JPH1041618A - はんだペースト印刷用スキージ、はんだペースト印刷装置及びはんだペースト印刷方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は、はんだペースト印刷用スキージ
及びはんだペースト印刷装置に係り、基板面へのはんだ
ペーストの良好な印刷を可能にしたスキージ及びはんだ
ペースト印刷装置に関する。 【解決手段】 スキージ４をウレタンゴム等の弾性体か
らなる第１部材４ａと、この第１部材の印刷面とは反対
側に重ねるように配置され、この第１部材よりも剛性の
大きい第２部材４ｂとで構成した。スキージ４を、マス
ク３とは弾性体である第１部材４ａと接し、その第１部
材４ａは剛性の大きい第２部材４ｂに支持され変形が抑
圧されるので、スキージ４の摩耗は軽減されるととも
に、安定したはんだペーストによる印刷が可能となる。
また、このスキージ４をはんだペースト印刷装置に適用
することによって、良好な印刷を実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、はんだペースト印
刷用スキージ、はんだペースト印刷装置及びはんだペー
スト印刷方法の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、高密度実装化された電子機器で
は、集積回路（ＩＣ）部品を搭載した回路基板が組み込
まれることが多い。その基板へのＩＣ等の電子部品の装
着には、リフロー法によるはんだ（半田）付けが多用さ
れている。リフロー法ははんだペーストを基板上に載置
したメタルマスク等のマスクを介して印刷し、そのはん
だペーストを溶融させることによって部品接続を行うは
んだ付け法である。従って、マスクに形成された開口部
（孔）のパターンは、予め基板面に形成された部品接続
端子等のパターンに対応して形成されている。

【０００３】そこで従来のはんだペースト印刷装置は、
図７に示すように、被印刷物である基板１をＺ軸テーブ
ル２に固定するとともに、Ｚ軸テーブル２は基板１面に
対して垂直方向すなわちＺ軸（上下）方向への移動とそ
のＺ軸回り（θ）での回動が可能となるように構成され
ている。また図示しない載置手段により、マスク３は基
板１に対して位置決め操作されつつ基板１上に載置され
る。１個のスキージ４は、マスク３面を押圧しつつ塗布
印刷方向（矢印Ｘ方向）に走行させるように構成され、
これによりマスク３上に供給されたはんだペースト５
は、マスク３に形成された開口部に押し込まれ、基板１
面に塗布印刷される。

【０００４】基板１面へのはんだペースト５の塗布印刷
終了後は、Ｚ軸テーブル２を支持する円筒座標移動型ロ
ボット６の操作により、Ｚ軸テーブル２を降下させいわ
ゆる版離れ操作が行われ、基板１はマスク３から引き剥
がされる。なお、円筒座標移動型ロボット６は搬送路６
ａに沿い移動し、順次基板１を搬送するよう構成され
る。

【０００５】また、スキージ４にはスキージ上下移動機
構４１が取り付けられ、スキージ４の上下移動によりマ
スク３に当接しているときの圧力、すなわち押圧力が調
整制御される。また、スキージ上下移動機構４１はスキ
ージ４とともにスキージ保持器４２に支持されている
が、このスキージ保持器４２内にはスキージ４がマスク
３に当接する圧力を検出する印圧検出器４３が設けられ
ている。この印圧検出器４３は一種の歪みゲージである
圧力センサで構成され、電圧に変換された圧力検出信号
はコントローラ７に供給されるとともに、コントローラ
７からは予め設定された基準信号と比較されて得られた
制御信号がフィードバックされて、上下移動機構４１に
供給制御されるように構成されている。

【０００６】従って、スキージ上下移動機構４１は印圧
検出器４３からの検出信号によって、スキージ４のマス
ク３への押圧力が適正かつほぼ一定になるよう制御さ
れ、基板１面に均一にはんだペースト５が印刷されるよ
うに構成されている。

【０００７】なお、マスク３は矩形状の枠体３１に強く
張られるとともに、スキージ保持器４２はスキージ駆動
機構８のボールねじ８１に取り付けられ、このボールね
じ８１がモータ８２の回転駆動によって回転するから、
スキージ保持器４２は印刷方向（矢印Ｘ方向）あるいは
その反対方向に移動できる。

【０００８】従来のはんだペースト印刷装置のスキージ
４は、ウレタンゴム等の弾性体で構成されているが、弾
性体はマスク３面へ押圧されるときたわみが生じ、押圧
当初の力はそのたわみで抜ける性質があり、塗布印刷に
好適な一定押圧力が得られるまでには若干の時間がかか
る。従ってスキージ４による一定押圧力により基板１面
に良好な印刷を行うには、一定押圧力が達成される間
の、いわば助走区間をあらかじめ設けていた。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、はんだ
ペースト印刷装置に用いられるスキージは、スキージに
ウレタンゴムなどの弾性体で構成されている。しかし、
弾性体そのものの有する弾性変形特性から、スキージの
押圧力は接触するはんだペーストの粘度や大きさにより
大きな変化を受けやすく、一定となるよう制御するのは
容易でなかった。従って、従来のスキージ及びそのスキ
ージを用いたはんだペースト印刷装置では、均一なはん
だペースト塗布が行われにくく不安定であった。

【００１０】そのために、塗布印刷開始に際し、印圧が
安定するまであらかじめスキージを相当の距離にわたっ
て助走させることとなり、それだけマスクは大型化され
また塗布印刷操作時間も長くなる欠点があった。

【００１１】なお、スキージをウレタンゴム等の弾性体
ではなく、剛体の金属等で構成する場合もあるが、スキ
ージやマスクの摩耗が早まり寿命が短くなる欠点があり
改善が要望されていた。

【００１２】また、従来のはんだペースト印刷装置で
は、上記のように、印圧検出器からの検出信号がコント
ローラからフィードバックされて、１個のスキージのス
キージ上下移動機構を制御するよう構成されていた。従
って、スキージがマスク面を押圧しつつ移動するとき、
印圧検出器による押圧検出信号は、コントローラを経て
スキージ上下移動機構にフィードバックされるから、そ
の間に移動したスキージは、マスク上の印圧検出位置か
ら離れた位置で押圧制御をうけることとなり、ずれが生
ずる。

【００１３】つまり従来装置では、マスク上で印圧検出
位置と印圧制御位置とにずれが生ずることから、スキー
ジによる的確な塗布印刷押圧力が得られないという欠点
があった。

【００１４】また、従来のはんだペースト印刷装置で
は、印圧検出器はスキージのマスクへの押圧力を検出し
て制御したが、基板における印刷状態の良否は、実は基
板面にかかる塗布印刷押圧力によって左右される。従来
装置は、基板そのものに加わる押圧力を検出するもので
はなかったから、最適な塗布印刷との誤差が生じ、適正
に均一なはんだペーストの塗布が行われにくいので改善
が要望されていた。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するためになされたもので、第１の発明は、はんだペ
ーストをマスクに設けられた開口部を介して被印刷物に
印刷する際、マスク上に供給されたはんだペーストを開
口部に押し込むためのはんだペースト印刷用スキージに
おいて、弾性体で構成され、前記マスクのはんだペース
ト供給面に沿って走行しはんだペーストをマスク開口部
に挿入する第１部材と、この第１部材の前記走行の方向
とは反対側の面に接触して取り付けられ、かつこの第１
部材より剛性の大きい第２部材とを具備することを特徴
とする。

【００１６】このように、第１の発明はスキージにおい
て、弾性体の第１部材のマスク接触後方面に剛性の大き
い第２部材を接触して取り付けたので、マスクの摩耗防
止が図られるとと同時に応答性が向上し、安定した塗布
印刷が可能となった。

【００１７】第２の発明は同じくはんだペーストをマス
クに設けられた開口部を介して被印刷物に印刷する際、
マスク上に供給されたはんだペーストを開口部に押し込
むためのはんだペースト印刷用スキージにおいて、弾性
体で構成され前記マスクのはんだペースト供給面に沿っ
て走行しはんだペーストをマスク開口部に挿入する第１
部材と、この第１部材の前記走行方向に向かって前後両
面に設けられ、かつ走行方向の切替え操作に対応して取
り付け位置が前記第１部材の前後両面に沿って上下に変
化可能に設けられ、第１部材より剛性の大きい材料で構
成された一対の第２部材とを具備することを特徴とす
る。

【００１８】この第２の発明においても、第１部材のマ
スク走行方向の前後両面に剛性の大きい第２部材を設
け、走行方向の切替え操作に対応して取り付け位置を変
化させるように構成したので、第１部材の走行方向の切
替えがあっても、円滑かつ良好な印刷が可能となる。

【００１９】第３及び第４の発明は、それぞれ上記第１
及び第２の発明に係るスキージを使用したはんだペース
ト印刷装置に係り、はんだペーストの塗布方向に向け走
行するスキージと、このスキージによりはんだペースト
が塗布されるマスクと、このマスクに前記スキージが当
接する圧力を検出する圧力検出手段と、この圧力検出手
段からの出力信号によって前記スキージのマスクに当た
る圧力を制御するように構成されたスキージ上下移動機
構と、前記スキージの走行移動によって前記マスクに設
けられた開口部から塗布印刷される基板とを有すること
を特徴とする。

【００２０】従って、この第３及び第４の発明によれ
ば、いずれもマスクの摩耗防止と応答性の良好なスキー
ジを採用するので、印刷状態が良好で耐久性の高いはん
だペースト印刷装置を提供できる。

【００２１】第５の発明は、はんだペーストをマスクを
介して基板に印刷するはんだペースト印刷装置におい
て、はんだペーストの塗布方向に向け前後して互いに間
隔をなして設けられ、かつ連なって走行する複数個のス
キージと、この複数個のスキージの内、前記マスク上に
供給されたはんだペーストをマスク上で移送するはんだ
ペースト移送用スキージの前方側にあるスキージが前記
マスクに当接しているときの圧力を検出する圧力検出手
段と、この圧力検出手段からの出力信号によって、前記
はんだペースト移送用スキージのマスクに当接している
ときの圧力を制御するように構成されたスキージ上下移
動機構と、前記マスクに設けられた開口部から前記はん
だペーストが塗布印刷される基板を載置するテーブルと
を具備することを特徴とする。

【００２２】このように第５の本発明は、複数個（例え
ば２個、ダブル）のスキージを設け、走行する複数のス
キージの内、先行するスキージで印刷圧力を測定し、そ
の測定出力信号によって、後方に位置しはんだペースト
をマスク上で移送するはんだペースト移送用スキージの
印刷圧力を制御するよう構成したものである。このよう
に例えばダブルスキージの構成により、先行するスキー
ジで測定した印圧信号を後方のスキージ側にフィードバ
ックするので、実際に印刷を行う後方のスキージが、そ
の測定位置において、予め設定された基準とする適切な
印圧となるよう制御できる。従って、従来のようなタイ
ムラグに基づく誤差は軽減され、適正かつ良好な印圧に
よる塗布印刷が可能である。

【００２３】第６の発明は同じくはんだペーストをマス
クを介して基板に印刷するはんだペースト印刷装置にお
いて、はんだペーストの塗布方向に向け前後して互いに
間隔をなして設けられ、かつ連なって走行する複数個の
スキージと、この複数個のスキージの内、前記マスク上
に供給されたはんだペーストをマスク上で移送するはん
だペースト移送用スキージの前方側にあるスキージがマ
スクに当接しているときの圧力を検出するマスク圧力検
出手段と、前記はんだペーストが塗布印刷される基板を
載置するテーブルと、前記複数個のスキージの走行によ
って、前記テーブルに載置された基板が受ける圧力を測
定する基板圧力検出手段と、この基板圧力検出手段及び
前記マスク圧力検出手段からの各検出信号によって前記
はんだペースト移送用スキージがマスクに当接している
ときの圧力を制御するように構成されたスキージ上下移
動機構とを具備することを特徴とする。

【００２４】このように、第６の発明によれば、スキー
ジのマスクを押圧する圧力の測定に加え、スキージのマ
スクへの押圧により基板にかかる圧力をも測定して、ス
キージ上下移動機構を補正して制御するので、より基板
面への塗布においてより的確な塗布押圧力を得ることが
できる。

【００２５】第７及び第８の発明は、スキージをマスク
の一方の面に押圧しつつ走行させることによって、マス
クの一方の面に供給されたはんだペーストをマスクの他
方の面の下の基板に印刷するはんだペースト印刷方法に
おいて、前記スキージはスキージの走行方向に向け前後
に互いに間隔をなして複数個設け、前記走行方向に向か
って前方を走行するスキージの前記マスクへの押圧力を
検出し、その検出信号によって前記押圧力を検出された
スキージの後方側に位置するスキージのマスクへの押圧
力を調整制御して基板にはんだペーストを印刷する、あ
るいは前記スキージの走行によって前記基板が受ける圧
力を検出する基板圧力検出手段を設け、この基板圧力検
出手段による検出信号によって前記スキージのマスクへ
の押圧力を調整制御して基板にはんだペーストを印刷す
ることを特徴とする。

【００２６】この第７及び第８の発明によれば、スキー
ジ走行移動に伴うタイムラグに基づく誤差は軽減され、
またスキージのマスクへの押圧により基板にかかる圧力
をも測定してスキージの印圧を的確に制御し良好なる印
刷が可能である。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明によるはんだペース
ト印刷用スキージ、はんだペースト印刷装置及びはんだ
ペースト印刷方法の一実施の形態を図１乃至図６を参照
し詳細に説明する。なお、図７に示した従来のはんだペ
ースト印刷装置と同一構成には同一符号を付して、詳細
な説明は省略する。

【００２８】（第１の実施の形態）図１及び図２は、は
んだペースト印刷装置の第１の実施の形態を示す側面図
であり、被印刷物である基板１はＺ軸テーブル２に固定
され、厚さ０．１ｍｍ程度のメタルマスクからなるマス
ク３は図示しない載置手段によって基板１に対する位置
決めが行われて載置される。

【００２９】スキージ４はマスク３面を掃くように押圧
しつつ塗布印刷方向（矢印Ｘ方向）に走行移動すること
によって、マスク３上に供給されたはんだペースト５は
マスク３の開口部に押し込まれ、基板１面にはんだペー
スト５が印刷される。

【００３０】基板１面へのはんだペースト５の印刷終了
後は、Ｚ軸テーブル２を支持する円筒座標移動型ロボッ
ト６がＺ軸テーブル２を降下させ、版離れ操作が行わ
れ、基板１はマスク３から引き剥がされる。円筒座標移
動型ロボット６は搬送路６ａに沿い移動し、順次基板１
を搬送するよう構成されている。

【００３１】そこで、スキージ４は図２に拡大して示す
ように、ウレタンゴム等の弾性体からなる第１部材４ａ
と、走行方向（矢印Ｘ方向）とは反対側の面に接触し
て、第１部材４ａの弾性変形を押さえるように、第１部
材より剛性の大きい金属等の第２部材４ｂで構成した。
この実施の形態では、第２部材４ｂとしてステンレスを
採用した。従って、スキージ４は第１部材４ａがマスク
３を押圧しても大きなたわみを生ずることなく、はんだ
ペースト５はマスク３の開口部３ａに挿入され基板１へ
の安定した印刷が行われる。

【００３２】図１に示すように、スキージ４には、スキ
ージ上下移動機構４１が取り付けられ、スキージ４の上
下移動によりマスク３に当たる押圧力が調整制御され
る。スキージ上下移動機構４１はスキージ４とともにス
キージ保持器４２に支持され、このスキージ保持器４２
内の印圧検出器４３は印圧検出信号をコントローラ７に
供給されるとともに、コントローラ７からは従来と同様
に制御信号がフィードバックされて、スキージ上下移動
機構４１に供給される。この結果、スキージ４のマスク
３への押圧力が常にほぼ一定になるよう制御され、基板
１面に均一にはんだペースト５が印刷されるように構成
されている。

【００３３】このように、この実施の形態におけるはん
だペースト印刷装置のスキージ４は、ウレタンゴム等の
弾性剛体からなる第１部材４ａのマスク３接触面後方
に、剛性の大きい第２部材４ｂを当てたので、マスク３
の摩耗防止が図られるとともに、この第２部材４ｂの支
持により印圧検出器４３の応答性が向上し、安定した印
刷が可能となる。

【００３４】このように、この実施の形態によれば、ス
キージ４の第１部材４ａには従来と同様に弾性体が使用
されているが、マスク３面への押圧によるたわみで、ス
キージ４から押圧力が逃げようとしても、剛体の大きい
第２部材４ｂに抑制されるので、応答性が改善され基板
１面への良好な印刷が可能となる。このようにこの実施
の形態によればスキージ４によるマスク３への押圧力の
安定化が図られ、従来のようにあらかじめ設ける助走区
間の大幅な短縮が可能である。

【００３５】なお、スキージ４は反転走行させ往復して
塗布できるように構成しても良い。その場合、スキージ
４及びスキージ上下移動機構４１を上部で１８０度回転
させるように構成して実現できる。

【００３６】（第２の実施の形態）図３は、はんだペー
スト印刷装置の第２の実施の形態を説明する側面図で、
特に図１に示した第１の実施の形態と異なるスキージ４
部を拡大して示したものである。

【００３７】すなわち、スキージ４は、ウレタンゴム等
の弾性体からなりマスク面に沿って走行しはんだペース
トをマスク上に塗布する第１部材４ａと、この第１部材
の走行方向の切替え操作に対応してそれぞれ取り付け位
置が上下に変化し、かつ走行時その走行方向に向かって
前後両面に設けられ、第１部材４ａより剛性の大きい材
料からなる一対の第２部材４ｂ，４ｂとから構成した。

【００３８】つまり、ステンレス等の金属からなる一対
の第２部材４ｂ，４ｂに、これらをそれぞれ上下動させ
るエアシリンダからなるスキージ上下移動機構４１ａ，
４１ａを接続構成し、第１及び各第２部材４ａ，４ｂ，
４ｂの各下方先端部の位置は非動作時には図３（ａ）に
示すようにほぼ同じ高さに揃うように形成した。

【００３９】いま図３（ｂ）に示すように、スキージ４
の走行移動方向（塗布印刷方向）を左方向（矢印Ｘ方
向）として塗布印刷を行なせるときは、エアシリンダか
らなる左側の上下移動機構４１ａの操作により左側の第
２部材４ａを上方向へ引き上げ、第１部材４ａの左側下
端部がマスク３に接するようにする。

【００４０】また、左方向走行による塗布印刷が終了
し、図３（ｃ）に示すように、右方向（矢印Ｘ方向とは
反対の方向）に塗布印刷を行うときには、それぞれ対応
する各スキージ上下移動機構４１ａを操作し、左側の第
２部材４ｂは下げて元の位置に戻し、逆に右側の第２部
材４ｂを上方向へ引き上げ、第１部材４ａ右側下端部が
マスク３に接するようにする。

【００４１】この実施の形態によれば、剛性の大きい一
対の第２部材４ｂ，４ｂを第１部材４ａの両面に設け、
走行方向の切替えに対応して上下移動操作するので、ス
キージ４の反転塗布操作に対応して、効率良くしかも第
１の実施の形態と同様に、安定した塗布が可能となる。

【００４２】（第３の実施の形態）次に、図４は本発明
によるはんだペースト印刷装置の第３の実施の形態を示
す側面図で、はんだペーストの塗布方向（図示矢印Ｘ方
向）に向け互いに間隔をなし、連なって走行移動するよ
うに複数個のスキージ（この実施の形態では先行、後行
のダブル（２個）のスキージ４Ａ，４Ｂ）を設けたもの
である。

【００４３】このスキージ４Ａ，４Ｂのマスク１に当た
る圧力（押圧力）を測定するため、先行スキージ４Ａが
マスク３に当接することによって先行スキージ４Ａにか
かる圧力を測定する印圧検出器４３Ａと、先行スキージ
４Ａから一定の間隔ｄを置いて、後追いではんだペース
ト５を実際にマスク３に塗布するよう走行移動する後行
スキージ４Ｂと、はんだペースト５の印刷を行う後行ス
キージ４Ｂの押圧力を測定する印圧検出器４３Ｂと、先
行スキージ４Ａ及び後行スキージ４Ｂをそれぞれを上下
動させてマスク３への印圧を制御するスキージ上下移動
機構４１Ａ，４１Ｂを有している。また、一方のスキー
ジ移動機構４１Ａ等は一方のスキージ保持器４２Ａに、
また他方のスキージ移動機構４１Ｂ等は他方のスキージ
保持器４１Ｂにそれぞれ支持されている。

【００４４】そして、塗布印刷を行う後行スキージ４Ｂ
がマスク３にかける印圧すなわち押圧力は、先行スキー
ジ４Ａの印圧検出器４３Ａで検出された圧力検出信号が
コントローラ７を介して、他方（後行）のスキージ上下
移動機構４１Ｂを制御するものである。

【００４５】つまり、この実施の形態では、走行方向に
複数個のスキージ４Ａ，４Ｂを設け、先行するスキージ
４Ａの印圧を測定し、その圧力検出信号によって、後方
に位置し実際に印刷を行うスキージ４Ｂの印圧を制御す
るよう構成したものである。

【００４６】このように少なくともダブルスキージの構
成により、先行するスキージ４Ａで測定した印圧信号
を、後方のスキージ４Ｂ側にフィードバックするように
構成したから、その間の制御信号のフィードバックによ
るタイムラグがあっても、後方のスキージ４Ｂが実際に
塗布印刷するときの押圧制御は、その押圧位置におい
て、既に先行スキージ４Ａが検出した圧力検出信号によ
るものとすることができる。従って、印圧検知位置と実
際に塗布印刷を行う位置とは一致し、予め設定された基
準値に近い適切な印圧に制御できる。

【００４７】（第４の実施の形態）図５はこの発明によ
るはんだペースト印刷装置の第４の実施の形態を示す側
面図で、図４に示した第３の実施の形態との相違点は、
基板１を基板バックアップ１Ａを介してＺ軸テーブル２
上に載置して取り付けたものである。そして、基板バッ
クアップ１Ａには所定間隔をなして、歪みゲージ等から
なる圧力センサ１Ａ１を所定間隔で複数個埋め込み、こ
の圧力センサ１Ａ１の歪み力を電圧値に変換してコント
ローラ７に供給するものである。

【００４８】従って、この実施の形態では、スキージ４
Ａ，４Ｂのマスク３を押圧する圧力の測定に加え、実際
に基板１にかかる圧力をも測定検知して、スキージ４Ｂ
のスキージ上下移動機構４１Ｂを制御するので、基板１
面へのはんだペースト印刷においてより的確な塗布印刷
圧力を得ることができる。

【００４９】圧力センサ１Ａ１は、図では複数の基板バ
ックアップ１Ａに等間隔に設置するように記載している
が必ずしも等間隔でなく、間隔は任意に変えても良い。

【００５０】また、基板バックアップの圧力センサ１Ａ
１は、スキージ４Ａ，４Ｂの走行移動方向（図示矢印Ｘ
方向）に沿って直線的に一列に配置してもよく、またマ
スク３は平面的な広がりを有するから、塗布方向に交差
する方向にも複数個配列して、縦横方向に平面的に分布
して配置するように構成しても良い。

【００５１】このように、基板バックアップ１Ａへの圧
力センサ１Ａ１を複数個、任意に配列することにより、
個々の圧力センサ１Ａ１からの検出値を同時にあるいは
順次取り出し得るので、基板１にかかる圧力の時間軸上
での推移やマスク１上のそのときの圧力分布も知ること
ができ、印刷プロセスを考慮するときに役立てることが
できる。

【００５２】以上のように、この実施の形態によるはん
だペースト印刷装置は、３種類の制御、すなわち複数の
スキージ４Ａ，４Ｂにかる印圧、基板１にかかる印圧及
びその双方の印圧を使用して後行スキージ４Ｂの上下移
動機構４１Ｂをフィードバック制御できるものである。

【００５３】なお、上記第３及び第４の実施の形態にお
いては、後行スキージ４Ｂの印圧位置と、先行スキージ
４Ａの印圧検出位置との一致には、各スキージ４Ａ，４
Ｂの走行移動速度とも関係するので、制御系は（先行ス
キージ４Ａと後行スキージ４Ｂとの間隔）／（スキージ
４Ａ，４Ｂの走行移動速度）だけ、タイムラグを考慮す
れば良い。また、上記第１乃至第４の各実施の形態にお
ける印圧のフィードバック制御には、オンオフ制御やＰ
ＩＤ（比例＋積分＋微分）制御等、従来と同様に適宜選
択使用することができる。

【００５４】つぎに、上記第１乃至第４の実施の形態に
おけるはんだペースト印刷装置における印刷方法につい
て説明すると、まず被印刷物である基板１が印刷面を上
に向けた状態でＺ軸テーブル２を搭載した円筒座標移動
型ロボット６により搬入される。このとき基板１は基板
１を下方で支持する移動テーブル２あるいは基板バック
アップ１Ａに図６に示すような構成で固定されている。

【００５５】次に、基板１とマスク３が図示しない位置
決め機構により位置決めされると、移動テーブル２によ
りマスク３に接するまで押し上げられる。その後はんだ
ペースト５が図示しないはんだペースト供給手段により
マスク３の上に供給され、スキージ移動機構８はスキー
ジ４，４Ａ，４ＢをＸ方向（あるいはＸ方向とは逆方
向）へ移動するので、はんだペースト５がマスク３の開
口部３ａを通して基板１へ印刷される。その後、基板バ
ックアップ１Ａが円筒座標移動型ロボット２の操作によ
りＺ軸テーブル２を下方へ降下させ、版離れが行われる
ことによって、はんだペースト５の基板１への塗布印刷
は終了する。

【００５６】なお、図４及び図５の実施の形態におい
て、スキージを反転移動させた場合は、それまでの先行
スキージ４Ａは後行スキージに、また後行スキージ４Ｂ
は先行スキージに変更される。

【００５７】また、図４及び図５に示した第３及び第４
の実施の形態において、スキージの構成を図１乃至図３
に示した第１あるいは第２の実施の形態のスキージを適
用しても良い。

【００５８】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によるは
んだペースト印刷用スキージによれば、第２部材として
第１部材よりも剛体の大きい部材を採用して重ね合わせ
たので、第２部材により第１部材の弾性変形を小さく押
さえることにより、印圧制御の応答性が改善できる。ま
た、第１部材の摩擦面は小さくなり、印圧は速やかに一
定となるので助走区間は短くなり実印刷距離を短くする
ことができることからマスクやスキージの寿命の向上や
印刷工程の短縮化が可能となる。

【００５９】また、この発明によるはんだペースト印刷
装置及び印刷方法は、実際に印刷するスキージの印圧
を、先行するスキージの印圧検知信号等をもとに制御す
るので、実際の印刷に則し、移動するスキージの印圧を
適切に制御することが可能となるなど実用上の効果大で
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるはんだペースト印刷装置の第１の
実施の形態を示す側面図である。

【図２】図１に示すスキージ部の拡大図である。

【図３】本発明によるはんだペースト印刷装置の第２の
実施の形態を説明する要部側面図である。

【図４】本発明によるはんだペースト印刷装置の第３の
実施の形態を示す側面図である。

【図５】本発明によるはんだペースト印刷装置の第４の
実施の形態を示す側面図である。

【図６】本発明によるはんだペースト印刷装置の各実施
の形態における基板固定部を示す一部断面図である。

【図７】従来のはんだペースト印刷装置を示す側面図で
ある。

【符号の説明】

１ 基板 １Ａ 基板バックアップ １Ａ１ 圧力センサ（基板圧力検出手段） ２ Ｚ軸テーブル ３ マスク ３ａ 開口部 ４，４Ａ，４Ｂ スキージ ４ａ 第１部材 ４ｂ 第２部材 ４１，４１Ａ，４１Ｂ スキージ上下移動機構 ４３，４３Ａ，４３Ｂ 印圧検出器（マスク圧力検出手
段） ５ はんだペースト ６ 円筒座標移動型ロボット ６ａ 搬送路 ７ コントローラ ８ スキージ駆動機構

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 はんだペーストをマスクに設けられた開
   口部を介して被印刷物に印刷する際、マスク上に供給さ
   れたはんだペーストを開口部に押し込むためのはんだペ
   ースト印刷用スキージにおいて、 弾性体で構成され、前記マスクのはんだペースト供給面
   に沿って走行しはんだペーストをマスク開口部に挿入す
   る第１部材と、 この第１部材の前記走行の方向とは反対側の面に接触し
   て取り付けられ、かつこの第１部材より剛性の大きい第
   ２部材とを具備することを特徴とするはんだペースト印
   刷用のスキージ。
2. 【請求項２】 はんだペーストをマスクに設けられた開
   口部を介して被印刷物に印刷する際、マスク上に供給さ
   れたはんだペーストを開口部に押し込むためのはんだペ
   ースト印刷用スキージにおいて、 弾性体で構成され前記マスクのはんだペースト供給面に
   沿って走行しはんだペーストをマスク開口部に挿入する
   第１部材と、 この第１部材の前記走行方向に向かって前後両面に設け
   られ、かつ走行方向の切替え操作に対応して取り付け位
   置が前記第１部材の前後両面に沿って上下に変化可能に
   設けられ、第１部材より剛性の大きい材料で構成された
   一対の第２部材とを具備することを特徴とするはんだペ
   ースト印刷用のスキージ。
3. 【請求項３】 はんだペーストの塗布方向に向け走行す
   るスキージと、このスキージによりはんだペーストが挿
   入される開口部を有するマスクと、このマスクに前記ス
   キージが当接しているときの圧力を検出する圧力検出手
   段と、この圧力検出手段からの出力信号によって前記ス
   キージがマスクに当接しているときの圧力を制御するよ
   うに構成されたスキージ上下移動機構とを有し、前記ス
   キージの走行によって前記マスクに設けられた開口部か
   らはんだペーストを基板に塗布するはんだペースト印刷
   装置において、 前記スキージは、弾性体で構成されマスクのはんだペー
   スト供給面に沿って走行しはんだペーストをマスク開口
   部に挿入する第１部材と、 この第１部材の前記走行の方向とは反対側の面に接触し
   て取り付けられ、かつこの第１部材より剛性の大きい第
   ２部材とを具備することを特徴とするはんだペースト印
   刷装置。
4. 【請求項４】 はんだペーストの塗布方向に向け走行す
   るスキージと、このスキージによりはんだペーストが挿
   入される開口部を有するマスクと、このマスクに前記ス
   キージが当接しているときの圧力を検出する圧力検出手
   段と、この圧力検出手段からの出力信号によって前記ス
   キージがマスクに当接しているときの圧力を制御するよ
   うに構成されたスキージ上下移動機構とを有し、前記ス
   キージの走行によって前記マスクに設けられた開口部か
   らはんだペーストを基板に塗布するはんだペースト印刷
   装置において、 前記スキージは、弾性体で構成されマスクのはんだペー
   スト供給面に沿って走行しはんだペーストをマスク開口
   部に挿入する第１部材と、 この第１部材の前記走行方向に向かって前後両面に設け
   られ、かつ走行方向の切替え操作に対応して取り付け位
   置が前記第１部材の前後両面に沿って上下に変化可能に
   設けられ、第１部材より剛性の大きい材料で構成された
   一対の第２部材とを具備することを特徴とするはんだペ
   ースト印刷装置。
5. 【請求項５】 はんだペーストをマスクを介して基板に
   印刷するはんだペースト印刷装置において、 はんだペーストの塗布方向に向け前後して互いに間隔を
   なして設けられ、かつ連なって走行する複数個のスキー
   ジと、 この複数個のスキージの内、前記マスク上に供給された
   はんだペーストをマスク上で移送するはんだペースト移
   送用スキージの前方側にあるスキージが前記マスクに当
   接しているときの圧力を検出する圧力検出手段と、 この圧力検出手段からの出力信号によって、前記はんだ
   ペースト移送用スキージのマスクに当接しているときの
   圧力を制御するように構成されたスキージ上下移動機構
   と、 前記マスクに設けられた開口部から前記はんだペースト
   が塗布印刷される基板を載置するテーブルとを具備する
   ことを特徴とするはんだペースト印刷装置。
6. 【請求項６】 はんだペーストをマスクを介して基板に
   印刷するはんだペースト印刷装置において、 はんだペーストの塗布方向に向け前後して互いに間隔を
   なして設けられ、かつ連なって走行する複数個のスキー
   ジと、 この複数個のスキージの内、前記マスク上に供給された
   はんだペーストをマスク上で移送するはんだペースト移
   送用スキージの前方側にあるスキージがマスクに当接し
   ているときの圧力を検出するマスク圧力検出手段と、 前記はんだペーストが塗布印刷される基板を載置するテ
   ーブルと、 前記複数個のスキージの走行によって、前記テーブルに
   載置された基板が受ける圧力を測定する基板圧力検出手
   段と、 この基板圧力検出手段及び前記マスク圧力検出手段から
   の各検出信号によって前記はんだペースト移送用スキー
   ジがマスクに当接しているときの圧力を制御するように
   構成されたスキージ上下移動機構とを具備することを特
   徴とするはんだペースト印刷装置。
7. 【請求項７】 前記基板圧力検出手段は、前記はんだペ
   ーストの塗布方向及び塗布方向に交差する方向に複数個
   配列して構成されたことを特徴とする請求項６記載のは
   んだペースト印刷装置。
8. 【請求項８】 スキージをマスクの一方の面に押圧しつ
   つ走行させることによって、マスクの一方の面に供給さ
   れたはんだペーストをマスクの他方の面の下の基板に印
   刷するはんだペースト印刷方法において、 前記スキージはスキージの走行方向に向け前後に互いに
   間隔をなして複数個設け、前記走行方向に向かって前方
   を走行するスキージの前記マスクへの押圧力を検出し、
   その検出信号によって前記押圧力を検出されたスキージ
   の後方側に位置するスキージのマスクへの押圧力を調整
   制御して基板にはんだペーストを印刷するはんだペース
   ト印刷方法。
9. 【請求項９】 スキージをマスクの一方の面に押圧しつ
   つ走行させることによって、マスクの一方の面に供給さ
   れたはんだペーストをマスクの他方の面の下の基板に印
   刷するはんだペースト印刷方法において、 前記スキージの走行によって前記基板が受ける圧力を検
   出する基板圧力検出手段を設け、この基板圧力検出手段
   による検出信号によって前記スキージのマスクへの押圧
   力を調整制御して基板にはんだペーストを印刷するはん
   だペースト印刷方法。