JP2003282513A - 有機物剥離方法及び有機物剥離装置 - Google Patents
有機物剥離方法及び有機物剥離装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】有機物除去についてその薬液寿命の延命化及び
高効率処理を可能とする有機物剥離方法及び有機物剥離
装置を提供する。 【解決手段】有機物を剥離する処理槽に所定の薬液を蓄
える（処理Ｓ１）。一方、別槽では上記薬液内に活性種
として加えられるべき液体をミスト化しておく（処理Ｓ
２）。ミスト化された液体が清浄ガスと混合され処理槽
内へ泡状になって供給される（処理Ｓ３）。この状態で
被処理物が処理槽に投入され、有機物の剥離処理が行わ
れる。被処理物は、例えば剥離すべきレジスト層の付い
た半導体ウェハ、また、パーティクル除去すべき半導体
ウェハ、また、その他の加工品、各種製造装置内の部品
等、有機物除去したいものであれば適用できる。薬液
は、例えば硫酸−過酸化水素水混合液であって、ミスト
化する液体は過酸化水素水である。
高効率処理を可能とする有機物剥離方法及び有機物剥離
装置を提供する。 【解決手段】有機物を剥離する処理槽に所定の薬液を蓄
える（処理Ｓ１）。一方、別槽では上記薬液内に活性種
として加えられるべき液体をミスト化しておく（処理Ｓ
２）。ミスト化された液体が清浄ガスと混合され処理槽
内へ泡状になって供給される（処理Ｓ３）。この状態で
被処理物が処理槽に投入され、有機物の剥離処理が行わ
れる。被処理物は、例えば剥離すべきレジスト層の付い
た半導体ウェハ、また、パーティクル除去すべき半導体
ウェハ、また、その他の加工品、各種製造装置内の部品
等、有機物除去したいものであれば適用できる。薬液
は、例えば硫酸−過酸化水素水混合液であって、ミスト
化する液体は過酸化水素水である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置製造に
係り、特に半導体ウェハに形成されたレジスト層あるい
は、半導体ウェハまたは他の加工品に付着した有機性の
異物（パーティクル）を除去する有機物剥離方法及び有
機物剥離装置に関する。
係り、特に半導体ウェハに形成されたレジスト層あるい
は、半導体ウェハまたは他の加工品に付着した有機性の
異物（パーティクル）を除去する有機物剥離方法及び有
機物剥離装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩ製造工程（ウェハ工程）の一つに
レジスト層の除去工程がある。レジスト層のような有機
物の除去工程には、プラズマ・アッシングや硫酸−過酸
化水素水混合液（ＳＰＭ：sulfuric acid ／ hydrogen
peroxide／ water mix）による剥離、またはその組合わ
せが一般的である。しかし、アッシング後のウェハ表面
には異物が多く、別途洗浄工程が必要となる。また、Ｓ
ＰＭ洗浄においては化学薬品を大量消費し、かつ液温を
高温に維持するための電力消費量は多大である。
レジスト層の除去工程がある。レジスト層のような有機
物の除去工程には、プラズマ・アッシングや硫酸−過酸
化水素水混合液（ＳＰＭ：sulfuric acid ／ hydrogen
peroxide／ water mix）による剥離、またはその組合わ
せが一般的である。しかし、アッシング後のウェハ表面
には異物が多く、別途洗浄工程が必要となる。また、Ｓ
ＰＭ洗浄においては化学薬品を大量消費し、かつ液温を
高温に維持するための電力消費量は多大である。
【０００３】ＳＰＭ洗浄は、薬液（硫酸−過酸化水素水
混合液）をオーバーフローまたはダウンフローさせ、フ
ィルトレーションを伴い循環させる構成が知られてい
る。薬液の性能が劣化する前に適時、過酸化水素水を追
加投入する。これにより活性種の密度を高める方法が一
般的である。
混合液）をオーバーフローまたはダウンフローさせ、フ
ィルトレーションを伴い循環させる構成が知られてい
る。薬液の性能が劣化する前に適時、過酸化水素水を追
加投入する。これにより活性種の密度を高める方法が一
般的である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ＳＰＭ洗浄において、
硫酸に過酸化水素水を適時投入する方法が最も実績のあ
る方法であるが、過酸化水素水が処理槽内の硫酸と混ざ
り難いという問題がある。また、処理時間短縮のため過
酸化水素水を多く投入し過ぎると、成分劣化が激しく、
薬液寿命が短くなる。また、薬液の延命化を優先する意
味で、少ない活性種で液温をさらに上昇させる手法も考
えられる。これについては、上述したような電力消費の
懸念はもとより、装置（ハード）の耐久性を落とす原因
にもなり、使用時間の経過につれ処理能力の低下が顕著
になってくる。
硫酸に過酸化水素水を適時投入する方法が最も実績のあ
る方法であるが、過酸化水素水が処理槽内の硫酸と混ざ
り難いという問題がある。また、処理時間短縮のため過
酸化水素水を多く投入し過ぎると、成分劣化が激しく、
薬液寿命が短くなる。また、薬液の延命化を優先する意
味で、少ない活性種で液温をさらに上昇させる手法も考
えられる。これについては、上述したような電力消費の
懸念はもとより、装置（ハード）の耐久性を落とす原因
にもなり、使用時間の経過につれ処理能力の低下が顕著
になってくる。
【０００５】本発明は、上記のような事情を考慮してな
されたもので、有機物除去についてその薬液寿命の延命
化及び高効率処理を可能とする有機物剥離方法及び有機
物剥離装置を提供しようとするものである。
されたもので、有機物除去についてその薬液寿命の延命
化及び高効率処理を可能とする有機物剥離方法及び有機
物剥離装置を提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る有機物剥離
方法は、少なくとも有機物を剥離する処理槽に蓄えられ
た薬液内に活性種として加えられるべき液体が、ミスト
化され清浄ガスと共に供給されることを特徴とする。
方法は、少なくとも有機物を剥離する処理槽に蓄えられ
た薬液内に活性種として加えられるべき液体が、ミスト
化され清浄ガスと共に供給されることを特徴とする。
【０００７】本発明に係るより好ましい有機物剥離方法
は、少なくとも有機物を剥離する処理槽に薬液を蓄える
工程と、前記薬液内に活性種として加えられるべき液体
をミスト化する工程と、前記ミスト化された液体が清浄
ガスと混合され前記処理槽内へ泡状にして供給する工程
と、を具備したことを特徴とする。
は、少なくとも有機物を剥離する処理槽に薬液を蓄える
工程と、前記薬液内に活性種として加えられるべき液体
をミスト化する工程と、前記ミスト化された液体が清浄
ガスと混合され前記処理槽内へ泡状にして供給する工程
と、を具備したことを特徴とする。
【０００８】上記それぞれの本発明に係る有機物剥離方
法によれば、薬液内に活性種として加えられるべき液体
が、ミスト化され清浄ガスと共に供給される。これによ
り、より少量の液体で、薬液としての有効な成分を均一
に生成させることができる。また、清浄ガスと共に泡状
に与えられるため、被処理物は物理作用でスクラブされ
る状態にもなる。
法によれば、薬液内に活性種として加えられるべき液体
が、ミスト化され清浄ガスと共に供給される。これによ
り、より少量の液体で、薬液としての有効な成分を均一
に生成させることができる。また、清浄ガスと共に泡状
に与えられるため、被処理物は物理作用でスクラブされ
る状態にもなる。
【０００９】また、本発明に係る方法おいて、前記液体
をミスト化する工程は、前記処理槽外部で超音波を印加
することにより達成されることを特徴とする。ミスト化
された液体が清浄ガスと混合される関係上、ミスト化処
理にあたり、清浄ガスの圧力に優る超音波出力を与えな
ければミスト化され難くなる可能性もある。超音波出力
の選択には注意を要する。
をミスト化する工程は、前記処理槽外部で超音波を印加
することにより達成されることを特徴とする。ミスト化
された液体が清浄ガスと混合される関係上、ミスト化処
理にあたり、清浄ガスの圧力に優る超音波出力を与えな
ければミスト化され難くなる可能性もある。超音波出力
の選択には注意を要する。
【００１０】また、本発明に係るいずれかの方法おい
て、前記薬液は硫酸と過酸化水素水の混合液であり、前
記ミスト化する液体は過酸化水素水であることを特徴と
する。過酸化水素水を硫酸に効率よく反応させ、有機物
剥離、洗浄に有効な成分を均一に生成する。
て、前記薬液は硫酸と過酸化水素水の混合液であり、前
記ミスト化する液体は過酸化水素水であることを特徴と
する。過酸化水素水を硫酸に効率よく反応させ、有機物
剥離、洗浄に有効な成分を均一に生成する。
【００１１】本発明に係る有機物剥離装置は、少なくと
も有機物を剥離する薬液を蓄える処理槽と、前記薬液内
に活性種として加えられるべき液体をミスト化するミス
ト化機構と、前記ミスト化機構に清浄ガスが与えられ前
記ミスト化された液体が清浄ガスと共に前記処理槽内へ
供給される泡状供給機構と、を具備したことを特徴とす
る。
も有機物を剥離する薬液を蓄える処理槽と、前記薬液内
に活性種として加えられるべき液体をミスト化するミス
ト化機構と、前記ミスト化機構に清浄ガスが与えられ前
記ミスト化された液体が清浄ガスと共に前記処理槽内へ
供給される泡状供給機構と、を具備したことを特徴とす
る。
【００１２】上記本発明に係る有機物剥離装置によれ
ば、薬液内に活性種として加えられるべき液体が、ミス
ト化機構によってミスト化され、泡状供給機構によって
清浄ガスと共に処理槽内へ供給される。これにより、よ
り少量の液体で、薬液としての有効な成分を均一に生成
させることができる。また、泡状供給機構によって、被
処理物は泡の物理作用でスクラブされる状態にもなる。
ば、薬液内に活性種として加えられるべき液体が、ミス
ト化機構によってミスト化され、泡状供給機構によって
清浄ガスと共に処理槽内へ供給される。これにより、よ
り少量の液体で、薬液としての有効な成分を均一に生成
させることができる。また、泡状供給機構によって、被
処理物は泡の物理作用でスクラブされる状態にもなる。
【００１３】また、本発明に係る装置において、前記ミ
スト化機構は、前記液体が蓄えられる前記処理槽とは別
の槽と、この槽内の液体をミスト化する超音波印加機構
を含むことを特徴とする。別の槽で超音波印加機構によ
り効率よくミスト化する。ミスト化処理にあたり、清浄
ガスの圧力に優る超音波出力を与えなければミスト化さ
れ難くなる可能性があるので、超音波出力の選択には注
意を要する。
スト化機構は、前記液体が蓄えられる前記処理槽とは別
の槽と、この槽内の液体をミスト化する超音波印加機構
を含むことを特徴とする。別の槽で超音波印加機構によ
り効率よくミスト化する。ミスト化処理にあたり、清浄
ガスの圧力に優る超音波出力を与えなければミスト化さ
れ難くなる可能性があるので、超音波出力の選択には注
意を要する。
【００１４】また、本発明に係る装置において、前記泡
状供給機構は、前記処理槽内に設けられる複数の開孔部
を有した供給板と、この供給板と前記ミスト化機構を結
ぶ経路を含むことを特徴とする。供給板によって、より
少量の液体を清浄ガスと共に泡状にして処理槽内へ均一
に供給する。
状供給機構は、前記処理槽内に設けられる複数の開孔部
を有した供給板と、この供給板と前記ミスト化機構を結
ぶ経路を含むことを特徴とする。供給板によって、より
少量の液体を清浄ガスと共に泡状にして処理槽内へ均一
に供給する。
【００１５】また、本発明に係る装置において、前記処
理槽における薬液に関し、少なくともフィルトレーショ
ンを伴う循環機構を備えていることを特徴とする。薬液
の性能を維持しつつ、循環によって消費量を節約する。
理槽における薬液に関し、少なくともフィルトレーショ
ンを伴う循環機構を備えていることを特徴とする。薬液
の性能を維持しつつ、循環によって消費量を節約する。
【００１６】また、本発明に係る装置において、前記処
理槽には薬液として硫酸と過酸化水素水の混合液が蓄え
られ、前記ミスト化される液体として過酸化水素水が前
記ミスト化機構に所定量供給されることを特徴とする。
過酸化水素水を硫酸に効率よく反応させ、有機物剥離、
洗浄に有効な成分を均一に生成する。
理槽には薬液として硫酸と過酸化水素水の混合液が蓄え
られ、前記ミスト化される液体として過酸化水素水が前
記ミスト化機構に所定量供給されることを特徴とする。
過酸化水素水を硫酸に効率よく反応させ、有機物剥離、
洗浄に有効な成分を均一に生成する。
【００１７】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施形態に係
る有機物剥離方法の要部を示す流れ図である。有機物を
剥離する処理槽に所定の薬液を蓄える（処理Ｓ１）。一
方、別槽では上記薬液内に活性種として加えられるべき
液体をミスト化しておく（処理Ｓ２）。そして、ミスト
化された液体が清浄ガスと混合され処理槽内へ泡状にな
って供給されるのである（処理Ｓ３）。この状態で被処
理物が処理槽に投入され、有機物の剥離処理が行われ
る。
る有機物剥離方法の要部を示す流れ図である。有機物を
剥離する処理槽に所定の薬液を蓄える（処理Ｓ１）。一
方、別槽では上記薬液内に活性種として加えられるべき
液体をミスト化しておく（処理Ｓ２）。そして、ミスト
化された液体が清浄ガスと混合され処理槽内へ泡状にな
って供給されるのである（処理Ｓ３）。この状態で被処
理物が処理槽に投入され、有機物の剥離処理が行われ
る。
【００１８】上記被処理物は、例えば剥離すべきレジス
ト層の付いた半導体ウェハ、また、パーティクル除去す
べき半導体ウェハが考えられる。また、その他の加工
品、各種製造装置内の部品等、有機物除去したいもので
あれば適用できる。薬液は、例えば硫酸−過酸化水素水
混合液（ＳＰＭ：sulfuric acid ／ hydrogen peroxide
／ water mix）であって、ミスト化する液体は過酸化水
素水である。
ト層の付いた半導体ウェハ、また、パーティクル除去す
べき半導体ウェハが考えられる。また、その他の加工
品、各種製造装置内の部品等、有機物除去したいもので
あれば適用できる。薬液は、例えば硫酸−過酸化水素水
混合液（ＳＰＭ：sulfuric acid ／ hydrogen peroxide
／ water mix）であって、ミスト化する液体は過酸化水
素水である。
【００１９】上記処理ステップＳ２の、液体をミスト化
する工程は、処理槽外部に置ける別槽での超音波印加に
よって達成されることが好ましい。また、清浄ガスとし
ては工業用のクリーンエアやＮ2ガス、フィルターを介
した高い清浄度レベルの空気等が利用される。ミスト化
された液体が清浄ガスと混合され処理槽内へ供給される
関係上、液体のミスト化処理にあたり、清浄ガスの圧力
に優る超音波出力を与えなければミスト化され難くなる
可能性もある。超音波出力の選択には注意を要する。
する工程は、処理槽外部に置ける別槽での超音波印加に
よって達成されることが好ましい。また、清浄ガスとし
ては工業用のクリーンエアやＮ2ガス、フィルターを介
した高い清浄度レベルの空気等が利用される。ミスト化
された液体が清浄ガスと混合され処理槽内へ供給される
関係上、液体のミスト化処理にあたり、清浄ガスの圧力
に優る超音波出力を与えなければミスト化され難くなる
可能性もある。超音波出力の選択には注意を要する。
【００２０】上記実施形態の方法によれば、ミスト化さ
れた活性種となる液体は、上記のような清浄ガスと共に
処理槽内に供給される。これにより、活性種となる液体
は、より少量にて、薬液としての有効な成分を均一に処
理槽内に生成させることができる。また、清浄ガスと共
に泡状に与えられるため、被処理物は物理作用（バブリ
ング作用）でスクラブされる状態にもなる。よって、活
性種となる液体の削減による薬液寿命の延命化、有機物
の効率的な剥離、洗浄が達成できる。
れた活性種となる液体は、上記のような清浄ガスと共に
処理槽内に供給される。これにより、活性種となる液体
は、より少量にて、薬液としての有効な成分を均一に処
理槽内に生成させることができる。また、清浄ガスと共
に泡状に与えられるため、被処理物は物理作用（バブリ
ング作用）でスクラブされる状態にもなる。よって、活
性種となる液体の削減による薬液寿命の延命化、有機物
の効率的な剥離、洗浄が達成できる。
【００２１】図２は、本発明の第１実施形態に係る有機
物剥離装置の要部構成を示す概観図である。上記図１に
示した有機物剥離方法を実現する構成として次のように
構成される。少なくとも有機物を剥離する薬液（例えば
硫酸−過酸化水素水混合液；ＳＰＭ）を蓄える処理槽１
１が設けられている。処理槽１１はオーバーフロー型
で、少なくともポンプ１２１及びフィルター１２２を有
する循環機構１２が配備されている。これにより、薬液
の性能を維持しつつ、循環によって消費量を節約する。
また、循環機構１２を省いた構成も考えられる。処理槽
１１は図示しないが適温（例えば１００℃前後）に保た
れるよう装備されている。
物剥離装置の要部構成を示す概観図である。上記図１に
示した有機物剥離方法を実現する構成として次のように
構成される。少なくとも有機物を剥離する薬液（例えば
硫酸−過酸化水素水混合液；ＳＰＭ）を蓄える処理槽１
１が設けられている。処理槽１１はオーバーフロー型
で、少なくともポンプ１２１及びフィルター１２２を有
する循環機構１２が配備されている。これにより、薬液
の性能を維持しつつ、循環によって消費量を節約する。
また、循環機構１２を省いた構成も考えられる。処理槽
１１は図示しないが適温（例えば１００℃前後）に保た
れるよう装備されている。
【００２２】ミスト槽１３は、ミスト化機構として超音
波印加機構１３１を備えた予備槽である。ミスト槽１３
にはポンプ１４によって定量的な過酸化水素水が適時供
給される。また、ミスト槽１３には、清浄ガス、例えば
工業用のクリーンエアが供給される。もちろんクリーン
エア以外にＮ2ガス等、不活性なガスも採用可能であ
る。各バルブＶＡＬ１，２は、ミスト槽１３への過酸化
水素水やクリーンエアの供給を制御する。上述したよう
に、過酸化水素水のミスト化処理にあたり、クリーンエ
アの圧力に優る超音波出力を与えなければミスト化され
難くなるので、超音波印加機構１３１の出力の選択には
注意を要する。
波印加機構１３１を備えた予備槽である。ミスト槽１３
にはポンプ１４によって定量的な過酸化水素水が適時供
給される。また、ミスト槽１３には、清浄ガス、例えば
工業用のクリーンエアが供給される。もちろんクリーン
エア以外にＮ2ガス等、不活性なガスも採用可能であ
る。各バルブＶＡＬ１，２は、ミスト槽１３への過酸化
水素水やクリーンエアの供給を制御する。上述したよう
に、過酸化水素水のミスト化処理にあたり、クリーンエ
アの圧力に優る超音波出力を与えなければミスト化され
難くなるので、超音波印加機構１３１の出力の選択には
注意を要する。
【００２３】泡状供給機構ＢＳとして供給管１５とバブ
ル供給板１６が設けられている。バブル供給板１６は、
処理槽１１内に設けられ、所定間隔で配列された複数の
開孔部Ｈを有している。開孔部Ｈの設け方は各種考えら
れ、所定間隔が様々異なるようにしてもよい。供給板１
６面内で開孔部Ｈの密度を変えてもよい。供給板１６内
部でパーテーション１７を設けて流れを制御するように
してもよい。供給管１５は、バブル供給板１６とミスト
槽１３を結ぶ経路を構成する。供給管１５は、バルブＶ
ＡＬ３から複数に分かれており、バブル供給板１６面内
のバブル供給均一化を図る。
ル供給板１６が設けられている。バブル供給板１６は、
処理槽１１内に設けられ、所定間隔で配列された複数の
開孔部Ｈを有している。開孔部Ｈの設け方は各種考えら
れ、所定間隔が様々異なるようにしてもよい。供給板１
６面内で開孔部Ｈの密度を変えてもよい。供給板１６内
部でパーテーション１７を設けて流れを制御するように
してもよい。供給管１５は、バブル供給板１６とミスト
槽１３を結ぶ経路を構成する。供給管１５は、バルブＶ
ＡＬ３から複数に分かれており、バブル供給板１６面内
のバブル供給均一化を図る。
【００２４】上記実施形態に係る有機物剥離装置によれ
ば、薬液（ＳＰＭ）内に活性種として加えられるべき過
酸化水素水が、ミスト槽１３によってミスト化される。
過酸化水素水のミストはクリーンエアと共に供給管１５
を介してバブル供給板１６に至り、処理槽内へバブル供
給される。これにより、より少量の過酸化水素水で、Ｓ
ＰＭとしての有効な成分を均一に生成させることができ
る。
ば、薬液（ＳＰＭ）内に活性種として加えられるべき過
酸化水素水が、ミスト槽１３によってミスト化される。
過酸化水素水のミストはクリーンエアと共に供給管１５
を介してバブル供給板１６に至り、処理槽内へバブル供
給される。これにより、より少量の過酸化水素水で、Ｓ
ＰＭとしての有効な成分を均一に生成させることができ
る。
【００２５】また、バブル供給板１６からのバブリング
は被処理物への泡の物理作用、つまりスクラブ作用とな
りされる状態にもなる。よって、活性種となる液体の削
減による液寿命の延命化、有機物の効率的な剥離、洗浄
が達成できる。これにより、例えば剥離すべきレジスト
層の付いた半導体ウェハ、また、パーティクル除去すべ
き半導体ウェハ、あるいは有機物除去したいその他の加
工品、各種製造装置内の部品等に対して有用で効率的な
剥離、洗浄が実現可能である。
は被処理物への泡の物理作用、つまりスクラブ作用とな
りされる状態にもなる。よって、活性種となる液体の削
減による液寿命の延命化、有機物の効率的な剥離、洗浄
が達成できる。これにより、例えば剥離すべきレジスト
層の付いた半導体ウェハ、また、パーティクル除去すべ
き半導体ウェハ、あるいは有機物除去したいその他の加
工品、各種製造装置内の部品等に対して有用で効率的な
剥離、洗浄が実現可能である。
【００２６】図３は、本発明の第２実施形態に係る有機
物剥離装置の要部構成を示す概観図である。前記図１に
示した有機物剥離方法を実現する構成として次のように
構成される。上記図２の構成と比べて異なる点は、泡状
供給機構ＢＳの構成であり、供給管２５とバブル供給板
２６となっている。すなわち、供給管２５は一本のまま
で、バブル供給板２６内がパーテーション２７のさらな
る工夫でバブル供給がより均一化されるようになってい
る。その他の構成は図２と同様であり、説明は省略す
る。このような第２実施形態の構成によっても、第１実
施形態の構成と同様の作用効果が得られる。
物剥離装置の要部構成を示す概観図である。前記図１に
示した有機物剥離方法を実現する構成として次のように
構成される。上記図２の構成と比べて異なる点は、泡状
供給機構ＢＳの構成であり、供給管２５とバブル供給板
２６となっている。すなわち、供給管２５は一本のまま
で、バブル供給板２６内がパーテーション２７のさらな
る工夫でバブル供給がより均一化されるようになってい
る。その他の構成は図２と同様であり、説明は省略す
る。このような第２実施形態の構成によっても、第１実
施形態の構成と同様の作用効果が得られる。
【００２７】図４は、本発明の第３実施形態に係る有機
物剥離装置の要部構成を示す概観図である。前記図１に
示した有機物剥離方法を実現する構成として次のように
構成される。上記図２の構成と比べて異なる点は、泡状
供給機構ＢＳの構成であり、供給管１５は同様である
が、バブル供給板３６が配されている。バブル供給板３
６は平面板でなく湾曲している。パーテーション３７は
簡単な構成でバブル供給が容易に均一化、あるいはより
効率的なバブル供給が期待できる。図示しないが、ここ
で上記第２実施形態のような供給管２５を採用してもよ
い。その他の構成は図２と同様であり、説明は省略す
る。このような第２実施形態の構成によっても、第１実
施形態の構成と同様の作用効果が得られる。
物剥離装置の要部構成を示す概観図である。前記図１に
示した有機物剥離方法を実現する構成として次のように
構成される。上記図２の構成と比べて異なる点は、泡状
供給機構ＢＳの構成であり、供給管１５は同様である
が、バブル供給板３６が配されている。バブル供給板３
６は平面板でなく湾曲している。パーテーション３７は
簡単な構成でバブル供給が容易に均一化、あるいはより
効率的なバブル供給が期待できる。図示しないが、ここ
で上記第２実施形態のような供給管２５を採用してもよ
い。その他の構成は図２と同様であり、説明は省略す
る。このような第２実施形態の構成によっても、第１実
施形態の構成と同様の作用効果が得られる。
【００２８】上記各実施形態に係る方法及び装置によれ
ば、例えばＳＰＭ（硫酸−過酸化水素水混合液）なら活
性種となる過酸化水素水はミスト化され、清浄ガスと共
に処理槽内にバブル供給される。これにより、より少量
の過酸化水素水にて、ＳＰＭとしての有効な成分を均一
に処理槽内に生成させることができる。また、清浄ガス
と共に泡状に与えられるため、被処理物は物理作用（バ
ブリング作用）でスクラブされる状態にもなる。よっ
て、過酸化水素水の削減による薬液寿命の延命化、有機
物の効率的な剥離、洗浄が達成できる。なお、ＳＰＭの
他、このシステムで採用できるものがあれば他の薬液を
利用した剥離、洗浄の装置に応用できることも期待でき
る。
ば、例えばＳＰＭ（硫酸−過酸化水素水混合液）なら活
性種となる過酸化水素水はミスト化され、清浄ガスと共
に処理槽内にバブル供給される。これにより、より少量
の過酸化水素水にて、ＳＰＭとしての有効な成分を均一
に処理槽内に生成させることができる。また、清浄ガス
と共に泡状に与えられるため、被処理物は物理作用（バ
ブリング作用）でスクラブされる状態にもなる。よっ
て、過酸化水素水の削減による薬液寿命の延命化、有機
物の効率的な剥離、洗浄が達成できる。なお、ＳＰＭの
他、このシステムで採用できるものがあれば他の薬液を
利用した剥離、洗浄の装置に応用できることも期待でき
る。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
処理槽内に蓄積された薬液に対し、性能が劣化しないよ
うに、活性種として加えられるべき液体をミスト化し、
清浄ガスと共に供給する。これにより、より少量の液体
で、薬液としての有効な成分を均一に生成させることが
できる。また、清浄ガスと共に泡状に与えられるため、
被処理物は物理作用でスクラブされる状態にもなる。こ
の結果、有機物除去についてその薬液寿命の延命化及び
高効率処理を可能とする有機物剥離方法及び有機物剥離
装置を提供することができる。
処理槽内に蓄積された薬液に対し、性能が劣化しないよ
うに、活性種として加えられるべき液体をミスト化し、
清浄ガスと共に供給する。これにより、より少量の液体
で、薬液としての有効な成分を均一に生成させることが
できる。また、清浄ガスと共に泡状に与えられるため、
被処理物は物理作用でスクラブされる状態にもなる。こ
の結果、有機物除去についてその薬液寿命の延命化及び
高効率処理を可能とする有機物剥離方法及び有機物剥離
装置を提供することができる。
【図１】本発明の一実施形態に係る有機物剥離方法の要
部を示す流れ図である。
部を示す流れ図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る有機物剥離装置の
要部構成を示す概観図である。
要部構成を示す概観図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る有機物剥離装置の
要部構成を示す概観図である。
要部構成を示す概観図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る有機物剥離装置の
要部構成を示す概観図である。
要部構成を示す概観図である。
Ｓ１〜Ｓ３…処理ステップ
１１…処理槽
１２…循環機構
１２２…フィルター
１３…ミスト槽
１３１…超音波機構
１４，１２１…ポンプ
１５，２５…供給管
１６，２６，３６…バブル供給板
１７，２７，３７…パーテーション
ＢＳ…泡状供給機構
Ｈ…開孔部
ＶＡＬ１〜３…バルブ
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 21/306 Ｈ０１Ｌ 21/306 Ｂ
Ｆターム(参考） 4G068 AA01 AB07 AB15 AC05 AC17
AD21 AD39 AE06 AF17 AF40
4G075 AA13 BB10 BD04 CA23 CA51
DA02 EA01 EB01 EE13 FA02
5F043 CC16 EE06 EE24 EE25 EE28
EE31
5F046 MA02 MA07
Claims (9)
- 【請求項１】 少なくとも有機物を剥離する処理槽に蓄
えられた薬液内に活性種として加えられるべき液体が、
ミスト化され清浄ガスと共に供給されることを特徴とす
る有機物剥離方法。 - 【請求項２】 少なくとも有機物を剥離する処理槽に薬
液を蓄える工程と、 前記薬液内に活性種として加えられるべき液体をミスト
化する工程と、 前記ミスト化された液体が清浄ガスと混合され前記処理
槽内へ泡状にして供給する工程と、を具備したことを特
徴とする有機物剥離方法。 - 【請求項３】 前記液体をミスト化する工程は、前記処
理槽外部で超音波を印加することにより達成されること
を特徴とする請求項２記載の有機物剥離方法。 - 【請求項４】 前記薬液は硫酸と過酸化水素水の混合液
であり、前記ミスト化する液体は過酸化水素水であるこ
とを特徴とする請求項１〜３のうちいずれか一つに記載
の有機物剥離方法。 - 【請求項５】 少なくとも有機物を剥離する薬液を蓄え
る処理槽と、 前記薬液内に活性種として加えられるべき液体をミスト
化するミスト化機構と、 前記ミスト化機構に清浄ガスが与えられ前記ミスト化さ
れた液体が清浄ガスと共に前記処理槽内へ供給される泡
状供給機構と、を具備したことを特徴とする有機物剥離
装置。 - 【請求項６】 前記ミスト化機構は、前記液体が蓄えら
れる前記処理槽とは別の槽と、この槽内の液体をミスト
化する超音波印加機構を含むことを特徴とする請求項５
記載の有機物剥離装置。 - 【請求項７】 前記泡状供給機構は、前記処理槽内に設
けられる複数の開孔部を有した供給板と、この供給板と
前記ミスト化機構を結ぶ経路を含むことを特徴とする請
求項５記載の有機物剥離装置。 - 【請求項８】 前記処理槽における薬液に関し、少なく
ともフィルトレーションを伴う循環機構を備えているこ
とを特徴とする請求項５〜７のうちいずれか一つに記載
の有機物剥離装置。 - 【請求項９】 前記処理槽には薬液として硫酸と過酸化
水素水の混合液が蓄えられ、前記ミスト化される液体と
して過酸化水素水が前記ミスト化機構に所定量供給され
ることを特徴とする請求項５〜７のうちいずれか一つに
記載の有機物剥離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002085385A JP2003282513A (ja) | 2002-03-26 | 2002-03-26 | 有機物剥離方法及び有機物剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002085385A JP2003282513A (ja) | 2002-03-26 | 2002-03-26 | 有機物剥離方法及び有機物剥離装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003282513A true JP2003282513A (ja) | 2003-10-03 |
Family
ID=29232374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002085385A Withdrawn JP2003282513A (ja) | 2002-03-26 | 2002-03-26 | 有機物剥離方法及び有機物剥離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003282513A (ja) |
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- 2002-03-26 JP JP2002085385A patent/JP2003282513A/ja not_active Withdrawn
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|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050607 |