JPH0686955A

JPH0686955A - ロールコータ

Info

Publication number: JPH0686955A
Application number: JP26535492A
Authority: JP
Inventors: Hiroo Nakamura; 宏生中村; Kazuo Kise; 一夫木瀬; Kazuto Ozaki; 一人尾崎; Kizashi Fukui; 萌福井; Hidekazu Wada; 英一和田; Seiji Taketo; 聖司竹藤; Hideki Adachi; 秀喜足立
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1992-09-07
Filing date: 1992-09-07
Publication date: 1994-03-29
Anticipated expiration: 2013-03-25
Also published as: JP2730836B2

Abstract

(57)【要約】【目的】メタルロールからアプリケータロールに、圧
接による摩耗を発生しない状態で塗布液を良好に転写で
きるようにする。【構成】メタルロールを、少なくとも表層部分に弾性
を有するアプリケータロールから離間して作用しない非
作用位置と圧接する圧接位置とにわたって変位させると
きに、アプリケータロールの外周面とメタルロールの外
周面とが互いに接触しない状態でメタルロールの外周面
の塗布液がアプリケータロールの外周面に接触して転写
される間隔となる転写位置において停止維持し、塗布液
をアプリケータロールの外周面になじませ、しかる後
に、メタルロールをアプリケータロールに圧接し、塗布
液貯留部からメタルロールに供給される塗布液をアプリ
ケータロールに転写する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フォトマスク用のガラ
ス基板、液晶表示装置用のガラス基板等の角型基板に対
して、フォトレジスト液とかポリイミド樹脂とかカラー
フィルタ材などの塗布液を塗布して均一な薄膜を形成す
るために、塗布液を貯留する塗布液貯留部と、塗布液貯
留部から塗布液を供給するメタルロールと、少なくとも
表層部分に弾性を有し、メタルロールに供給された塗布
液を転写するアプリケータロールと、アプリケータロー
ルに圧接する圧接位置とそれから離間して作用しない非
作用位置とにわたって前記メタルロールを相対的に変位
するロール移動手段と、基板をアプリケータロールと相
対的に移動して、アプリケータロールを回転させて基板
の表面に塗布液を塗布する基板移動手段とを備えたロー
ルコータに関する。

【０００２】

【従来の技術】上述のようなロールコータでは、メタル
ロールをアプリケータロールに対して遠近変位させ、メ
タルロールをアプリケータロールに圧接することによ
り、塗布液貯留部からメタルロールの外周面に膜状に付
着した塗布液をアプリケータロールに転写している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、アプリ
ケータロールの外周面には、例えば、金属製の芯体の外
周面をブチル系ゴムなどの弾性樹脂材料で被覆し、その
表層部分に弾性を備えさせており、一方、メタルロール
は金属製で構成されており、上述したように両ロールを
圧接したときに、その間に塗布液が介在しなかったり、
また、アプリケータロールの外周面に塗布液が十分にな
じんでいなかったりすると、アプリケータロールの表層
部分の弾性樹脂材料がメタルロールによって削られ、ア
プリケータロールが摩耗して耐久性が低下するのみなら
ず、削られた弾性材料が塗布液中に混じるとともに、乾
燥後にパーティクルを発生したりして品質が低下する欠
点があった。

【０００４】また、例えば、割れた基板が搬入されてき
たときとか停電などのような異常事態の発生のために両
ロールを緊急停止した場合に、アプリケータロールの外
周面にメタルロールが圧接したままに維持され、アプリ
ケータロールの外周面の表層部分が弾性変形してへこ
み、均一な薄膜を形成できなくなる欠点があった。

【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、請求項１に係る発明のロールコータ
は、メタルロールからアプリケータロールに、圧接によ
る摩耗を発生しない状態で塗布液を良好に転写できるよ
うにすることを目的とし、また、請求項２に係る発明の
ロールコータは、メタルロールからアプリケータロール
に塗布液を一層良好に転写できるようにすることを目的
とし、そして、請求項３に係る発明のロールコータは、
異常事態の発生時におけるメタルロールのアプリケータ
ロールへの圧接を回避できるようにすることを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明のロ
ールコータは、上述のような目的を達成するために、塗
布液を貯留する塗布液貯留部と、塗布液貯留部から塗布
液を供給するメタルロールと、少なくとも表層部分に弾
性を有し、メタルロールに供給された塗布液を転写する
アプリケータロールと、アプリケータロールに圧接する
圧接位置とそれから離間して作用しない非作用位置とに
わたってメタルロールを相対的に変位するロール移動手
段と、基板をアプリケータロールと相対的に移動して、
アプリケータロールを回転させて基板の表面に塗布液を
塗布する基板移動手段とを備えたロールコータであっ
て、メタルロールを非作用位置から圧接位置に移動する
ときに、アプリケータロールの外周面とメタルロールの
外周面とが互いに接触しない状態でメタルロールの外周
面の塗布液がアプリケータロールの外周面に接触して転
写される間隔となる転写位置においてロール移動手段を
停止維持する間隔制御手段を設けて構成する。

【０００７】また、請求項２に係る発明のロールコータ
は、上述のような目的を達成するために、アプリケータ
ロールとメタルロールとを、互いに同じ方向に回転する
ように設けて構成する。

【０００８】また、請求項３に係る発明のロールコータ
は、上述のような目的を達成するために、異常状態を検
出して異常信号を出力する異常検出手段と、異常信号に
応答してメタルロールを非作用位置に強制変位するよう
にロール移動手段を作動する安全手段とを備えて構成す
る。

【０００９】

【作用】請求項１に係る発明のロールコータの構成によ
れば、メタルロールを非作用位置から圧接位置に移動す
るときに、アプリケータロールの外周面に対してメタル
ロールの外周面を転写位置に停止維持させ、先ず、メタ
ルロールの外周面の塗布液をアプリケータロールの外周
面に接触して転写させ、しかる後に、圧接位置に変位さ
せ、塗布液でなじませた状態でメタルロールの外周面を
アプリケータロールの外周面に圧接することができる。

【００１０】また、請求項２に係る発明のロールコータ
の構成によれば、メタルロールの外周面とアプリケータ
ロールの外周面とを、その塗布液の転写箇所において逆
方向に回転させ、メタルロールの外周面から塗布液を剥
がす状態でアプリケータロールの外周面に転写すること
ができる。

【００１１】また、請求項３に係る発明のロールコータ
の構成によれば、緊急停止や停電による停止などの異常
事態の発生に際し、メタルロールを非作用位置に強制変
位させ、メタルロールがアプリケータロールに圧接した
ままで停止することを回避できる。

【００１２】

【実施例】次に、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。

【００１３】図１は、本発明に係るロールコータの実施
例を示す一部切欠全体側面図、図２はその全体平面図、
図３は要部の拡大側面図であり、基台１の上部に、水平
方向に往復移動可能に基板移動手段としての基板搬送ス
テージ２が設けられ、基台１に、その基板搬送方向下手
側の水平方向の第１の軸芯Ｐ１周りで上下揺動可能に支
持枠３が設けられるとともに、その支持枠３に、前記第
１の軸芯Ｐ１に近い箇所で水平方向の第２の軸芯Ｐ２周
りで上下揺動可能に上部支持枠４が設けられている。

【００１４】上部支持枠４に、周面が平滑な金属製のメ
タルロール５と、塗布液剪断用の段差部６，６によって
周面がほぼ円弧状に形成されたメタルドクタ７とが水平
方向の軸芯周りで回転可能に並設されている。

【００１５】メタルロール５の外周面とメタルドクタ７
の外周面とが所定の隙間を介して近接されるとともに、
メタルドクタ７を水平方向に変位することによって隙間
を調節可能に構成され、メタルロール５の外周面とメタ
ルドクタ７の外周面とによって塗布液貯留部８が形成さ
れるとともに、そこに貯留される塗布液の粘度等に応じ
て前述した隙間を調節するように構成されている。

【００１６】塗布液貯留部８には、その先端が塗布液中
に浸入する状態で攪拌手段兼用の塗布液供給ノズル９が
設けられるとともに、この塗布液供給ノズル９が、メタ
ルロール５の長手方向と平行な姿勢で架設されたロッド
レスシリンダ（図示せず）によって移動可能に設けら
れ、その移動に伴って塗布液貯留部８に貯留された塗布
液を攪拌するとともに、塗布液貯留部８に塗布液を供給
できるように構成されている。

【００１７】メタルロール５の横側方には、スクレーパ
１１ａとトレイ１１ｂとが設けられ、メタルロール５の
外周面に残存付着した残留塗布液、ならびに、角型基板
Ｗに塗布されなかった塗布液を回収するように構成され
ている。

【００１８】支持枠３の基板搬送方向上手側箇所に、外
周面の表層部分が平滑で弾性を有するブチル系ゴム製の
アプリケータロール１２が水平方向の軸芯周りで回転可
能に取り付けられ、メタルロール５がアプリケータロー
ル１２に対して相対的に遠近するとともに両者の近接箇
所では回転方向が逆になるように同方向に回転し、メタ
ルロール５の外周面に付着して塗布液貯留部８から供給
されてくる塗布液をアプリケータロール１２に転写する
ように構成されている。

【００１９】基台１の角型基板Ｗの搬送方向両端の一方
側に基板搬入装置１３が、そして、他方側に基板搬出装
置１４がそれぞれ設けられている。基板搬入装置１３お
よび基板搬出装置１４それぞれは、角型基板Ｗを載置し
て搬送する基板搬送ローラ１５…と、角型基板Ｗを真空
吸引によって吸着保持し基台１に対して遠近する方向に
移動可能でかつ昇降可能な基板吸着アーム１６とから構
成されている。

【００２０】基板搬送ローラ１５…それぞれにおいて、
角型基板Ｗの搬送方向に直交する方向での幅を規制する
鍔１７が付設され、一方、基板搬入装置１３において、
その搬送方向後端にストッパー１８，１８が設けられ、
基板搬送ローラ１５…によって搬送されてきた角型基板
Ｗを搬送方向後端で所定の姿勢に維持させ、その角型基
板Ｗを基板吸着アーム１６で吸着保持して上昇させ、基
板搬送ステージ２に搬入するように構成されている。

【００２１】基板搬送ステージ２は、一対のガイド１
９，１９と、零点検出器付の正逆転可能な電動モータ２
０で駆動回転されるネジ軸２１とによって水平方向に移
動可能に基板載置ステージ２２とを設けて構成されてい
る。

【００２２】図４の要部の一部切欠側面図、および、図
５の要部の一部切欠正面図それぞれに示すように、支持
枠３のアプリケータロール１２の長手方向両端側で、か
つ、回転中心の下方相当箇所に、被当接部材２３が取り
付けられるとともに、その被当接部材２３の他端側にロ
ッド２４が連結され、ロッド２４の下端側が基台１に摺
動可能に挿通されるとともに、そのロッド２４に緩衝用
のスプリング２５が介装されている。

【００２３】前記被当接部材２３，２３それぞれに当接
して支持枠３を支持し、アプリケータロール１２の最下
降位置を決めるストッパー２６が、基台１に昇降のみ可
能に設けられるとともに、ストッパー２６のネジ部２６
ａに螺合する内ネジを有するギア２７が回転のみ可能に
設けられ、かつ、両ギア２７，２７に咬合するウォーム
ギア（図示せず）を取り付けた回転軸２８に正逆転可能
な電動モータ２９がベルト式伝動機構３０を介して連動
連結され、アプリケータロール１２を揺動軸芯Ｐ１周り
で駆動揺動し、角型基板Ｗの表面に対して塗布液を塗布
する塗布状態と塗布液を塗布しない非塗布状態とにアプ
リケータロール１２の外周面を切り換え変位するように
構成されている。

【００２４】図６の要部の一部切欠正面図、図７の要部
の一部切欠背面図（図６のＡ−Ａ線断面図）、および、
図８の要部の一部切欠背面図（図６のＢ−Ｂ線断面図）
それぞれに示すように、支持枠３にストッパー軸３１
が、その軸芯とは偏位した軸芯周りで回転可能に設けら
れるとともに、そのストッパー軸３１の長手方向両端そ
れぞれに、上部支持枠４に一体の被当接部４ａに当接し
て最下降位置を規制する環状ストッパー３２が回転可能
に取り付けられている。

【００２５】また、被当接部４ａを間にした環状ストッ
パー３２の上方箇所において、支持枠３にエアシリンダ
３３が設けられるとともに、そのシリンダロッド３３ａ
の先端にローラ３４が取り付けられ、一方、被当接部４
ａの下方に、被当接部４ａに当接してそれを上方に変位
させる圧縮コイルスプリング３５が設けられ、エアシリ
ンダ３３の伸長に伴い、圧縮コイルスプリング３５の弾
性付勢力に抗して、被当接部４ａが環状ストッパー３２
に当接する位置まで押し下げるようにロール移動手段が
構成され、かつ、エアシリンダ３３の作動を停止するに
伴って、圧縮コイルスプリング３５の弾性付勢力により
被当接部４ａを押し上げ、メタルロール５をアプリケー
タロール１２から離間して作用しない非作用位置に変位
できるようにロール移動手段が構成されている。

【００２６】ストッパー軸３１の長手方向一端側にウォ
ームギア３６が取り付けられ、そのウォームギア３６に
咬合するウォーム３７を設けたギア軸３８にパルスモー
タ３９が連動連結され、一方、ストッパー軸３１の長手
方向他端側にセンサーホイール４０が取り付けられると
ともに、そのセンサーホイール４０の回転量を検出する
センサ４１が支持枠３に設けられ、前記ストッパー軸３
１を回転することにより、アプリケータロール１２に対
してメタルロール５が最も接近する位置を、アプリケー
タロール１２に圧接する圧接位置とそれから離間して作
用しない非作用位置との間の所望の位置に調整できるよ
うに構成されている。

【００２７】図９のブロック図に示すように、スタート
スイッチ４２と、メタルロール５の回転速度を設定する
メタルロール回転速度設定器４３と、非常停止スイッチ
４４と、停電を検出する停電検知器４５とがマイクロコ
ンピュータ４６に接続され、そのマイクロコンピュータ
４６に、パルスモータ３９と、エアシリンダ３３に対す
る制御弁４７とが接続されている。

【００２８】マイクロコンピュータ４６には、転写開始
時間算出手段４８と転写終了判別手段４９とから成る間
隔制御手段５０と、圧接解除手段５１が備えられてい
る。

【００２９】前記転写開始時間算出手段４８では、メタ
ルロール回転速度設定器４３で設定されたメタルロール
５の回転速度に基づき、スタートスイッチ４２をＯＮし
てメタルロール５およびアプリケータロール１２の回転
を開始した後、塗布液貯留部８からの塗布液がアプリケ
ータロール１２に転写されるまでの時間を算出するよう
になっている。

【００３０】前記転写終了判別手段４９では、予め、メ
タルロール５からアプリケータロール１２に転写された
塗布液がアプリケータロール１２の外周面になじむ時間
（例えば、10秒など）が記憶されており、転写開始時間
算出手段４８で算出された時間に塗布液がなじむ時間を
加算した転写時間が経過したかどうかを判断し、転写時
間が経過するまでは、アプリケータロール１２の外周面
とメタルロール５の外周面とが互いに接触しない状態で
メタルロール５の外周面の塗布液がアプリケータロール
１２の外周面に接触して転写される間隔となる転写位置
に維持するようにパルスモータ３９を駆動し、転写時間
が経過した後には、パルスモータ３９を駆動して、メタ
ルロール５の外周面をアプリケータロール１２の外周面
に圧接する圧接位置まで変位するようになっている。

【００３１】圧接解除手段５１では、非常停止スイッチ
４４あるいは停電検知器４５のいずれかからの異常信号
に応答して指令信号を出力し、エアシリンダ３３の制御
弁４７を自動的に閉じてエアシリンダ３３を短縮し、前
記圧縮コイルスプリング３５の弾性付勢力によって上部
支持枠４を第２の軸芯周りで上方に揺動変位させ、メタ
ルロール５の外周面をアプリケータロール１２の外周面
から離間する非作用位置に強制的に変位するようになっ
ている。上記異常状態の検出に伴って異常信号を出力す
る非常停止スイッチ４４、停電検知器４５それぞれをし
て異常検出手段と称する。また、異常信号に応答してメ
タルロール５を強制的に非作用位置に変位するように圧
接解除手段５１をエアシリンダ３３の制御弁４７に接続
する構成をして安全手段と称する。

【００３２】次に、上述マイクロコンピュータ４６によ
る動作につき、図１０の（ａ）のフローチャートを用い
て説明する。

【００３３】先ず、スタートスイッチ４２をＯＮするに
伴って、メタルロール５とアプリケータロール１２の回
転を開始する（Ｓ１）とともに、図１１の（ａ）の概略
側面図に示すように、アプリケータロール１２の外周面
とメタルロール５の外周面とが互いに接触しない状態で
メタルロール５の外周面の塗布液がアプリケータロール
１２の外周面に接触して転写される間隔となる転写位置
にメタルロール５を変位する（Ｓ２）。

【００３４】次いで、転写終了判別手段４９により転写
時間が経過したかどうかを判断し（Ｓ３）、転写時間が
経過するまでは、パルスモータ３９を駆動して最下降位
置を規制するとともに制御弁４７を開くことによりエア
シリンダ３３を伸長してメタルロール５を転写位置に維
持し、メタルロール５の外周面の塗布液をアプリケータ
ロール１２の外周面になじませながら転写し、転写時間
が経過するに伴って、図１１の（ｂ）の概略側面図に示
すように、パルスモータ３９を駆動して最下降位置を下
げるとともに制御弁４７を開くことによりエアシリンダ
３３を伸長してメタルロール５を圧接位置に変位する
（Ｓ４）。

【００３５】その後、基板載置ステージ２２の移動を開
始する（Ｓ５）とともに、電動モータ２９を駆動して支
持枠３を塗布位置に下降変位し、基板載置ステージ２２
上の基板Ｗに対してアプリケータロール１２により塗布
液を塗布する（Ｓ６）。

【００３６】次いで、塗布液の塗布が終了したかどうか
を判断し（Ｓ７）、塗布終了に伴い、電動モータ２９を
駆動して支持枠３を非塗布位置に上昇変位し、アプリケ
ータロール１２を上昇離間する（Ｓ８）。一方、塗布液
が塗布された基板Ｗは、基板載置ステージ２２により基
板搬出位置まで搬送して基板搬出手段１４によって搬出
し、その後に、基板載置ステージ２２を基板搬入位置ま
で戻す（Ｓ９）。

【００３７】しかる後に、連続して塗布するかどうかを
判断し（Ｓ１０）、連続塗布であれば、ステップＳ１１
に移行して、基板搬入手段１３によって後続する基板を
基板載置ステージ２２上に搬入載置させてから、ステッ
プＳ５に戻す。

【００３８】ステップＳ１０において、連続塗布でない
と判断したときには、制御弁４７を閉じてエアシリンダ
３３を短縮し、図１１の（ｃ）の概略側面図に示すよう
に、圧縮コイルスプリング３５の弾性付勢力によりメタ
ルロール５を非作用位置に変位してからメタルロール５
およびアプリケータロール１２の回転を停止して、一連
の作業を終了する。

【００３９】上述構成により、メタルロール５からアプ
リケータロール１２に塗布液を転写するときに、先ず、
メタルロール５の外周面の塗布液のみがメタルロール１
２の外周面に接触する転写位置に維持し、アプリケータ
ロール１２に塗布液をなじませてからメタルロール５を
アプリケータロール１２に圧接し、アプリケータロール
１２の外周面がメタルロール５によって摩耗されること
を回避することができる。

【００４０】また、ステップＳ１以降のいずれの時期に
おいても、割り込みルーチンＲにより、前述した非常停
止スイッチ４４あるいは停電検知器４５のいずれかから
の信号に基づく安全手段による割り込み処理を行うこと
ができるようになっている。

【００４１】すなわち、割り込みルーチンＲは、図１０
の（ｂ）のフローチャートに示すように、制御弁４７を
閉じてエアシリンダ３３を短縮し、図１１の（ｃ）の概
略側面図に示すように、圧縮コイルスプリング３５の弾
性付勢力によりメタルロール５を非作用位置に変位する
（Ｒ１）とともに、メタルロール５およびアプリケータ
ロール１２の回転を停止し（Ｒ２）、更に、基板載置ス
テージ２２の移動を停止する（Ｒ３）。なお、割り込み
時期によって、その直前にステップＲ１〜Ｒ３のいずれ
かと重複する動作を行っている場合はこれを繰り返さな
い。これにより、割れた基板Ｗが搬入されてきた場合と
か、停電が発生した場合などにあって、メタルロール５
をアプリケータロール１２に対して圧接する位置から逃
がし、圧接状態のまま維持されてアプリケータロール１
２の外周面にへこみを生じることを回避できるのであ
る。

【００４２】本発明としては、上述のような角型基板Ｗ
に限らず、各種の形状の基板に塗布液を塗布する場合に
適用できる。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る発
明のロールコータによれば、塗布液がなじまない状態で
メタルロールの外周面をアプリケータロールの外周面に
圧接することを回避するから、塗布液によりメタルロー
ルの外周面をアプリケータロールの外周面に対して滑ら
せ、アプリケータロールの外周面の表層部分がメタルロ
ールによって摩耗されることを回避でき、アプリケータ
ロールの耐久性を向上できるとともに、摩耗により削ら
れた弾性材料に起因するパーティクルの発生を防止でき
て品質を向上できるようになった。

【００４４】また、請求項２に係る発明のロールコータ
によれば、メタルロールの外周面とアプリケータロール
の外周面とが転写箇所において逆方向に移動し、直接接
触した場合に摩耗を生じやすいものでありながら、両ロ
ール間に塗布液をなじませて摩耗を回避しながらメタル
ロールの外周面から塗布液を剥がす状態でアプリケータ
ロールの外周面に転写するから、メタルロールからアプ
リケータロールに一層良好に塗布液を転写できるように
なった。

【００４５】また、請求項３に係る発明のロールコータ
によれば、緊急停止や停電による停止などの異常事態の
発生に際し、メタルロールを非作用位置に強制変位させ
るから、アプリケータロールに圧接したまま停止するこ
とを回避でき、アプリケータロールの表層部分の弾性変
形によるへこみを生じさせることが無く、アプリケータ
ロールの耐久性を一層向上できるとともに均一な膜厚を
良好に形成して品質を向上できるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るロールコータの第１実施例を示す
全体側面図である。

【図２】全体平面図である。

【図３】要部の拡大側面図である。

【図４】要部の一部切欠側面図である。

【図５】要部の一部切欠正面図である。

【図６】要部の一部切欠正面図である。

【図７】図６のＡ−Ａ線断面図である。

【図８】図６のＢ−Ｂ線断面図である。

【図９】ブロック図である。

【図１０】実施例の動作を示すフローチャートである。

【図１１】概略側面図である。

【符号の説明】

２…基板移動手段としての基板搬送ステージ５…メタルロール８…塗布液貯留部１２…アプリケータロール３９…ロール移動手段としてのパルスモータ４４…異常検出手段としての非常停止スイッチ４５…異常検出手段としての停電検知器５０…間隔制御手段５１…圧接解除手段Ｗ…角型基板

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【手続補正書】

【提出日】平成４年１０月１３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１１】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/027 (72)発明者尾崎一人滋賀県彦根市高宮町480番地の１大日本スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (72)発明者福井萌滋賀県彦根市高宮町480番地の１大日本スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (72)発明者和田英一滋賀県彦根市高宮町480番地の１大日本スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (72)発明者竹藤聖司滋賀県彦根市高宮町480番地の１大日本スクリーン製造株式会社彦根地区事業所内 (72)発明者足立秀喜京都市伏見区羽束師古川町322番地大日本スクリーン製造株式会社洛西工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】塗布液を貯留する塗布液貯留部と、前記塗布液貯留部から塗布液を供給するメタルロール
と、少なくとも表層部分に弾性を有し、前記メタルロールに
供給された塗布液を転写するアプリケータロールと、前記アプリケータロールに圧接する圧接位置とそれから
離間して作用しない非作用位置とにわたって前記メタル
ロールを相対的に変位するロール移動手段と、基板を前記アプリケータロールと相対的に移動して、前
記アプリケータロールを回転させて前記基板の表面に塗
布液を塗布する基板移動手段と、を備えたロールコータであって、前記メタルロールを非作用位置から圧接位置に移動する
ときに、前記アプリケータロールの外周面と前記メタル
ロールの外周面とが互いに接触しない状態で前記メタル
ロールの外周面の塗布液が前記アプリケータロールの外
周面に接触して転写される間隔となる転写位置において
前記ロール移動手段を停止維持する間隔制御手段を設け
たことを特徴とするロールコータ。
【請求項２】請求項１に記載のアプリケータロールと
メタルロールとを、互いに同じ方向に回転するように設
けてあるロールコータ。
【請求項３】請求項１または２に記載のロールコータ
において、異常状態を検出して異常信号を出力する異常検出手段
と、前記異常信号に応答してメタルロールを非作用位置に強
制変位するようにロール移動手段を作動する安全手段
と、を備えたロールコータ。