JP4453702B2 - 複合型電子部品及びその製造方法 - Google Patents

複合型電子部品及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4453702B2
JP4453702B2 JP2006527819A JP2006527819A JP4453702B2 JP 4453702 B2 JP4453702 B2 JP 4453702B2 JP 2006527819 A JP2006527819 A JP 2006527819A JP 2006527819 A JP2006527819 A JP 2006527819A JP 4453702 B2 JP4453702 B2 JP 4453702B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
chip
block
type electronic
multilayer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006527819A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2006011508A1 (ja
Inventor
悟 野田
淳 原田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority claimed from PCT/JP2005/013724 external-priority patent/WO2006011508A1/ja
Publication of JPWO2006011508A1 publication Critical patent/JPWO2006011508A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4453702B2 publication Critical patent/JP4453702B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49822Multilayer substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5385Assembly of a plurality of insulating substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/552Protection against radiation, e.g. light or electromagnetic waves
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/16Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/14Structural association of two or more printed circuits
    • H05K1/141One or more single auxiliary printed circuits mounted on a main printed circuit, e.g. modules, adapters
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/14Structural association of two or more printed circuits
    • H05K1/142Arrangements of planar printed circuit boards in the same plane, e.g. auxiliary printed circuit insert mounted in a main printed circuit
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/18Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
    • H05K1/182Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with components mounted in the printed circuit board, e.g. insert mounted components [IMC]
    • H05K1/185Components encapsulated in the insulating substrate of the printed circuit or incorporated in internal layers of a multilayer circuit
    • H05K1/186Components encapsulated in the insulating substrate of the printed circuit or incorporated in internal layers of a multilayer circuit manufactured by mounting on or connecting to patterned circuits before or during embedding
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/18Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
    • H05K1/182Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with components mounted in the printed circuit board, e.g. insert mounted components [IMC]
    • H05K1/185Components encapsulated in the insulating substrate of the printed circuit or incorporated in internal layers of a multilayer circuit
    • H05K1/186Components encapsulated in the insulating substrate of the printed circuit or incorporated in internal layers of a multilayer circuit manufactured by mounting on or connecting to patterned circuits before or during embedding
    • H05K1/187Components encapsulated in the insulating substrate of the printed circuit or incorporated in internal layers of a multilayer circuit manufactured by mounting on or connecting to patterned circuits before or during embedding the patterned circuits being prefabricated circuits, which are not yet attached to a permanent insulating substrate, e.g. on a temporary carrier
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4688Composite multilayer circuits, i.e. comprising insulating layers having different properties
    • H05K3/4694Partitioned multilayer circuits having adjacent regions with different properties, e.g. by adding or inserting locally circuit layers having a higher circuit density
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/095Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00 with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials provided in the groups H01L2924/013 - H01L2924/0715
    • H01L2924/097Glass-ceramics, e.g. devitrified glass
    • H01L2924/09701Low temperature co-fired ceramic [LTCC]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1517Multilayer substrate
    • H01L2924/15192Resurf arrangement of the internal vias
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19105Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10613Details of electrical connections of non-printed components, e.g. special leads
    • H05K2201/10621Components characterised by their electrical contacts
    • H05K2201/10636Leadless chip, e.g. chip capacitor or resistor
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28Applying non-metallic protective coatings
    • H05K3/284Applying non-metallic protective coatings for encapsulating mounted components
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49126Assembling bases
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/4913Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/4913Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
    • Y10T29/49131Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc. by utilizing optical sighting device
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/4913Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
    • Y10T29/49133Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc. with component orienting
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49155Manufacturing circuit on or in base
    • Y10T29/49165Manufacturing circuit on or in base by forming conductive walled aperture in base

Description

本発明は、複合型電子部品及びその製造方法に関し、更に詳しくは、特性を異にする複数種の基板を一体化して所望の機能を付与すると共に小型化、低背化を実現することができる複合型電子部品及びその製造方法に関するものである。
近年、携帯電話等の移動体通信機器や電子機器の小型化、高機能化に伴い、電子部品の小型化、高機能化が急速に進展している。例えば特許文献1では回路部品を内蔵してモジュール化された回路部品内蔵モジュール及びその製造方法が提案されている。
特許文献1に記載の回路部品内蔵モジュールは、無機フィラーと熱硬化性樹脂とを含む混合物からなる電気絶縁性基板と、前記電気絶縁性基板の少なくとも一方の主面に形成された複数の配線パターンと、前記電気絶縁性基板に埋設され前記配線パターンに電気的に接続された回路部品とを含み、前記回路部品と前記配線パターンとが導電性接着剤(またはバンプ)を介して電気的に接続されている。また、特許文献1には電気絶縁性基板を複数層に渡って積層された多層構造の回路部品内蔵モジュールが提案されている。特許文献1では、回路部品を高密度、高機能化する方法としてインナービアホール接続法が用いられ、信頼性を高める方法として電気絶縁性基板の材料として無機フィラーと熱硬化性樹脂とを含む混合物が用いられている。
特許第3375555号公報
しかしながら、従来の複合型電子部品は、特許文献1に記載の回路部品内蔵モジュールのように電気絶縁性基板の少なくとも一方の主面に複数の配線パターンを形成し、これらの配線パターンと接続される回路部品を電気絶縁性基板内に埋設しているため、種々の機能を付与するために異なる複数種の回路部品を電気絶縁性基板に内蔵させるにしても回路部品の高さが電気絶縁性基板の高さに制限され、しかも高密度配線になっても回路部品が埋設された電気絶縁性基板の内部に配線層を設け難く、その電気絶縁性基板の上下に配線層を設けざるを得ず、低背化が難しいという課題があった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、機能を異にする種々の基板や電子部品を組み合わせて種々の機能を付与することができると共に小型化、低背化を促進することができる複合型電子部品及びその製造方法を提供することを目的としている。
本発明の請求項1に記載の複合型電子部品は、複数の絶縁層が積層され且つ配線パターンを有する多層配線ブロック、複数の絶縁層が積層され且つ配線パターンを有すると共に第1のチップ型電子部品を内蔵するチップ型電子部品内蔵多層ブロック、及び受動部品または能動部品からなる第2のチップ型電子部品が樹脂封止されたチップ型電子部品ブロックの少なくともいずれか2つを備え、上記多層配線ブロック、上記チップ型電子部品内蔵型多層ブロック、及び第2のチップ型電子部品が樹脂封止されたチップ型電子部品ブロックの少なくともいずれか2つは、樹脂ブロックを介して一体化して同一平面上に配置されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項2に記載の複合型電子部品は、請求項1に記載の発明において、上記多層配線ブロック、上記チップ型電子部品内蔵多層ブロック、及び上記チップ型電子部品ブロックは、上記樹脂ブロックを介して一体化していることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項3に記載の複合型電子部品は、請求項1または請求項2に記載の発明において、上記多層配線ブロックと上記チップ型電子部品内蔵多層ブロックとは、互いに異なる材料で形成されていることを特徴とするものである。
また、本発明の請求項4に記載の複合型電子部品の製造方法は、複数の絶縁層が積層され且つ配線パターンを有する多層配線ブロック、複数の絶縁層が積層され且つ配線パターンを有すると共に第1のチップ型電子部品を内蔵するチップ型電子部品内蔵多層ブロック、及び第2のチップ型電子部品が樹脂封止されたチップ型電子部品ブロックの少なくともいずれか2つと、配線パターンを有する樹脂ブロックと、をそれぞれ同一平面上に配置する工程と、上記多層配線ブロック、上記チップ型電子部品内蔵多層ブロック、及び上記チップ型電子部品ブロックの少なくともいずれか2つを、上記樹脂ブロックを介して互いに圧着して電気的に接続する工程と、を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の請求項5に記載の複合型電子部品の製造方法は、請求項4に記載の発明において、上記多層配線ブロック、上記チップ型電子部品内蔵多層ブロック、上記チップ型電子部品ブロック、及び上記樹脂ブロックをそれぞれ配置する工程と、上記多層配線ブロック、上記チップ型電子部品内蔵多層ブロック、及び上記チップ型電子部品ブロックを、上記樹脂ブロックを介して互いに圧着して電気的に接続する工程と、を備えたことを特徴とするものである。
本発明によれば、機能を異にする種々の基板や電子部品を適宜組み合わせて同一平面上に配列して互いに電気的に接続して種々の機能を付与することができると共に小型化、低背化を促進することができる複合型電子部品及びその製造方法を提供することができる。
(a)、(b)はそれぞれ本発明の複合型電子部品の一実施形態を示す図で、(a)はその断面図、(b)はその一部を拡大して示す断面図である。 (a)〜(c)はそれぞれ図1に示す複合型電子部品の製造方法の一実施形態を工程順に示す斜視図である。 (a)、(b)はそれぞれ図2に示す工程における断面図で、(a)は多層配線ブロック等を支持基板上に実装した状態を示す図、(b)は樹脂シートを圧着した状態を示す図である。 本発明の複合型電子部品の他の実施形態を示す断面図である。 本発明の複合型電子部品の更に他の実施形態を示す断面図である。 本発明の複合型電子部品の更に他の実施形態を示す断面図である。 本発明の複合型電子部品の更に他の実施形態を示す斜視図である。 本発明の複合型電子部品の更に他の実施形態を示す斜視図である。 (a)、(b)はそれぞれ本発明の複合型電子部品の更に他の実施形態を示す図で、(a)は本発明の複合型電子部品の製造方法の他の実施形態の工程の要部に示す斜視図、(b)は(a)に示す製造方法によって作製された複合型電子部品を示す断面図である。 本発明の複合型電子部品の更に他の実施形態を示す斜視図である。 本発明の複合型電子部品の更に他の実施形態を示す斜視図である。 本発明の複合型電子部品の更に他の実施形態を示す断面図である。 本発明の複合型電子部品の更に他の実施形態を示す断面図である。 本発明の複合型電子部品の更に他の実施形態を示す断面図である。
符号の説明
10、10A、10B、10C、10D、10E、10F、10G、10H、10I、10J、10K 複合型電子部品
11 多層配線ブロック
11B 配線パターン
12 チップ型電子部品内蔵多層ブロック
12C 配線パターン
13 第2のチップ型電子部品
14 支持基板
18 チップ型電子部品ブロック
18A 熱硬化性樹脂
19、20、21、22 樹脂ブロック
第1の実施形態
以下、図1〜図14に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態の複合型電子部品10は、例えば図1の(a)、(b)に示すように、多層配線ブロック11と、第1のチップ型電子部品12Aを内蔵するチップ型電子部品内蔵多層ブロック12と、第2のチップ型電子部品13と、これら三者11、12、13が実装されてこれら三者を支持する支持基板14と、支持基板14上で多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2のチップ型電子部品13の三者を被覆して一体化する樹脂部15と、を備え、多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2のチップ型電子部品13の三者は支持基板14上でその表面に形成された表面配線パターン14Aを介して互いに電気的に接続されている。
多層配線ブロック11は、主として複合型電子部品10の配線部分をブロック化したもので、基本的には配線パターンとして受動機能部を受け持つブロックである。この多層配線ブロック11は、図1の(a)に示すように、例えば複数の絶縁層11Aが積層された積層体と、積層体の内部に所定のパターンで形成された配線パターン11Bと、を有している。この配線パターン11Bは、各絶縁層11Aの間に設けられた複数の面内導体11Cと、各絶縁層11Aを貫通し上下の面内導体11Cを電気的に接続するビアホール導体11Dとから形成されている。多層配線ブロック11は、適宜の面内導体11Cに接続されたインダクタやキャパシタ等の受動素子を含むものであっても良い。多層配線ブロック11は、下面に形成された外部端子電極11Eを介して支持基板14の表面配線パターン14Aに接続されている。
絶縁層11Aは、例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂等の熱硬化性樹脂によって形成することができる。この場合には、多層配線ブロック11は例えばビルドアップ法によって形成することができ、面内導体11Cは例えば銅箔等の金属箔をパターニングすることによって形成することができる。また、ビアホール導体11Dは絶縁層11Aに形成されたビアホール内に導電性ペーストを充填することによって形成することができる。導電性ペーストは、例えば金属粒子と熱硬化性樹脂とを含む導電性樹脂組成物である。金属粒子としては、例えば金、銀、銅、ニッケル等の金属を用いることができ、熱硬化性樹脂としては、例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂等の樹脂を用いることができる。
また、絶縁層11Aは、誘電率の低いセラミック材料によって形成することができ、セラミック材料としては低温焼結セラミック材料が好ましい。低温焼結セラミック材料としては、例えば、アルミナやフォルステライト、コージェライト等のセラミック粉末やこれらのセラミック粉末にホウ珪酸系ガラスを混合したガラス複合系材料、ZnO−MgO−Al−SiO系の結晶化ガラスを用いた結晶化ガラス系材料、BaO−Al−SiO系セラミック粉末やAl−CaO−SiO−MgO−B系セラミック粉末等を用いた非ガラス系材料等を挙げることができる。この場合には、面内導体11C及びビアホール導体11DはAgまたはCu等の低抵抗で低融点をもつ金属を低温で低温焼結セラミック材料と同時焼成して一体的化することができる。
また、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12は、多層配線ブロック11と同様に、主として複合型電子部品10の受動機能部を受け持つブロックである。このチップ型電子部品内蔵多層ブロック12は、図1の(a)、(b)に示すように、第1のチップ型電子部品12Aを内蔵すると共に多層配線ブロック11と同様に複数の絶縁層12Bが積層された積層体として形成され、内部に配線パターン12Cが形成されている。
第1のチップ型電子部品12Aは、例えばチップ型コンデンサ、チップ型インダクタ、チップ型抵抗等のセラミック焼結体によって形成されている。絶縁層12Bは、基本的には無機フィラーとエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂との混合物によって形成されていることが好ましい。絶縁層12Bは、例えばセラミックと樹脂、あるいはエポキシ樹脂と無機フィラーを含有するエポキシ樹脂等のように、上述の絶縁層11Aとは異なる材料によって形成されていても良い。配線パターン12Cは、同図の(b)に示すように、例えば各絶縁層12Bの間に設けられた複数の面内導体12Dと、各絶縁層12Aを貫通し上下の面内導体12Dを電気的に接続するビアホール導体12Eと、積層体の下面に形成された第1の外部端子電極12Fと、積層体の上面に形成された第2の外部端子電極12Gとから構成されている。そして、面内導体12Dの適宜の場所に第1のチップ型電子部品12Aが実装されている。チップ型電子部品内蔵多層ブロック12は、下面に形成された第1の外部端子電極12Fを介して支持基板14の表面配線パターン14Aに接続されている。チップ型電子部品内蔵ブロック12上面の第2の外部端子電極12Gには必要に応じてシリコン半導体等の能動素子を実装しても良い。
第2のチップ型電子部品13は、例えば、セラミック焼結体を素体とする受動素子またはシリコン半導体を素体とする能動素子からなり、図1の(a)に示すように下面の外部端子電極13Aを介して支持基板14の表面配線パターン14Aに電気的に接続されている。この第2のチップ型電子部品13は、多層配線ブロック11及びチップ型電子部品内蔵多層ブロック12と支持基板14を介して互いに電気的に接続されて協働し、複合型電子部品10に種々の機能を付与する。
第2のチップ型電子部品13とチップ型電子部品内蔵多層ブロック12に内蔵された第1のチップ型電子部品12Aとは、基本的にはサイズによって分類される。チップ型電子部品は、例えば厚みが0.8mm、長さが1.6mm、幅が0.8mmより大きくなると、積層体に内蔵させることが難しいため、第2のチップ型電子部品13として多層配線ブロック11等と一緒に配置する。従って、上記サイズより小さなチップ型電子部品は第1のチップ型電子部品12Aとしてチップ型電子部品内蔵多層ブロック12として内蔵させて使用する。
また、支持基板14は、表面配線パターン14Aを有するものであれば特に制限されないが、例えば樹脂多層基板であってもセラミック多層基板であっても良い。
以上説明したように本実施形態によれば、機能を異にする、多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2のチップ型電子部品13を備え、これらが互いに電気的に接続されて同一平面上に配置されているため、複数の機能を付与して高機能化を実現することができると共に基板の小型化、低背化を促進することができる複合型電子部品10を得ることができる。
更に、本実施形態によれば、必要に応じて多層配線ブロック11の絶縁層11Aとチップ型電子部品内蔵多層ブロック12の絶縁層12Bとを異なる材料、例えば有機材料と無機材料に分けて構成することができるため、異種材料からなる支持基板14上に複合型電子部品10を搭載しても、複合型電子部品10を構成する各ブロック11、12の残留応力が異なり、それぞれの残留応力を支持基板14上で緩和して歪み等による物理特性の弊害を抑制することができ、信頼性を向上させることができる。
次いで、図1に示す複合型電子部品10の製造方法の一実施形態について図2、図3を参照しながら説明する。複合型電子部品10を製造するに当たって、予め作製された多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12、第2チップ型電子部品13及び支持基板14を準備する。次いで、図2の(a)に示すように多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2チップ型電子部品13それぞれを、支持基板14の表面配線パターン14Aの所定の位置に合わせた後、図3の(a)に示すように支持基板14上に実装する。
次いで、図2の(b)に示すように予め準備された未硬化状態(即ち、Bステージ状態)の樹脂プリプレグシート15Aを支持基板14の上方に配置して樹脂プリプレグシート15Aを多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2チップ型電子部品13上に被せた後、未硬化状態の樹脂部の硬化温度よりも高い温度で熱圧着すると、図2の(c)に示すように樹脂が流動し、樹脂によって多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2チップ型電子部品13それぞれの隙間を埋めると共にこれらの上面を被覆する。その後、未硬化状態の樹脂部が熱硬化することによって、多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2チップ型電子部品13が樹脂部15を介して一体化する。この処理によって図3の(b)に示す複合型電子部品10を得ることができる。
従って、本実施形態の製造方法によれば、製法が異なる基板や電子部品、即ち多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2のチップ型電子部品13を適宜組み合わせ、種々の機能を付与した複合型電子部品10を製造することができる。
第1の実施形態では、多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12、及び第2のチップ型電子部品13の三者が実装されて、これら三者11、12、13が支持基板14上で表面配線パターン14Aを介して互いに電気的に接続された複合型電子部品10について説明した。しかし、本発明の複合型電子部品では、例えば図4〜図6に示すように、多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12、及び第2のチップ型電子部品13の少なくともいずれか2つを必要に応じて適宜選択して、選択された2つを同一の支持基板14上に配置し、互いに電気的に接続したものであっても良い。ここでも本実施形態と同一または相当部分には同一符号を付して変形例について説明する。
第1の変形例の複合型電子部品10Aは、図4に示すように、多層配線ブロック11と、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12と、これら両者11、12を支持する支持基板14と、支持基板14上で多層配線ブロック11及びチップ型電子部品内蔵多層ブロック12を被覆する樹脂部15と、を備え、多層配線ブロック11及びチップ型電子部品内蔵多層ブロック12が支持基板14の表面に形成された表面配線パターン14Aを介して互いに電気的に接続され、第1の実施形態に準じて構成されている。このようにチップ型電子部品内蔵型多層ブロック12の配線パターン12Cとは別に配線を分担する多層配線ブロック11をチップ型電子部品内蔵型多層ブロック12の側方に設けることによって、チップ型電子部品内蔵型多層ブロック12の配線パターン12Cを側方に拡張することができ、第1の実施形態と同様に、複合型電子部品10Aを低背化することができる。
第2の変形例の複合型電子部品10Bは、図5に示すように、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12と、第2のチップ型電子部品13と、これら両者12、13を支持する支持基板14と、支持基板14上でチップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2のチップ型電子部品13を被覆する樹脂部15と、を備え、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2のチップ型電子部品13が支持基板14の表面に形成された表面配線パターン14Aを介して互いに電気的に接続され、第1の実施形態に準じて構成されている。例えば第2のチップ型電子部品13がコイル成分を含む場合には、チップ型電子部品内蔵型多層ブロック12内の側方に第2のチップ型電子部品13を設けることで、コイル成分を含む第2のチップ型電子部品13の上下に配線パターンが形成されておらず、更にその周囲が樹脂部15で覆われているため、コイル成分に基づく磁界はチップ型電子部品内蔵型多層ブロック12の配線パターン12Cの影響を受け難くなり、複合型電子部品10Bの信頼性を向上させることができる。また、コイル成分を有するチップ型電子部品は、第1のチップ型電子部品12Aとしてではなく、第2のチップ型電子部品13として配線パターンから独立して設けることで、コイル成分に基づく磁界はチップ型電子部品内蔵型多層ブロック12内の配線パターン12Cの影響を受け難くなり、第1の実施形態と同様に、複合型電子部品10Bの信頼性を向上させることができる。
第3に示す変形例の複合型電子部品10Cは、図6に示すように、多層配線ブロック11と、第2のチップ型電子部品13と、これら両者11、13を支持する支持基板14と、支持基板14上で多層配線ブロック11及び第2のチップ型電子部品13を被覆する樹脂部15と、を備え、多層配線ブロック11及び第2のチップ型電子部品13が支持基板14の表面に形成された表面配線パターン14Aを介して互いに電気的に接続され、第1の実施形態に準じて構成されている。第2のチップ型電子部品13がコイル成分を含む場合には、多層配線ブロック11を第2のチップ型電子部品13の側方に設けることで、第2のチップ型電子部品13の上下に配線パターンが形成されておらず、更にその周囲が樹脂部15で覆われているため、コイル成分に基づく磁界は多層配線ブロック11の配線パターン11Bの影響を受け難くなり、第1の実施形態と同様に、複合型電子部品10Cの信頼性を向上させることができる。
次に、図7〜図14を参照しながら本発明の複合型電子部品の他の実施形態について上記実施形態と同一または相当部分には同一符号を附して説明する。
第2の実施形態
本実施形態の複合型電子部品10Dは、例えば図7に示すようにシールド電極及びビアホール導体を有する以外は上記実施形態に準じて構成されている。即ち、本実施形態の複合型電子部品10Dは、同図に示すように、多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12、第2のチップ型電子部品13及び支持基板14を備え、多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2チップ型電子部品13が支持基板14上でプリプレグシートからなる樹脂部15を介して一体化されている。樹脂部15の上面は平坦化されており、且つ、その上面にはシールド電極16が形成され、このシールド電極16と支持基板14は断面形状が例えば円形、楕円形状等に形成されたビアホール導体17によって電気的に接続されている。
このように、樹脂部15の上面にシールド電極16を設けることによって外部の磁気環境から複合型電子部品10Dの内部を保護することができる。また、ビアホール導体17がチップ型電子部品内蔵多層ブロック12と第2のチップ型電子部品13との間に介在することによって、隣り合うチップ型電子部品内蔵多層ブロック12と第2のチップ型電子部品13との間での電磁気的な相互干渉を抑制し、各ブロック11、12と第2のチップ型電子部品13との隙間を詰めて高密度実装を行うことができ、延いては複合型電子部品10Dを小型化することができる。
シールド電極16及びビアホール導体17を設ける場合には、例えば銅箔等の金属箔が被着された樹脂プリプレグシートを上記実施形態と同様に熱圧着した上面を平坦に形成した後、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて上面の金属箔を所定のパターンでエッチングする。次いで、COレーザ光を樹脂部15の所定箇所に照射してビアホールを形成する。そして、各ビアホール内のデスミア処理を行った後、無電解銅めっき、電解銅めっきの順でビアホール内に銅金属を充填してビアホール導体17を形成し、シールド電極16と支持基板14の表面配線パターン14Aとを電気的に接続する。
以上説明したように本実施形態によれば、上記実施形態と同一の作用効果を期することができ、しかもシールド電極16によって外部の磁気環境から複合型電子部品10D内を保護すると共にビアホール導体17によって隣接するチップ型電子部品内臓多層ブロック12と第2のチップ型電子部品13との間の電磁気的な相互干渉を防止してこれら両者12、13を高密度に詰めて高密度化することができる。
第3の実施形態
本実施形態の複合型電子部品10Eは、図7に示す複合型電子部品10Dから支持基板14を除いた以外は複合型電子部品10Dと同様に構成されている。本実施形態の複合型電子部品10Eは、図8に示すように、例えば剥離可能な転写用シート上または転写用フィルム(図示せず)上に形成することができる。複合型電子部品10Eをマザーボード等の実装基板に実装する場合には、複合型電子部品10Eから転写用シートまたは転写用フィルムを剥離して実装基板上に実装する。即ち、例えば銅箔等の金属箔を転写用シート上に剥離可能に貼り付ける。そして、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術を用いて所定のパターンで表面配線パターン14Aを形成した後、この表面配線パターン14Aに合わせて、多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2のチップ型電子部品13を実装する。次いで、樹脂プリプレグシートを圧着して多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2のチップ型電子部品13を一体化することによって複合型電子部品10Eを得ることができる。つまり、複合型電子部品10Eにおいては、マザーボード等の実装基板への実装は、各ブロックの外部端子電極に直接接続された配線パターン14Aによって行われる。
本実施形態によれば、上記各実施形態と同様の作用効果を期することができ、しかも予め複合型電子部品10Eを剥離可能な転写用シートまたは転写用フィルム上に作製しておくことにより、必要に応じて転写用シートまたは転写用フィルムを剥がすだけで複合型電子部品10Eを所定の実装基板上に実装することができる。
第4の実施形態
本実施形態においても上記各実施形態と同一または相当部分には同一符号を付して本実施形態について説明する。
本実施形態の複合型電子部品10Fは、図9の(a)、(b)に示すように、多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2のチップ型電子部品13と、を備え、これら多層配線ブロック11及びチップ型電子部品内蔵多層ブロック12の絶縁層がそれぞれ熱硬化性樹脂によって形成されている。多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及び第2のチップ型電子部品13は、いずれも下面に外部端子電極11E、12F、13Aが形成され、上記各実施形態に用いられたものに準じた構成を有している。本実施形態では第2のチップ型電子部品13は予め熱硬化性樹脂18Aによって封止されてブロック状を呈するチップ型電子部品ブロック18として構成されている。そして、本実施形態の複合型電子部品10Fは、同図の(b)に示すように、それぞれ同一高さに形成された多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及びチップ型電子部品ブロック18がそれぞれ第1、第2樹脂ブロック19、20を介して電気的に接続されて一体化している。第1、第2樹脂ブロック19、20も他のブロックと同一高さに形成されている。
而して、第1樹脂ブロック19は、図9の(a)、(b)に示すように、複数の絶縁層(例えば、樹脂プリプレグシート)が積層された積層体19Aと、積層体19A内の所定の絶縁層に面内導体として一側面から他側面に渡って形成された接続用導体19Bと、を有し、接続用導体19Bが積層体の両側面に露呈し、両隣の多層配線ブロック11とチップ型電子部品内蔵多層ブロック12とを接続するインターフェースとして形成されている。接続用導体19Bは、所定のパターンを有する面内導体として形成されている。また、例えば同図の(b)に示すように、多層配線ブロック11の第1樹脂ブロック19との接続面には必要に応じて側面導体11Fが形成され、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12の第1樹脂ブロック19との接続面にも必要に応じて側面導体12Hが形成されている。そして、これらの側面導体11F、12Hを介して第1樹脂ブロック19の接続用導体19Aと、多層配線ブロックの面内導体11Cやチップ型電子部品内蔵多層ブロック12の面内導体12Dとの間に段差があっても、第1樹脂ブロック19を介して多層配線ブロック11とチップ型電子部品内蔵多層ブロック12とを電気的に確実に接続している。
図9の(a)、(b)に示すように、第2樹脂ブロック20は第1樹脂ブロック19に準じて構成され、積層体20Aの両側面から接続用導体20Bが露呈している。この接続用導体20Bは積層体20Aの下面として形成され、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12の外部端子電極12Fとチップ型電子部品ブロック18の第2のチップ型電子部品13の外部端子電極13Aとを接続している。
本実施形態の複合型電子部品10Fを作製する場合には、まず、多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12、チップ型電子部品ブロック18及び第1、第2樹脂ブロック19、20を作製する。これらのブロックはいずれも実質的に同一形状で形成されている。多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12、チップ型電子部品ブロック18はいずれも硬化した、あるいは焼成済みのブロックであるが、第1、第2樹脂ブロック19、20は未硬化状態の熱硬化性樹脂によって形成されている。次いで、これらのブロック11、12、18、19、20を図9の(a)に示す順序で、例えば剥離自在なシート上に配列した後、これらのブロックの長手方向の両側面及び上下両面をそれぞれ拘束した状態で、接合用の第1、第2樹脂ブロック19、20の硬化性樹脂が硬化する温度まで加熱すると共に残りの両側面から所定の圧力を加え、これらのブロックを熱圧着して一体化した後、冷却することによって複合型電子部品10Fを得ることができる。そして、複合型電子部品10Fを所定の実装基板(図示せず)に実装する場合には、複合型電子部品10Fからシートを剥離し、所定の実装基板にハンダ付けにより実装する。
以上説明したように本実施形態によれば、上記各実施形態と同様の作用効果を期することができ、しかも各種の多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12、チップ型電子部品ブロック18及び第1、第2樹脂ブロック19、20を組み合わせることによって各種の目的に応じた複合型電子部品10Fを得ることができる。
本実施形態では、それぞれ同一高さに形成された多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及びチップ型電子部品ブロック18がそれぞれ第1、第2樹脂ブロック19、20を介して電気的に接続されて一体化した複合型電子部品10Fについて説明した。しかし、本発明の複合型電子部品では、例えば図10〜図12に示すように、多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12、及びチップ型電子部品ブロック18の少なくともいずれか2つを必要に応じて適宜選択して、選択された2つを第1樹脂ブロック19または第2樹脂ブロック20を介して互いに電気的に接続したものであっても良い。そこで、本実施形態と同一または相当部分には同一符号を付してその変形例について説明する。
第1の変形例の複合型電子部品10Gは、図10に示すように、多層配線ブロック11と、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12と、これら両者11、12を互いに電気的に接続する第1樹脂ブロック19と、を備え、その他は図9に示す複合型電子部品10Fに準じて構成されている。チップ型電子部品内蔵多層ブロック12が複数の第1のチップ型電子部品12Aを内蔵する場合には、多層配線ブロック11がチップ型電子部品内蔵多層ブロック12の配線パターン12Cの一部を、あるいは多くを分担することができ、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12の上下に配線パターンを拡張しなくても良い。従って、第4の実施形態と同様に、多層配線ブロック11がチップ型電子部品内蔵多層ブロック12の配線パターン12Cの一部を、あるいは多くを分担することができ、チップ型電子部品内蔵型多層ブロック12の配線パターン12Cを上下に拡張しなくても良く、複合型電子部品10Gの低背化を促進することができる。
第2の変形例の複合型電子部品10Hは、図11に示すように、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12と、チップ型電子部品ブロック18と、これら両者12、18を互いに電気的に接続する第2樹脂ブロック20と、を備え、その他は図9に示す複合型電子部品10Fに準じて構成されている。チップ型電子部品がコイル成分を含む場合には、コイル成分を含むチップ型電子部品をチップ型電子部品ブロック18内の第2のチップ型電子部品13として構成し、チップ型電子部品内蔵型多層ブロック12内からコイル成分を含むチップ型電子部品を省くことができる。従って、コイル成分を含むチップ型電子部品をチップ型電子部品ブロック18として独立させることで、コイル成分を含むチップ型電子部品の上下に配線パターンが形成されておらず、更にその周囲が樹脂部18Aで覆われているため、第4の実施形態と同様に、コイル成分に基づく磁界はチップ型電子部品内蔵多層ブロック12の配線パターン12Cの影響を受け難くなり、信頼性の高い複合型電子部品10Hを得ることができる。
第3の変形例の複合型電子部品10Iは、図12に示すように、多層配線ブロック11と、チップ型電子部品ブロック18と、これら両者12、18を互いに電気的に接続する第2樹脂ブロック20と、を備え、その他は図9に示す複合型電子部品10Fに準じて構成されている。チップ型電子部品ブロック18内の第2のチップ型電子部品13がコイル成分を含む場合には、その配線部分を多層配線ブロック11として独立させて、チップ型電子部品ブロック18の側方に第2樹脂ブロック20を介して設けることで、コイル成分を含む第2のチップ型電子部品13の上下に配線パターンが形成されておらず、更にその周囲が樹脂部18Aで覆われているため、第4の実施形態と同様に、コイル成分に基づく磁界は多層配線ブロック11の配線パターン11Bの影響を受け難い複合型電子部品10Iを得ることができる。
本発明の複合型電子部品は、図13、図14に示すように、複合型電子部品の機能に応じて、多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及びチップ型電子部品ブロック18をそれぞれ適宜の数を選択し、あるいは適宜の大きさに形成されたものを適宜の数だけ配置して一体化したものであっても良い。また、同種類のブロックのみを適宜の数だけ配置して一体化したものであっても良い。
第5の実施形態
本実施形態の複合型電子部品10Jは、図13に示すように、高さ、幅、長さがそれぞれ略同一大きさに形成された多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12、チップ型電子部品ブロック18、及び隣接するブロックを電気的、機械的に接続する樹脂ブロック21を備え、これらのブロックが目的に応じた配列で配置されて全体として矩形状に形成されている。
本実施形態によれば、第4の実施形態と同様の作用効果を期することができ、しかも各種の多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12、チップ型電子部品ブロック18及び樹脂ブロック21を適宜組み合わせることによって各種の目的に応じた複合型電子部品10Jを得ることができる。
第6の実施形態
本実施形態の複合型電子部品10Kは、図14に示すに示すように、多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12及びチップ型電子部品ブロック18のいずれか2つが同一大きさに形成され、他の一つがその略倍の面積を持つ大きさに形成されて、全体として矩形状を呈している。そして、これらのブロック11、12、18が樹脂ブロック22を介して互いに電気的、機械的に接続されて一体化している。
本実施形態によれば、第4の実施形態と同様の作用効果を期することができ、しかも各種の多層配線ブロック11、チップ型電子部品内蔵多層ブロック12、チップ型電子部品ブロック18及び樹脂ブロック22を適宜組み合わせることによって各種の目的に応じた複合型電子部品10Kを得ることができる。
尚、本発明は上記各実施形態に何等制限されるものではない。例えば、多層配線ブロック、チップ型電子部品内蔵多層ブロック、チップ型電子部品は、それぞれ複数個あっても良く、また、各ブロックがそれぞれ異なる材料で形成されていても良く、あるいは、異なる性質を有していても良く、要は、機能を異にする、多層配線ブロック、チップ型電子部品内蔵多層ブロック及びチップ型電子部品を備え、多層配線ブロック、チップ型電子部品内蔵多層ブロック及びチップ型電子部品が互いに電気的に接続されて同一平面上に配置された複合型電子部品及びその製造方法、あるいは多層配線ブロック、チップ型電子部品内蔵多層ブロック及びチップ型電子部品が樹脂ブロックを介して互いに圧着された電気的に接続された複合型電子部品及びその製造方法であれば、全て本発明に包含される。また、多層配線ブロック、チップ型電子部品内蔵多層ブロック、チップ型電子部品は、それぞれ複数個ずつあっても良く、また、各ブロックがそれぞれ異なる材料で形成されていても良く、あるいは、異なる材質を有していても良い。
本発明は、例えば携帯電話等の移動体通信装置や電子機器に用いられる複合型電子部品及びその製造方法に好適に用いることができる。

Claims (5)

  1. 複数の絶縁層が積層され且つ配線パターンを有する多層配線ブロック、複数の絶縁層が積層され且つ配線パターンを有すると共に第1のチップ型電子部品を内蔵するチップ型電子部品内蔵多層ブロック、及び受動部品または能動部品からなる第2のチップ型電子部品が樹脂封止されたチップ型電子部品ブロックの少なくともいずれか2つを備え、上記多層配線ブロック、上記チップ型電子部品内蔵型多層ブロック、及び第2のチップ型電子部品が樹脂封止されたチップ型電子部品ブロックの少なくともいずれか2つは、接続用配線を有する樹脂ブロックを介して互いに電気的に接続されて一体化して同一平面上に配置されていることを特徴とする複合型電子部品。
  2. 上記多層配線ブロック、上記チップ型電子部品内蔵多層ブロック、及び上記チップ型電子部品ブロックは、上記樹脂ブロックを介して一体化していることを特徴とする請求項1に記載の複合型電子部品。
  3. 上記多層配線ブロックと上記チップ型電子部品内蔵多層ブロックとは、互いに異なる材料で形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の複合型電子部品。
  4. 複数の絶縁層が積層され且つ配線パターンを有する多層配線ブロック、複数の絶縁層が積層され且つ配線パターンを有すると共に第1のチップ型電子部品を内蔵するチップ型電子部品内蔵多層ブロック、及び第2のチップ型電子部品が樹脂封止されたチップ型電子部品ブロックの少なくともいずれか2つと、配線パターンを有する樹脂ブロックと、をそれぞれ同一平面上に配置する工程と、上記多層配線ブロック、上記チップ型電子部品内蔵多層ブロック、及び上記チップ型電子部品ブロックの少なくともいずれか2つを、上記樹脂ブロックを介して互いに圧着して電気的に接続する工程と、を備えたことを特徴とする複合型電子部品の製造方法。
  5. 上記多層配線ブロック、上記チップ型電子部品内蔵多層ブロック、上記チップ型電子部品ブロック、及び上記樹脂ブロックをそれぞれ配置する工程と、上記多層配線ブロック、上記チップ型電子部品内蔵多層ブロック、及び上記チップ型電子部品ブロックを、上記樹脂ブロックを介して互いに圧着して電気的に接続する工程と、を備えたことを特徴とする請求項4に記載の複合型電子部品の製造方法。
JP2006527819A 2004-07-30 2005-07-27 複合型電子部品及びその製造方法 Expired - Fee Related JP4453702B2 (ja)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004224922 2004-07-30
JP2004224922 2004-07-30
JPPCT/JP2005/011358 2005-06-21
PCT/JP2005/011358 WO2006011320A1 (ja) 2004-07-30 2005-06-21 複合型電子部品及びその製造方法
PCT/JP2005/013724 WO2006011508A1 (ja) 2004-07-30 2005-07-27 複合型電子部品及びその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2006011508A1 JPWO2006011508A1 (ja) 2008-05-01
JP4453702B2 true JP4453702B2 (ja) 2010-04-21

Family

ID=35786072

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006527819A Expired - Fee Related JP4453702B2 (ja) 2004-07-30 2005-07-27 複合型電子部品及びその製造方法

Country Status (5)

Country Link
US (3) US7684207B2 (ja)
JP (1) JP4453702B2 (ja)
CN (1) CN100556234C (ja)
AT (1) ATE535138T1 (ja)
WO (1) WO2006011320A1 (ja)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1699277A4 (en) * 2003-12-26 2007-08-15 Murata Manufacturing Co CERAMIC MULTILAYER SUBSTRATE
JP2007266544A (ja) * 2006-03-30 2007-10-11 Koa Corp 複合電子部品の製造法および複合電子部品
JP5167671B2 (ja) * 2006-10-31 2013-03-21 ソニー株式会社 半導体素子
EP2141972B1 (en) * 2007-05-02 2014-04-02 Murata Manufacturing Co. Ltd. Component-incorporating module and its manufacturing method
US20080298023A1 (en) * 2007-05-28 2008-12-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Electronic component-containing module and manufacturing method thereof
WO2008155957A1 (ja) * 2007-06-19 2008-12-24 Murata Manufacturing Co., Ltd. 部品内蔵基板の製造方法および部品内蔵基板
CN101690434B (zh) * 2007-06-26 2011-08-17 株式会社村田制作所 元器件内置基板的制造方法
TWI363585B (en) * 2008-04-02 2012-05-01 Advanced Semiconductor Eng Method for manufacturing a substrate having embedded component therein
US20100139967A1 (en) * 2008-12-08 2010-06-10 Ibiden Co., Ltd. Wiring board and fabrication method therefor
KR101038234B1 (ko) * 2009-02-24 2011-06-01 삼성전기주식회사 전자기 밴드갭 구조를 이용한 emi 노이즈 저감 기판
TWI456715B (zh) * 2009-06-19 2014-10-11 Advanced Semiconductor Eng 晶片封裝結構及其製造方法
TWI392066B (zh) * 2009-12-28 2013-04-01 矽品精密工業股份有限公司 封裝結構及其製法
AT12737U1 (de) * 2010-09-17 2012-10-15 Austria Tech & System Tech Verfahren zum herstellen einer aus mehreren leiterplattenbereichen bestehenden leiterplatte sowie leiterplatte
JP5737478B2 (ja) * 2012-07-05 2015-06-17 株式会社村田製作所 部品内蔵基板
JP6151724B2 (ja) * 2013-01-30 2017-06-21 京セラ株式会社 実装構造体の製造方法
US9190389B2 (en) 2013-07-26 2015-11-17 Infineon Technologies Ag Chip package with passives
US9070568B2 (en) * 2013-07-26 2015-06-30 Infineon Technologies Ag Chip package with embedded passive component
KR101666757B1 (ko) * 2015-07-13 2016-10-24 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체 패키지
CN105451434B (zh) * 2015-12-24 2018-03-27 广东欧珀移动通信有限公司 电路板、终端及电路板制作方法
JP6191808B1 (ja) * 2016-04-20 2017-09-06 株式会社村田製作所 多層基板および電子機器
CN109892023B (zh) * 2016-10-25 2022-03-22 株式会社村田制作所 电路模块
WO2020189560A1 (ja) * 2019-03-15 2020-09-24 株式会社村田製作所 モジュール
US11289453B2 (en) 2020-02-27 2022-03-29 Qualcomm Incorporated Package comprising a substrate and a high-density interconnect structure coupled to the substrate
US11605594B2 (en) * 2020-03-23 2023-03-14 Qualcomm Incorporated Package comprising a substrate and a high-density interconnect integrated device coupled to the substrate
CN112071811A (zh) * 2020-09-18 2020-12-11 环维电子(上海)有限公司 半导体封装件及其制作方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4635356A (en) * 1984-12-28 1987-01-13 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of manufacturing a circuit module
US5111278A (en) * 1991-03-27 1992-05-05 Eichelberger Charles W Three-dimensional multichip module systems
JP3229525B2 (ja) * 1995-07-26 2001-11-19 株式会社日立製作所 Lsi内蔵型多層回路板およびその製法
US6038133A (en) 1997-11-25 2000-03-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Circuit component built-in module and method for producing the same
JP3375555B2 (ja) 1997-11-25 2003-02-10 松下電器産業株式会社 回路部品内蔵モジュールおよびその製造方法
US6370013B1 (en) * 1999-11-30 2002-04-09 Kyocera Corporation Electric element incorporating wiring board
JP3547423B2 (ja) 2000-12-27 2004-07-28 松下電器産業株式会社 部品内蔵モジュール及びその製造方法
JP3553043B2 (ja) 2001-01-19 2004-08-11 松下電器産業株式会社 部品内蔵モジュールとその製造方法
DE10295940B4 (de) * 2001-01-31 2013-04-04 Sony Corp. Verfahren zur Herstellung einer Halbleitereinrichtung mit einem plattenförmigen Schaltungsblock
JP2002271038A (ja) 2001-03-12 2002-09-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 複合多層基板およびその製造方法ならびに電子部品
MXPA02005829A (es) * 2001-06-13 2004-12-13 Denso Corp Tablero de cableados impresos con dispositivo electrico incrustado y metodo para la manufactura de tablero de cableados impresos con dispositivo electrico incrustado.
JP2003100937A (ja) 2001-09-26 2003-04-04 Hitachi Ltd 高周波モジュール
TW550997B (en) * 2001-10-18 2003-09-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Module with built-in components and the manufacturing method thereof
JP2003163459A (ja) 2001-11-26 2003-06-06 Sony Corp 高周波回路ブロック体及びその製造方法、高周波モジュール装置及びその製造方法。
JP2003188338A (ja) * 2001-12-13 2003-07-04 Sony Corp 回路基板装置及びその製造方法
TW200302685A (en) * 2002-01-23 2003-08-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Circuit component built-in module and method of manufacturing the same
JP2003249763A (ja) * 2002-02-25 2003-09-05 Fujitsu Ltd 多層配線基板及びその製造方法
JP2003249510A (ja) 2002-02-26 2003-09-05 Asuriito Fa Kk 半導体封止方法
JP2004056155A (ja) * 2002-07-19 2004-02-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd モジュール部品
EP1416532A4 (en) 2002-07-19 2005-08-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd MODULE COMPONENT
JP4178880B2 (ja) * 2002-08-29 2008-11-12 松下電器産業株式会社 モジュール部品
JP4552524B2 (ja) * 2004-06-10 2010-09-29 パナソニック株式会社 複合型電子部品

Also Published As

Publication number Publication date
US7929316B2 (en) 2011-04-19
CN1973587A (zh) 2007-05-30
CN100556234C (zh) 2009-10-28
US7594316B2 (en) 2009-09-29
ATE535138T1 (de) 2011-12-15
US20100134990A1 (en) 2010-06-03
US7684207B2 (en) 2010-03-23
US20070081312A1 (en) 2007-04-12
US20070188998A1 (en) 2007-08-16
WO2006011320A1 (ja) 2006-02-02
JPWO2006011508A1 (ja) 2008-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4453702B2 (ja) 複合型電子部品及びその製造方法
JP4310467B2 (ja) 複合多層基板及びその製造方法
JP3709882B2 (ja) 回路モジュールとその製造方法
JP4367414B2 (ja) 部品内蔵モジュールおよびその製造方法
JP4111239B2 (ja) 複合セラミック基板
JP4329884B2 (ja) 部品内蔵モジュール
WO2005067359A1 (ja) セラミック多層基板
EP1776002B1 (en) Composite electronic component and method for manufacturing the same
JP4821424B2 (ja) セラミック多層基板及びその製造方法
JP4158798B2 (ja) 複合セラミック基板
JP4160923B2 (ja) 電子部品
JP2006128229A (ja) 複合多層基板
JP2004056115A (ja) 多層配線基板
JP2005235807A (ja) 積層型電子部品およびその製造方法
JP4403820B2 (ja) 積層型電子部品およびその製造方法
WO2005101934A1 (ja) 複合型電子部品及びその製造方法
KR100828925B1 (ko) 복합형 전자부품 및 그 제조방법
JP2007305631A (ja) 樹脂多層基板、複合型電子部品及びそれぞれの製造方法
WO2013099360A1 (ja) モジュールおよびこれを備えるモジュール搭載部品
JP2008135483A (ja) 電子部品内蔵基板およびその製造方法
JP4558004B2 (ja) 電子部品、シールドカバー、多数個取り用母基板、配線基板及び電子機器
JP4276284B2 (ja) 電子部品の製造方法および電子部品用母基板
JP4511513B2 (ja) 電子部品及びその製造方法
JP4511573B2 (ja) 電子部品およびこれを備えた電子機器
JP4558058B2 (ja) 電子部品

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090818

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091015

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100112

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100125

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130212

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees