JPH11227929A - ベルト調整装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 金属性のベルトの位置ずれを確実に防止する
ベルト位置調整装置を提供する。 【解決手段】 搬送装置のベルトの位置を検出する位置
検出手段と、ベルトを巻回しているローラを駆動する駆
動手段と、検出装置の検出した値に基づいてローラの作
動量を演算する演算手段と、演算手段が演算した値に基
づいて駆動手段を駆動させる制御手段とから構成した。
これにより、ベルトが周回する毎にベルトのずれを検出
でき、そのずれ量に基づいて修正することからベルトに
無理な負担が掛かることなく確実に基準位置に修正する
ことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ベルト搬送装置のベル
ト位置を調整するベルト調整装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】ベルトを用いた搬送装置として、例えば
図８にＣＶＤ装置の一例を示す。ＣＶＤ装置５０は、図
８に示すように、ガス燃焼器５２を有する高温部５４を
備え、図の左方においてロボット等（図示せず）を用い
てベルト４上にウエハ（図示せず）が載せられ、高温部
５４内に搬送されて加熱され、又所定の処理が行なわれ
た後、図８の右方側に搬出される。高温部５４から出さ
れたウエハは、ロボット等（図示せず）によって把持さ
れ、次の工程に送られる。

【０００３】このようにＣＶＤ装置５０は、高温部５４
内を通してベルト４を周回させていることから、ベルト
４には耐熱性が必要とされ、金属線を編み込んで金網状
のベルトを形成し、この金属製のベルト４を周回してウ
エハを載せて搬送している。このように、ＣＶＤ装置５
０は、高い温度に保持された高温部５４の処理工程にウ
エハを搬送するため、ベルト４に金属線を編んで形成し
た金網状のベルトを用いていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ベルト
４に加わえられる張力に不均衡が発生したり、高温部５
４内の温度と室温との温度差が大きく、大きな温度変化
が生じる等のため、ＣＶＤ装置５０を稼動させている
と、ベルト４の位置が徐々にずれてしまうことがある。

【０００５】ベルト４の位置がずれると、ベルト４によ
って搬送されているウエハの位置もずれてしまい、処理
工程における処理条件にばらつきが発生したり、ベルト
４の一部がＣＶＤ装置５０の側壁等に接触して塵埃を発
生してしまうことがある。更に、ベルト４の位置が一定
方向に継続してずれてしまうと最終的にベルト４がロー
ラから外れてしまうことがある。

【０００６】本発明は、金属線を編んで形成した金網状
のベルトを用いたベルト搬送装置において、ベルトの位
置を常に予め定められた適切な位置に調整できるベルト
調整装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、ベルト搬送装置のベルト位置を調整するベ
ルト調整装置を次のように構成した。

【０００８】すなわち、搬送装置のベルトの位置を検出
する位置検出手段と、ベルトを巻回しているローラを駆
動する駆動手段と、検出装置の検出した値に基づいてロ
ーラの駆動量を演算する演算手段と、演算手段が演算し
た値に基づいて駆動手段を駆動させる制御手段とから構
成した。

【０００９】位置検出手段は、カメラと画像処理手段等
からなり、ベルトの画像を撮影し、撮影画像からベルト
の位置を検出する。検出位置としては、ベルトの端部が
好ましく、特にベルトに一定間隔毎に形成されている部
材、例えば溶接点等が好ましい。尚、別途ベルトに位置
検出用の基準点や、基準線等を形成してもよい。

【００１０】演算手段は、例えばベルトが一周したとき
のベルト端部の位置の平均を求め、その平均値と基準位
置との差を求め、その差を用いて比例制御及び積分制御
を行なう。これは、求められた差に所定のパラメータを
掛けるとともに一周毎の位置の差に所定のパラメータを
掛けた値の積分値を加える等により求める。求められた
値は、制御手段に送られる。

【００１１】制御手段は、演算手段の演算値を駆動手段
に送り、駆動手段を作動させてローラを駆動させる。駆
動手段は、ローラの回転中心軸と平行な方向にローラを
移動させたり、あるいは、ローラの中心を通りローラが
巻き取るベルト面に対して垂直な軸周りにローラを回動
させるようにしてもよい。

【００１２】ベルト位置の調整は、例えばベルトがベル
トの進行方向に対して右方向にずれてきたなら、ローラ
を右方向に移動させたり、あるいは右側が前方に出るよ
うに回動させる。すると、ベルトの右側の張力が大きく
なることからベルトは徐々に左方向に移動し、基準位置
に復帰する。

【００１３】これにより、ベルトを常に最適な位置に設
定できる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかるベルト調整
装置の一実施の形態について図を用いて説明する。

【００１５】ベルト調整装置２は、図８に示すように常
圧ＣＶＤ装置５０に設置されており、ＣＶＤ装置５０の
マッフル出口５６に設けられている。

【００１６】ベルト調整装置２は、図１及び図３に示す
ようにベルト４の側端部の位置を検出するカメラ６と、
カメラ６からの画像を処理して制御する制御手段７と、
ローラ１０を駆動する駆動機構１２等から構成されてい
る。

【００１７】ベルト４は、金属線を編んだ金網状のベル
トであり、図２に示すように進行方向と垂直に横線５を
渡し、横線５の端部において屈曲した金属線７を溶接に
より固着させている。

【００１８】カメラ６は、ＣＣＤカメラであり、ベルト
４の進行方向右側端部の上方に設置してあり、ベルト４
の端部の画像を撮影する。具体的には、ベルト４の端部
に一定間隔をもって形成してある溶接点３を撮影し、そ
の画像を制御手段５に送る。

【００１９】制御手段７は、処理部と、演算部と、記憶
部等からなっている。

【００２０】処理部は、カメラ６からの画像を処理し、
周回しているベルト４の一周分の平均位置を検出する。
すなわち、ベルト４の溶接点の通過位置を求めるととも
に溶接点３の通過数を計測し、通過数がベルト一周分に
達したなら、ベルト４の一周分の平均位置の値を算出す
る。

【００２１】演算部では、求められた平均値と記憶部に
記憶されている基準位置とを比較し、その値からローラ
１０の作動量を演算する。具体的には、平均値Ｘと基準
値Ａとの差を求め、その差に所定の係数Ｐを掛けるとと
もに、一周毎の差にＩを掛けた値の積算値を加える。い
わゆる比例積分制御である。

【００２２】そして、得られた演算結果を駆動機構１２
に送出する。

【００２３】駆動機構１２を図２に示す。図２に示すよ
うに、駆動機構１２は、ローラ１０を回転自在に支持す
る支持機構２０と、支持機構２０を垂直軸周りに回動さ
せる回動機構２２等から構成されている。回動機構２２
は、ローラ１０の中心を通る垂直な回転軸周りにローラ
１０を回動させるもので、モータ（図示せず）によって
任意な角度回動できる。

【００２４】次に、ベルト調整装置２の作用について図
４を参照して説明する。

【００２５】ＣＶＤ装置５０を稼動させると、それに伴
ってベルト４が周回を開始し( Ｆ−１) 、ウエハが順次
搬送される。ベルト４が周回されると、カメラ６がベル
ト４の端部を撮影し、撮影画像を処理部に送る。処理部
では、画像からベルト４端部の溶接点を選びだし、その
位置を検出する( Ｆ−) ２。そして、ベルト４が一周し
たことを確認したなら( Ｆ−３) 、検出した位置情報か
らベルト４の平均位置を算出して( Ｆ−４) 、演算部に
送る。

【００２６】演算部では、記憶部から基準位置情報を取
り出し、その基準位置と、処理部から送られた平均位置
情報とを比較し( Ｆ−５) 、その差が閾値を超えている
場合には、ベルト位置の修正必要と判断し、駆動機構１
２の駆動量を演算する( Ｆ−６) 。

【００２７】駆動量の演算は、平均位置の値と基準位置
の値との差を求め、その差に所定値を掛け、かつ各一周
毎の差に所定値を掛けた値を積算した値を加える。この
ようにして求められた駆動量を駆動機構１２に送り出
す。

【００２８】駆動機構１２は、送られてきた駆動量に従
ってモータが作動し、ローラ１０が所定角度傾動する(
Ｆ−７) 。ローラ１０が傾動することにより、ベルト４
の張力が変化し、ベルト４が周回しながら徐々に基準位
置に移動する。

【００２９】以上述べたように、上記実施例によればベ
ルト４の周回位置を、一周毎の平均値から求めた駆動量
に従って変動させることから、確実にベルト位置を修正
することができ、かつ、ローラ１０を頻繁に作動させな
いので、ベルト４への負担を軽減し、ベルト寿命を長く
することができる。

【００３０】なお、上記実施例では、駆動機構１２でロ
ーラ１０を傾動させることとしたが、これに限らず、図
５から図７に示すように、ローラ１０をローラ１０の回
転軸と平行な方向に沿って移動自在とし、駆動モータ等
によりローラを横方向に移動させるようにしてもよい。
このように駆動機構１２を構成しても、ベルト４を周回
させながら所定の基準位置に戻すことができる。

【００３１】

【発明の効果】第１の効果は、ベルトの蛇行を防止し、
ベルトが処理装置の側壁等に接触して塵埃が発生するこ
とを防止できる。

【００３２】第２の効果は、ベルトを所定の位置に保持
することができるので、ウエハを所定の位置に確実に通
過させることができ、処理の信頼性を向上できる。

【００３３】第３の効果は、ベルトの位置調整を頻繁に
行なわないことから、ベルト、及びベルト駆動機構への
負担を小さくし、ベルト機構の寿命を長くすることがで
きる。第４の効果は、自動化することができ、従来人手
で行なっていた作業を無くし、省力化してコストを低減
させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかるベルト調整装置の一例を示す図
である。

【図２】本発明にかかるベルト調整装置の一例を示す図
である。

【図３】本発明にかかるベルト調整装置の一例を示す図
である。

【図４】ベルト調整装置のフローチャートを示す図であ
る。

【図５】本発明にかかるベルト調整装置の他の例を示す
図である。

【図６】本発明にかかるベルト調整装置の他の例を示す
図である。

【図７】本発明にかかるベルト調整装置の他の例を示す
図である。

【図８】ベルト調整装置を備えたＣＶＤ装置を示す全体
図である。

【符号の説明】

２ ベルト調整装置 ３ 溶接点 ４ ベルト ５ 横線 ６ カメラ １０ ローラ １２ 駆動機構 ２０ 指示機構 ２２ 駆動機構 ５０ ＣＶＤ装置 ５２ ガス燃焼器 ５４ 高温部

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属線からなるベルトを周回させて搬送
   する搬送装置におけるベルト調整装置において、 前記ベルトの画像を取り込む撮像装置と、該撮像装置が
   撮影した画像から前記ベルトの位置を検出する検出手段
   と、前記ベルトの基準位置を記憶する記憶手段と、前記
   検出手段が検出した前記ベルトの位置と前記記憶手段の
   基準位置とを比較し、両者の差を求める比較手段と、基
   準位置との差の比例制御、及び所定周回毎の値の積分制
   御を行なう演算手段と、該演算手段の演算値に基づいて
   前記ベルトの位置を変動させる駆動手段とを備えたこと
   を特徴としたベルト調整装置。
2. 【請求項２】 前記所定周回数を前記ベルトの１周とし
   たことを特徴とする請求項１に記載のベルト調整装置。
3. 【請求項３】 前記取り込む画像は、前記ベルトの端部
   に形成された溶接点であることを特徴とする請求項１又
   は２に記載のベルト調整装置。
4. 【請求項４】 前記駆動手段は、ローラを幅方向に移動
   させることにより前記ベルトの位置を調整することを特
   徴とした請求項１〜３のいずれか１項に記載のベルト調
   整装置。
5. 【請求項５】 前記駆動手段は、ローラの幅方向の中心
   を通る軸周りに該ローラを回動させて前記ベルトの位置
   を調整することを特徴とした請求項１〜４のいずれか１
   項に記載のベルト調整装置。
6. 【請求項６】画像処理して基準位置から求めた差の値が
   予め定められた閾値を超えているときに、前記駆動手段
   を作動させることを特徴とした請求項１〜５のいずれか
   １項に記載のベルト調整装置。
7. 【請求項７】 前記ベルト調整装置は、常圧ＣＶＤ装置
   に設置されたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか
   １項に記載のベルト調整装置。