JP4672480B2 - 塗布処理装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施形態に係る塗布処理装置が搭載されたLCD用ガラス基板のレジスト塗布および露光後の現像に適用されるレジスト塗布・現像処理システムの概略平面図である。
図2はレジスト塗布装置(CT)23aの概略平面図、図3はその側断面図である。レジスト塗布装置(CT)23aは、基板Gを吸着した状態で水平(X方向)に搬送するベルト搬送機構12と、ベルト搬送機構12により搬送される基板Gの表面にレジスト液を供給するレジスト液吐出ノズル14と、ベルト搬送機構12へ基板Gを搬入するための搬入側コロ搬送機構13と、ベルト搬送機構12から基板Gを搬出するための搬出側コロ搬送機構15を有している。
レジスト液吐出ノズル14は、図6の斜視図に示すように、一方向に沿って延びる長尺状の箱体14aに、レジスト液を略帯状に吐出するスリット状のレジスト液吐出口14bが設けられた構造を有しており、その長手方向をY方向に一致した状態で配置されている。また、レジスト吐出ノズル14は、図7に示すように、ベルト搬送機構12の両側に設けられた一対の支柱68に掛け渡された梁部材69に支持部材70を介して支持されており、昇降機構72により支持部材70を介して昇降される。
図9は、他の実施形態に係るレジスト塗布装置を示す側断面図である。この実施形態に係るレジスト塗布装置(CT)23a′は、ベルト搬送機構12の代わりに以下に示す構成のベルト搬送機構12′を有している点のみ従前の実施形態と異なっている。したがって、図2、3と同じものには同じ符号を付して説明を省略する。
13;搬入側コロ搬送機構(搬入側搬送部)
14;レジスト液吐出ノズル
15;搬出側コロ搬送機構(搬出側搬送部)
23a、23a′、23a″;レジスト塗布装置
51;吸着搬送ベルト
52;搬送ロール
53;駆動機構
54、54′;位置決めロール
55、84、84′、89;吸引器
57;吸着孔
64、66;コロ
90;プロセスコントローラ
91;ユーザーインターフェース
92;記憶部
100;レジスト塗布・現像処理システム
G;LCD用ガラス基板
Claims (12)
- 基板を一方向に搬送しながら基板に塗布液を塗布する塗布処理装置であって、
基板を保持した状態で一方向に搬送するベルト搬送機構と、
前記ベルト搬送機構の上方に設けられ、搬送されている基板に塗布液を吐出する塗布液吐出ノズルと、
基板を前記一方向に搬送して前記ベルト搬送機構に搬入する搬入側搬送部と、
前記ベルト搬送機構から塗布後の基板を前記一方向に搬出する搬出側搬送部とを具備し、
前記ベルト搬送機構は、
多数の吸着孔が形成され、基板を吸着した状態で搬送する吸着搬送ベルトと、
前記吸着搬送ベルトが巻き掛けられる一対の搬送ロールと、
前記搬送ロールを駆動させ前記吸着搬送ベルトを前記一方向に移動させる駆動機構と、
基板の搬送ラインに臨むように前記吸着搬送ベルトの直下に設けられ、前記吸着搬送ベルトの前記吸着孔を介して基板を吸引するための吸引機構と
を有し、
前記吸引機構により前記吸着搬送ベルトに基板を吸着した状態で塗布液を塗布し、
前記吸着搬送ベルトの下側の、前記塗布液吐出ノズルの直下位置に設けられ、基板と塗布液吐出ノズルの先端との間のクリアランスを調整するための位置決めロールをさらに具備することを特徴とする塗布処理装置。 - 前記塗布液吐出ノズルの先端部は、前記位置決めロールの頂点位置からずれた位置に位置合わせされることを特徴とする請求項1に記載の塗布処理装置。
- 前記吸引機構は、一方向のみに気孔が形成されたポーラス部材と、そのポーラス部材の気孔の方向を基板の搬送方向と垂直となるように支持し、基板の搬送方向に沿って複数の独立したゾーンに分割されたマニホールドとを有し、ポンプの作動により前記ポーラス部材の気孔を介して吸引する吸引器を備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の塗布処理装置。
- 基板を一方向に搬送しながら基板に塗布液を塗布する塗布処理装置であって、
基板を保持した状態で一方向に搬送するベルト搬送機構と、
前記ベルト搬送機構の上方に設けられ、搬送されている基板に塗布液を吐出する塗布液吐出ノズルと、
基板を前記一方向に搬送して前記ベルト搬送機構に搬入する搬入側搬送部と、
前記ベルト搬送機構から塗布後の基板を前記一方向に搬出する搬出側搬送部とを具備し、
前記ベルト搬送機構は、
多数の吸着孔が形成され、基板を吸着した状態で搬送する吸着搬送ベルトと、
前記吸着搬送ベルトが巻き掛けられる一対の搬送ロールと、
前記搬送ロールを駆動させ前記吸着搬送ベルトを前記一方向に移動させる駆動機構と、
基板の搬送ラインに臨むように前記吸着搬送ベルトの直下に設けられ、前記吸着搬送ベルトの前記吸着孔を介して基板を吸引するための吸引機構と
を有し、
前記吸引機構により前記吸着搬送ベルトに基板を吸着した状態で塗布液を塗布し、
前記吸引機構は、一方向のみに気孔が形成されたポーラス部材と、そのポーラス部材の気孔の方向を基板の搬送方向と垂直となるように支持し、基板の搬送方向に沿って複数の独立したゾーンに分割されたマニホールドとを有し、ポンプの作動により前記ポーラス部材の気孔を介して吸引する吸引器を備えることを特徴とする塗布処理装置。 - 前記吸引機構は、基板の搬送方向に沿って、吸引孔を有する複数の独立したゾーンに分割され、ポンプの作動により前記吸引孔から吸引する吸引器を備えることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の塗布処理装置。
- 基板を一方向に搬送しながら基板に塗布液を塗布する塗布処理装置であって、
基板を保持した状態で一方向に搬送するベルト搬送機構と、
前記ベルト搬送機構の上方に設けられ、搬送されている基板に塗布液を吐出する塗布液吐出ノズルと、
基板を前記一方向に搬送して前記ベルト搬送機構に搬入する搬入側搬送部と、
前記ベルト搬送機構から塗布後の基板を前記一方向に搬出する搬出側搬送部とを具備し、
前記ベルト搬送機構は、
多数の吸着孔が形成され、基板を吸着した状態で搬送する吸着搬送ベルトと、
前記吸着搬送ベルトが巻き掛けられる一対の搬送ロールと、
前記搬送ロールを駆動させ前記吸着搬送ベルトを前記一方向に移動させる駆動機構と、
基板の搬送ラインに臨むように前記吸着搬送ベルトの直下に設けられ、前記吸着搬送ベルトの前記吸着孔を介して基板を吸引するための吸引機構と
を有し、
前記吸引機構により前記吸着搬送ベルトに基板を吸着した状態で塗布液を塗布し、
前記一対の搬送ロールの間に複数設けられ、吸着搬送ベルトを支持してその位置決めを行う複数の位置決めロールをさらに具備し、
前記吸引機構は、吸引孔を有し、ポンプの作動により前記吸引孔から吸引する複数の吸引器を、前記搬送ロールと前記位置決めロールとの間および隣接する前記位置決めロールの間に配置してなることを特徴とする塗布処理装置。 - 基板を一方向に搬送しながら基板に塗布液を塗布する塗布処理装置であって、
基板を保持した状態で一方向に搬送するベルト搬送機構と、
前記ベルト搬送機構の上方に設けられ、搬送されている基板に塗布液を吐出する塗布液吐出ノズルと、
基板を前記一方向に搬送して前記ベルト搬送機構に搬入する搬入側搬送部と、
前記ベルト搬送機構から塗布後の基板を前記一方向に搬出する搬出側搬送部とを具備し、
前記ベルト搬送機構は、
多数の吸着孔が形成され、基板を吸着した状態で搬送する吸着搬送ベルトと、
前記吸着搬送ベルトが巻き掛けられる一対の搬送ロールと、
前記搬送ロールを駆動させ前記吸着搬送ベルトを前記一方向に移動させる駆動機構と、
基板の搬送ラインに臨むように前記吸着搬送ベルトの直下に設けられ、前記吸着搬送ベルトの前記吸着孔を介して基板を吸引するための吸引機構と
を有し、
前記吸引機構により前記吸着搬送ベルトに基板を吸着した状態で塗布液を塗布し、
前記一対の搬送ロールの間に複数設けられ、吸着搬送ベルトを支持してその位置決めを行う複数の位置決めロールをさらに具備し、
前記複数の位置決めロールの一つは、前記塗布液吐出ノズルの直下位置に設けられ、基板と塗布液吐出ノズルの先端との間のクリアランスを調整することを特徴とする塗布処理装置。 - 前記塗布液吐出ノズルの先端部は、前記塗布液吐出ノズルの直下位置に設けられた位置決めロールの頂点位置からずれた位置に位置合わせされることを特徴とする請求項7に記載の塗布処理装置。
- 前記吸着搬送ベルトの張力を調整する張力調整機構をさらに具備することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の塗布処理装置。
- 前記張力調整機構は、移動することにより張力を調整するテンションロールを有することを特徴とする請求項9に記載の塗布処理装置。
- 前記搬入側搬送部および前記搬出側搬送部は、複数のコロと、コロを駆動させる駆動手段とを有することを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の塗布処理装置。
- 前記吸着搬送ベルトのエッジ位置を検出する位置センサーと、前記搬送ロールを縦方向に移動させるアクチュエータと、前記位置センサーの情報に基づいて、前記アクチュエータにより前記搬送ロールの位置を制御する制御機構とを有する前記吸着搬送ベルトの蛇行を防止する蛇行防止機構をさらに具備することを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の塗布処理装置。
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