KR0185624B1 - 롤 코우터 - Google Patents

Abstract

반송 롤에 의해 기판을 반송하는 리버스 코팅 방식의 롤 코우터에 있어서, 반송 롤에 의한 기판 반송속도와 백업 롤에 의한 기판 반송속도 사이에 차이가 있어도, 반송 롤에 의해 기판을 백업 롤의 위치로 보냈을 때에, 기판의 전단부에 의해 어플리케이터 롤의 주면에 손상을 주지 않는 롤 코우터를 제공하기 위해 기판(W)의 반송방향에 있어서의 어플리케이터 롤(12) 및 백업 롤(24)의 바로 앞측에 나란히 늘어선 다수개의 반송 롤(22)을 그에 대해 외력이 가해지지 않을 때는 회전력을 기판에 전달하고 기판을 통해서 외력이 가해졌을 때는 기판의 이동에 따라 공전하는 프리 롤로했다.

Description

롤 코우더

본 발명은 액정용 유리기판, 필름 액정용 기판, 이미지 센서용 기판, 프린트 배선용 기판, 반도체 웨이퍼 등의 각종 기판을 수평방향으로 반송하면서, 어플리케이터 롤을 기판 표면에 접촉시켜 회전시킴으로써, 어플리케이터 롤의 원주면을 통하여 기판표면에 도포액, 예를들면 포토 레지스트액, 폴리이미드 수지 등을 도포하고, 기판 표면에 소정 두께의 도포막을 형성하기 위해 사용되는 롤 코우터, 특히 어플리케이터 롤의 하부에 백업 롤을 배설하고, 어플리케이터 롤을 기판 반송방향과 역방향으로 회전시켜, 백업 롤의 위치로 기판을 보내 어플리케이터 롤과 백업 롤과의 사이의 틈새를 통과하도록 하는 소위 리버스 코팅방식의 롤코우터에 관한 것이다.

리버스 코팅방식의 롤 코우터로써는 예를들면 실개평4-99266호 공보에 개시된 것이 일반적으로 알려져 있다. 이 롤 코우터에서는 기판을 정반상에 진공 흡착하여 일체적으로 지지하여 수평방향으로 반송시키면서, 그 반송로의 상부에 배설된 어플리케이터 롤을 그 최하점이 정반상의 기판 표면에 접촉하는 위치까지 하강시킨 상태에서 기판 반송방향과 역방향으로 회전시킨다. 그리고 정반상에 지지된 기판이 어플리케이터 롤의 주면에 접촉하면서 그하부를 통과함으로써, 어플리케이터 롤의 주면에 공급된 도포액이 어플리케이터 롤의 주면으로부터 기판 표면에 전사되고, 기판표면에 소정 막두께가 형성되도록 되어 있다.

그런데, 상기한 바와같이 기판을 정반상에 지지하여 반송하는 리버스코팅 방식의 롤 코우터에서는 기판 반송방향에 있어서의 어플리케이터 롤의 상류측에 기판을 정반상에 적재하기 위한 기판이동재치기구를 설치하거나, 정반에 진공 흡착장치를 구비시킬 필요가 있고, 또 기판을 정반상에 적재하여 진공 흡착하는 조작이 필요하다. 또, 기판 반송방향에서의 어플리케이터 롤의 하류측에도 기판을 정반위로부터 하강시키기 위한 기판이동재치기구를 설치할 필요가 있고, 또, 기판의 진공흡착을 해제하여 정반위로부터 하강시키는 조작이 필요하다. 이와같이 종래 일반적으로 알려져 있던 리버스 코팅 방식의 롤 코우터는 장치구성이 복잡화되고, 쓸데없는 조작이 필요하게 된다라는 문제점을 가지고 있었다.

그래서 복잡한 기구나 쓸데없는 조작을 필요로 하지 않고 리버스 코팅을 행할 수 있는 롤 코우터로써, 어플리케이터 롤의 하부측에, 기판 이면에 당접해서 기판을 지지하여 기판 반송방향으로 회전하여 기판을 반송하는 백업 롤을 배설함과 동시에, 어플리케이터 롤 및 백업 롤의 기판 반송방향에 있어서의 바로 앞측 및 그 반대측에 각각 기판 반송방향을 따라 다수개의 반송롤을 나란히 설치함으로써 구성된 롤 코우터가 제안되어 있다. 이 롤 코우터에서는 어플리케이터 롤을 기판 반송방향과 역방향으로회전시키면서 기판 반송방향에 있어서의 어플리케이터 롤 및 백업롤의 바로 앞측에 나란히 설치된 반송 롤에 의해 기판을 백업 롤의 위치로 보내고, 기판 반송방향으로 화전 구동되는 백업 롤에 의해 기판을 전방으로 보내며, 기판 표면을 어플리케이터 롤에 접촉시키면서 어플리케이터 롤과 백업 롤과의 사이의 틈새에 기판을 통과함으로써, 어플리케이터 롤의 원주면에 공급된 도포액을 어플리케이터 롤의 주면으로부더 기판 표면에 전사하여 기판 표면에 소정 막두께의 도포막을 형성하도록 하고 있다.

그런데, 어플리케이터 롤의 하부측에 백업 롤을 배설함과 동시에, 백업 롤의 전후에 각각 다수개의 반송 롤을 배설하고, 반송 롤 및 백업 롤에 의해 기판을 반송하면서, 백업 롤의 상부측에 배치된 어플리케이터 롤에 의해 리버스 코팅을 행하는 롤코우터에서는 반송 롤에 의한 기판 반송속도와 백업 롤에 의한 기판 반송속도가 다른 경우, 예를들면 기판 반송방향에 있어서의 백업 롤의 바로 앞측에 나란히 설치된 기판 반송용의 반송 롤에 의한 기판 반송속도가 백업 롤에 의한 기판 반송속도보다 큰 경우에는 반송 롤에 의해 기판을 백업 롤의 위치로 보냈을 때에, 기판의 전단부에 의해 어플리케이터 롤의 주면에 손상을 줄 우려가 있다. 또, 반송 롤에 의한 기판 반송속도와 백업 롤에 의한 기판 반송속도와의 사이에 차가 있으면, 기판의 반송속도가 도중에서변화하는 영향에 의해 기판 표면에 도포형성된 도포막에 얼룩이 나타나거나, 혹은 기판과 반송 롤, 백업 롤과의 사이에서 마찰이 발생하여 기판 이면에 더러움이나 손상이 발생할 가능성이 있다.

또한, 상기한 바와같이 기판 반송속도 차에 의해 발생하는 문제는 반송 롤 백업 롤을 각각에 의한 기판 반송속도가 항상 같도록 정확하게 제어하는 제어장치를 설치하므로써 해소하는 것이 가능하다. 그러나, 그 경우에는 장치 구성이 복잡화되고, 또 반송롤이나 백업 롤의 구동장치의 조정작업등이 번거롭게 된다는 문제가 나온다.

본 발명은 이상과 같은 사정에 감안하여 이루어진 것으로써, 반송 롤에 의한 기판 반송속도와 백업 롤에 의한 기판반송속도와의 사이에 차가 있어도, 반송 롤에 의한 기판을 백업 롤의 위치로 보냈을 때에, 기판 전단부에 의해 어플리케이터 롤의 주면에 손상을 줄 염려가 없고, 또한 기판 표면에 도포 형성된 도포막에 얼룩이 발생하거나 기판의 이면에 더러움이나 손상이 발생할 가능성이 없는 리버스 코팅방식의 롤 코우터를 제공하는 것을 목적으로 현다.

[도 1]

본 발명의 실시형태의 일예를 도시하고, 롤 코우터의 개략구성을 도시한 측면도이다.

[도 2]

본 발명에 관한 롤 코우터에 사용되는 반송 롤의 구성예를 도시하는 종단면도이다.

[도 3]

마찬가지로 반송 롤의 다른 구성예를 도시하는 종단면도이다.

[도 4]

본 발명의 실시형태의 다른 예를 도시하고, 롤 코우터의 개략구성의 일부를 도시한 측면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 도포액 공급 유니트 12,50 : 어플리케이터 롤

20 : 기판 반송 시스템 22,26,30,42 : 반송 롤

24,52 : 백업 롤 W : 기판

청구항1에 관한 발명은 기판 이면에 당접하여 기판을 지지해서 기판의 반송방향으로 회전하는 백업 롤과, 이 백업 롤의 상부측에 백업 롤과의 사이에 기판이 통과하는데 필요한 틈새를 형성하여 배치되고, 기판 표면에 당접하여 기판의 반송방향과 역방향으로 회전하여 주면으로부터 기판표면에 도포액을 전사하는 어플리케이터롤과, 이 어플리케이터 롤 및 상기 백업 롤의 기판 반송방향에 있어서의 바로 앞측 및 그 반대측에 각각 기판 반송방향을 따라 다수개 나란히 설치되고, 기판을 백업 롤의 위치로 보내고 그 위치로 부터 송출하는 반송 롤을 구비한 롤 코우터에 있어서, 상기 어플리케이터 롤 및 백업 롤의 기판 반송방향에 있어서 적어도 바로 앞측에 나란히 설치된 상기 다수개의 반송 롤을 프리 롤로 하고, 그 반송 롤에 대해 외력이 가해지지 않을 때는 회전력을 기판에 전달하고, 기판을 통해서 외력이 가해졌을 때는 기판의 이동에 따라 공전하도록 한 것을 특징으로 한다.

청구항2에 관한 발명을 청구항1에 기재한 롤 코우터에 있어서, 어플리케이터 롤 및 백업 롤의 기판 반송방향에 있어서의 바로 앞측에 나란히 설치되는 상기 다수개의 반송 롤을 그에 의한 기판 반송방향이 백업 롤을 향해 수평방향에 대해 조금 하향되도록 배치하고, 반송 롤에 의해 반송되는 기판의 전단부가 백업 롤의 주면에 당접한 후 어플리케이터 롤의 주면에 접촉하도록 한 것을 특정으로 한다.

청구항1에 관한 발명의 롤 코우터에서는 예를들면 기판 반송방향에 있어서의 어플리케이터 롤 및 백업 롤의 바로 앞측에 나란히 설치된 반송 롤에 의한 기판의 반송속도가 백업 롤에 의한 기판 반송속도보다 큰 경우에, 반송 롤에 의해 반송된 기판의 전단부가 백업 롤의 주면 혹은 어플리케이터 롤의 원주면에 당접하면, 백업 롤의 주면등으로 부터의 힘이 기판을 통해서 반송 롤에 가해지고, 프리 롤된 반송 롤이 기판 이동을 따라 공전한다. 이 때문에, 반송 롤로 부터의 힘이 기판을 통하여 어플리케이터의 주면에 작용하지 않는다. 또, 반송 롤에 의해 반송된 기판전단부가 백업 롤의 주면에 당접하고 나서 기판의 후단부가 백업 롤의 주면으로부터 분리될 때까지의 기간, 기판은 백업 롤로부터 힘을 받아 일정 속도로 반송되며, 반송 롤에 의해 강제적으로 어플리케이터 롤과 백업 롤 사이의 틈새로 압입되지 않는다. 따라서, 기판 전단부가 백업 롤의 주면에 당접한 초기에도, 기판이 반송 롤에 의한 기판 반송속도에 의해 속도가 제어되지 않는다. 반대로 백업 롤에 의한 기판 반송속도쪽이 큰 경우라도, 기판이 백업 롤로부터 힘을 받아 반송될 때에는 기판은 프리 롤된 반송 롤로부터 힘을 받지않아, 기판과 반송 롤과의 사이에서 마찰등이 발생하지 않는다.

청구항 2에 관한 발명의 롤 코우터에서는 반송 롤에 의해 반송된 기판의 전단부는 우선 백업 롤의 주면에 당접하고, 그 후에 어플리케이터 롤의 주면에 당접한다. 그리고, 상기한 바와같이 기판의 전단부가 백업 롤의 원주면 당접한 이후에는 기판은 반송롤로부터 힘을 받지 않고 백업 롤로부터 힘을 받아 반송되므로, 반송 롤로 부터의 힘이 기판을 통하여 어플리케이터 롤에 작용하지 않는다.

이하, 본 발명의 최량의 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.

도1은 본 발명의 실시형태의 1예를 도시하고, 리버스 코팅방식의 롤 코우터의 개략 구성을 도시하는 측면도이다. 롤 코우터의 기본구성 자체는 종래의 것과 변화된 것이 없다. 즉 도1에 도시한 롤 코우터는 어플리케이터 롤(12), 오프 셋 롤(14), 픽업 롤(16) 및 저류조(18)로 구성된 도포액 공급 유니트(10)와, 다수개의 기판 반송용 반송 롤(22), 백업 롤(24) 및 다수개의 기판송출용 반송 롤(26)로 구성된 기판 반송시스템(20)을 구비하고있다.

도포액 공급 유니트(10)는 도시하지 않는 고정 기대에 상하방향으로 이동 자재케 부착되어 있다. 이 도포액 공급유니트(10)에서 저류조(18)내에는 도포액 , 예를들면 포토레지스트액(이하, [레지스트액]이라고 한다)(28)이 저류되어 있고, 저류조(18)내의 레지스트액(28)중에 픽업 롤(16) 주면의 일부가 침지되어 있다. 픽업 롤(16)은 수평축 회전으로, 도시예에서는 시계 방향으로 일정 속도로 회전하고, 레지스트액(28)을 저류조(18)로부터 상부로 올려 주면에 막상태로 부착시킨다. 오프셋 롤(14)은 수평축 둘레에 도시예에서는 반시계 방향(픽업 롤(16)의 회전방향과 역방향)으로 일정 속도로 회전한다. 여기에서 픽업 롤(16)은 오프셋 롤(14)에 대해 접리 자재케 그 틈새 칫수가 조절 가능하게 되어 있고, 픽업 롤(16)의 원주면에 막상태로부착한 레지스트액은 오프 셋 롤(14)의 주면에 적당량만큼 전사된다. 또, 어플리케이터롤(12)은 그 주면이 오프 셋 롤(14)의 주면과 접촉한 상태로 되어 있고, 수평축 둘레에 도시예에서는 반시계 방향으로 일정속도로 회전하여, 오프 셋 롤(14)의 주면에 막상태로 부착되어 있는 레지스트액이 어플리케이터 롤(12)의 주면에 재전사된다. 또한, 오프 셋 롤(14)로부터 어플리케이터 롤(12)에 전사된 나머지 레지스트액은 오프 셋 롤(14)에 부설된 도시하지 않은 스크레이퍼 롤에 의해 오프 셋 롤(14)의 주면에서 제거되어 트레이 등에 회수된다. 또한 나머지 레지스트액을 회수하는 스크레이퍼 롤은 어플리케이터 롤(12)에 대해 설치해도 된다.

기판 반송시스템(20)의 일부를 구성하고 있는 백업 롤(24)은 어플리케이터 롤(12)의 하부측에 도포액 공급 유니트(10)가 하강한 때에 어플리케이터 롤(12) 주면과의 사이에 기판(W)이 통과하는데 필요한 정도의 틈새, 즉 기판(W)두께 칫수보다 조금 작은 칫수의 틈새가 형성되도록 배설되어 있다. 이 백업 롤(12)은 수평축둘레에, 도시예에서는 반시계 방향(어플리케이터 롤(12)의 회전방향과 동일방향)으로 일정속도로 회전하고, 그 주면에서 기판(W)의 이면에 당접하여 기판(W)을 지지해서 수평방향으로 반송한다. 다수개의 기판 반송용 반송 롤(22) 및 다수개의 기판송출용 반송 롤(26)은 기판(W)의 반송방향에서의 백업 롤(24)의 바로 앞측 및 그 반대측에 각각 기판(W)의 반송방향을 따라 나란히 설치되어 있다. 그리고 기판(W)은 회전구동되는 반송 롤(22)에 의해 일정 속도로 반송되며, 기판(W)의 전단부가 백업 롤(24)에 근접하여 소정 도포개시위치에 도달하였을때에 도포액 공급 유니트(10)가 하강하여 어플리케이터 롤(12)의 주면이 기판(W) 표면에 접촉하고, 기판(W)은 백업 롤(24)에 의해 어플리케이터 롤(12) 사이의 틈새를 통과하여 전방으로 반송되며, 또한 회전구동되는 반송 롤(26)에 의해 어플리케이터 롤(12)과 백업 롤(24) 사이의 틈새로부터 송출되어 일정속도로 반송된다. 또한, 도포액 공급 유니트(10)는 기판(W)의 후단부가 백업 롤(24)의 최상점에 도달해 소정 도포종료위치에 도달하였을 때에 상승하여 대기위치로 이동한다. 그리고, 기판(W)이 이와같이 반송되는 과정에서 기판(W)이 그 표면을 어플리케이터 롤(12)에 접촉시키면서 백업 롤(24) 사이의 틈새를 통과하는 사이에, 상기한 바와같이 하여 어플리케이터 롤(12)의 주면에 전사되어 막상태로 부착된 레지스트액이 어플리케이터 롤(12)의 원주면으로부터 기판(W)의 표면에 전사되어 기판(W)의 표면에 소정 막두께의 레지스트막이 형성된다.

또한, 백업 롤(24), 어플리케이터 롤(12), 오프 셋 롤(14) 및 픽업 롤(16), 반송 롤(22),(26)의 각 주면의 표층부는 예를들면 고무재에 의해 형성되지만, 그들 각 롤의 주면의 재질로써 고무재 이외의 재질을 사용해도 지장이 없다. 예를들면 반송롤(22),(26)로써는 폴리프로필렌 등의 수지재 혹은 스테인레스 등의 금속재를 사용할 수 있다. 다만 기판(W)이 어플리케이터 롤(12)과 백업 롤(24) 사이의 틈새로 압입되었을 때, 기판(W)은 그 반송방향과 역방향으로 회전하는 어플리케이터 롤(12)로부터 기판 반송방향과는 역방향의 힘을 받으므로, 그 힘에 저항하여 기판(W)을 백업 롤(24)의 속도로 반송하기 위해서는 기판(w)의 이면과 백업 롤(24)의 주면과의 사이에 비교적 커다란 마찰력을 발생할 필요가 있으므로, 어플리케이터 롤(24)은 그 주면의 표층부를 고무재로 하는 것이 바람직하다. 이상 설명한 구성은 종래의 리버스코팅방식의 롤 코우터와 특별히 다른 점은 없지만, 이 롤코우터에서는 기판 반송용 반송 롤(22) 혹은 기판 반송용 반송롤(22)과 기판 송출용 반송 롤(26)과의 양쪽이 프리 롤로 되어 있다. 도2 및 도3에 반송 롤의 구성예를 각각 도시한다.

기판 반송용 반송 롤(22) 및 기판 송출용 반송 롤(26)의 일예로써 도2에 종단면도를 도시한 반송 롤(30)은 원통형상의 지지부재(32)의 외주면에 고무재로 이루어지는 표층부재(34)를 피복 설치하고, 지지부재(32)의 내주면측의 양단부에 베어링(36)을 각각 취착하여 구성되어 있다. 그리고 반송 롤(30)은 베어링(38)에 의해 회전자재케 지지된 회전축(40)에 삽통되어 베어링(36)을 통하여 회전축(40)에 회전 자유롭게 지지되어 있다. 이 반송 롤(30)은 도시하지 않은 구동 모터로부터 기어 등을 통하여 전달된 구동력에 의해 회전축(40)이 회전되면, 회전축(40)과 베어링(36)과의 마찰력에 의해 회전축(40)과 함께 회전하고, 기판 반송을 행한다.

한편, 이 반송 롤(30)에 대해 회전축(40)과 베어링(36)과의 마찰력보다 큰 외력이 가해지면, 즉 백업 롤(24)등으로부터 기판(W)을 통하여 힘이 가해지면, 반송 롤(30)에는 회전축(40)이 회전해도 그 회전력은 전달되지 않으며, 반송 롤(30)은 기판 이면과 표층부재(34)와의 마찰력에 의해, 기판(W)의 이동에 따라 공전한다.

이 반송 롤(30)은 기판 반송용, 기판 송출용 모두 백업 롤(24)의 속도 대소에 상관없이 사용할 수 있다.

도3에 종단면도를 도시한 반송 롤(42)은 도2에 도시한 반송 롤(30)에 있어서의 베어링(36)대신에 원 웨이 클러치를 사용한 것으로써, 그 이외의 구성은 도2에 도시한 것과 같다. 즉, 반송롤(42)은 원통형상의 지지부재(44)의 외주면에 고무재로 이루어지는 표층부재(46)를 피복 설치하고, 지지부재(44)의 내주면측의 양단부에 원 웨이 클러치(48)를 각각 부착하여 구성되며, 베어링(38)에 의해 회전 자유롭게 지지된 회전축(40)에 삽통되어, 원웨이 클러치(48)를 통하여 회전축(40)에 회전 자유롭게 지지되어 있다. 이 반송 롤(42)은 예를들면 반송 롤(22)(26)보다도 백업 롤(24)쪽이 고속인 경우의 반송 롤(22)(26)로써 사용할 수 있고, 그 작용은 도2에 도시한 반송 롤(30)과 같다.

다음에 도4에 개략구성의 일부를 도시한 롤 코우터는 기판 반송용의 다수개 반송 롤의 배치에 특징이 있다. 또한 도4에서는 어플리케이터 롤(50), 백업 롤(52) 및 기판 반송용의 반송 롤(54)만을 도시하고, 기판 송출용의 반송 롤 등은 도1에 도시한것과 같으므로, 이들의 도면을 생략하고 있다.

이 롤 코우터에 있어서의 각 반송 롤(54)도 도2 또는 도3에 도시한 바와같은 구성을 각각 가지고 있고, 이들 다수개의 반송 롤(54)이 백업 롤(52)에 근접함에 따라 순차 조금씩 낮아지도록 배치되며, 반송 롤(54)에 의한 기판(W)의 반송방향이 백업 롤(52)을 향해 수평방향에 대해 조금 하향되도록 설정되어 있다. 그리고, 반송롤(54)에 의해 반송되는 기판(W)은 도4에서 2점 쇄선으로 표시하는 바와같이, 그 이면 전단부가 우선 백업 롤(52)의 주면에 당접하고, 이어서 백업 롤(52)의 회전에 따라 백업 롤(52)의 원주면과 기판(W)의 전단부와의 마찰력에 의해 전단측이 들어올려지면서 전방으로 보내지고, 상부의 대기위치로부터 하강된 어플리케이터 롤(50)의 주면에 표면 전단부가 접촉하게 된다. 이 경우 기판(W)의 전단부가 백업 롤(52)의 주면에 당접한 이후에, 기판(W)은 도2 또는 도3에 도시한 것과 같은 프리 롤된 반송 롤(54)로부터 힘을 직접 받지않고, 반송 롤(54)에 의한 기판(W)의 반송에 의해 발생한 관성력에 백업 롤(52)과의 마찰에 의해 발생하는 반송력이 가해져 반송되게 된다. 따라서, 반송 롤(54)을 회전시키는 회전축의 구동력이 반송 롤(54) 및 기판(W)을 통하여 어플리케이터 롤(50)에 작용하지는 않는다.

또한, 도포액 공급 유니트(10)는 상부의 대기위치와 하부의 도포위치와의 사이에서 승강 구동되는데, 그것을 위한 승강기구는 어떠한 것이라도 되고, 또, 도포액 공급 유니트를 승강시키는 대신에 기판 반송시스템(20)쪽을 승강 구동시켜도 된다. 또 도포액 공급 유니트의 구성으로써는 도시예와 같이 어플리케이터 롤(12), 오프 셋 롤(14), 픽업 롤(16) 및 저액조(18)로 구성된 것에 한정되지 않고, 어플리케이터 롤과 픽업 롤, 저액조로 구성된 것, 어플리케이터 롤과 닥터 롤 또는 닥터바아로 구성되어 어플리케이터 롤과 닥터 롤 또는 닥터바아의 당접부 상부에 저액부가 형성되도록 한 것등도 되고, 다양한 구성의 도포액 공급 유니트에 대해 본 발명을 적용할 수 있다.

청구항1에 관한 발명의 롤 코우터를 사용하면, 반송 롤에 의한 기판반송속도와 백업 롤에 의한 기판 반송속도와의 사이에 차이가 있어도 반송 롤에 의해 기판을 백업 롤의 위치로 보냈을 때에, 반송 롤로 부터의 힘이 기판을 통하여 어플리케이터 롤의 주면에 작용하지 않으므로, 기판의 전단부에 의해 어플리케이터 롤의 주면이 손상을 받을 염려가 없다. 또, 반송 롤에 의해 반송된 기판은 그 전단부가 백업 롤의 원주면에 당접하고 나서 후단부가 백업 롤의 원주면으로부터 분리될때까지의 기간, 백업 롤에 의해 일정 속도로 반송되므로, 기판표면에 도포형성된 도포막에 얼룩이 발생허가나 기판 이면에 오염이나 손상이 발생하지 않는다.

그리고, 반송 롤에 의한 기판 반송 속도와 백업 롤에 의한 기판 반송 속도가 항상 같도록 정확하게 제어하는 것을 행할 필요가 없으므로, 이 롤 코우터는 구성이 간단하고, 또 반송 롤이나 백업 롤의 구동장치의 조절작업 등에 있어서의 번거로움도 없다.

청구항2에 관한 발명의 롤 코우터에서는 반송 롤에 의해 반송된 기판은 그 전단부가 백업 롤의 주면에 당접한 후에 어플리케이터 롤의 주면에 접촉하고, 또, 기판의 전단부가 백업 롤의 주면에 당접한 이후에는 기판은 반송 롤로 부터의 힘을 받지 않고 백업롤에 의해 반송되므로, 청구항1에 관한 발명의 상기 효과를 보다 확실하게 볼 수 있다.

Claims (2)

1. 기판 이면에 당접하여 기판을 지지해서 기판의 반송방향으로 회전하는 백업 롤과, 이 백업 롤의 상부측에 백업 롤과의 사이에 기판이 통과하는데 필요한 틈새를 형성하여 배치되고, 기판표면에 당접하여 기판의 반송방향과 역방향으로 회전하여 주면으로부터 기판표면에 도포액을 전사하는 어플리케이터 롤과, 이 어플리케이터롤 및 상기 백업 롤의 기판 반송방향에 있어서의 바로 앞측 및 그 반대측에 각각 기판 반송방향을 따라 다수개 나란히 설치되고, 기판을 백업 롤의 위치로 보내고 그 위치로부터 송출하는 반송롤의 구비한 롤 코우터에 있어서, 상기 어플리케이터 롤 및 백업 롤의 기판 반송방향에 있어서의 적어도 바로 앞측에 나란히 설치된 상기 다수개의 반송 롤을, 그에 대해 외력이 가해지지 않을 때는 회전력을 기판에 전달하여 기판을 통해서 외력이 가해졌을 때는 기판의 이동에 따라 공전하는 프리 롤로 한 것을 특징으로 하는 롤코우터.
2. 제1항에 있어서, 어플리케이터 롤 및 백업 롤의 기판 반송방향에 있어서의 바로 앞측에 나란히 설치되는 다수개의 반송 롤이 그에 의한 기판 반송방향이 백업 롤을 향해 수평방향에 대해 조금 하향되도록 배치되며, 반송 롤에 의해 반송되는 기판의 전단부가 백업 롤의 원주면에 당접한 후 어플리케이터 롤의 주면에 접촉하도록 한 것을 특징으로 하는 롤 코우터.