JP2020124867A5 - - Google Patents
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Description
本開示の一形態によれば、グリーンシートと、前記グリーンシート上に設けられたバルク状の金属膜と、を有し、前記金属膜の融点は、焼成によって前記グリーンシートの相対密度が９０％以上となる温度より低い複合グリーンシートが提供される。
金属膜３２は、例えば、アルミニウム若しくはアルミニウム合金の箔又は銅若しくは銅合金の箔である。アルミニウム合金の例として、Ａｌ－Ｃｕ系合金、Ａｌ－Ｚｎ－Ｍｇ系合金、Ａｌ－Ｚｎ－Ｍｇ－Ｃｕ系合金、Ａｌ－Ｓｉ系合金、Ａｌ－Ｍｇ系合金、Ａｌ－Ｍｇ－Ｓｉ系合金及びＡｌ－Ｍｎ系合金が挙げられる。銅合金の例として、Ｃｕ－Ｎｉ系合金、Ｃｕ－Ｚｎ系合金、Ｃｕ－Ｚｎ－Ｎｉ系合金、Ｃｕ－Ｍｎ－Ｎｉ系合金及びＣｕ－Ｓｎ系合金が挙げられる。アルミニウム合金及び銅合金が用いられる場合、金属膜３２は、例えば抵抗素子に用いることができる。
Claims (16)
- グリーンシートと、
前記グリーンシート上に設けられたバルク状の金属膜と、
を有し、
前記金属膜の融点は、焼成によって前記グリーンシートの相対密度が９０％以上となる温度より低いことを特徴とする複合グリーンシート。 - 前記金属膜は、アルミニウム又はアルミニウム合金の膜であることを特徴とする請求項１に記載の複合グリーンシート。
- 前記アルミニウム合金は、Ａｌ－Ｃｕ系合金、Ａｌ－Ｚｎ－Ｍｇ系合金、Ａｌ－Ｚｎ－Ｍｇ－Ｃｕ系合金、Ａｌ－Ｓｉ系合金、Ａｌ－Ｍｇ系合金、Ａｌ－Ｍｇ－Ｓｉ系合金又はＡｌ－Ｍｎ系合金であることを特徴とする請求項２に記載の複合グリーンシート。
- 前記金属膜は、銅又は銅合金の膜であることを特徴とする請求項１に記載の複合グリーンシート。
- 前記銅合金は、Ｃｕ－Ｎｉ系合金、Ｃｕ－Ｚｎ系合金、Ｃｕ－Ｚｎ－Ｎｉ系合金、Ｃｕ－Ｍｎ－Ｎｉ系合金又はＣｕ－Ｓｎ系合金であることを特徴とする請求項４に記載の複合グリーンシート。
- 前記グリーンシートを構成するセラミックのうち９６質量％以上が酸化アルミニウムであることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の複合グリーンシート。
- セラミックの焼結体と、
前記焼結体内に設けられたバルク状の金属の導電部材と、
を有し、
前記焼結体の相対密度は９０％以上であることを特徴とするセラミック部材。 - 前記金属は、アルミニウム又はアルミニウム合金であることを特徴とする請求項７に記載のセラミック部材。
- 前記金属は、銅又は銅合金であることを特徴とする請求項７に記載のセラミック部材。
- 前記焼結体に前記導電部材まで達する孔が形成されていることを特徴とする請求項７乃至９のいずれか１項に記載のセラミック部材。
- 前記セラミックのうち９６質量％以上が酸化アルミニウムであることを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか１項に記載のセラミック部材。
- バルク状の金属膜上にセラミックのスラリーを塗布する工程と、
前記スラリーを乾燥させてグリーンシートを形成する工程と、
を有することを特徴とする複合グリーンシートの製造方法。 - 前記金属膜の融点は、焼成によって前記グリーンシートの相対密度が９０％以上となる温度より低いことを特徴とする請求項１２に記載の複合グリーンシートの製造方法。
- 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の複合グリーンシートにおいて、前記金属膜のパターニングを行う工程と、
前記複合グリーンシートの前記グリーンシートと第２のグリーンシートとで前記金属膜を挟み込む工程と、
前記金属膜の融点以上の温度で前記グリーンシート及び前記第２のグリーンシートの焼成を行ってセラミックの焼結体を得る工程と、
を有し、
前記第２のグリーンシートの前記金属膜と接する面の一部に空隙が設けられていることを特徴とするセラミック部材の製造方法。 - 前記焼成を酸化性雰囲気中で行うことを特徴とする請求項１４に記載のセラミック部材の製造方法。
- 前記焼成を大気雰囲気中で行うことを特徴とする請求項１５に記載のセラミック部材の製造方法。
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