CN103406322A - 一种用于清洗基板玻璃的装置及方法 - Google Patents

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张辉
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Abstract

本发明提供了一种用于清洗基板玻璃的装置，包括压力泵、CO2存储罐、CO2泡沫发生器及喷嘴管道，所述压力泵的入水口与水源相连通，所述压力泵的出水口分为两路，一路与CO2泡沫发生器的入水口相连通，另一路与CO2泡沫发生器的出口通过管道并管后与所述喷嘴管道入口相连通，所述CO2泡沫发生器的CO2入口与所述CO2存储罐的出口通过管道相连通，所述喷嘴管道的管壁上设有若干个喷嘴。通过本发明可以快速实现对基板玻璃的清洗。

Description

一种用于清洗基板玻璃的装置及方法
技术领域
本发明属于平面玻璃制造领域，具体涉及一种用于清洗基板玻璃的装置及方法。
背景技术
在液晶基板玻璃制造过程中，玻璃基板表面常常会附着一些Particle(粉尘颗粒以及其他杂物)，这些附着在玻璃基板上的杂物直接影响到玻璃质量，对于客户端进一步生产显示器件有很大的影响，因此玻璃基板厂家在玻璃切割完后会对其进行清洗，一般包括碟刷，滚刷、超声波清洗、药液洗等清洗方式，但这些清洗的方式有时会将玻璃划坏，同时也不安全。
玻璃基板在生产传输过程中与空气的摩擦会让玻璃基板上带有很强的静电电压，因此空气中的一些粉尘颗粒以及玻璃切割产生的玻璃粉颗粒被玻璃上的静电吸附在玻璃表面，清洗起来非常的困难。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供了一种用于清洗基板玻璃的装置和方法，该装置和方法能够克服基板玻璃表面的静电，从而快速、干净的对基板玻璃进行清洗。
为达到上述目的，本发明所述用于清洗基板玻璃的装置，包括压力泵、CO2存储罐、CO2泡沫发生器及喷嘴管道，所述压力泵的入水口与水源相连通，所述压力泵的出水口分为两路，一路与CO2泡沫发生器的入水口相连通，另一路与CO2泡沫发生器的出口通过管道并管后与所述喷嘴管道入口相连通，所述CO2泡沫发生器的CO2入口与所述CO2存储罐的出口通过管道相连通，所述喷嘴管道的管壁上设有若干个喷嘴。
所述压力泵提供的压力大于50Kgf／cm。。
所述水源中水的电阻率大于18MΩ.cm。
所述喷嘴上设有用于调节所述喷嘴的喷射角度的调节装置。
所述压力泵的出水口与所述并管处之间的管道上设有第一阀门。
所述CO2泡沫发生器的出口与所述并管处之间的管道上设有第二阀门。
所述CO2存储罐上设有用于控制所述CO2流量的第三阀门。
所述喷嘴与所述基板玻璃之间的间距小于120mm。
相应的，本发明还提供了一种用于基板玻璃清洗的方法，包括以下步骤：
1)CO2存储罐中的CO2气体经管道输入到所述CO2泡沫发生器中；
2)水源中的水经所述压力泵加速后分为第一路水及第二路水，所述第一路水输入到所述CO2泡沫发生器中，所述CO2气体和第一路水经所述CO2泡沫发生器产生CO2泡沫及正负离子，所述CO2泡沫及正负离子与所述第二路水经管道汇合后形成CO2泡沫、正负离子和水的混合物；
3)所述CO2泡沫、正负离子和水的混合物经所述喷嘴管道输入到所述喷嘴中，再经所述喷嘴喷洒清洗所述基板玻璃。
本发明具有以下有益效果：
本发明通过CO2泡沫发生器使CO2和水产生大量的CO2泡沫及正负离子，从而有效的降低基板玻璃的静电电压，从而降低基板玻璃表面的粉尘颗粒及其他杂物对基板玻璃表面的吸附能力，同时利用喷嘴将CO2泡沫、正负离子和水的混合物在高压的情况下喷射到基板玻璃的表面，从而通过所述混合物高速的冲击力和CO2汽包爆破产生的爆破力很好对基板玻璃表面进行清洗。
附图说明
图l是本发明的结构示意图；
图2为喷嘴5的喷射角度示意图。
其中：1为喷嘴管道、2为压力泵、3为CO2存储罐、4为CO2泡沫发生器、5为喷嘴、6为基板玻璃。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步详细描述：
参考图1及图2，本发明所述的用于清洗基板玻璃的装置，包括压力泵2、CO2存储罐3、CO2泡沫发生器4及喷嘴管道1，所述压力泵2的入水口与所述水源相连，所述压力泵2的出水口分为两路，其中一路与CO2泡沫发生器4的入水口相连通，另一路与CO2泡沫发生器4的出口通过管道并管后与所述喷嘴管道1的入口相连通，所述CO2泡沫发生器4的CO2入口与所述CO2存储罐3的出口通过管道相连通，所述喷嘴管道1的管壁上设有若干个喷嘴5，所述喷嘴5上设有用于调节所述喷嘴5的喷射角度的调节装置，可以通过所述调节装置调节所述喷嘴5的喷射角度，同时可以通过所述调节装置调节所述喷嘴5与所述基板玻璃6之间的间距，所述压力泵2的出水口与所述并管处之间的管道上设有第一阀门，所述CO2泡沫发生器4的出口与所述并管处之间的管道上设有第二阀门，所述CO2存储罐3上设有用于控制CO2气体的流量的第三阀门，所述压力泵2提供的压力大于50Kgf／cm2，所述喷嘴5通过不锈钢、陶瓷或者金刚石制作而成，同时水源中水的电阻率大于18MΩ.cm，在所述喷嘴5在喷射的过程中，喷嘴5与基板玻璃6表面的距离小于120mm。
本发明所述装置的具体工作过程如下：
所述水源中的水通过管道进入到所述压力泵2中，所述压力泵2对水源中的水进行加速，并将加速后的水分为两路，一路水经管道进入到所述CO2泡沫发生器4中，所述CO2存储罐3中的CO2气体通过输入到所述CO2泡沫发生器4中，所述CO2泡沫发生器4根据所述CO2气体及水产生大量的CO2泡沫，所述CO2气体和水混合后产生大量的正负离子，所述正负离子与CO2气泡通过管道与所述压力泵2的产生的另一路水汇合后输入到所述喷嘴管道l中，用户可以通过第一阀门调节所述另一路水的流量，也可以通过所述第二阀门调节所述正负离子及CO2气泡的流量，所述正负离子、CO2气泡及水的混合物通过所述喷嘴管道1输入到所述喷嘴5中，并通过所述喷嘴5喷出，同时用户可以通过调节装置来调节所述喷嘴5的喷射方向，从而通过所述混合物高速的冲击力和CO2汽包爆破产生的爆破力很好对基板玻璃6表面进行清洗。
本发明所述的用于清洗基板玻璃的方法包括以下步骤：
1)CO2存储罐3中的CO2气体经管道输入到所述CO2泡沫发生器4中；
2)水源中的水经所述压力泵2加速后分为第一路水及第二路水，所述第一路水输入到所述CO2泡沫发生器4中，所述CO2气体和第一路水经所述CO2泡沫发生器4产生CO2泡沫及正负离子，所述CO2泡沫及正负离子与所述第二路水经管道汇合后形成CO2泡沫、正负离子和水的混合物；
3)所述CO2泡沫、正负离子和水的混合物经所述喷嘴管道l输入到所述喷嘴5中，再经所述喷嘴5喷洒清洗所述基板玻璃6。

Claims (9)

1.一种用于清洗基板玻璃的装置，其特征在于，包括压力泵(2)、CO2存储罐(3)、CO2泡沫发生器(4)及喷嘴管道(1)，所述压力泵(2)的入水口与水源相连通，所述压力泵(2)的出水口分为两路，一路与CO2泡沫发生器(4)的入水口相连通，另一路与CO2泡沫发生器(4)的出口通过管道并管后与所述喷嘴管道(1)入口相连通，所述CO2泡沫发生器(4)的CO2入口与所述CO2存储罐(3)的出口通过管道相连通，所述喷嘴管道(1)的管壁上设有若干个喷嘴(5)。
2.根据权利要求1所述的用于清洗基板玻璃的装置，其特征在于，所述压力泵(2)产生的压力大于50Kgf／gm2。
3.根据权利要求l所述的用于清洗基板玻璃的装置，其特征在于，所述水源中水的电阻率大于18MΩ.cm。
4.根据权利要求l所述的用于清洗基板玻璃的装置，其特征在于，所述喷嘴(5)上设有用于调节喷嘴(5)的喷射角度的调节装置。
5.根据权利要求l所述的用于清洗基板玻璃的装置，其特征在于，所述压力泵(2)的出水口与所述并管处之间的管道上设有第一阀门。
6.根据权利要求1所述的用于清洗基板玻璃的装置，其特征在于，所述CO2泡沫发生器(4)的出口与所述并管处之间的管道上设有第二阀门。
7.根据权利要求1所述的用于清洗基板玻璃的装置，其特征在于，所述CO2存储罐(3)上设有用于控制CO2流量的第三阀门。
8.根据权利要求l所述的用于清洗基板玻璃的装置，其特征在于，所述喷嘴(5)与所述基板玻璃(6)之间的间距小于120mm。
9.一种用于基板玻璃清洗的方法，基于权利要求l所述的装置，其特征在于，包括以下步骤：
1)CO2存储罐(3)中的CO2气体经管道输入到所述CO2泡沫发生器(4)中；
2)水源中的水经所述压力泵(2)加速后分为第一路水及第二路水，所述第一路水输入到所述CO2泡沫发生器(4)中，所述CO2气体和第一路水经所述CO2泡沫发生器(4)产生CO2泡沫及正负离子，所述CO2泡沫及正负离子与所述第二路水经管道汇合后形成CO2泡沫、正负离子和水的混合物；
3)所述CO2泡沫、正负离子和水的混合物经所述喷嘴管道(1)输入到所述喷嘴(5)中，再经所述喷嘴(5)喷洒清洗所述基板玻璃(6)。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107185803A (zh) * 2017-05-20 2017-09-22 禹州市银星专用磨料有限公司 一种棕刚玉水洗机
CN109663793A (zh) * 2018-12-18 2019-04-23 夏美佳 一种适用于多宽度玻璃的玻璃清洗框
CN112090821A (zh) * 2020-07-29 2020-12-18 苏州晶洲装备科技有限公司 一种超高压洗净装置
WO2020252852A1 (zh) * 2019-06-17 2020-12-24 Tcl华星光电技术有限公司 清洁基板玻璃的装置及其方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4932168A (en) * 1987-06-23 1990-06-12 Tsiyo Sanso Co., Ltd. Processing apparatus for semiconductor wafers
JPH05299400A (ja) * 1992-04-23 1993-11-12 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体ウエハの洗浄装置及び洗浄方法
CN1898775A (zh) * 2003-12-23 2007-01-17 拉姆研究公司 使用压缩泡沫和/或液体清洁半导体晶片的方法和装置
CN101009204A (zh) * 2005-12-30 2007-08-01 兰姆研究有限公司 用于清洁衬底的装置和系统
CN101042985A (zh) * 2006-03-22 2007-09-26 大日本网目版制造株式会社 基板处理装置和基板处理方法
CN101599424A (zh) * 2008-06-03 2009-12-09 芝浦机械电子装置股份有限公司 微小气泡生成装置、微小气泡生成方法及基板处理装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4932168A (en) * 1987-06-23 1990-06-12 Tsiyo Sanso Co., Ltd. Processing apparatus for semiconductor wafers
JPH05299400A (ja) * 1992-04-23 1993-11-12 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体ウエハの洗浄装置及び洗浄方法
CN1898775A (zh) * 2003-12-23 2007-01-17 拉姆研究公司 使用压缩泡沫和/或液体清洁半导体晶片的方法和装置
CN101009204A (zh) * 2005-12-30 2007-08-01 兰姆研究有限公司 用于清洁衬底的装置和系统
CN101042985A (zh) * 2006-03-22 2007-09-26 大日本网目版制造株式会社 基板处理装置和基板处理方法
CN101599424A (zh) * 2008-06-03 2009-12-09 芝浦机械电子装置股份有限公司 微小气泡生成装置、微小气泡生成方法及基板处理装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107185803A (zh) * 2017-05-20 2017-09-22 禹州市银星专用磨料有限公司 一种棕刚玉水洗机
CN109663793A (zh) * 2018-12-18 2019-04-23 夏美佳 一种适用于多宽度玻璃的玻璃清洗框
WO2020252852A1 (zh) * 2019-06-17 2020-12-24 Tcl华星光电技术有限公司 清洁基板玻璃的装置及其方法
CN112090821A (zh) * 2020-07-29 2020-12-18 苏州晶洲装备科技有限公司 一种超高压洗净装置

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