド、ケトン、第1級イミン、第2級イミン、エーテル、エステル、イソシアン化ハロゲン、イソチオシオネート、フェニル、ベンジル、ホスホジエステル、スルフヒドリルを非限定的に含むその他の官能基を含むことができるが、依然として、粘性液体107内における不溶性を維持する。
【0031】
また、カルボン酸塩、リン酸塩、硫酸基、ポリオール基、エチレンオキシドなどの、粘性液体107と混ざる部分を内包させることによって、固体成分109材料の表面機能性に影響を及ぼすことが可能である。理解されるべき点は、固体成分109は、基板105上に存在する汚染物質103と相互作用させられないような形態に固まることのないように、粘性液体107全体に実質的に均一に分散可能であることが望ましいことである。
【0032】
粘性液体107は、イオン性または非イオン性の溶媒およびその他の化学添加剤を含むように調整可能であることを理解されるべきである。例えば、粘性液体107への化学添加剤は、共溶媒、pH調整剤、キレート剤、極性溶媒、界面活性剤、水酸化アンモニウム、過酸化水素、フッ化水素酸、水酸化テトラメチルアンモニウム、ならびに高分子、微粒子、およびポリペプチドなどのレオロジー調整剤を、任意の組み合わせで含むことができる。
【0033】
図2は、本発明の一実施形態にしたがった、基板表面から汚染物質を除去するための方法のフローチャートを示した図である。なお、図2の方法において言及される基板は、半導体ウエハ、または製造プロセスに関連した汚染物質の除去を必要とするその他の任意のタイプの基板を表しうることを理解されるべきである。また、図2の方法において言及される汚染物質は、粒子状汚染、微量金属汚染、有機汚染、フォトレジストのデブリ、ウエハ取り扱い機器からの汚染、およびウエハ背面の粒子状汚染を非限定的に含む、半導体ウエハ製造プロセスに関連した基本的に任意のタイプの表面汚染物質を表すことができる。
【0034】
図2の方法は、粘性液体またはゲルの中に固体成分を分散された洗浄剤(または溶液)を、基板の上に配する動作201を含む。図2の方法において言及される洗浄剤は、図1A〜1Fに関連して上述されたものと同じである。したがって、洗浄剤の中の固体成分は、懸濁した状態で粘性液体の中に分散される。また、固体成分は、基板を損傷させることおよび基板表面に付着することを回避するように定められる。
【0035】
方法は、また、固体成分に力を加えて固体成分を基板上に存在する汚染物質に接近させ、固体成分と汚染物質との間に相互作用が確立されるようにする動作203を含む。
【0036】
また、一実施形態では、方法は、固体成分と汚染物質との間の相互作用を向上させるために、洗浄剤の温度を制御する動作を含むことができる。より具体的に言うと、固体成分の性質を制御するために、洗浄剤の温度を制御することができる。例えば、固体成分は、温度が高いほど可展性が増し、汚染物質に押し付けられた際に形状的になじみやすくなる。そして、固体成分がひとたび汚染物質に押し付けられて形状的になじむと、今度は、固体成分の可展性を下げて、汚染物質になじんだ形状をより良く維持するために、温度を引き下げ、そうして、固体成分と汚染物質とを効果的に固定する。温度は、粘性液体の粘度を制御するために使用することが可能である。温度は、また、固体成分の可溶性を、ひいては濃度を制御するためにも使用することが可能である。例えば、固体成分は、温度が高いほど、粘性液体に溶解しやすいであろう。温度は、また、基板上においてin-situ(その場)で液液懸濁から固体成分を形成することを制御するおよび/または可能にするためにも使用することができる。別の一実施形態では、方法は、粘性液体の中に溶解した固体を沈殿させる動作を含むことができる。この沈殿動作は、固体を溶媒に溶解させ、次いで、溶媒とは混ざるが固体は溶解させない成分を追加することによって、実現することができる。
【0037】
方法は、さらに、固体成分と相互作用した汚染物質が基板表面から除去されるように、基板表面から固体成分を遠ざける動作205を含む。一実施形態では、方法は、基板から遠ざかる固体成分および/もしくは汚染物質の動きを制御するまたは向上させるために、基板の上方における洗浄剤の流量を制御する動作を含む。基板から汚染を除去するための本発明の方法は、固体成分と除去されるべき汚染物質との間に相互作用が確立されるように、洗浄剤の固体成分に力を加える手段がある限り、多くの異なる手法で実現することができる。
【0038】
一実施形態では、方法は、最終洗浄の動作を含むことができる。最終洗浄の動作では、撤去された汚染物質を含有する洗浄剤は、基板表面からの全ての洗浄剤の除去を促進する適切な化学剤によって取り除かれる。例えば、もし洗浄剤の粘性液体がカルボン酸ゲルである場合は、基板表面からカルボン酸を除去するために、DIWに希釈されたNH4OHを使用することができる。NH4OHは、カルボン酸を加水分解して(または脱プロトン化によってイオン化して)、加水分解されたカルボン酸を基板表面から持ち上げることを可能にする。あるいは、カルボン酸ゲルを基板表面から除去するために、ドデシル硫酸アンモニウム、すなわちCH3(CH2)11OSO3NH4などの界面活性剤をDIWに加えることができる。
【0039】
別の一実施形態では、上述された最終洗浄動作の後に、すすぎ動作が続く。最終洗浄後は、最終洗浄で使用された化学剤を基板表面から除去するために、DIWなどの液体によって基板表面をすすぐことができる。最終洗浄で使用された液体は、蒸発後に基板表面に化学残留物を残留させないことが望ましい。
【0040】
図3は、基板表面洗浄システム300の一実施形態の概略図を示している。システム300は、基板サポートアセンブリ304を収容する容器307を有する。基板サポートアセンブリ304は、基板301を支える基板ホルダ305を有する。基板サポートアセンブリ304は、回転メカニズム310によって回転される。システム300は、洗浄剤アプリケータ306を含む洗浄剤分配アセンブリ303を有する。アプリケータ306には、洗浄剤を基板301の表面上に分配可能にする複数の分配穴308がある。回転メカニズム310の補助によって、洗浄剤307は、基板表面全体を覆う。一実施形態では、アプリケータ306は、洗浄剤を分配する行為を通じて、洗浄剤に、そして基板表面に、下向きの力を提供する。洗浄剤は、空気圧によって、または機械的ポンプによって、アプリケータ306から押し出すことができる。別の一実施形態では、アプリケータ306は、下向きの機械力によって、基板上の洗浄剤に下向きの力を提供する。回転メカニズム310は、洗浄剤に、そして基板表面に、せん断力を提供する。一実施形態では、回転メカニズム310は、1回転/分(RPM)から約100RPMまでの間、好ましくは約5RPMから約30RPMまでの間の速度で回転される。洗浄剤をアプリケータ306から押し出すために洗浄剤(または化合物)に作用される圧力は、約5PSIから約20PSIまでの間である。あるいは、アプリケータ306は、せん断力を提供するために、基板301の中心を中心に回転することができる。
【0041】
一実施形態では、システム300は、洗浄剤による汚染物質除去のプロセスの完了後に基板表面から洗浄剤を取り除くために、基板表面上にDIW321を分配することができる、ディスペンサ320を含むこともできる。別の一実施形態では、ディスペンサ320は、粘性液体を加水分解し、その粘性液体を基板表面から持ち上げることを可能にするために、上記のDIWにNH4OHを含ませたような洗浄溶液を基板表面上に分配することができる。その後は、洗浄溶液を基板表面から除去するために、同じディスペンサ320または異なるディスペンサ(不図示)によって、DIWを分配することができる。
【0042】
以上では、いくつかの実施形態の観点から本発明の説明がなされてきたが、当業者ならば、先立つ明細書を読み、図面を検討することによって、各種の代替、追加、置換、および等価の形態を認識できるであろうことがわかる。したがって、本発明は、本発明の真の趣旨および範囲に含まれるものとして、このようなあらゆる代替、追加、置換、および等価の形態を含むことを意図している。特許請求の範囲において、構成要素および/またはステップは、特許請求の範囲に特に明記されない限り、いかなる特定の動作順序も示唆しないものとする。
【図面の簡単な説明】
【0043】
【図1A】 本発明の一実施形態にしたがった、基板表面から粒子状汚染を除去するための洗浄溶液の具体図を示している。
【図1B】 ゲルおよび固体化合物網をともなう洗浄溶液の具体図を示している。
【図1C】 非ニュートン流体について、応力および粘度の関数としてのせん断速度の図を示している。
【図1D】 図1Aの洗浄溶液の固体成分が基板表面上の汚染物質に接近している様子の具体図を示している。
【図1E】 図1Aの洗浄溶液の固体成分が基板表面上の汚染物質に接触している様子の具体図に示している。
【図1F】 図1Aの洗浄溶液の固体成分が基板表面から汚染物質を遠ざけている様子の具体図を示している。
【図2】 基板の表面から粒子状汚染物質を除去するためのプロセスフローの一実施形態を示している。
【図3】 基板表面洗浄システムの一実施形態の概略図を示している。
Claims (19)
- 半導体基板表面から粒子状汚染物質を除去するための洗浄化合物であって、
約1cPから約10,000cPまでの間の粘度を有する粘性液体と、
前記粘性液体の中に分散された複数の固体成分であって、前記基板表面から前記粒子状汚染物質を除去するための複数の固体成分と、
を備え、
前記粘性液体は、約2%から約5%までの間のカルボン酸を脱イオン水に溶解させることによって作成されるカルボン酸ゲルである、洗浄化合物。 - 半導体基板表面から粒子状汚染物質を除去するための洗浄化合物であって、
約1cPから約10,000cPまでの間の粘度を有する粘性液体と、
前記粘性液体の中に分散された複数の固体成分であって、前記基板表面から前記粒子状汚染物質を除去するための複数の固体成分と、
を備え、
前記複数の固体成分は、4を超える炭素数を有する脂肪酸である、洗浄化合物。 - 請求項2に記載の洗浄化合物であって、
前記脂肪酸は、ラウリン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレン酸、アラキドン酸、ガドレイン酸、エルカ酸、酪酸、カプロン酸、カプリル酸、ミリスチン酸、マルガリン酸、ベヘン酸、リグノセリン酸、ミリストレイン酸、パルミトレイン酸、ネルボン酸、パリナリン酸、ティムノドン酸、ブラシジン酸、クルパノドン酸、およびこれらの混合物からなる群より選択される、洗浄化合物。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の洗浄化合物であって、
前記複数の固体成分は、約5ミクロンから約50ミクロンまでの間の幅および長さを有する、洗浄化合物。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の洗浄化合物であって、
前記粒子状汚染物質の各自は、0.1ミクロン未満の直径を有する、洗浄化合物。 - 半導体基板表面から粒子状汚染物質を除去するための洗浄化合物であって、
約1cPから約10,000cPまでの間の粘度を有する粘性液体と、
前記粘性液体の中に分散された複数の固体成分であって、前記基板表面から前記粒子状汚染物質を除去するための複数の固体成分と、
を備え、
前記粘性液体のpH値は、約10から約11までの間である、洗浄化合物。 - 請求項6に記載の洗浄化合物であって、
前記pHは、前記粘性液体に水酸化アンモニウムを加えることによって調整される、洗浄化合物。 - 請求項1に記載の洗浄化合物であって、さらに、
前記複数の固体成分を分散させるのを助けるための界面活性剤を備える洗浄化合物。 - 請求項8に記載の洗浄化合物であって、
前記界面活性剤は、ドデシル硫酸アンモニウムである、洗浄化合物。 - 請求項1に記載の洗浄化合物であって、
前記粘性液体は、ゲルである、洗浄化合物。 - 基板の基板表面から粒子状汚染物質を取り除くための装置であって
前記基板を保持するための基板サポートアセンブリと、
前記基板表面から前記粒子状汚染物質を取り除くために洗浄化合物を分配するためのアプリケータと、
を備え、
前記洗浄化合物は、約1cPから約10,000cPまでの間の粘度を有する粘性液体と、前記粘性液体の中に分散された複数の固体成分であって前記基板表面から前記粒子状汚染物質を除去するための複数の固体成分と、を含み、
前記粘性液体は、約2%から約5%までの間のカルボン酸を脱イオン水に溶解させることによって作成されるカルボン酸ゲルである、装置。 - 請求項11に記載の装置であって、
前記基板サポートアセンブリは、回転メカニズムによって回転される、装置。 - 請求項11に記載の装置であって、
前記アプリケータは、前記基板の中心を中心に回転する、装置。 - 請求項11に記載の装置であって、
前記アプリケータは、前記洗浄化合物を分配するために、空気圧または機械的ポンプのいずれかを使用して前記アプリケータの下の前記洗浄化合物に下向きの力を作用させる、装置。 - 請求項11に記載の装置であって、さらに、
洗浄液体分配ヘッドを備え、前記洗浄化合物を前記基板表面から除去するために、前記洗浄液体分配ヘッドによって洗浄液体が分配される、装置。 - 基板表面から粒子状汚染物質を取り除くための方法であって、
約1cPから約10,000cPまでの間の粘度を有する粘性液体と、前記粘性液体の中に分散された複数の固体成分であって前記基板表面から前記粒子状汚染物質を除去するための複数の固体成分と、を含む洗浄化合物を前記基板表面に塗布することと、
少なくとも1つの固体成分を前記基板表面上の粒子状汚染物質に接近させるために、下向き成分およびせん断成分を有する力を前記粘性液体に加えることと、
前記少なくとも1つの固体成分および前記粒子状汚染物質を前記基板表面から除去することと、
を備え、
前記粘性液体は、約2%から約5%までの間のカルボン酸を脱イオン水に溶解させることによって作成されるカルボン酸ゲルである、方法。 - 請求項16に記載の方法であって、
前記粘性液体は、せん断力の増大とともに粘度を減少させる非ニュートン流体である、方法。 - 請求項16に記載の方法であって、さらに、
前記粘性液体を加水分解する洗浄溶液を加えることによって、前記基板表面から前記粘性液体を除去することを備え、前記洗浄溶液は、前記粘性液体の可溶性を高める化学物質を有する、方法。 - 請求項18に記載の方法であって、さらに、
前記基板表面から前記洗浄化合物を除去するための脱イオン水を加えることによって、前記基板表面から前記洗浄化合物を除去することを備える方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US75537705P | 2005-12-30 | 2005-12-30 | |
US60/755,377 | 2005-12-30 | ||
US11/519,354 | 2006-09-11 | ||
US11/519,354 US7799141B2 (en) | 2003-06-27 | 2006-09-11 | Method and system for using a two-phases substrate cleaning compound |
PCT/US2006/048706 WO2007078975A2 (en) | 2005-12-30 | 2006-12-19 | Method and system for using a two-phases substrate cleaning compound |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009522780A JP2009522780A (ja) | 2009-06-11 |
JP2009522780A5 JP2009522780A5 (ja) | 2010-02-12 |
JP5154441B2 true JP5154441B2 (ja) | 2013-02-27 |
Family
ID=38228775
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008548612A Expired - Fee Related JP4892565B2 (ja) | 2005-12-30 | 2006-12-18 | 安定化流体溶液を使用した基板調製及び安定流体溶液作成方法 |
JP2008548621A Expired - Fee Related JP5154441B2 (ja) | 2005-12-30 | 2006-12-19 | 二相の基板洗浄化合物、洗浄化合物を使用するための方法および装置 |
JP2008548657A Expired - Fee Related JP5148508B2 (ja) | 2005-12-30 | 2006-12-21 | 半導体基板を洗浄するための方法および装置 |
JP2008548829A Expired - Fee Related JP5237825B2 (ja) | 2005-12-30 | 2006-12-26 | 半導体基板を洗浄する方法および装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008548612A Expired - Fee Related JP4892565B2 (ja) | 2005-12-30 | 2006-12-18 | 安定化流体溶液を使用した基板調製及び安定流体溶液作成方法 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008548657A Expired - Fee Related JP5148508B2 (ja) | 2005-12-30 | 2006-12-21 | 半導体基板を洗浄するための方法および装置 |
JP2008548829A Expired - Fee Related JP5237825B2 (ja) | 2005-12-30 | 2006-12-26 | 半導体基板を洗浄する方法および装置 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8475599B2 (ja) |
EP (2) | EP2428557A1 (ja) |
JP (4) | JP4892565B2 (ja) |
KR (4) | KR101426777B1 (ja) |
CN (10) | CN101351282B (ja) |
MY (2) | MY149848A (ja) |
SG (2) | SG154438A1 (ja) |
TW (3) | TWI330551B (ja) |
WO (1) | WO2007078955A2 (ja) |
Families Citing this family (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040031167A1 (en) * | 2002-06-13 | 2004-02-19 | Stein Nathan D. | Single wafer method and apparatus for drying semiconductor substrates using an inert gas air-knife |
US8388762B2 (en) * | 2007-05-02 | 2013-03-05 | Lam Research Corporation | Substrate cleaning technique employing multi-phase solution |
JP2011507132A (ja) | 2007-12-07 | 2011-03-03 | フォンタナ・テクノロジー | 粒子除去洗浄方法および組成物 |
US8084406B2 (en) * | 2007-12-14 | 2011-12-27 | Lam Research Corporation | Apparatus for particle removal by single-phase and two-phase media |
US8828145B2 (en) * | 2009-03-10 | 2014-09-09 | Lam Research Corporation | Method of particle contaminant removal |
US9159593B2 (en) * | 2008-06-02 | 2015-10-13 | Lam Research Corporation | Method of particle contaminant removal |
US8105997B2 (en) * | 2008-11-07 | 2012-01-31 | Lam Research Corporation | Composition and application of a two-phase contaminant removal medium |
US8739805B2 (en) * | 2008-11-26 | 2014-06-03 | Lam Research Corporation | Confinement of foam delivered by a proximity head |
US8317934B2 (en) * | 2009-05-13 | 2012-11-27 | Lam Research Corporation | Multi-stage substrate cleaning method and apparatus |
US8251223B2 (en) * | 2010-02-08 | 2012-08-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Cleaning system and a package carrier for a semiconductor package |
US8595929B2 (en) * | 2010-10-21 | 2013-12-03 | Siemens Energy, Inc. | Repair of a turbine engine surface containing crevices |
CN102569013A (zh) * | 2010-12-17 | 2012-07-11 | 朗姆研究公司 | 用于检测晶片应力的系统和方法 |
CN102315098B (zh) * | 2011-09-28 | 2016-03-30 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 清洗半导体基底和形成栅介质层的方法 |
US9919939B2 (en) | 2011-12-06 | 2018-03-20 | Delta Faucet Company | Ozone distribution in a faucet |
KR20130072664A (ko) * | 2011-12-22 | 2013-07-02 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 메모리 소자의 제조방법 |
CN102744227A (zh) * | 2012-07-16 | 2012-10-24 | 安徽未来表面技术有限公司 | 一种用于太阳能发电装置上的硅片清洗方法 |
MX2016000091A (es) | 2013-07-05 | 2016-03-01 | Univ King Abdullah Sci & Tech | Sistema y metodo para transportar un montaje. |
CN103406322A (zh) * | 2013-07-22 | 2013-11-27 | 彩虹显示器件股份有限公司 | 一种用于清洗基板玻璃的装置及方法 |
US10767143B2 (en) * | 2014-03-06 | 2020-09-08 | Sage Electrochromics, Inc. | Particle removal from electrochromic films using non-aqueous fluids |
DE102014206875A1 (de) * | 2014-04-09 | 2015-10-15 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zur Reinigung von technischen Anlagenteilen von Metallhalogeniden |
CN106605291B (zh) * | 2014-09-11 | 2020-05-05 | 株式会社德山 | 氮化铝单结晶基板的洗净方法及层叠体 |
US11458214B2 (en) | 2015-12-21 | 2022-10-04 | Delta Faucet Company | Fluid delivery system including a disinfectant device |
CN106111610B (zh) * | 2016-06-26 | 2018-07-17 | 河南盛达光伏科技有限公司 | 单晶硅线切割碎片表面附着性脏污预清洗处理方法 |
KR101955597B1 (ko) * | 2017-05-17 | 2019-05-31 | 세메스 주식회사 | 세정액 제조 장치 및 방법 |
EP3741535A4 (en) * | 2018-01-18 | 2022-02-23 | Ihi Corporation | METHOD OF REMOVING LINING MATERIAL |
GB2574179B (en) * | 2018-03-12 | 2021-06-30 | Illinois Tool Works | Contact cleaning surface assembly |
KR102072581B1 (ko) | 2018-05-04 | 2020-02-03 | 세메스 주식회사 | 기판 처리방법 및 처리장치 |
JP7227758B2 (ja) | 2018-05-31 | 2023-02-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP7227757B2 (ja) * | 2018-05-31 | 2023-02-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
CN110883017B (zh) * | 2018-09-10 | 2020-12-29 | 北京石墨烯研究院 | 静态清洁石墨烯表面的方法和装置 |
CN110591832A (zh) * | 2019-09-26 | 2019-12-20 | 嘉兴瑞智光能科技有限公司 | 一种高效环保无污染硅片清洗剂及其制备方法 |
KR102281885B1 (ko) | 2019-11-06 | 2021-07-27 | 세메스 주식회사 | 기판 세정 방법 및 기판 처리 장치 |
CN116449659B (zh) * | 2023-03-14 | 2024-07-12 | 江苏矽研半导体科技有限公司 | 一种用于金属器件的环保型解胶剂及制备方法 |
Family Cites Families (169)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL251243A (ja) | 1959-05-04 | |||
US3212762A (en) | 1960-05-23 | 1965-10-19 | Dow Chemical Co | Foam generator |
US3360476A (en) * | 1964-03-19 | 1967-12-26 | Fmc Corp | Liquid heavy duty cleaner and disinfectant |
US3436262A (en) | 1964-09-25 | 1969-04-01 | Dow Chemical Co | Cleaning by foam contact,and foam regeneration method |
US3617095A (en) | 1967-10-18 | 1971-11-02 | Petrolite Corp | Method of transporting bulk solids |
GB1427341A (en) * | 1972-05-22 | 1976-03-10 | Unilever Ltd | Liquid soap product |
US3978176A (en) | 1972-09-05 | 1976-08-31 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Sparger |
GB1507472A (en) | 1974-05-02 | 1978-04-12 | Bunker Ramo | Foamable coating remover composition |
GB1447435A (en) * | 1974-06-03 | 1976-08-25 | Ferrara P J Barnes C A Gordon | Soap composition and process of producing such |
US4156619A (en) | 1975-06-11 | 1979-05-29 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft Fur Elektronik-Grundstoffe Mbh | Process for cleaning semi-conductor discs |
US4133773A (en) | 1977-07-28 | 1979-01-09 | The Dow Chemical Company | Apparatus for making foamed cleaning solutions and method of operation |
DE2823002B2 (de) * | 1978-05-26 | 1981-06-04 | Chemische Werke München Otto Bärlocher GmbH, 8000 München | Verfahren zur Herstellung von Metallseifengranulat |
US4238244A (en) | 1978-10-10 | 1980-12-09 | Halliburton Company | Method of removing deposits from surfaces with a gas agitated cleaning liquid |
US4387040A (en) * | 1981-09-30 | 1983-06-07 | Colgate-Palmolive Company | Liquid toilet soap |
US4838289A (en) | 1982-08-03 | 1989-06-13 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus and method for edge cleaning |
US4911761A (en) | 1984-05-21 | 1990-03-27 | Cfm Technologies Research Associates | Process and apparatus for drying surfaces |
DE3760569D1 (en) | 1986-07-08 | 1989-10-26 | Kohlensaeurewerk Deutschland | A process for drying of plant or animal substances |
NL8601939A (nl) | 1986-07-28 | 1988-02-16 | Philips Nv | Werkwijze voor het verwijderen van ongewenste deeltjes van een oppervlak van een substraat. |
US4962776A (en) | 1987-03-26 | 1990-10-16 | Regents Of The University Of Minnesota | Process for surface and fluid cleaning |
US4817652A (en) | 1987-03-26 | 1989-04-04 | Regents Of The University Of Minnesota | System for surface and fluid cleaning |
US4849027A (en) | 1987-04-16 | 1989-07-18 | Simmons Bobby G | Method for recycling foamed solvents |
US4753747A (en) * | 1987-05-12 | 1988-06-28 | Colgate-Palmolive Co. | Process of neutralizing mono-carboxylic acid |
US5105556A (en) | 1987-08-12 | 1992-04-21 | Hitachi, Ltd. | Vapor washing process and apparatus |
US4867896A (en) * | 1988-02-17 | 1989-09-19 | Lever Brothers Company | Cleaning compositions containing cross-linked polymeric thickeners and hypochlorite bleach |
US5048549A (en) | 1988-03-02 | 1991-09-17 | General Dynamics Corp., Air Defense Systems Div. | Apparatus for cleaning and/or fluxing circuit card assemblies |
US5181985A (en) | 1988-06-01 | 1993-01-26 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft Fur Elektronik-Grundstoffe Mbh | Process for the wet-chemical surface treatment of semiconductor wafers |
US5000795A (en) | 1989-06-16 | 1991-03-19 | At&T Bell Laboratories | Semiconductor wafer cleaning method and apparatus |
US5102777A (en) * | 1990-02-01 | 1992-04-07 | Ardrox Inc. | Resist stripping |
US5271774A (en) | 1990-03-01 | 1993-12-21 | U.S. Philips Corporation | Method for removing in a centrifuge a liquid from a surface of a substrate |
DE69102311T2 (de) * | 1990-03-07 | 1994-09-29 | Hitachi Ltd | Vorrichtung und Verfahren zur Oberflächenreinigung. |
DE4038587A1 (de) | 1990-12-04 | 1992-06-11 | Hamatech Halbleiter Maschinenb | Transportvorrichtung fuer substrate |
US5306350A (en) | 1990-12-21 | 1994-04-26 | Union Carbide Chemicals & Plastics Technology Corporation | Methods for cleaning apparatus using compressed fluids |
US5261966A (en) | 1991-01-28 | 1993-11-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of cleaning semiconductor wafers using mixer containing a bundle of gas permeable hollow yarns |
US5147574A (en) * | 1991-03-05 | 1992-09-15 | The Procter & Gamble Company | Stable liquid soap personal cleanser |
US5175124A (en) | 1991-03-25 | 1992-12-29 | Motorola, Inc. | Process for fabricating a semiconductor device using re-ionized rinse water |
US5242669A (en) * | 1992-07-09 | 1993-09-07 | The S. A. Day Mfg. Co., Inc. | High purity potassium tetrafluoroaluminate and method of making same |
US5288332A (en) | 1993-02-05 | 1994-02-22 | Honeywell Inc. | A process for removing corrosive by-products from a circuit assembly |
US5336371A (en) | 1993-03-18 | 1994-08-09 | At&T Bell Laboratories | Semiconductor wafer cleaning and rinsing techniques using re-ionized water and tank overflow |
US5911837A (en) | 1993-07-16 | 1999-06-15 | Legacy Systems, Inc. | Process for treatment of semiconductor wafers in a fluid |
US5464480A (en) | 1993-07-16 | 1995-11-07 | Legacy Systems, Inc. | Process and apparatus for the treatment of semiconductor wafers in a fluid |
US5472502A (en) | 1993-08-30 | 1995-12-05 | Semiconductor Systems, Inc. | Apparatus and method for spin coating wafers and the like |
US5950645A (en) | 1993-10-20 | 1999-09-14 | Verteq, Inc. | Semiconductor wafer cleaning system |
US5656097A (en) | 1993-10-20 | 1997-08-12 | Verteq, Inc. | Semiconductor wafer cleaning system |
US5518542A (en) | 1993-11-05 | 1996-05-21 | Tokyo Electron Limited | Double-sided substrate cleaning apparatus |
US5938504A (en) | 1993-11-16 | 1999-08-17 | Applied Materials, Inc. | Substrate polishing apparatus |
US5417768A (en) | 1993-12-14 | 1995-05-23 | Autoclave Engineers, Inc. | Method of cleaning workpiece with solvent and then with liquid carbon dioxide |
JP3380021B2 (ja) * | 1993-12-28 | 2003-02-24 | 株式会社エフティーエル | 洗浄方法 |
EP0740698B1 (en) * | 1993-12-30 | 1999-04-14 | Ecolab Inc. | Method of making urea-based solid cleaning compositions |
DE69523208T2 (de) | 1994-04-08 | 2002-06-27 | Texas Instruments Inc | Verfahren zur Reinigung von Halbleiterscheiben mittels verflüssigter Gase |
US5498293A (en) | 1994-06-23 | 1996-03-12 | Mallinckrodt Baker, Inc. | Cleaning wafer substrates of metal contamination while maintaining wafer smoothness |
US6081650A (en) | 1994-06-30 | 2000-06-27 | Thomson Licensing S.A. | Transport processor interface and video recorder/playback apparatus in a field structured datastream suitable for conveying television information |
US5705223A (en) | 1994-07-26 | 1998-01-06 | International Business Machine Corp. | Method and apparatus for coating a semiconductor wafer |
US5772784A (en) | 1994-11-14 | 1998-06-30 | Yieldup International | Ultra-low particle semiconductor cleaner |
US5660642A (en) | 1995-05-26 | 1997-08-26 | The Regents Of The University Of California | Moving zone Marangoni drying of wet objects using naturally evaporated solvent vapor |
JP3504023B2 (ja) | 1995-05-26 | 2004-03-08 | 株式会社ルネサステクノロジ | 洗浄装置および洗浄方法 |
US5968285A (en) | 1995-06-07 | 1999-10-19 | Gary W. Ferrell | Methods for drying and cleaning of objects using aerosols and inert gases |
US6035483A (en) * | 1995-06-07 | 2000-03-14 | Baldwin Graphic Systems, Inc. | Cleaning system and process for making and using same employing a highly viscous solvent |
US5964958A (en) | 1995-06-07 | 1999-10-12 | Gary W. Ferrell | Methods for drying and cleaning objects using aerosols |
US6532976B1 (en) | 1995-07-10 | 2003-03-18 | Lg Semicon Co., Ltd. | Semiconductor wafer cleaning apparatus |
JP3590470B2 (ja) * | 1996-03-27 | 2004-11-17 | アルプス電気株式会社 | 洗浄水生成方法および洗浄方法ならびに洗浄水生成装置および洗浄装置 |
DE19622015A1 (de) | 1996-05-31 | 1997-12-04 | Siemens Ag | Verfahren zum Ätzen von Zerstörungszonen an einem Halbleitersubstratrand sowie Ätzanlage |
TW416987B (en) | 1996-06-05 | 2001-01-01 | Wako Pure Chem Ind Ltd | A composition for cleaning the semiconductor substrate surface |
JP3350627B2 (ja) * | 1996-07-03 | 2002-11-25 | 宮崎沖電気株式会社 | 半導体素子の異物除去方法及びその装置 |
DE19631363C1 (de) * | 1996-08-02 | 1998-02-12 | Siemens Ag | Wässrige Reinigungslösung für ein Halbleitersubstrat |
JPH1055993A (ja) | 1996-08-09 | 1998-02-24 | Hitachi Ltd | 半導体素子製造用洗浄液及びそれを用いた半導体素子の製造方法 |
US6092538A (en) | 1996-09-25 | 2000-07-25 | Shuzurifuresher Kaihatsukyodokumiai | Method for using high density compressed liquefied gases in cleaning applications |
US5997653A (en) | 1996-10-07 | 1999-12-07 | Tokyo Electron Limited | Method for washing and drying substrates |
JP3286539B2 (ja) * | 1996-10-30 | 2002-05-27 | 信越半導体株式会社 | 洗浄装置および洗浄方法 |
US5858283A (en) | 1996-11-18 | 1999-01-12 | Burris; William Alan | Sparger |
US5906021A (en) * | 1996-12-06 | 1999-05-25 | Coffey; Daniel | Fluid-wetted or submerged surface cleaning apparatus |
US6896826B2 (en) | 1997-01-09 | 2005-05-24 | Advanced Technology Materials, Inc. | Aqueous cleaning composition containing copper-specific corrosion inhibitor for cleaning inorganic residues on semiconductor substrate |
US5900191A (en) | 1997-01-14 | 1999-05-04 | Stable Air, Inc. | Foam producing apparatus and method |
US5800626A (en) | 1997-02-18 | 1998-09-01 | International Business Machines Corporation | Control of gas content in process liquids for improved megasonic cleaning of semiconductor wafers and microelectronics substrates |
US6701941B1 (en) | 1997-05-09 | 2004-03-09 | Semitool, Inc. | Method for treating the surface of a workpiece |
US20020157686A1 (en) * | 1997-05-09 | 2002-10-31 | Semitool, Inc. | Process and apparatus for treating a workpiece such as a semiconductor wafer |
JPH10321572A (ja) | 1997-05-15 | 1998-12-04 | Toshiba Corp | 半導体ウェーハの両面洗浄装置及び半導体ウェーハのポリッシング方法 |
JPH1126423A (ja) | 1997-07-09 | 1999-01-29 | Sugai:Kk | 半導体ウエハ等の処理方法並びにその処理装置 |
US6152805A (en) | 1997-07-17 | 2000-11-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Polishing machine |
US5932493A (en) | 1997-09-15 | 1999-08-03 | International Business Machines Corporaiton | Method to minimize watermarks on silicon substrates |
US6491764B2 (en) | 1997-09-24 | 2002-12-10 | Interuniversitair Microelektronics Centrum (Imec) | Method and apparatus for removing a liquid from a surface of a rotating substrate |
EP0905746A1 (en) | 1997-09-24 | 1999-03-31 | Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Vzw | Method of removing a liquid from a surface of a rotating substrate |
US6398975B1 (en) | 1997-09-24 | 2002-06-04 | Interuniversitair Microelektronica Centrum (Imec) | Method and apparatus for localized liquid treatment of the surface of a substrate |
US5904156A (en) | 1997-09-24 | 1999-05-18 | International Business Machines Corporation | Dry film resist removal in the presence of electroplated C4's |
US5807439A (en) * | 1997-09-29 | 1998-09-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Apparatus and method for improved washing and drying of semiconductor wafers |
JP3039493B2 (ja) | 1997-11-28 | 2000-05-08 | 日本電気株式会社 | 基板の洗浄方法及び洗浄溶液 |
US6270584B1 (en) | 1997-12-03 | 2001-08-07 | Gary W. Ferrell | Apparatus for drying and cleaning objects using controlled aerosols and gases |
US5865901A (en) * | 1997-12-29 | 1999-02-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Wafer surface cleaning apparatus and method |
US6042885A (en) * | 1998-04-17 | 2000-03-28 | Abitec Corporation | System and method for dispensing a gel |
US6049996A (en) | 1998-07-10 | 2000-04-18 | Ball Semiconductor, Inc. | Device and fluid separator for processing spherical shaped devices |
US5944581A (en) | 1998-07-13 | 1999-08-31 | Ford Motor Company | CO2 cleaning system and method |
JP3003684B1 (ja) | 1998-09-07 | 2000-01-31 | 日本電気株式会社 | 基板洗浄方法および基板洗浄液 |
JP2000100801A (ja) | 1998-09-25 | 2000-04-07 | Sumitomo Electric Ind Ltd | エピタキシャルウェハおよびその製造方法ならびにそれに用いられる化合物半導体基板の表面清浄化方法 |
JP2000141215A (ja) | 1998-11-05 | 2000-05-23 | Sony Corp | 平坦化研磨装置及び平坦化研磨方法 |
JP2000265945A (ja) * | 1998-11-10 | 2000-09-26 | Uct Kk | 薬液供給ポンプ、薬液供給装置、薬液供給システム、基板洗浄装置、薬液供給方法、及び基板洗浄方法 |
US6090217A (en) * | 1998-12-09 | 2000-07-18 | Kittle; Paul A. | Surface treatment of semiconductor substrates |
JP2000260739A (ja) | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Kokusai Electric Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
US6290780B1 (en) | 1999-03-19 | 2001-09-18 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for processing a wafer |
US6849581B1 (en) * | 1999-03-30 | 2005-02-01 | Bj Services Company | Gelled hydrocarbon compositions and methods for use thereof |
US6272712B1 (en) | 1999-04-02 | 2001-08-14 | Lam Research Corporation | Brush box containment apparatus |
JP3624116B2 (ja) * | 1999-04-15 | 2005-03-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置及び処理方法 |
JP4247587B2 (ja) | 1999-06-23 | 2009-04-02 | Jsr株式会社 | 半導体部品用洗浄剤、半導体部品の洗浄方法、研磨用組成物、および研磨方法 |
FR2795960B1 (fr) * | 1999-07-05 | 2001-10-19 | Sanofi Elf | Microemulsions stables pour l'administration d'acides gras a l'homme ou a l'animal, et utilisation de ces microemulsions |
US20020121290A1 (en) | 1999-08-25 | 2002-09-05 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for cleaning/drying hydrophobic wafers |
US6734121B2 (en) | 1999-09-02 | 2004-05-11 | Micron Technology, Inc. | Methods of treating surfaces of substrates |
US6228563B1 (en) | 1999-09-17 | 2001-05-08 | Gasonics International Corporation | Method and apparatus for removing post-etch residues and other adherent matrices |
US7122126B1 (en) | 2000-09-28 | 2006-10-17 | Materials And Technologies Corporation | Wet processing using a fluid meniscus, apparatus and method |
US6881687B1 (en) * | 1999-10-29 | 2005-04-19 | Paul P. Castrucci | Method for laser cleaning of a substrate surface using a solid sacrificial film |
US6858089B2 (en) | 1999-10-29 | 2005-02-22 | Paul P. Castrucci | Apparatus and method for semiconductor wafer cleaning |
US6576066B1 (en) | 1999-12-06 | 2003-06-10 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Supercritical drying method and supercritical drying apparatus |
US20020006767A1 (en) | 1999-12-22 | 2002-01-17 | Applied Materials, Inc. | Ion exchange pad or brush and method of regenerating the same |
US6286231B1 (en) | 2000-01-12 | 2001-09-11 | Semitool, Inc. | Method and apparatus for high-pressure wafer processing and drying |
US6705930B2 (en) * | 2000-01-28 | 2004-03-16 | Lam Research Corporation | System and method for polishing and planarizing semiconductor wafers using reduced surface area polishing pads and variable partial pad-wafer overlapping techniques |
US6276459B1 (en) | 2000-02-01 | 2001-08-21 | Bradford James Herrick | Compressed air foam generator |
US6594847B1 (en) | 2000-03-28 | 2003-07-22 | Lam Research Corporation | Single wafer residue, thin film removal and clean |
US6457199B1 (en) | 2000-10-12 | 2002-10-01 | Lam Research Corporation | Substrate processing in an immersion, scrub and dry system |
DE50112692D1 (de) | 2000-05-17 | 2007-08-16 | Henkel Kgaa | Wasch- oder reinigungsmittelformkörper |
US6927176B2 (en) | 2000-06-26 | 2005-08-09 | Applied Materials, Inc. | Cleaning method and solution for cleaning a wafer in a single wafer process |
US6488040B1 (en) | 2000-06-30 | 2002-12-03 | Lam Research Corporation | Capillary proximity heads for single wafer cleaning and drying |
KR100366623B1 (ko) | 2000-07-18 | 2003-01-09 | 삼성전자 주식회사 | 반도체 기판 또는 lcd 기판의 세정방법 |
TW495863B (en) | 2000-08-11 | 2002-07-21 | Chem Trace Inc | System and method for cleaning semiconductor fabrication equipment |
US6328042B1 (en) * | 2000-10-05 | 2001-12-11 | Lam Research Corporation | Wafer cleaning module and method for cleaning the surface of a substrate |
AU2062702A (en) * | 2000-11-03 | 2002-05-21 | Unilever Plc | Composition for cleaning hard surfaces |
US20020094684A1 (en) | 2000-11-27 | 2002-07-18 | Hirasaki George J. | Foam cleaning process in semiconductor manufacturing |
US6525009B2 (en) | 2000-12-07 | 2003-02-25 | International Business Machines Corporation | Polycarboxylates-based aqueous compositions for cleaning of screening apparatus |
US20020081945A1 (en) * | 2000-12-21 | 2002-06-27 | Rod Kistler | Piezoelectric platen design for improving performance in CMP applications |
US6596093B2 (en) * | 2001-02-15 | 2003-07-22 | Micell Technologies, Inc. | Methods for cleaning microelectronic structures with cyclical phase modulation |
US6641678B2 (en) * | 2001-02-15 | 2003-11-04 | Micell Technologies, Inc. | Methods for cleaning microelectronic structures with aqueous carbon dioxide systems |
US6493902B2 (en) | 2001-02-22 | 2002-12-17 | Chung-Yi Lin | Automatic wall cleansing apparatus |
JP2002280343A (ja) | 2001-03-15 | 2002-09-27 | Nec Corp | 洗浄処理装置、切削加工装置 |
JP2002280330A (ja) | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Lintec Corp | チップ状部品のピックアップ方法 |
US6627550B2 (en) | 2001-03-27 | 2003-09-30 | Micron Technology, Inc. | Post-planarization clean-up |
JP2002309638A (ja) | 2001-04-17 | 2002-10-23 | Takiron Co Ltd | 建物の排水管路における通気性掃除口 |
JP3511514B2 (ja) | 2001-05-31 | 2004-03-29 | エム・エフエスアイ株式会社 | 基板浄化処理装置、ディスペンサー、基板保持機構、基板の浄化処理用チャンバー、及びこれらを用いた基板の浄化処理方法 |
US6802911B2 (en) | 2001-09-19 | 2004-10-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method for cleaning damaged layers and polymer residue from semiconductor device |
BR0214226A (pt) * | 2001-11-19 | 2004-09-21 | Unilever Nv | Composição de limpeza, processo para manualmente limpar substratos sujos, e, kit para realizar o processo |
US20030171239A1 (en) | 2002-01-28 | 2003-09-11 | Patel Bakul P. | Methods and compositions for chemically treating a substrate using foam technology |
GB2385597B (en) * | 2002-02-21 | 2004-05-12 | Reckitt Benckiser Inc | Hard surface cleaning compositions |
JP2003282513A (ja) | 2002-03-26 | 2003-10-03 | Seiko Epson Corp | 有機物剥離方法及び有機物剥離装置 |
JP4570008B2 (ja) | 2002-04-16 | 2010-10-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置および液処理方法 |
US20040159335A1 (en) * | 2002-05-17 | 2004-08-19 | P.C.T. Systems, Inc. | Method and apparatus for removing organic layers |
US6846380B2 (en) | 2002-06-13 | 2005-01-25 | The Boc Group, Inc. | Substrate processing apparatus and related systems and methods |
US20040002430A1 (en) | 2002-07-01 | 2004-01-01 | Applied Materials, Inc. | Using a time critical wafer cleaning solution by combining a chelating agent with an oxidizer at point-of-use |
JP4017463B2 (ja) * | 2002-07-11 | 2007-12-05 | 株式会社荏原製作所 | 洗浄方法 |
US7198055B2 (en) * | 2002-09-30 | 2007-04-03 | Lam Research Corporation | Meniscus, vacuum, IPA vapor, drying manifold |
US6998327B2 (en) | 2002-11-19 | 2006-02-14 | International Business Machines Corporation | Thin film transfer join process and multilevel thin film module |
US6875286B2 (en) | 2002-12-16 | 2005-04-05 | International Business Machines Corporation | Solid CO2 cleaning |
US6733596B1 (en) * | 2002-12-23 | 2004-05-11 | Lam Research Corporation | Substrate cleaning brush preparation sequence, method, and system |
US20040163681A1 (en) | 2003-02-25 | 2004-08-26 | Applied Materials, Inc. | Dilute sulfuric peroxide at point-of-use |
US6951042B1 (en) * | 2003-02-28 | 2005-10-04 | Lam Research Corporation | Brush scrubbing-high frequency resonating wafer processing system and methods for making and implementing the same |
JP2004323840A (ja) * | 2003-04-10 | 2004-11-18 | Sumitomo Chem Co Ltd | 研磨洗浄液組成物及び研磨洗浄方法 |
US7169192B2 (en) * | 2003-05-02 | 2007-01-30 | Ecolab Inc. | Methods of using heterogeneous cleaning compositions |
US20040261823A1 (en) | 2003-06-27 | 2004-12-30 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for removing a target layer from a substrate using reactive gases |
KR100477810B1 (ko) | 2003-06-30 | 2005-03-21 | 주식회사 하이닉스반도체 | Nf3 hdp 산화막을 적용한 반도체 소자 제조방법 |
US6946396B2 (en) | 2003-10-30 | 2005-09-20 | Nissan Chemical Indusries, Ltd. | Maleic acid and ethylene urea containing formulation for removing residue from semiconductor substrate and method for cleaning wafer |
KR20050044085A (ko) | 2003-11-07 | 2005-05-12 | 삼성전자주식회사 | 집적회로 소자의 세정액 및 그 세정액을 이용한 세정방법 |
US7353560B2 (en) | 2003-12-18 | 2008-04-08 | Lam Research Corporation | Proximity brush unit apparatus and method |
US7568490B2 (en) | 2003-12-23 | 2009-08-04 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for cleaning semiconductor wafers using compressed and/or pressurized foams, bubbles, and/or liquids |
US7416370B2 (en) | 2005-06-15 | 2008-08-26 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for transporting a substrate using non-Newtonian fluid |
US8043441B2 (en) | 2005-06-15 | 2011-10-25 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for cleaning a substrate using non-Newtonian fluids |
US8323420B2 (en) | 2005-06-30 | 2012-12-04 | Lam Research Corporation | Method for removing material from semiconductor wafer and apparatus for performing the same |
JP2005194294A (ja) | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Nec Electronics Corp | 洗浄液及び半導体装置の製造方法 |
CN1654617A (zh) | 2004-02-10 | 2005-08-17 | 捷时雅株式会社 | 清洗用组合物和半导体基板的清洗方法及半导体装置的制造方法 |
JP4821122B2 (ja) * | 2004-02-10 | 2011-11-24 | Jsr株式会社 | 洗浄用組成物、半導体基板の洗浄方法および半導体装置の製造方法 |
US20050183740A1 (en) | 2004-02-19 | 2005-08-25 | Fulton John L. | Process and apparatus for removing residues from semiconductor substrates |
FI116889B (fi) * | 2004-03-03 | 2006-03-31 | Outokumpu Oy | Laite kiintoainetta sisältävän materiaalin hierto-ohentamiseksi |
US20050202995A1 (en) * | 2004-03-15 | 2005-09-15 | The Procter & Gamble Company | Methods of treating surfaces using surface-treating compositions containing sulfonated/carboxylated polymers |
JP2005311320A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-11-04 | Sony Corp | 異物除去方法及びその装置 |
JPWO2005104202A1 (ja) * | 2004-04-21 | 2008-03-13 | 株式会社エフティーエル | 基板の洗浄方法 |
US8136423B2 (en) | 2005-01-25 | 2012-03-20 | Schukra of North America Co. | Multiple turn mechanism for manual lumbar support adjustment |
-
2006
- 2006-11-29 SG SG200904463-7A patent/SG154438A1/en unknown
- 2006-11-29 EP EP11192481A patent/EP2428557A1/en not_active Withdrawn
- 2006-12-08 CN CN2006800500241A patent/CN101351282B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-08 KR KR1020087018881A patent/KR101426777B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-12-18 CN CNA2006800500345A patent/CN101351540A/zh active Pending
- 2006-12-18 JP JP2008548612A patent/JP4892565B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-18 EP EP06847806A patent/EP1969114A2/en not_active Withdrawn
- 2006-12-18 MY MYPI20082419A patent/MY149848A/en unknown
- 2006-12-18 SG SG201009728-5A patent/SG169975A1/en unknown
- 2006-12-18 WO PCT/US2006/048548 patent/WO2007078955A2/en active Application Filing
- 2006-12-18 CN CN2006800499545A patent/CN101351281B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-18 US US11/641,362 patent/US8475599B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-19 MY MYPI20082382A patent/MY143763A/en unknown
- 2006-12-19 CN CN2006800489399A patent/CN101370885B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-19 JP JP2008548621A patent/JP5154441B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-21 JP JP2008548657A patent/JP5148508B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-21 KR KR1020087018873A patent/KR101312973B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-12-21 CN CN200680050094.7A patent/CN101512049B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-26 CN CN2006800534252A patent/CN101389414B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-26 KR KR1020087018880A patent/KR101401753B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-12-26 JP JP2008548829A patent/JP5237825B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-28 TW TW095149590A patent/TWI330551B/zh not_active IP Right Cessation
- 2006-12-29 TW TW095149918A patent/TWI410522B/zh not_active IP Right Cessation
- 2006-12-29 CN CN2006101717515A patent/CN101009204B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-29 CN CNA2006100639487A patent/CN101114569A/zh active Pending
- 2006-12-30 CN CN2006101724970A patent/CN101034670B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-30 CN CN200610172498.5A patent/CN101029289B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-01-02 TW TW096100024A patent/TWI335247B/zh not_active IP Right Cessation
-
2008
- 2008-07-29 KR KR1020087018741A patent/KR101376911B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2013
- 2013-06-28 US US13/931,376 patent/US20130284217A1/en not_active Abandoned
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091214 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110426 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110510 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110809 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110816 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120214 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120509 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120516 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120809 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121205 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151214 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |