KR20180059168A - 롤투롤 원자층증착 시스템의 기판 장력 유지 장치 - Google Patents

롤투롤 원자층증착 시스템의 기판 장력 유지 장치 Download PDF

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KR20180059168A
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최경현
양영진
김효태
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제주대학교 산학협력단
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Abstract

기판 장력 유지 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치는 기판을 이송하기 위한 롤과 롤 사이에 배치되어 상기 기판을 지지하는 동시에 내부에 상기 기판과 수직하게 배치되는 복수의 흡입유로가 형성되는 스테이지 및 상기 흡입유로와 연결되어 공기를 흡입함으로써 상기 기판을 상기 스테이지 측으로 흡착하는 흡입구동부를 포함한다.

Description

롤투롤 원자층증착 시스템의 기판 장력 유지 장치{Tension Maintenance Device for Roll-to-Roll ALD System}
본 발명의 기판 장력 유지 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 롤투롤 장치에서 원자층 증착 공정 시 기판의 장력을 유지할 수 있는 기판 장력 유지 장치에 관한 것이다.
최근, 플렉시블 유기발광다이오드(OLED)가 개발됨에 따라 박막봉지 공정에 원자층증착(ALD) 기술이 도입되었다.
유기물 소재인 OLED는 수분과 산소에 취약한 게 단점이다. OLED 소재를 보호하기 위해 얇은 막을 여러 번 덧씌워 수분과 산소로부터 소재를 보호한다. 패널 제조사마다 박막층을 덮는 횟수는 다르지만 유기물 박막과 무기물 박막을 약 3~5회 번갈아 가며 OLED 소재를 덮는 바이텍스(Vitex)사 방식을 사용한다.
일반적으로 무기물 박막 봉지에는 플라즈마화학기상증착(PECVD), 스퍼터링, ALD 기술을 사용할 수 있다. 유기물 박막 증착에는 카티바의 잉크젯 프린팅 기술을 활용한다. 다수의 업체에서는 현재 무기물 박막 형성 공정에 PECVD 기술을 사용한다.
최근 PECVD 대신 ALD 기술을 도입하려는 것은 플렉시블 OLED 수명과 성능을 개선할 필요성이 커졌기 때문이다. 플렉시블 OLED 수요가 커지는데 비해 생산성이 떨어지는 것도 문제다.
디스플레이에 ALD 기술을 적용하면 박막 불순물을 최소화하고 균일한 두께로 박막을 형성할 수 있는 게 강점이다. 양질의 박막을 구현하므로 수분과 산소로부터 OLED 소재를 보호하는 효과가 커진다. 무기물 박막 두께를 서로 다른 나노미터 단위로 구현해 순차적으로 적층하면 총 박막 두께를 최소화하면서 수분투과도(Water Vapor Transmission Rate)를 매우 낮은 수준으로 구현할 수 있다.
박막 조성을 다양하게 구현할 수 있어 기존 CVD 방식의 소재 한계를 극복할 수 있는 것도 장점으로 꼽힌다.
ALD 기술은 화학기상증착 방법 중 하나다. ALD 금속을 포함한 원료와 반응 가스를 교차하며 주입해 원자 단위로 박막을 성장시키는 방식이다. 예를 들면, 제 1 가스 공급, 여분 제거, 제 2 가스 주입, 여분 제거 공정을 일정 주기로 되풀이해 원자층을 한층씩 쌓아서 원하는 두께의 박막을 제조한다.
ALD 기술을 이용하면 균일도가 높은 치밀한 박막을 넓은 면적으로 성장시킬 수 있다. 유기물을 분자층 단위로 성장시키는 분자층증착(MLD) 기술과 함께 사용하면 낮은 온도에서도 다층의 수분?瑗? 투과 방지막을 형성할 수 있다.
하지만, 주입된 가스의 여분을 제거하는 과정에서 흡입력으로 인해 기판이 함께 딸려 올라가 기판의 장력이 저하될 수 있다. 기판의 장력 저하는 OLED의 불량으로 이어질 수 있다.
한국등록특허 10-0640552 한국등록특허 10-1638214
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 다음과 같다.
첫째, 본 발명은 롤투롤 원자층증착 시스템에서 여분의 가스를 제거하는 과정에서 흡입력으로 인해 기판의 장력이 저하되는 것을 방지하며, 이에 따라 OLED의 불량률을 낮출 수 있는 기판 장력 유지 장치를 제공하고자 한다.
둘째, 본 발명은 기판의 온도를 상승시켜 원자 증착이 원활하게 이루어질 수 있는 기판 장력 유지 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치는 스테이지 및 흡입구동부를 포함한다.
상기 스테이지는 기판을 이송하기 위한 롤과 롤 사이에 배치되어 상기 기판을 지지하는 동시에, 내부에 상기 기판과 수직하게 배치되는 복수의 흡입유로가 형성된다.
상기 흡입구동부는 상기 흡입유로와 연결되어 공기를 흡입함으로써 상기 기판을 상기 스테이지 측으로 흡착한다.
또한, 본 실시예의 기판 장력 유지 장치는 상기 롤과 평행하도록 상기 스테이지의 양 측에 배치되며 상기 롤과 동일한 방향으로 회전하는 한 쌍의 구동롤러 및 한 쌍의 상기 구동롤러를 외측에서 동시에 감싸도록 구비되어 상기 구동롤러의 회전에 의해 함께 회전하여 상기 기판을 일측으로 이송하는 궤도형 벨트를 더 포함할 수 있다.
상기 궤도형 벨트에는 복수의 관통홀이 형성되며, 복수의 상기 관통홀은 상기 궤도형 벨트의 회전에 따라 상기 흡입구와 순차적으로 연통될 수 있다.
상기 관통홀은 상기 흡입구보다 크게 형성되어 상기 흡입구와 연통되는 시간을 연장할 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치는 하나 이상의 구동롤러 및 흡입구동부를 포함한다.
상기 구동롤러는 기판을 이송하기 위한 롤과 롤 사이에 상기 롤과 평행하게 배치되어 상기 롤과 동일한 방향으로 회전하여 상기 기판을 일측으로 이송하며, 내부에는 상기 기판 측으로부터 공기를 흡입하기 위한 복수의 유로가 형성가 형성된다.
상기 흡입구동부는 상기 유로와 연결되어 상기 유로를 통하여 공기를 흡입한다.
여기서, 상기 구동롤러는 회전부와 고정부를 포함할 수 있다.
상기 회전부는 상기 롤과 동일한 방향으로 회전하며, 반지름 방향 일정 각도 이격되는 동시에 길이 방향을 따라 일정 간격 이격되는 복수의 관통홀이 형성될 수 있다.
상기 고정부는 상기 회전부의 중심에 위치하여 회전이 구속된 상태이며, 내부에는 길이 방향으로 형성되어 상기 흡입구동부와 연결되는 메인유로 및 서로 일정 간격 이격되도록 상기 메인유로로부터 분지되어 상기 기판을 향하는 방향으로 연장되는 복수의 흡입유로가 형성될 수 있다.
이로써, 상기 고정부를 중심으로 상기 회전부가 회전함에 따라 복수의 상기 관통홀이 상기 흡입유로와 순차적으로 연통되어 상기 기판에 흡입력을 제공할 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예 및 다른 실시예의 상기 스테이지 또는 상기 구동롤러는 상기 기판의 온도를 상승시킬 수 있도록 히팅 기능을 가질 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.
첫째, 본 발명의 실시예들에 따른 롤추롤 원자층증착 시스템의 기판 장력 유지 장치에 의하면 여분의 가스 제거 시 헤드로부터 기판에 가해지는 흡입력만큼 기판의 하부에서 동일한 흡입력을 가하여 기판이 헤드 측으로 들리는 것을 방지하여 기판의 장력을 유지할 수 있다.
둘째, 본 발명의 실시예들에 따른 기판 장력 유지 장치에 의하면 스테이지 또는 구동롤러의 내부에 히팅부가 구비되어 기판의 온도를 상승시킴으로써, 원자의 증착이 보다 원활하게 이루어질 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
아래에서 설명하는 본 출원의 바람직한 실시예의 상세한 설명뿐만 아니라 위에서 설명한 요약은 첨부된 도면과 관련해서 읽을 때에 더 잘 이해될 수 있을 것이다. 본 발명을 예시하기 위한 목적으로 도면에는 바람직한 실시예들이 도시되어 있다. 그러나, 본 출원은 도시된 정확한 배치와 수단에 한정되는 것이 아님을 이해해야 한다.
도 1은 일반적인 원자층흡착을 위한 ALD 헤드를 나타내는 도면;
도 2는 종래의 롤투롤 원자층증착 시스템을 나타내는 도면;
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치가 적용된 롤투롤 원자층증착 시스템을 나타내는 도면;
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치가 적용된 롤투롤 원자층증착 시스템을 나타내는 도면; 및
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치의 구동롤러를 나타내는 도면이다.
이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 첨부된 도면은 본 발명의 내용을 보다 쉽게 개시하기 위하여 설명되는 것일 뿐, 본 발명의 범위가 첨부된 도면의 범위로 한정되는 것이 아님은 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 알 수 있을 것이다.
그리고, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 동일 기능을 갖는 구성요소에 대해서는 동일 명칭 및 동일부호를 사용할 뿐 실질적으론 종래기술의 구성요소와 완전히 동일하지 않음을 미리 밝힌다.
또한, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명을 설명하기에 앞서, 원자층 증착(ALD)에 대하여 설명하면, ALD 기술은 화학기상증착 방법 중 하나다. ALD 금속을 포함한 원료와 반응 가스를 교차하며 주입해 원자 단위로 박막을 성장시키는 방식이다.
도 1은 일반적인 원자층흡착을 위한 ALD 헤드를 나타내는 도면이다.
예를 들면, 원자층 증착(ALD)은 도 2에 도시된 바와 같이 ALD 헤드(20)에 형성된 첫 번째 슬릿(22)을 통해 먼저 질소(N2)를 공급하여 기판(10) 표면에 흡착시키고, 두 번째 슬릿(24)을 통해 여분의 질소(N2)를 흡입하여 제거한다. 그리고, 세 번째 슬릿(26)을 통하여 수증기(H2O)를 공급하여 기판(10)에 증착된 질소와 반응하도록 한다. 그리고, 네 번째 슬릿(28)을 통하여 여분의 수증기와 반응되고 남은 가스를 흡입한다. 이와 같이 가스의 공급과 여분가스의 흡입을 일정 주기로 되풀이하여 원자층을 한 층씩 쌓아 원하는 두께의 박막을 제조한다.
도 2는 종래의 롤투롤 원자층증착 시스템을 나타내는 도면이다.
이 때, 도 2에 도시된 바와 같이 공급된 가스의 여분을 제거하는 과정에서 흡입력으로 인해 기판(10)이 함께 딸려 올라가 기판(10)의 장력이 저하될 수 있다. 기판(10)의 장력 저하는 OLED의 불량으로 이어질 수 있다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 기판 장력 유지 장치에 관한 것이다.
이하, 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치에 대하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치가 적용된 롤투롤 원자층증착 시스템을 나타내는 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치는 한 쌍의 구동롤러(112, 114), 궤도형 벨트(120), 스테이지(130) 및 흡입구동부(140)를 포함한다.
본 실시예의 기판 장력 유지 장치는 기판(10)을 이송시키는 롤과 롤(32, 34) 사이에 배치되어 롤(32, 34)을 보조하여 기판(10)을 이송시키는 역할을 하는 동시에, 기판(10)의 장력을 유지하는 역할을 할 수 있다.
이를 위하여, 본 실시예의 기판 장력 유지 장치는 롤과 롤(32, 34) 사이에 롤(32, 34)과 형행하게 배치되어 롤(32, 34)과 동일한 방향으로 회전하는 한 쌍의 구동롤러(112, 114)가 마련될 수 있다. 한 쌍의 구동롤러(112, 114)는 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
그리고, 궤도형 벨트(120)가 한 쌍의 구동롤러(112, 114)의 외측에서 한 쌍의 구동롤러(112, 114)를 동시에 감씨도록 구비되어 구동롤러(112, 114)의 회전에 따라 함께 회전할 수 있다. 즉, 궤도형 벨트(120)는 컨베이어 벨트의 역할을 하는 보조 이송 장치로서, 궤도형 벨트(120)와 기판(10)의 저면이 접하여 마찰력에 의해 기판(10)이 일측으로 이송될 수 있다.
한 쌍의 구동롤러(112, 114) 사이에는 스테이지(130)가 마련될 수 있다. 스테이지(130)는 궤도형 벨트(120)의 내부에서 궤도형 벨트(120)를 지지하는 동시에, 기판(10) 측으로부터 공기를 흡입할 수 있다. 이를 위하여, 스테이지(130)에는 기판(10)과 수직하게 배치되는 복수의 흡입유로(132)가 형성될 수 있다. 흡입유로(132)는 서로 일정 간격 이격되며, 스테이지(130)의 내부로부터 스테이지(130)의 상면까지 연장될 수 있다.
그리고, 복수의 흡입유로(132)에는 공기를 흡입하는 장치인 흡입구동부(140)가 연결될 수 있다. 흡입구동부(140)는 흡입유로(132)를 통하여 기판(10) 측으로부터 공기를 흡입하여 타측으로 배출하는 장치로서, 기판(10) 측으로부터 공기를 흡입함으로써 기판(10)을 스테이지(130) 측으로 흡착시킬 수 있다.
이로써, ALD 헤드(20)에 형성된 슬릿으로부터 기판(10)의 상부에 발생하는 흡입력을 기판(10)의 하부에서 보상하여 기판(10)이 ALD 헤드(20) 측으로 들리는 것을 방지하여 기판(10)의 장력을 유지할 수 있다. 따라서, 기판(10)이 장력을 잃음으로써 발생되는 불량을 최소화할 수 있다.
본 실시예의 도면에서는 흡입구동부(140)가 스테이지(130)의 외부에 마련되는 것을 예로 들어 도시하였으나, 흡입구동부(140)는 스테이지(130)의 내부에 마련될 수도 있다. 이 경우, 흡입 구동부는 기판(10) 측으로부터 공기를 흡입하여 구동롤러(112, 114)의 회전축과 평행한 방향으로 공기를 배출할 수 있다.
흡입구동부(140)의 흡입력이 기판(10)까지 도달하기 위하여 궤도형 벨트(120)에는 전체에 걸쳐 복수 개의 관통홀(122)이 형성될 수 있다. 복수의 관통홀(122)은 서로 일정 간격 이격되도록 형성될 수 있다. 보다 상세하게는, 상호 인접한 관통홀(122)의 중심 사이의 간격은 상호 인접한 흡입유로(132)의 중심축 사이의 거리와 일치할 수 있다. 이로써, 궤도형 벨트(120)의 회전에 따라 관통홀(122)이 흡입유로(132)와 순차적으로 연통될 수 있다.
여기서, 관통홀(122)은 흡입유로(132)의 단면보다 크게 형성될 수 있다. 이로써, 관통홀(122)이 흡입유로(132)와 연통되는 시간을 연장하며, 이에 따라 기판(10)에 흡입력을 가하는 시간을 연장할 수 있다. 예를 들면, 관통홀(122)의 직경이 흡입유로(132)의 직경보다 크게 형성될 수도 있다. 또는, 관통홀(122)이 복수의 흡입유로(132)와 동시에 연통되도록 궤도형 벨트(120)의 이동 방향을 따라 길게 형성될 수도 있다.
한편, 스테이지(130)의 내부에는 히팅부(134)가 마련될 수 있다. 예를 들면, 히팅부(134)로는 열선이 적용될 수 있다. 스테이지(130)가 히팅 기능을 가짐으로써 기판(10)이 가열될 수 있다. 증착을 위한 기판(10)의 적정 온도는 70° 내지 100° 정도이다. 그러나, ALD 헤드(20)의 흡입에 따라 기판(10)의 열이 빼앗길 수 있다. 따라서, 스테이지(130)에 의해 기판(10)이 가열되어 보다 효율적으로 증착이 이루어질 수 있으며, 이에 따라 불량률을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
이상으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치에 대하여 설명하였다.
이하, 도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치에 대하여 설명한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치가 적용된 롤투롤 원자층증착 시스템을 나타내는 도면이고, 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치의 구동롤러를 나타내는 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치는 복수의 구동롤러(210) 및 흡입구동부(220)를 포함한다.
구동롤러(210)는 기판(10)을 이송하기 위한 롤과 롤(32, 34) 사이에 롤(32, 34)과 평행하게 배치될 수 있다. 그리고, 롤(32, 34)과 동일한 방향으로 회전하여 구동롤러(210)와 기판(10)의 마찰에 의해 기판(10)을 일측으로 이송하는 보조 이송장치의 역할을 할 수 있다. 여기서, 기판(10)과의 마찰을 높이기 위하여 구동롤러(210)의 표면은 고무나 실리콘 등의 마찰력이 높은 소재로 코팅될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서 구동롤러(210)는 회전부(212)와 고정부(215)를 포함할 수 있다.
회전부(212)는 고정부(215)의 외측에 위치하여 롤(32, 34)과 동일한 방향으로 회전하며, 회전부(212)에는 반지름 방향으로 복수의 관통홀(213)이 형성될 수 있다. 복수의 관통홀(213)은 반지름 방향으로 일정 각도 이격될 수 있다. 또한, 복수의 관통홀(213)은 회전부(212)의 길이 방향으로도 일정 간격 이격될 수 있다.
즉, 회전부(212)의 수직단면 상에서는 관통홀(213)이 일정 각도 이격되도록 방사형으로 형성되며, 회전부(212)의 수평단면 상에서는 관통홀(213)이 회전부(212)의 길이 방향을 따라 일정 간격 이격되도록 형성될 수 있다.
고정부(215)는 회전부(212)의 내측 코어 부분에 위치하며, 회전이 구속된 상태이다. 즉, 고정부(215)는 고정된 상태에서 고정부(215)의 외측에 위치하는 회전부(212)만 회전할 수 있다. 고정부(215)의 내부에는 고정부(215)의 길이 방향을 따라 메인유로(216)가 형성되고, 메인유로(216)로부터 일정 간격 이격되도록 분지되어 기판(10)을 향하는 방향으로 연장되는 복수의 흡입유로(217)가 형성될 수 있다.
따라서, 회전부(212)의 회전에 따라 기판(10)과 수직하게 배치되는 관통홀(213)이 흡입유로(217)와 순차적으로 연통될 수 있다.
한편, 흡입구동부(220)는 메인유로(216)와 연결되어 흡입유로(217) 및 관통홀(213)을 통하여 기판(10) 측으로부터 공기를 흡입할 수 있다. 본 실시예의 도면에서는 흡입구동부(220)가 구동롤러(210)의 외부에 마련되는 것을 예로 들어 도시하였으나, 흡입구동부(220)는 구동롤러(210)의 내부에 마련될 수도 있다. 이 경우, 흡입 구동부는 기판(10) 측으로부터 공기를 흡입하여 구동롤러(210)의 회전축과 평행한 방향으로 공기를 배출할 수 있다.
이로써, ALD 헤드(20)에 형성된 슬릿으로부터 기판(10)의 상부에 발생하는 흡입력을 기판(10)의 하부에서 보상하여 기판(10)이 ALD 헤드(20) 측으로 들리는 것을 방지하여 기판(10)의 장력을 유지할 수 있다. 따라서, 기판(10)이 장력을 잃음으로써 발생되는 불량을 최소화할 수 있다.
한편, 구동롤러(210)의 내부에는 히팅부(219)가 마련될 수 있다. 예를 들면, 히팅부(219)로는 열선이 적용될 수 있다. 구동롤러(210)가 히팅 기능을 가짐으로써 기판(10)이 가열될 수 있다. 증착을 위한 기판(10)의 적정 온도는 70° 내지 100° 정도이다. 그러나, ALD 헤드(20)의 흡입에 따라 기판(10)의 열이 빼앗길 수 있다. 따라서, 구동롤러(210)에 의해 기판(10)이 가열되어 보다 효율적으로 증착이 이루어질 수 있으며, 이에 따라 불량률을 최소화할 수 있는 장점이 있다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 장력 유지 장치에 대하여 설명하였다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
10: 기판 20: ALD 헤드
22, 24, 26, 28: 슬릿 32, 34: 롤
112, 114: 구동롤러 120: 궤도형 벨트
122: 관통홀 130: 스테이지
132: 흡입유로 134: 히팅부
140: 흡입구동부 210: 구동롤러
212: 회전부 213: 관통홀
215: 고정부 216: 메인유로
217: 흡입유로 219: 히팅부
220: 흡입구동부

Claims (7)

  1. 기판을 이송하기 위한 롤과 롤 사이에 배치되어 상기 기판을 지지하는 동시에, 내부에 상기 기판과 수직하게 배치되는 복수의 흡입유로가 형성되는 스테이지; 및
    상기 흡입유로와 연결되어 공기를 흡입함으로써 상기 기판을 상기 스테이지 측으로 흡착하는 흡입구동부;
    를 포함하는 기판 장력 유지 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 롤과 평행하도록 상기 스테이지의 양 측에 배치되며, 상기 롤과 동일한 방향으로 회전하는 한 쌍의 구동롤러;
    한 쌍의 상기 구동롤러를 외측에서 동시에 감싸도록 구비되어 상기 구동롤러의 회전에 의해 함께 회전하여 상기 기판을 일측으로 이송하는 궤도형 벨트;
    를 더 포함하는 기판 장력 유지 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 궤도형 벨트에는 복수의 관통홀이 형성되며,
    복수의 상기 관통홀은 상기 궤도형 벨트의 회전에 따라 상기 흡입유로와 순차적으로 연통되는 기판 장력 유지 장치.
  4. 제 3항에 있어서.
    상기 관통홀은,
    상기 흡입유로의 단면보다 크게 형성되어 상기 흡입유로와 연통되는 시간을 연장할 수 있는 기판 장력 유지 장치.
  5. 기판을 이송하기 위한 롤과 롤 사이에 상기 롤과 평행하게 배치되어 상기 롤과 동일한 방향으로 회전하여 상기 기판을 일측으로 이송하며, 내부에는 상기 기판 측으로부터 공기를 흡입하기 위한 복수의 유로가 형성되는 하나 이상의 구동롤러; 및
    상기 유로와 연결되어 상기 유로를 통하여 공기를 흡입하는 흡입구동부;
    를 포함하는 기판 장력 유지 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 구동롤러는,
    상기 롤과 동일한 방향으로 회전하며, 반지름 방향 일정 각도 이격되는 동시에 길이 방향을 따라 일정 간격 이격되는 복수의 관통홀이 형성되는 회전부; 및
    상기 회전부의 중심에 위치하여 회전이 구속된 상태이며, 내부에는 길이 방향으로 형성되어 상기 흡입구동부와 연결되는 메인유로 및 서로 일정 간격 이격되도록 상기 메인유로로부터 분지되어 상기 기판을 향하는 방향으로 연장되는 복수의 흡입유로가 형성되는 고정부;
    를 포함하여, 상기 고정부를 중심으로 상기 회전부가 회전함에 따라 복수의 상기 관통홀이 상기 흡입유로와 순차적으로 연통되어 상기 기판에 흡입력을 제공하는 기판 장력 유지 장치.
  7. 제 1항 또는 제 5항에 있어서,
    상기 스테이지 또는 상기 구동롤러는,
    상기 기판의 온도를 상승시킬 수 있도록 히팅 기능을 가지는 기판 장력 유지 장치.
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