JPH08236415A

JPH08236415A - ロールコータ

Info

Publication number: JPH08236415A
Application number: JP3355495A
Authority: JP
Inventors: Yoshito Ishizaki; 義人石崎; Kenichi Nakamura; 研一中村
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1995-02-22
Filing date: 1995-02-22
Publication date: 1996-09-13

Abstract

(57)【要約】【目的】複雑な機構もしくは操作を必要とすることな
くリバースコーティングを行うこと。【構成】基板Ｗは、回転する複数の搬送ローラ３０上
を搬送されて、塗布液供給ユニット７中の各ロール１
２、１４、１６の回転軸に垂直な水平方向に一定速度で
搬送される。基板Ｗがアプリケータロール１６とバック
アップロール３２との間に挟み込まれた状態では、基板
Ｗはより摩擦の大きなバックアップロール３２に送られ
て前進し続け、この際アプリケータロール１６の外周面
１６ａに付着しているレジスト液Ｒが基板Ｗの表面全域
にリバース転写される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、アプリケータロール
に供給された所定の塗布液を基板の表面に転写すること
によって塗布液を基板の表面に塗布するロールコータに
関し、さらに詳しくは長尺状の基板ではなく、液晶用ガ
ラス角型基板、プラスチックやフィルムなどからなるフ
レキシブル基板などの単板状の基板表面に所定の塗布液
を塗布するリバースコーティング方式のロールコータに
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のリバースコーティング方式のロー
ルコータとして、例えば実開平４−９９２６６号公報に
開示のものが提案されている。このロールコータでは、
基板を定盤によって真空吸着して一体的に保持して水平
方向に搬送させる。これと同時に、塗布液が供給された
アプリケータロールをその下端が基板搬送方向と逆方向
の速度をもつように回転させるとともに、このアプリケ
ータロールをその下端が基板の表面に接するまで下降さ
せた状態とする。これにより、アプリケータロールに供
給された塗布液が基板表面に転写されて基板表面全体に
塗布膜が形成される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなリバースコーティング方式のロールコータでは、
基板を定盤に対して着脱するための特別の機構等が必要
となる。すなわち、基板搬送方向に関してアプリケータ
ロールの上流側において基板を定盤に載置して真空吸着
させる機構もしくは操作が必要であるとともに、アプリ
ケータロールの下流側においても定盤に真空吸着されて
いる基板を定盤から降ろす機構もしくは操作が必要であ
り、複雑な機構もしくは操作を必要とするという欠点が
ある。

【０００４】そこで、この発明は、複雑な機構もしくは
操作を必要とすることなくリバースコーティングを行う
ことが可能なロールコータを提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１のロールコータは、基板を所定の搬送方向
に搬送するために、基板の裏面に接しつつ所定の回転方
向に回転させられるバックアップロールと、表面に所定
の塗布液が供給されるとともに、その塗布液を基板の表
面に転写するために、基板と対向する部分においてバッ
クアップロールによって搬送される基板の搬送方向と逆
方向に進むように回転させられるアプリケータロールと
を備えることを特徴とする。

【０００６】請求項２のロールコータは、バックアップ
ロールの表層部の摩擦係数が、アプリケータロールに供
給される所定の塗布液の摩擦係数よりも大きいことを特
徴とする。

【０００７】請求項３のロールコータは、バックアップ
ロールの表層部が、ゴムからなることを特徴とする。

【０００８】

【作用】請求項１のロールコータでは、基板を所定の搬
送方向に搬送するために、基板の裏面に接しつつ所定の
回転方向に回転させられるバックアップロールと、表面
に所定の塗布液が供給されるとともに、その塗布液を基
板の表面に転写するために、基板と対向する部分におい
てバックアップロールによって搬送される基板の搬送方
向と逆方向に進むように回転させられるアプリケータロ
ールとを備えるので、バックアップロールとアプリケー
タロールとの間に基板が挟み込まれた場合、この基板
は、表面に塗布液が付着するアプリケータロールに比較
して表面の摩擦抵抗が一般に大きいバックアップロール
の回転に伴って送られ、アプリケータロール側からの比
較的小さな摩擦力に抗して搬送されることとなる。よっ
て、定盤を用いた場合のように特別の着脱機構を用いる
ことなく、複数の基板を一定速度で連続的に搬送するこ
とができる。また、搬送された基板の表面には、アプリ
ケータロールに供給された塗布液が均一に転写され、基
板表面全体に均一な膜厚の塗布膜が形成される。

【０００９】請求項２のロールコータでは、バックアッ
プロールの表層部の摩擦係数がアプリケータロールに供
給される所定の塗布液の摩擦係数よりも大きいので、こ
のバックアップロールにより、アプリケータロール側か
らの比較的小さな摩擦力に抗して確実に基板を搬送する
ことができる。

【００１０】請求項３のロールコータでは、バックアッ
プロールの表層部がゴムからなるので、バックアップロ
ールによる基板の搬送をさらに確実なものとすることが
できる。

【００１１】

【実施例】図１は、第１実施例のロールコータの構造を
示す側面図である。図示のように、第１実施例のロール
コータは、固定された基台５と、これに対し上下方向に
移動自在に取り付けられるとともに基板Ｗにレジスト液
を供給する塗布液供給ユニット７と、基板Ｗを水平方向
に搬送する搬送系９とを備える。

【００１２】塗布液供給ユニット７は、塗布液であるレ
ジスト液Ｒを貯留するディップ槽１０と、ディップ槽１
０からのレジスト液Ｒが供給されるピックアップロール
１２と、このピックアップロール１２からのレジスト液
Ｒが供給されるオフセットロール１４と、このオフセッ
トロール１４からのレジスト液Ｒが供給されるアプリケ
ータロール１６とを備える。

【００１３】ディップ槽１０中のレジスト液Ｒには、ピ
ックアップロール１２が部分的に浸漬されている。この
ピックアップロール１２は、水平な回転軸の回りで反時
計方向に一定速度で回転し、レジスト液Ｒをレジスト膜
としてその外周面１２ａに付着させてディップ槽１０か
ら上方にかき上げる。オフセットロール１４は、水平な
回転軸の回りで時計方向（ピックアップロール１２と反
対の回転方向）に一定速度で回転する。ここで、ピック
アップロール１２はオフセットロール１４に対して接離
調節可能となっており、ピックアップロール１２の外周
面１２ａに付着してかき上げられたレジスト液Ｒがオフ
セットロール１４側の外周面１４ａに適量だけ転写され
る。オフセットロール１４の外周面１４ａと接触した状
態となっているアプリケータロール１６は、水平な回転
軸の回りで時計方向に一定速度で回転する。このため、
オフセットロール１４の外周面１４ａに転写されてここ
に付着しているレジスト液Ｒは、アプリケータロール１
６の外周面１６ａに再度転写される。なお、アプリケー
タロール１６に転写され残ったレジスト液Ｒは、スクレ
ーパロール１８でオフセットロール１４の外周面１４ａ
から除去されトレイ２０に回収される。

【００１４】搬送系９は、基板Ｗを水平方向に連続的に
搬送する複数の搬送ローラ３０と、アプリケータロール
１６の下方で基板Ｗを下方から支持するバックアップロ
ール３２とを備える。

【００１５】基板Ｗは、回転する複数の搬送ローラ３０
上を搬送されて、塗布液供給ユニット７中の各ロール１
２、１４、１６の回転軸に垂直な水平方向、即ち図面左
側から右側に向けて一定速度で搬送される。図示のよう
に、基板Ｗがアプリケータロール１６とバックアップロ
ール３２との間に挟み込まれた状態では、基板Ｗはより
摩擦の大きなバックアップロール３２に送られて前進し
続け、この際アプリケータロール１６の外周面１６ａに
付着しているレジスト液Ｒが基板Ｗの表面全域に転写さ
れる。

【００１６】なお、バックアップロール３２の外周面３
２ａはゴム材で形成されている。したがって、基板Ｗが
アプリケータロール１６とバックアップロール３２との
間に挟み込まれた場合、この基板Ｗは、バックアップロ
ール３２側からの比較的大きな摩擦力を受けて、外周面
１６ａにレジスト液Ｒが付着するアプリケータロール１
６からの逆進方向の力に抗して、バックアップロール３
２の回転に伴ってこのバックアップロール３２の周速度
で送られる。よって、アプリケータロール１６とバック
アップロール３２との間に挟み込まれた基板Ｗは、アプ
リケータロール１６から所定量のレジスト液Ｒの供給を
受けつつ、バックアップロール３２によって一定速度で
送られることとなるので、表面全体にレジスト液Ｒの均
一な塗布膜を形成することができる。

【００１７】図２は、図１のロールコータに基板Ｗへの
塗布処理が開始される前の状態を説明する図である。図
１の場合と異なり、塗布液供給ユニット７は上昇してそ
の待機位置にある。この状態において、各ロール１２、
１４、１６を回転させてレジスト液Ｒの供給を開始し、
次に塗布処置の対象となる基板Ｗを投入する。基板Ｗの
先端がバックアップロール３２の上端に差し掛かって所
定の塗布開始位置に達したとき、塗布液供給ユニット７
を降下させて、アプリケータロール１６の下端が基板Ｗ
の表面を所定の力で押圧する動作位置に移動させる。こ
れにより、基板Ｗがアプリケータロール１６とバックア
ップロール３２との間に挟み込まれた図１のような状態
となる。以後は、図１で説明したように、バックアップ
ロール３２によって基板Ｗを一定速度で搬送させなが
ら、アプリケータロール１６に付着したレジスト液Ｒを
基板Ｗの表面全体に均一に塗布することができる。基板
Ｗの後端がバックアップロール３２の上端に差し掛かっ
て所定の塗布終了位置に達したとき、塗布液供給ユニッ
ト７を上昇させて待機位置に移動させレジスト液Ｒの供
給を中止するが、搬送ローラ３０とバックアップロール
３２はそのまま動作させて基板Ｗの搬送を装置外に排出
する。なお、複数の基板Ｗの連続的な処理の場合、各基
板Ｗの先端がバックアップロール３２に差し掛かるごと
に塗布液供給ユニット７を降下させ、各基板Ｗの後端が
バックアップロール３２に差し掛かるごとに塗布液供給
ユニット７を上昇させることとなる。

【００１８】図３は、第２実施例のロールコータを説明
する側面図である。なお、第２実施例は第１実施例の変
形例であるので、同一部分には同一符号を付して説明を
省略する。

【００１９】第２実施例のロールコータでは、これに設
けた塗布液供給ユニット１７の昇降機構が、第１実施例
のロールコータの塗布液供給ユニット７と異なり、微調
節用のものに過ぎない。この結果、基板Ｗの先端がバッ
クアップロール３２の上端に差し掛かったときに、基板
Ｗをアプリケータロール１６とバックアップロール３２
との間にくわえ込ませる必要が生じる。このため、第２
実施例のロールコータでは、バックアップロール３２の
上端位置の高さｈ1を搬送ローラ３０の上端位置の高さ
ｈ2よりもわずかに高くしてある。この結果、バックア
ップロール３２の上端位置の高さｈ1は基板Ｗの下端よ
りもわずかに高くなり、基板Ｗの先端がバックアップロ
ール３２の上端に差し掛かったとき、まずバックアップ
ロール３２の上端がわずかにバックアップロール３２に
当たり、基板Ｗの重みがバックアップロール３２に加わ
ることとなる。この結果、基板Ｗの搬送によって生じる
慣性力に、バックアップロール３２の回転によって生じ
る水平方向の送り力が加わり、アプリケータロール１６
とバックアップロール３２との間に基板Ｗをくわえ込ま
せ易くなる。なお、アプリケータロール１６とバックア
ップロール３２との隙間間隔ｃは基板Ｗの厚みｔよりも
わずかに小さくなっていて基板Ｗが両ロール１６、３２
間に適当な圧力で挟み込まれるようにしてある。したが
って、一旦両ロール１６、３２間にくわえ込まれた基板
Ｗは、バックアップロール３２に送られてその周速度で
搬送され、アプリケータロール１６に付着したレジスト
液Ｒが基板Ｗの表面全体に均一に塗布される。

【００２０】以上、実施例に即してこの発明を説明した
が、この発明は上記実施例に限定されるものではない。
例えば、バックアップロール３２の外周面の材質として
ゴム以外の任意の材質が使用できる。ただし、アプリケ
ータロール１６と基板Ｗとの間に挟まれるレジスト液Ｒ
その他の塗布液の動的な摩擦係数よりも大きな摩擦係数
をバックアップロール３２と基板Ｗ裏面との間に発生さ
せる必要があることから、バックアップロール３２の外
周面の材質は、レジスト液Ｒその他の塗布液の粘性に応
じて適宜選択する必要がある。

【００２１】また、第１実施例では、塗布液供給ユニッ
ト７を昇降させる機構を設けてあるが、このような機構
として、例えばガイド及びネジ機構等の組み合わせによ
って塗布液供給ユニット７の姿勢を保ったままでこれを
上下させるものを使用することができる。さらに、搬送
系９上方であってアプリケータロール１６からほぼ水平
方向に十分離れた位置にアプリケータロール１６の回転
軸に平行な回転軸を設けてこの回転軸の回りで塗布液供
給ユニット７全体を回転させることにより、塗布液供給
ユニット７を昇降運動させることもできる。

【００２２】また、第１実施例では、塗布液供給ユニッ
ト７を昇降させる構造としているが、バックアップロー
ル３２側を昇降させる構造として、バックアップロール
３２の上昇時にアプリケータロール１６とバックアップ
ロール３２との間に基板Ｗをくわえ込ませてこれを搬送
させることとしてもよい。

【００２３】また、第２実施例では、基板Ｗの先端をバ
ックアップロール３２とアプリケータロール１６との間
にくわえ込ませるため、バックアップロール３２の上端
位置の高さｈ1を搬送ローラ３０の上端位置の高さｈ2よ
りもわずかに高くしてあるが、この代わりに、基板Ｗの
搬送速度を調節するなどによって搬送時における基板Ｗ
の慣性力を増して両ロール１６、３２間へのくわえ込ま
せを行うこともできる。さらに、基板Ｗの先端が両ロー
ル１６、３２の隙間に達した時、基板Ｗの後端をわずか
に基板Ｗの進行方向に押すことでくわえ込ませることも
できる。

【００２４】

【発明の効果】以上説明のように、請求項１のロールコ
ータによれば、基板を所定の搬送方向に搬送するため
に、基板の裏面に接しつつ所定の回転方向に回転させら
れるバックアップロールと、表面に所定の塗布液が供給
されるとともに、その塗布液を基板の表面に転写するた
めに、基板と対向する部分においてバックアップロール
によって搬送される基板の搬送方向と逆方向に進むよう
に回転させられるアプリケータロールとを備えるので、
バックアップロールとアプリケータロールとの間に基板
が挟み込まれた場合、この基板は、表面に塗布液が付着
するアプリケータロールに比較して表面の摩擦抵抗が一
般に大きいバックアップロールの回転に伴って送られ、
アプリケータロール側からの比較的小さな摩擦力に抗し
て搬送されることとなる。よって、定盤を用いた場合の
ように特別の着脱機構を用いることなく、複数の基板を
一定速度で連続的に搬送することができる。また、搬送
された基板の表面には、アプリケータロールに供給され
た塗布液が均一に転写され、基板表面全体に均一な膜厚
の塗布膜が形成される。

【００２５】請求項２のロールコータによれば、バック
アップロールの表層部の摩擦係数がアプリケータロール
に供給される所定の塗布液の摩擦係数よりも大きいの
で、このバックアップロールにより、アプリケータロー
ル側からの比較的小さな摩擦力に抗して確実に基板を搬
送することができる。

【００２６】請求項３のロールコータによれば、バック
アップロールの表層部がゴムからなるので、バックアッ
プロールによる基板の搬送をさらに確実なものとするこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例のロールコータの構造を説明する側
面図である。

【図２】図１のロールコータの動作を説明する側面図で
ある。

【図３】第２実施例のロールコータの構造を説明する側
面図である。

【符号の説明】

Ｗ基板Ｒレジスト液５基台７塗布液供給ユニット９搬送系１０ディップ槽１２ピックアップロール１４オフセットロール１６アプリケータロール３０搬送ローラ３２バックアップロール

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板を所定の搬送方向に搬送するため
に、基板の裏面に接しつつ所定の回転方向に回転させら
れるバックアップロールと、表面に所定の塗布液が供給されるとともに、その塗布液
を基板の表面に転写するために、基板と対向する部分に
おいてバックアップロールによって搬送される基板の搬
送方向と逆方向に進むように回転させられるアプリケー
タロールと、を備えることを特徴とするロールコータ。
【請求項２】バックアップロールの表層部の摩擦係数
は、アプリケータロールに供給される所定の塗布液の摩
擦係数よりも大きいことを特徴とする請求項１記載のロ
ールコータ。
【請求項３】バックアップロールの表層部は、ゴムか
らなることを特徴とする請求項２記載のロールコータ。