JP2000151074A - 薄板基板の液体レジスト塗布方法 - Google Patents
薄板基板の液体レジスト塗布方法Info
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- JP2000151074A JP2000151074A JP10326551A JP32655198A JP2000151074A JP 2000151074 A JP2000151074 A JP 2000151074A JP 10326551 A JP10326551 A JP 10326551A JP 32655198 A JP32655198 A JP 32655198A JP 2000151074 A JP2000151074 A JP 2000151074A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】印刷配線板の薄板基板のカーテンコーターによ
る液体レジスト塗布方法を提供する。 【解決手段】搬送ベルトで搬送して液体レジストのカー
テン膜を通過させて薄板基板６に液体レジストを塗布す
るカーテンコーターによる液体レジスト塗布方法におい
て、前記搬送ベルト（前部搬送ベルト１）進行方向の前
記薄板基板６の両端に真空吸着用の弾性体枠１０を設
け、該弾性体を前記搬送ベルト（前部搬送ベルト１、後
部搬送ベルト２）に設けた穴７を介して真空吸着して前
記搬送ベルトに薄板基板６を固定して搬送し液体レジス
トを薄板基板６に塗布する。
る液体レジスト塗布方法を提供する。 【解決手段】搬送ベルトで搬送して液体レジストのカー
テン膜を通過させて薄板基板６に液体レジストを塗布す
るカーテンコーターによる液体レジスト塗布方法におい
て、前記搬送ベルト（前部搬送ベルト１）進行方向の前
記薄板基板６の両端に真空吸着用の弾性体枠１０を設
け、該弾性体を前記搬送ベルト（前部搬送ベルト１、後
部搬送ベルト２）に設けた穴７を介して真空吸着して前
記搬送ベルトに薄板基板６を固定して搬送し液体レジス
トを薄板基板６に塗布する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、印刷配線板等の薄
板基板の液体レジスト塗布方法に関するものである。
板基板の液体レジスト塗布方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近の半導体装置の高密度化に伴い、そ
れらを実装する印刷配線板も高密度化が進展しており、
多層の印刷配線板に使用される内層板の板厚と多層印刷
配線板の板厚は、益々薄くなっている。内層板の回路形
成や印刷配線板のソルダーレジスト形成工程における感
光性の液体レジストの塗布方法としては、カーテンコー
ターによる方法が広く使用されている。
れらを実装する印刷配線板も高密度化が進展しており、
多層の印刷配線板に使用される内層板の板厚と多層印刷
配線板の板厚は、益々薄くなっている。内層板の回路形
成や印刷配線板のソルダーレジスト形成工程における感
光性の液体レジストの塗布方法としては、カーテンコー
ターによる方法が広く使用されている。
【０００３】図３は、従来のカーテンコーターによる印
刷配線板のレジスト塗布方法を説明するためのカーテン
コーターの概略斜視図である。
刷配線板のレジスト塗布方法を説明するためのカーテン
コーターの概略斜視図である。
【０００４】カーテンコーターは、前部搬送ベルト１及
び後部搬送ベルト２と搬送速度を低速から高速に切り替
える速度切り替えセンサーＡ３及び高速から低速に切り
替える速度切り替えセンサーＢ４とカーテン膜を形成す
るカーテンヘッド５ａから構成されている。前工程より
送られてきた基板６ａは前工程と等速（低速）の前部搬
送ベルト１に乗り移る。その状態で搬送を継続し速度切
り替えセンサーＡ３に到達した時点で前部搬送ベルト１
は低速から高速に切り替わり、薄板基板６はカーテンヘ
ッド５ａを通過し、ここでインク塗布処理を行う。前部
搬送ベルト１及び後部搬送ベルト２はカーテンヘッド５
ａを境にそれぞれ独立しているが駆動源を同じとしてい
るため同期運動している。その後、後部搬送ベルト２に
移り基板６ａが速度切り替えセンサーＢ４に到達した時
点で、搬送速度は高速から低速に切り替わりその速度で
次工程へ基板６ａが搬送される。
び後部搬送ベルト２と搬送速度を低速から高速に切り替
える速度切り替えセンサーＡ３及び高速から低速に切り
替える速度切り替えセンサーＢ４とカーテン膜を形成す
るカーテンヘッド５ａから構成されている。前工程より
送られてきた基板６ａは前工程と等速（低速）の前部搬
送ベルト１に乗り移る。その状態で搬送を継続し速度切
り替えセンサーＡ３に到達した時点で前部搬送ベルト１
は低速から高速に切り替わり、薄板基板６はカーテンヘ
ッド５ａを通過し、ここでインク塗布処理を行う。前部
搬送ベルト１及び後部搬送ベルト２はカーテンヘッド５
ａを境にそれぞれ独立しているが駆動源を同じとしてい
るため同期運動している。その後、後部搬送ベルト２に
移り基板６ａが速度切り替えセンサーＢ４に到達した時
点で、搬送速度は高速から低速に切り替わりその速度で
次工程へ基板６ａが搬送される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来のカーテンコ
ーターによるレジスト塗布方法で薄板基板にレジストを
塗布する場合には、搬送中に薄板基板が上下方向にバタ
ツキを生じたり反ったりして塗布仕上がりにばらつきが
生じる問題があった。また、レジストの塗布厚を薄化す
るために高速搬送を行った場合、薄板基板が浮き上がり
飛んでしまうためにレジストの薄塗りに限界があるとい
う欠点があった。基板の浮き上がりを防止する方法が、
特開平７−２８３５１７号公報や特開平５−３３７４２
２号公報に開示されている。
ーターによるレジスト塗布方法で薄板基板にレジストを
塗布する場合には、搬送中に薄板基板が上下方向にバタ
ツキを生じたり反ったりして塗布仕上がりにばらつきが
生じる問題があった。また、レジストの塗布厚を薄化す
るために高速搬送を行った場合、薄板基板が浮き上がり
飛んでしまうためにレジストの薄塗りに限界があるとい
う欠点があった。基板の浮き上がりを防止する方法が、
特開平７−２８３５１７号公報や特開平５−３３７４２
２号公報に開示されている。
【０００６】特開平７−２８３５１７号公報（以下、従
来の第１の技術）では、図３のようにカーテンコーター
は、前部搬送ベルト１と、後部搬送ベルト２と、それら
の搬送ベルトの中間に配置されレジスト材料が供給され
てレジストのカーテン膜を形成するカーテンヘッド５ａ
とから構成され、前部搬送ベルトを傾斜させて薄板基板
がカーテン膜を高速で横切る時に舞うことを抑制してい
る。
来の第１の技術）では、図３のようにカーテンコーター
は、前部搬送ベルト１と、後部搬送ベルト２と、それら
の搬送ベルトの中間に配置されレジスト材料が供給され
てレジストのカーテン膜を形成するカーテンヘッド５ａ
とから構成され、前部搬送ベルトを傾斜させて薄板基板
がカーテン膜を高速で横切る時に舞うことを抑制してい
る。
【０００７】特開平５−３３７４２２号公報（以下、従
来の第２の技術）では図４のように搬送コンベアに基板
６ａを固定するグリップ３０を設けて基板６ａの舞い上
がりを防止している。
来の第２の技術）では図４のように搬送コンベアに基板
６ａを固定するグリップ３０を設けて基板６ａの舞い上
がりを防止している。
【０００８】上記の従来の第１の技術では、高速で移動
する基板の舞い上がりを防止するために、前部搬送ベル
ト１がカーテン膜と鈍角になるように前部搬送ベルト１
を傾斜させているが、基板の板厚が薄化傾向にあること
から、この方法では、薄板基板を搬送中に該基板の浮き
上がりや、反りを防止することができなくなっており、
レジストの塗布仕上がりにばらつきが生じている。
する基板の舞い上がりを防止するために、前部搬送ベル
ト１がカーテン膜と鈍角になるように前部搬送ベルト１
を傾斜させているが、基板の板厚が薄化傾向にあること
から、この方法では、薄板基板を搬送中に該基板の浮き
上がりや、反りを防止することができなくなっており、
レジストの塗布仕上がりにばらつきが生じている。
【０００９】上記の従来第２の技術でも基板の厚さが薄
い薄板基板の場合には基板の固定が十分でなく、基板が
搬送中に飛ぶ問題があり、またグリップ３０の位置が固
定されるために基板のサイズが限定され汎用性に欠けて
いる問題があった。
い薄板基板の場合には基板の固定が十分でなく、基板が
搬送中に飛ぶ問題があり、またグリップ３０の位置が固
定されるために基板のサイズが限定され汎用性に欠けて
いる問題があった。
【００１０】従来のカーテンコーターを使用した液体レ
ジストの塗布方法の他の問題点は、時間とともにレジス
ト中の揮発成分の揮発によってレジストの粘度が変化
し、基板へのレジストの塗布厚が変化することである。
ジストの塗布方法の他の問題点は、時間とともにレジス
ト中の揮発成分の揮発によってレジストの粘度が変化
し、基板へのレジストの塗布厚が変化することである。
【００１１】本発明の目的は、上記の従来技術のカーテ
ンコーターを使用した印刷配線板のレジスト塗布方法の
欠点を解決したレジストの塗布方法を提供するものであ
る。
ンコーターを使用した印刷配線板のレジスト塗布方法の
欠点を解決したレジストの塗布方法を提供するものであ
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、搬送ベルトで
搬送して液体レジストのカーテン膜を通過させて印刷配
線板等の薄板基板に液体レジストを塗布する方法におい
て、前記搬送ベルト進行方向の前記薄板の両端に真空吸
着用の弾性体枠を設け、該弾性体を真空吸着して前記搬
送ベルトに前記薄板基板を固定して搬送し前記液体レジ
ストを前記薄板基板に塗布することを特徴とする。
搬送して液体レジストのカーテン膜を通過させて印刷配
線板等の薄板基板に液体レジストを塗布する方法におい
て、前記搬送ベルト進行方向の前記薄板の両端に真空吸
着用の弾性体枠を設け、該弾性体を真空吸着して前記搬
送ベルトに前記薄板基板を固定して搬送し前記液体レジ
ストを前記薄板基板に塗布することを特徴とする。
【００１３】前記弾性体枠の材料としてフッ素樹脂また
はシリコーン樹脂を使用することができる。前記弾性体
枠の表面には前記液体レジストの塗布厚さ測定用の電極
部を設け、定期的に液体レジストの塗布厚さを測定する
ようにすることができる。
はシリコーン樹脂を使用することができる。前記弾性体
枠の表面には前記液体レジストの塗布厚さ測定用の電極
部を設け、定期的に液体レジストの塗布厚さを測定する
ようにすることができる。
【００１４】前記液体レジストの前記カーテン膜の形成
装置には前記液体レジストの粘度を自動測定し、前記搬
送ベルトの搬送速度を自動調節する手段を設けることが
できる。
装置には前記液体レジストの粘度を自動測定し、前記搬
送ベルトの搬送速度を自動調節する手段を設けることが
できる。
【００１５】本発明では、薄板基板の両端に真空吸着用
の弾性体の枠を設け搬送ベルトに薄板基板を真空吸着で
固定するために液体レジストのカーテンコートによる塗
布時に薄板基板の浮き上がりや変形を防止でき、薄板基
板に液体レジストを安定して塗布できる。
の弾性体の枠を設け搬送ベルトに薄板基板を真空吸着で
固定するために液体レジストのカーテンコートによる塗
布時に薄板基板の浮き上がりや変形を防止でき、薄板基
板に液体レジストを安定して塗布できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の薄板基板の
液体レジストの塗布方法について図面を参照して説明す
る。液体レジストの塗布としてはエッチングレジストや
ソルダーレジストの塗布に適用できるが、ここではエッ
チングレジスト形成用の液体レジストを塗布する場合に
ついて説明する。
液体レジストの塗布方法について図面を参照して説明す
る。液体レジストの塗布としてはエッチングレジストや
ソルダーレジストの塗布に適用できるが、ここではエッ
チングレジスト形成用の液体レジストを塗布する場合に
ついて説明する。
【００１７】図１は本発明の第１の実施の形態の薄板基
板の液体レジスト塗布方法を説明するためのカーテンコ
ーターの概略斜視図である。図中、符号１は、前部搬送
ベルト、符号２は後部搬送ベルト、符号３は前部搬送ベ
ルト１の空隙部分に設置され、薄板基板６が前部搬送ベ
ルトに移送されてきたのを感知し、薄板基板６の搬送速
度を低速から高速に切り替える速度切り替えセンサー
Ａ、符号４は薄板基板６が後部搬送ベルトに移送されて
きたのを感知し、薄板基板６の搬送速度を高速から低速
に切り替える速度切り替えセンサーＢを示す。また、符
号５は液体レジストのカーテン膜形成装置、５ａはカー
テンヘッド、符号７は前部搬送ベルト１および後部搬送
ベルト２に設けられ薄板基板６を真空吸着して搬送ベル
トに固定するための穴を示す。
板の液体レジスト塗布方法を説明するためのカーテンコ
ーターの概略斜視図である。図中、符号１は、前部搬送
ベルト、符号２は後部搬送ベルト、符号３は前部搬送ベ
ルト１の空隙部分に設置され、薄板基板６が前部搬送ベ
ルトに移送されてきたのを感知し、薄板基板６の搬送速
度を低速から高速に切り替える速度切り替えセンサー
Ａ、符号４は薄板基板６が後部搬送ベルトに移送されて
きたのを感知し、薄板基板６の搬送速度を高速から低速
に切り替える速度切り替えセンサーＢを示す。また、符
号５は液体レジストのカーテン膜形成装置、５ａはカー
テンヘッド、符号７は前部搬送ベルト１および後部搬送
ベルト２に設けられ薄板基板６を真空吸着して搬送ベル
トに固定するための穴を示す。
【００１８】図１のカーテンコーターの液体レジストの
カーテン膜形成装置５には液体レジストの粘度を測定
し、その測定結果を搬送ベルトの速度調節機構（表示し
ていない）にフィードバックする粘度測定手段（表示し
ていない）が設けられている。次に、図１のカーテンコ
ーターを使用した薄板基板６の液体レジストの塗布方法
について詳細に説明する。 （１）薄板基板への弾性体枠のセット まず、薄板基板を搬送ベルトで移送中に薄板基板を真空
吸着で搬送ベルトに固定するための弾性体枠１０を薄板
基板６の両端にセットする。弾性体枠１０の材料として
はフッ素樹脂やシリコーン樹脂が適しており、これらの
材料の粘着テープや薄板基板を挟持できるようにこれら
の材料の成形体を使用できる。 （２）液体レジストの粘度と塗布厚さの関係の測定 液体レジストをある一定厚さに塗布する場合、液体レジ
ストの循環速度を一定にすれば粘度の値（η）と搬送速
度（ｖ）との関係は次の近似式で表される。
カーテン膜形成装置５には液体レジストの粘度を測定
し、その測定結果を搬送ベルトの速度調節機構（表示し
ていない）にフィードバックする粘度測定手段（表示し
ていない）が設けられている。次に、図１のカーテンコ
ーターを使用した薄板基板６の液体レジストの塗布方法
について詳細に説明する。 （１）薄板基板への弾性体枠のセット まず、薄板基板を搬送ベルトで移送中に薄板基板を真空
吸着で搬送ベルトに固定するための弾性体枠１０を薄板
基板６の両端にセットする。弾性体枠１０の材料として
はフッ素樹脂やシリコーン樹脂が適しており、これらの
材料の粘着テープや薄板基板を挟持できるようにこれら
の材料の成形体を使用できる。 （２）液体レジストの粘度と塗布厚さの関係の測定 液体レジストをある一定厚さに塗布する場合、液体レジ
ストの循環速度を一定にすれば粘度の値（η）と搬送速
度（ｖ）との関係は次の近似式で表される。
【００１９】η／ｖ＝ｋ・・・・・（１） 但し、ｋは液体レジストの循環速度、膜厚等で決定され
る定数である。カーテン膜形成装置５で測定した液体レ
ジストの粘度の値（η）と予め上記（１）式で求めた搬
送速度（ｖ）の関係から搬送ベルトの速度調節機構で搬
送ベルトの搬送速度を自動調節することによって安定し
た膜厚で液体レジストを塗布することができる。カーテ
ン膜形成装置５には、粘度を調節するための液体レジス
ト用希釈剤添加手段を備えることもできる。 （３）薄板基板への液体レジストの塗布 弾性体枠１０がセットされた薄板基板６が前工程から前
部搬送ベルト１に移送される。薄板基板６にセットされ
た弾性枠１０がちょうど接触する前部搬送ベルト１位置
に設けられた穴７を通じて薄板基板６の弾性枠１０部を
真空吸着して前部搬送ベルト１に薄板基板が固定され
る。薄板基板６が速度切り替えセンサーＡ３に到達した
時点で前部搬送ベルト１は低速から高速に切り替わり、
薄板基板６はカーテンヘッド５ａ部に形成された液体レ
ジストのカーテン膜を高速で横切り、薄板基板６の表面
には液体レジストが塗布される。前部搬送ベルト１及び
後部搬送ベルト２はカーテンヘッド５ａを境にそれぞれ
独立しているが、駆動源を同じとしているため同期運動
している。薄板基板６はカーテンヘッド５ａを通過する
際、先端部より徐々に一旦吸着が解除されるが、後部搬
送ベルト２に到達した際再び後部搬送ベルト２側の穴７
を通じて真空吸着されて後部搬送ベルトに固定される。
その後、薄板基板６が速度切り替えセンサーＢ４に到達
した時点で搬送速度は高速から低速に切り替わり、その
速度で次工程へ薄板基板６が搬送される。
る定数である。カーテン膜形成装置５で測定した液体レ
ジストの粘度の値（η）と予め上記（１）式で求めた搬
送速度（ｖ）の関係から搬送ベルトの速度調節機構で搬
送ベルトの搬送速度を自動調節することによって安定し
た膜厚で液体レジストを塗布することができる。カーテ
ン膜形成装置５には、粘度を調節するための液体レジス
ト用希釈剤添加手段を備えることもできる。 （３）薄板基板への液体レジストの塗布 弾性体枠１０がセットされた薄板基板６が前工程から前
部搬送ベルト１に移送される。薄板基板６にセットされ
た弾性枠１０がちょうど接触する前部搬送ベルト１位置
に設けられた穴７を通じて薄板基板６の弾性枠１０部を
真空吸着して前部搬送ベルト１に薄板基板が固定され
る。薄板基板６が速度切り替えセンサーＡ３に到達した
時点で前部搬送ベルト１は低速から高速に切り替わり、
薄板基板６はカーテンヘッド５ａ部に形成された液体レ
ジストのカーテン膜を高速で横切り、薄板基板６の表面
には液体レジストが塗布される。前部搬送ベルト１及び
後部搬送ベルト２はカーテンヘッド５ａを境にそれぞれ
独立しているが、駆動源を同じとしているため同期運動
している。薄板基板６はカーテンヘッド５ａを通過する
際、先端部より徐々に一旦吸着が解除されるが、後部搬
送ベルト２に到達した際再び後部搬送ベルト２側の穴７
を通じて真空吸着されて後部搬送ベルトに固定される。
その後、薄板基板６が速度切り替えセンサーＢ４に到達
した時点で搬送速度は高速から低速に切り替わり、その
速度で次工程へ薄板基板６が搬送される。
【００２０】カーテン膜形成装置５に設けられた粘度測
定手段によって測定された液体レジストの粘度の値が搬
送ベルトの速度調節機構にフィードバックされ、上記
（１）式の関係とによって前部搬送ベルトの送り速度
（高速）が調節され、液体レジストの塗布膜厚をある規
定範囲に管理できる。
定手段によって測定された液体レジストの粘度の値が搬
送ベルトの速度調節機構にフィードバックされ、上記
（１）式の関係とによって前部搬送ベルトの送り速度
（高速）が調節され、液体レジストの塗布膜厚をある規
定範囲に管理できる。
【００２１】次に本発明の第２の実施の形態の薄板基板
の液体レジスト塗布方法について説明する。本実施の形
態では、上記第１の実施の形態の薄板基板の液体レジス
ト塗布方法における弾性体枠１０表面に図２のように膜
厚測定用の電極２０を設けたものである。この電極上に
形成された膜厚を膜厚計によって測定する。電極２０と
しては表面に銅のような金属膜が被覆された粘着テープ
等で形成できる。この電極を弾性体枠表面に設けること
のよって薄板基板表面に液体レジスト膜厚測定用電極を
設ける必要がなく、基板の外枠面積を大きくする必要も
なくなると同時に液体レジストの塗布厚さを膜厚計によ
って測定し、液体レジストの膜厚の品質管理もできる。
の液体レジスト塗布方法について説明する。本実施の形
態では、上記第１の実施の形態の薄板基板の液体レジス
ト塗布方法における弾性体枠１０表面に図２のように膜
厚測定用の電極２０を設けたものである。この電極上に
形成された膜厚を膜厚計によって測定する。電極２０と
しては表面に銅のような金属膜が被覆された粘着テープ
等で形成できる。この電極を弾性体枠表面に設けること
のよって薄板基板表面に液体レジスト膜厚測定用電極を
設ける必要がなく、基板の外枠面積を大きくする必要も
なくなると同時に液体レジストの塗布厚さを膜厚計によ
って測定し、液体レジストの膜厚の品質管理もできる。
【００２２】
【発明の効果】本発明では次のような効果を得ることが
できる。 （１）液体レジストの塗布前後で薄板基板が搬送ベルト
に吸着されているため、高速搬送においても搬送中薄板
基板が浮くことがないために、薄塗り化と同時に高速処
理ができる効果がある。 （２）塗布する液体レジストの粘度がカーテン膜形成装
置の粘度測定手段に監視され、搬送ベルトの搬送速度を
適切に調節できるために液体レジストの塗布厚さの精度
を向上できる。 （３）薄板基板を両端の弾性体枠上に電極を設けること
によって、基板の外枠面積を大きくする必要もなくなる
と同時に液体レジストの塗布厚さを膜厚計によって測定
し、液体レジストの膜厚の品質管理ができる。
できる。 （１）液体レジストの塗布前後で薄板基板が搬送ベルト
に吸着されているため、高速搬送においても搬送中薄板
基板が浮くことがないために、薄塗り化と同時に高速処
理ができる効果がある。 （２）塗布する液体レジストの粘度がカーテン膜形成装
置の粘度測定手段に監視され、搬送ベルトの搬送速度を
適切に調節できるために液体レジストの塗布厚さの精度
を向上できる。 （３）薄板基板を両端の弾性体枠上に電極を設けること
によって、基板の外枠面積を大きくする必要もなくなる
と同時に液体レジストの塗布厚さを膜厚計によって測定
し、液体レジストの膜厚の品質管理ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態を説明するためのカ
ーテンコーターの概略斜視図である。
ーテンコーターの概略斜視図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態を説明するための弾
性体枠表面に設けられた電極の平面図である。
性体枠表面に設けられた電極の平面図である。
【図３】従来の基板のレジスト塗布方法を説明するため
のカーテンコーターの概略斜視図である。
のカーテンコーターの概略斜視図である。
【図４】従来の基板のレジスト塗布方法を説明するため
のカーテンコーターの概略側面図である。
のカーテンコーターの概略側面図である。
【図５】従来の基板のレジスト塗布方法を説明するため
のカーテンコーターのコンベアの基板グリップ部分の概
略斜視図である。
のカーテンコーターのコンベアの基板グリップ部分の概
略斜視図である。
１ 前部搬送ベルト ２ 後部搬送ベルト ３ 速度切り替えセンサーＡ ４ 速度切り替えセンサーＢ ５ カーテン膜形成装置 ５ａ カーテンヘッド ６ 薄板基板 ６ａ 基板 ７ 穴 １０ 弾性体枠 ２０ 電極 ３０ グリップ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D075 AC14 AC74 AC82 AC92 AC94 AC96 CA48 DA06 DB14 DC22 EA45 4F041 AA05 AB01 BA07 CA04 CA22 CA25 4F042 AA06 BA04 BA15 BA25 DF09 DF16 DF29 ED03 5E314 AA21 BB11 BB12 CC01 EE01 FF01 GG24 5E339 AA02 CE19 EE04 GG10
Claims (6)
- 【請求項１】 搬送ベルトで搬送して液体レジストのカ
ーテン膜を通過させて印刷配線板等の薄板基板に液体レ
ジストを塗布する方法において、前記搬送ベルト進行方
向の前記薄板の両端に真空吸着用の弾性体枠を設け、該
弾性体を真空吸着して前記搬送ベルトに前記薄板基板を
固定して搬送し前記液体レジストを前記薄板基板に塗布
することを特徴とする薄板基板の液体レジスト塗布方
法。 - 【請求項２】 前記弾性体枠の材料としてフッ素樹脂ま
たはシリコーン樹脂を使用した請求項１記載の薄板基板
の液体レジスト塗布方法。 - 【請求項３】 前記弾性体枠の表面に前記液体レジスト
の塗布厚さ測定用の電極部を設けた請求項１または２記
載の薄板基板の液体レジスト塗布方法。 - 【請求項４】 前記弾性体枠の前記電極部が機械的に剥
離できることを特徴とする請求項３記載の薄板基板の液
体レジスト塗布方法。 - 【請求項５】 前記液体レジストの前記カーテン膜の形
成装置に該液体レジストの粘度を自動測定し、前記搬送
ベルトの搬送速度を自動調節することを特徴とする請求
項１乃至請求項４記載のいずれか一つの薄板基板の液体
レジスト塗布方法。 - 【請求項６】 前記前記液体レジストの前記カーテン膜
の前記形成装置に液体レジストの粘度調節手段を設けた
ことを特徴とする請求項５記載の液体レジスト塗布方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10326551A JP2000151074A (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 薄板基板の液体レジスト塗布方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10326551A JP2000151074A (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 薄板基板の液体レジスト塗布方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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-
1998
- 1998-11-17 JP JP10326551A patent/JP2000151074A/ja active Pending
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