JP2006289162A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
容易に矯正できるが押さえをなくすと元に戻り反るような基板において、反りを矯正し、矯正した状態を保ちながら位置ズレなしに、搬送及び塗布を行うことができる装置を提供することにある。
【解決手段】
搬送機構部4をバキュームコンベアとし、バキュームコンベアをベルト12面上、及びベルト搬送面裏面に接触配置したチャンバ24上に吸引穴を設け、チャンバ24の吸着部分を分割し、センサにより基板の搬送に合わせ分割した部屋の吸引する部屋を切り替えるようにし、前記チャンバ24の始まりに基板反り矯正用押し付け機構14を設け、基板1を位置決め、反り矯正、吸着搬送することにより、反りを矯正した姿勢を保ち位置ズレが起きないようにしながら搬送塗布できる。
【選択図】 図1
Description
Claims (6)
- 基板を搬入するローダ機構部と、基板の搬送方向と直行する幅方向の位置を合わせる位置決め部と、基板面上に複数の異なる色のインクで塗装を施す複数のインク吐出ヘッドからなる塗布ユニット部と、前記塗布ユニット部にて前記基板を搬送する搬送機構部と、塗装を施された基板を装置外に搬出するアンローダ機構部と、前記各部を制御する制御部からなる塗布装置において、
前記搬送機構部を複数の開孔を備えたバキュームコンベア構造とし、ベルトの内側に接触配置した複数の部屋に仕切ったバキュームチャンバを配置し、前記各部屋上部に前記バキュームコンベアの開孔と連通するように吸引孔を設け、基板センサにより基板の搬送に合わせ前記バキュームチャンバを構成する各部屋の吸引を切り替える制御できる負圧供給部設け、前記バキュームチャンバの直前またはバキュームチャンバの始まりに基板反り矯正用押し付け機構を設けたことを特徴とする塗布装置。 - 基板を搬入するローダ機構部と、基板の搬送方向と直行する幅方向の位置を合わせる位置決め部と、基板面上に複数の異なる色のインク塗布する複数のインク吐出ヘッドを備えた塗布ユニット部と、塗布ユニット部において基板を搬送する搬送機構部と、塗装を施された基板を装置外に搬出するアンローダ機構部と、各部を制御する制御部からなる塗布装置において、
ローダ部、搬送部、アンローダ部それぞれの搬送要素であるコンベアを搬送方向に向かって左右に配置したことと、搬送方向に向かって中央部に吸着機構を持ち、上下移動及び搬送方向に向かってローダ機構部からアンローダ機構部まで前進後退ができる搬送ステージを1個以上設け、前記搬送ステージに吸着機構を設けたことを特徴とする塗布装置。 - 請求項1記載の塗布装置において、一つ以上の位置決め部を設け、その内の一つはローダ機構部後部及び搬送機構部前部に渡り、位置決め部を設けることにより位置決めした位置を保ちながら吸着できることを特徴とする塗布装置。
- 請求項1記載の塗布装置において、基板を搬入するローダ機構部を一定の力を受けると空転するアキューム機構にすることにより、塗布ユニット部の搬送機構によって吸着搬送されながら塗布されている基板に位置ズレを起こすような力を与えないようにしたことを特徴とする塗布装置。
- 請求項1記載の塗布装置において、基板を搬出するアンローダ部をフリーローラコンベアで構成し、塗布ユニット部の搬送機構に吸着搬送されながら塗布されている基板に位置ズレを起こすような力を与えないようにしたことを特徴とする塗布装置。
- 請求項2記載の塗布装置において、基材の反り矯正押し付け機構を1個以上設けたことを特徴とする塗布装置。
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