JPH08224854A - 印刷装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板に反りがあっても印刷前に反りを矯正し
て均一に印刷できる印刷装置を提供することにある。 【構成】 基板ホルダ１６に載置したプリント基板３の
ペースト印刷面に印刷用マスクを位置決めし、印刷用マ
スクに供給されたペーストをスキージを移動させること
により、印刷用マスクの開口から前記プリント基板３の
ペースト印刷面に押し出し、前記ペーストをプリント基
板３に印刷する印刷装置において、マスクホルダ２２に
前記プリント基板３のペースト印刷面を基板ホルダ１６
方向に押圧し、プリント基板３の反り３ａを矯正する基
板押え部材３１を設けたことにある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えばプリント基板
の配線パターンの各電極パッド上にハンダペーストを印
刷する印刷装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、多数個の電子部品をプリント基
板上にハンダ付けにより表面実装する場合がある。この
ような場合、前記多数の電子部品を一括的にハンダ付け
することができるリフローハンダ付け方法が一般に用い
られる。

【０００３】このリフローハンダ付けは、前記プリント
基板の配線パターンの各電極パッド上にあらかじめペー
スト状のハンダ（以下「ハンダペースト」という）を供
給しておいて、前記電子部品を、この電子部品の端子と
前記電極パッド（ハンダペースト）の位置に対向させて
前記プリント基板上に載置する。

【０００４】前記プリント基板上にすべての電子部品が
載置されたならば、前記プリント基板は電子部品ごとリ
フロー炉内に挿入される。このことで、前記ハンダペー
ストは溶融して、前記電子部品は前記プリント基板に一
括的に表面実装される。

【０００５】このようなリフローハンダ付けを精度良く
行うためには、特に前記電極パッドが微細ピッチで設け
られている場合には、前記ハンダペーストを、前記配線
パターンの各電極パッド上に精度良く供給する必要があ
る。

【０００６】このように、ハンダペーストをプリント基
板上に精度良く供給する方法として、スクリーン印刷方
法がある。このスクリーン印刷には、例えば、図６に示
すようにして行われる。

【０００７】図中１は、印刷用マスク（以下「マスク」
という）である。このマスク１はスクリーン状の薄板
（例えば、厚さ１００〜１５０μｍのステンレス製の薄
板）に、前記プリント基板の各配線パターンに対応する
開口１ａ…を設けてなるものである。このマスク１の縁
部は、枠部材２によって保持されている。

【０００８】印刷時には、このマスク１を図に点線で示
すプリント基板３の上面に重ねる。そして、スキージ４
を前記マスク１の上面に弾性的に当接させると共に、こ
のスキージ４で前記マスク１上に供給されたハンダペー
スト５を図に矢印（イ）で示す方向に移動させる。この
ことによって、前記マスク１の各開口１ａ…にはハンダ
ペースト５が順次押し込まれていく。

【０００９】そして、前記マスク１を前記プリント基板
３から離間させれば、前記開口１ａ内に押し込まれたハ
ンダペースト５は前記プリント基板３の電極パッド上に
転写される。

【００１０】また、図６に示すように、前記プリント基
板３は多数の吸引孔６ａを有したパンチングメタルから
なる基板ホルダ６に載置され、吸引孔６ａから真空吸引
することにより、プリント基板３を基板ホルダ６に固定
している。また、前記スキージ４は固定部材７に鉛直方
向に固定されたシリンダ８に固定されており、シリンダ
８によってスキージ４を下降させ、マスク１に対して一
定圧力を付与している。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】ところが、図７に示す
ように、基板ホルダ６にプリント基板３を真空吸着させ
ても、プリング基板３に反り３ａがあると、その反り３
ａを矯正することができない。したがって、スキージ４
をマスク１の上面に弾性的に摺擦させてもハンダペース
ト５を均一に供給することができず、一様な印刷ができ
ない。

【００１２】また、スキージ４をシリンダ８によって支
持し、マスク１に対して一定圧力で押し付けているた
め、プリント基板３の状態に追従することができない。
つまり、プリント基板３が反っていたり、配線パターン
の形状によって、特に最近のフレックス・リジッド基板
等のように印刷面の高さが一定でない場合、マスク１に
供給されるハンダペースト５の量にバラツキができる。

【００１３】また、近年、電子部品の多端子狭ピッチ
化、および電子部品の高密度実装化に伴い、前記マスク
１に設けられた開口１ａはますます微細なものとなりつ
つある。したがって、かすれなどの原因になっていた
が、ハンダペースト５のかすれを防止するために、微細
な開口１ａ内にハンダペースト５が有効に押し込まれる
ように前記スキージ４の印圧を上げなければならない
が、マスク１の下面にプリント基板３が位置しない部分
の助走の部分では、前記マスク１を押し下げ過ぎてこの
マスク１が破損することがあった。

【００１４】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、プリント基板に反り
があっても、その反りを矯正することができ、均一な印
刷ができ、またプリント基板の高さ変動に対しても適切
な印刷圧力で良好な印刷ができ、信頼性を向上できる印
刷装置を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段および作用】この発明は前
記目的を達成するために、請求項１は、基板ホルダに載
置した基板のペースト印刷面に印刷用マスクを位置決め
し、印刷用マスクに供給されたペーストをスキージを移
動させることにより印刷用マスクの開口から前記基板の
ペースト印刷面に押し出し、前記ペーストを基板に印刷
する印刷装置において、前記基板の上面を基板ホルダ方
向に押圧し、基板の反りを矯正する反り矯正手段を設け
たことにある。

【００１６】基板ホルダに供給された基板は、反り矯正
手段によって反りが矯正された後、印刷用マスクが基板
の上面に重ね合わされるため、基板に対して印刷用マス
クが全面一様に密着される。

【００１７】請求項２は、前記反り矯正手段を、前記印
刷用マスクを保持して移動するマスクホルダに設けら
れ、このマスクホルダと一体的に移動する基板押え部材
によって構成したことにある。したがって、マスクホル
ダの移動に伴って基板押え部材が基板の上面を押圧して
基板ホルダに押し付けることができる。

【００１８】請求項３は、前記反り矯正手段を、前記印
刷用マスクを保持して移動するマスクホルダに回動自在
に設けられた基板押え部材と、この基板押え部材を回動
させる駆動部とから構成したことにある。したがって、
基板の大きさや反り状況等の必要に応じて駆動部によっ
て基板押え部材を回動して基板の上面を押圧して基板ホ
ルダに押し付けることができる。

【００１９】請求項４は、前記印刷装置において、前記
スキージを印刷用マスクに対して進退させ、スキージを
印刷マスクに対して所定の圧力で接触させるスキージ駆
動機構と、このスキージ駆動機構を制御して印刷圧力を
調整する制御部とを具備したことにある。

【００２０】制御部によってスキージ駆動機構を制御
し、スキージを昇降させることにより、印刷マスクに対
するスキージの押圧力を調整することができる。請求項
５は、前記印刷装置において、前記スキージを印刷用マ
スクに対して進退させ、スキージを印刷用マスクに対し
て所定の圧力で接触させるパルスモータと、前記スキー
ジが印刷用マスクから受ける反力をセンサによって検出
し、この検出信号によって前記パルスモータを制御して
印刷圧力を調整する制御部とを具備したことにある。

【００２１】請求項６は、前記印刷装置において、前記
スキージを印刷用マスクに対して進退させ、スキージを
印刷用マスクに対して所定の圧力で接触させるパルスモ
ータと、前記スキージが印刷用マスクから受ける反力を
検出するロードセルと、このロードセルによって検出し
た検出信号に基づき設定圧力との差を求め、前記パルス
モータを制御してスキージの進退量を補正する制御部と
を具備したことにある。

【００２２】基板の高さ変動に対してロードセル等のセ
ンサが印刷用マスクから受ける反力を検出することによ
り、印刷部位に応じて反力が変動しても、その検出信号
によって制御部がパルスモータを制御してスキージの進
退量を調整できる。

【００２３】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明するが、従来と同一構成部分は同一番号を付して説
明を省略する。図３は、基板としてのプリント基板にハ
ンダペーストを印刷する印刷装置の全体構成を概略的に
示すもので、１０は印刷装置の架台である。この架台１
０上には、前記プリント基板３にハンダペースト５を印
刷する印刷部１１と、印刷用マスク１（以下「マスク」
という）に付着したハンダペースト５を洗浄除去するク
リーニング部１２とが前後方向に並設されている。

【００２４】この発明の要部である印刷部１１について
説明すると、図４および図５に示すように、この印刷部
１１には前記プリント基板３を供給するプリント基板供
給装置１３が設けられている。このプリント基板供給装
置１３は、前記架台１０上に固定されたＹガイドレール
１３ａと、このＹガイドレール１３ａにＹ方向（図５に
おいて紙面に直交する方向）にスライド自在に保持され
た移動体１４と、この移動体１４をＹ方向に位置決め駆
動するボールねじ機構１５とが設けられている。

【００２５】前記移動体１４の上部には、上面に前記プ
リント基板３を略水平に保持しかつ上昇駆動する後述す
る基板ホルダ１６が設けられている。また、前記プリン
ト基板供給装置１３は、前記プリント基板３をＹ方向に
搬送し所定の位置で停止させると共に、その位置で前記
プリント基板３を昇降することができるようになってい
る。

【００２６】前記基板ホルダ１６は、図１および図２に
示すように、多数の吸引孔１６ａを有したパンチングメ
タルによって形成され、吸引孔１６ａから真空吸引する
ことにより、プリント基板３を吸着するようになってい
る。さらに、基板ホルダ１６の上面の一端部にはプリン
ト基板３の一端面と当接するストッパ片１７が設けら
れ、他端部にはストッパ片１７に対応してクランプ片１
８が設けられ、このクランプ片１８はシリンダ１９によ
ってストッパ片１７に対して進退自在であり、ストッパ
片１７とクランプ片１８によってプリント基板３をクラ
ンプするクランプ機構２０が構成されている。

【００２７】一方、図３に示すように、この印刷部１１
の上方と前記クリーニング部１２の上方とには、Ｘ方向
に長尺なる一対のＸガイドレール２１が略水平に架設さ
れている。このＸガイドレール２１には前記マスク１を
保持するマスクホルダ２２がＸ方向にスライド自在に設
けられている。このマスクホルダ２２は、前記Ｘガイド
レール２１にスライド自在に支持された矩形状の保持枠
２３を有しており、この保持枠２３には前記マスク１の
周縁部を支承する支承部２４が設けられ、この支承部２
４と枠部材２とによってマスク１の周縁部を挟持固定し
ている。

【００２８】前記一対のＸガイドレール２１の端部には
サーボモータ２５が固定されており、このサーボモータ
２５の回転軸はＸガイドレール２１と平行に設けられた
ボールねじ２６の一端部と直結されている。一方、前記
マスクホルダ２２の両側部には突出片２７が設けられ、
この突出片２７には前記ボールねじ２６と螺合するナッ
ト２８が設けられている。そして、ボールねじ２６の正
逆回転によってマスクホルダ２２がＸガイドレール２１
に沿って印刷部１１とクリーニング部１２とを往復運動
するようになっている。

【００２９】図１および図２に示すように、前記マスク
ホルダ２２の前端部には保持台３０が固定ねじ３０ａに
よってマスクホルダ２２の保持枠２３に固定されてい
る。保持台３０にはプリント基板３の反り３ａを矯正す
る反り矯正手段として基板押え部材３１が設けられてい
る。

【００３０】この基板押え部材３１は、保持台３０の両
側部に突設された枢支ピン３２に対して回動自在に枢支
された回動アーム３３と、この回動アーム３３の自由端
部間に架設され前記プリント基板３の上面を押圧する押
圧部３４とから構成されている。この押圧部３４はプリ
ント基板３を広範囲に押圧できるように横方向に長い棒
状体で、下面はプリント基板３に傷を付けないように円
弧状に形成されている。

【００３１】さらに、回動アーム３３の中間部には長孔
からなるガイド孔３５が設けられていると共に、前記保
持台３０の両側部には小型シリンダ３６が設けられてい
る。この小型シリンダ３６のロッド３７には前記ガイド
孔３５に嵌合して移動自在なローラ３８が設けられてい
る。そして、小型シリンダ３６によってローラ３８を前
方へ突出させると、ガイド孔３５を介して回動アーム３
３の自由端部を押し上げ、後方へ引き込むと、ガイド孔
３５を介して回動アーム３３の自由端部を押し下げ、押
圧部３４によってプリント基板３の上面を基板ホルダ１
６に押え付けることができるようになっている。

【００３２】また、回動アーム３３を回動させる手段は
小型シリンダ３６に限定されるものではなく、モータに
よって回転するカムによって回動アーム３３を押し上げ
たり、押し下げる構造でもよく、その構成は限定される
ものではない。

【００３３】前記マスクホルダ２２の保持枠２３の内部
における前部および後部にはマスクホルダ２２の移動方
向と直交する方向、つまりＹ方向に沿ってガイドロッド
４０が架設され、このガイドロッド４０にはスキージ保
持部材４１が移動自在に支持されている。さらに、一方
のガイドロッド４０に沿ってボールねじ４２が設けら
れ、このボールねじ４２の一端部は保持枠２３に固定さ
れたサーボモータ４３と直結されている。ボールねじ４
２の他端部は前記スキージ保持部材４１に設けられたナ
ット４４と螺合しており、ボールねじ４２の正逆回転に
よってスキージ保持部材４１がマスクホルダ２２の内部
においてＹ方向に往復運動するようになっている。

【００３４】前記スキージ保持部材４１には左右一対の
スキージ駆動機構４５が設けられ、これらスキージ駆動
機構４５を介して左右一対のスキージ４６が支持されて
いる。左右一対のスキージ駆動機構４５および左右一対
のスキージ４６は同一構造であるため、一方について説
明すると、スキージ４６はＸ方向に延長する帯板状で、
金属、硬質ゴムまたはウレタンによって形成されてい
る。このスキージ４６は上端部が枢支ピン４７を介して
支持部材４８に枢支され、スキージ４６の移動方向に回
動自在に支持されている。

【００３５】支持部材４８にはセンサとしてのロードセ
ル５０が設けられ、このロードセル５０はマスク１およ
びプリント基板３からスキージ４６に加わる反力を検出
するようになっている。また、支持部材４８はパルスモ
ータ５１によって回転する送りねじ５２によって支持さ
れており、送りねじ５２によって支持部材４８を介して
スキージ４６を昇降できるようになっている。

【００３６】さらに、前記ロードセル５０はアンプ５３
を介して制御部５４に接続されている。この制御部５４
には印刷圧力を設定する入力部５５が設けられ、オペレ
ータが印刷圧力を設定できるようになっている。さら
に、この制御部５４はパルスモータ５１に接続されてい
る。そして、ロードセル５０によって検出された反力の
検出信号をアンプ５３を介して制御部５４に入力し、こ
の制御部５４によって常時、設定値と検出値とを比較
し、その差を求めてパルスモータ５１の補正パルス量と
して出力するようになっている。

【００３７】次に、前述のように構成された印刷装置の
作用について説明する。まず、プリント基板供給装置１
３の基板ホルダ１６を備えた移動体１４は降下した位置
にあり、この移動体１４がＸ方向に移動して供給される
プリント基板３は基板ホルダ１６に載置される。移動部
１４は再びＸ方向に移動して印刷部１１に位置決めされ
る。

【００３８】次に、移動体１４が上昇し、基板ホルダ１
６に載置されたプリント基板３を所定の高さ位置に位置
決めすると共に、基板ホルダ１６の吸引孔１６ａから真
空吸引し、プリント基板３を基板ホルダ１６に真空吸着
する。

【００３９】ここで、サーボモータ２５が駆動してボー
ルねじ２６が回転すると、マスクホルダ２２がＹ方向に
移動し、基板押え部材３１をプリント基板３の中央部に
位置決めされる。次に、小型シリンダ３６が作動してロ
ッド３７を介してローラ３８を矢印ａ方向に移動させる
と、ローラ３８はガイド孔３５を移動して回動アーム３
３を枢支ピン３２を支点として矢印ｂ方向に回動させ
る。

【００４０】したがって、押圧部３４はプリント基板３
の上面を基板ホルダ１６方向に押し付けられるため、プ
リント基板３の反り３ａは矯正されて平坦面となる。す
なわち、プリント基板３の一部に上方へ突出する反り３
ａが発生していても、基板押え部材３１の押圧力によっ
て下方に押し付けられると、プリント基板３の下面が基
板ホルダ１６に真空吸着されるために復元することはな
い。

【００４１】次に、クランプ機構２０のシリンダ１９が
作動してクランプ片１８をプリント基板３の端面に当接
すると、プリント基板３はストッパ片１７とクランプ片
１８とによってクランプされ、その後、小型シリンダ３
６が作動してロッド３７を介してローラ３８を矢印ａ方
向と逆方向に移動させると、ローラ３８はガイド孔３５
を移動して回動アーム３３が枢支ピン３２を支点として
矢印ｂ方向と逆方向にに回動し、押圧部３４はプリント
基板３の上面から離間する。

【００４２】反り矯正が終了すると、サーボモータ２５
が再び駆動してマスクホルダ２２がＹ方向に移動し、マ
スクホルダ２２に装着されたマスク１がプリント基板３
の上部に位置決めされ、プリント基板３は再び上昇して
マスク１の下面に接合する。

【００４３】次に、パルスモータ５１が駆動して送りね
じ５２を介してスキージ４６が下降すると、スキージ４
６の下端面がマスク１を介してプリント基板３に当接す
る。ここで、スキージ４６に加わるマスク１およびプリ
ント基板３の反力をロードセル５０が検出し、あらかじ
め設定された印刷圧力の設定値との差を制御部５４で求
め、パルスモータ５１を制御する。すなわち、ロードセ
ル５０で検出した値が設定値より小さい場合にはパルス
モータ５１によってスキージ４６を下降させ、逆に設定
値より大きい場合にはパルスモータ５１によってスキー
ジ４６を上昇させる。

【００４４】次に、サーボモータ４３が駆動してボール
ねじ４２が回転すると、スキージ保持部材４１はガイド
ロッド４０に案内されながらＹ方向に移動し、スキージ
４６がマスク１の上面を摺動するため、ハンダペースト
５はマスク１の開口１ａ内に押し込まれる。つまり、プ
リント基板３の配線パターンの各電極パッド上にハンダ
ペースト５を印刷することができる。

【００４５】この印刷中においても、スキージ４６に加
わるマスク１およびプリント基板３の反力をロードセル
５０が検出し、あらかじめ設定された印刷圧力の設定値
との差を制御部５４で求めており、ロードセル５０で検
出した値が設定値より小さい場合にはパルスモータ５１
によってスキージ４６を下降させ、逆に設定値より大き
い場合にはパルスモータ５１によってスキージ４６を上
昇させ、印刷圧力を設定値に保っている。

【００４６】また、プリント基板３は基板押え部材３１
によって反り３ａが矯正されていると共に、印刷圧力が
設定値になるようにスキージ４６の押し込み量が制御さ
れているため、プリント基板３の全面に亘ってハンダペ
ースト５を均一に供給することができる。また、マスク
１を押し下げ過ぎてマスク１を破損させる恐れがない。

【００４７】また、前述したように、スキージは、金
属、硬質ゴムあるいはウレタンなど多様である。このと
き、問題となるのは、それぞれ合成の違いである。剛体
に近い金属スキージから弾性体であるゴムスギージまで
幅広く、単一の印刷圧力フィードバック方式で全ての材
質をカバーすることは不可能である。

【００４８】しかし、プリント基板ごとにスキージに加
わるイニシャル圧力（例えば２ｋｇｆ）を発生するスキ
ージの高さをデータとして持たせることとした。このデ
ータはあらかじめキャリブレーションで求めておき、印
刷時にこの高さまでスキージを送り込むことにより、設
定圧力への立上がりと追従性を高くすることが可能であ
る。

【００４９】なお、キャリブレーションは、スキージを
停止させた状態、あるいは移動（印刷）させた状態のど
ちらで行ってもよい。つまり、ゴムスキージのような弾
性体の場合、スキージが動き始めた瞬間のゴムの弾性変
形により垂直方向の反力が解放されて急激に印圧が低下
する。このような場合、印圧の立上がりが悪くなるた
め、印刷状態でのキャリブレーションをしておくのが望
ましい。金属スキージの場合は、逆に前者で十分であ
る。印刷後には必ずスキージは清掃のために着脱され
る。この点からもキャリブレーション機能は有効であ
る。つまり、着脱によりスキージの取り付け角度が変っ
ても容易にイニシャル圧力を取得できるため、面倒な機
械的位置合わせがまったく必要でない。

【００５０】このように高精度でかつ保守の容易な印圧
制御が可能となる。さらに、印圧フィードバックを行わ
ないモードでは下死点固定制御となるため、２つの制御
方法が１つの機構で実現できるメリットもある。

【００５１】なお、この発明は、前記実施例に限定され
るものではなく、発明の要旨を変更しない範囲で種々変
形可能である。例えば、スキージを昇降する機構として
はパルスモータによって回転する送りねじに限定され
ず、エアシリンダ、ラックピニオン機構、カム機構等に
より昇降させてもよい。

【００５２】また、プリント基板の反りを矯正する基板
押え部材は、回動方式に限定されず、鉛直方向に昇降す
る基板押え部材でプリント基板を基板ホルダ方向に押圧
するようにしてもよい。

【００５３】また、印刷装置としてリフローハンダ付け
に用いるハンダペーストの印刷装置を示したが、これに
限定されるものではなく、これ以外の用途でスクリーン
印刷を行う印刷装置であってもよい。したがって、ペー
ストとしてハンダペーストを用いたが、例えばインクな
どであってもよい。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、基板に反りがあっても印刷前に反り矯正手段によっ
て反りを矯正することができ、基板に均一にペーストを
印刷することができる。

【００５５】また、スキージに加わる基板からの反力を
検出し、スキージを昇降するスキージ駆動機構を制御す
ることにより、基板の厚さ等によって印刷面の高さが変
動しても、またスキージの材質によって弾性力が変動し
ても、ペーストの供給量が一定となり、微細パターンの
印刷を行う場合でもかすれ等の生じない良好な印刷を行
うことができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す印刷装置の反り矯正
機構を示す縦断側面図。

【図２】同実施例の印刷装置の反り矯正機構を示す斜視
図。

【図３】同実施例の印刷装置全体の概略的斜視図。

【図４】同実施例のスキージ駆動機構部の正面図。

【図５】同実施例にスキージ駆動機構部の側面図。

【図６】従来のハンダペースト印刷の作用を説明するた
めの斜視図。

【図７】同従来のハンダペースト印刷の作用を説明する
ための断面図。

【符号の説明】

１…マスク、３…プリント基板、５…ハンダペースト、
１１…印刷部、１６…基板ホルダ、２２…マスクホル
ダ、３１…基板押え部材、４５…スキージ駆動機構、４
６…スキージ、５０…ロードセル、５１…パルスモー
タ、５４…制御部。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板ホルダに載置した基板のペースト印
   刷面に印刷用マスクを位置決めし、印刷用マスクに供給
   されたペーストをスキージを移動させることにより印刷
   用マスクの開口から前記基板のペースト印刷面に押し出
   し、前記ペーストを基板に印刷する印刷装置において、 前記基板のペースト印刷面を基板を保持する基板ホルダ
   方向に押圧し、基板の反りを矯正する反り矯正手段を設
   けたことを特徴とする印刷装置。
2. 【請求項２】 前記反り矯正手段は、前記印刷用マスク
   を保持して移動するマスクホルダに設けられ、このマス
   クホルダと一体的に移動する基板押え部材であることを
   特徴とする請求項１記載の印刷装置。
3. 【請求項３】 前記反り矯正手段は、前記印刷用マスク
   を保持して移動するマスクホルダに回動自在に設けられ
   た基板押え部材と、この基板押え部材を回動させる駆動
   部とから構成されていることを特徴とする請求項１記載
   の印刷装置。
4. 【請求項４】 基板ホルダに載置した基板のペースト印
   刷面に印刷用マスクを位置決めし、印刷用マスクの上面
   に供給されたペーストをスキージを移動させることによ
   り印刷用マスクの開口から前記基板のペースト印刷面に
   押し出し、前記ペーストを基板に印刷する印刷装置にお
   いて、 前記スキージを印刷用マスクに対して進退させ、スキー
   ジを印刷用マスクに対して所定の圧力で接触させるスキ
   ージ駆動機構と、このスキージ駆動機構を制御して印刷
   圧力を調整する制御部とを具備したことを特徴とする印
   刷装置。
5. 【請求項５】 基板ホルダに載置した基板のペースト印
   刷面に印刷用マスクを位置決めし、印刷用マスクの上面
   に供給されたペーストをスキージを移動させることによ
   り印刷用マスクの開口から前記基板のペースト印刷面に
   押し出し、前記ペーストを基板に印刷する印刷装置にお
   いて、 前記スキージを印刷用マスクに対して進退させ、スキー
   ジを印刷用マスクに対して所定の圧力で接触させるパル
   スモータと、前記スキージが印刷用マスクから受ける反
   力をセンサによって検出し、この検出信号によって前記
   パルスモータを制御して印刷圧力を調整する制御部とを
   具備したことを特徴とする印刷装置。
6. 【請求項６】 基板ホルダに載置した基板のペースト印
   刷面に印刷用マスクを位置決めし、印刷用マスクの上面
   に供給されたペーストをスキージを移動させることによ
   り印刷用マスクの開口から前記基板のペースト印刷面に
   押し出し、前記ペーストを基板に印刷する印刷装置にお
   いて、 前記スキージを印刷用マスクに対して進退させ、スキー
   ジを印刷用マスクに対して所定の圧力で接触させるパル
   スモータと、前記スキージが印刷用マスクから受ける反
   力を検出するロードセルと、このロードセルによって検
   出した検出信号に基づき設定圧力との差を求め、前記パ
   ルスモータを制御してスキージの進退量を補正する制御
   部とを具備したことを特徴とする印刷装置。