JP4895638B2 - セラミックス回路基板の製造方法 - Google Patents
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1.一方の面を予め錫のメタライズ処理したセラミックス基板を鋳型内に配置し、アルミニウム合金をマトリックスとし20〜50体積%のフィラーを含有する複合材の溶融物を上記鋳型内に注入して冷却固化させてセラミックス基板の上記錫のメタライズ処理した面に上記溶融物の冷却固化物からなる金属ベース板を接合することを特徴とするセラミックス回路基板の製造方法。
2.前記一方の面を予め5μm〜100μmの厚みでメタライズ処理したセラミックス基板を鋳型内に配置する上記1に記載のセラミックス回路基板の製造方法。
3.前記複合材の溶融物を注入する前に、セラミックス基板のメタライズ処理した面を半溶融状態に予熱する上記1又は2に記載のセラミックス回路基板の製造方法。
4.前記複合材の溶融物をダイキャスト鋳造による方法で行う上記1〜3のいずれかに記載のセラミックス回路基板の製造方法。
5.前記アルミニウム合金が、シリコン成分を6〜19質量%含有するアルミニウム−シリコン合金である上記1〜4のいずれかに記載のセラミックス回路基板の製造方法。
6.前記セラミックス基板が、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、又は窒化ケイ素からなる上記1〜5のいずれかに記載のセラミックス回路基板の製造方法。
7.前記セラミックス基板が、四隅に半径1mm以上の面取りを有する矩形状体である上記1〜6のいずれかに記載のセラミックス回路基板の製造方法。
8.前記フィラーが、炭化ケイ素、窒化アルミニウム又は炭素である上記1〜7のいずれかに記載のセラミックス回路基板の製造方法。
9.前記メタライズ処理を、超音波メタライズ又は無電解メッキにより行う上記1〜8のいずれかに記載のセラミックス回路基板の製造方法。
10.前記セラミックス基板が、他方の面に回路用金属板が接合されたセラミックス基板である上記1〜9のいずれかに記載のセラミックス回路基板の製造方法。
図1に示される、一方の面に厚み0.2mmの銅板2がロー付けで接着され、他方の面と側面に無電解メッキにより、厚み10μmの錫金属のメタライズ処理された、縦53mm、横61mm、厚み0.635mmの矩形状の窒化アルミニウムのセラミックス基板1を製作した。なお、セラミックス基板1の四隅には半径5mmのアールの面取りを形成した。
3: ベース板 4:金型
5: 固定金型 6:セラミック基板を配置する空間
7: アルミニウム合金マトリックス複合材の溶融物を注入する空間
8: 真空チャック
Claims (10)
- 一方の面を予め錫のメタライズ処理したセラミックス基板を鋳型内に配置し、アルミニウム合金をマトリックスとし20〜50体積%のフィラーを含有する複合材の溶融物を上記鋳型内に注入して冷却固化させて、セラミックス基板の上記錫のメタライズ処理した面に上記溶融物の冷却固化物からなる金属ベース板を接合することを特徴とするセラミックス回路基板の製造方法。
- 前記一方の面を予め5μm〜100μmの厚みでメタライズ処理したセラミックス基板を鋳型内に配置する請求項1に記載のセラミックス回路基板の製造方法。
- 前記複合材の溶融物を注入する前に、セラミックス基板のメタライズ処理した面を半溶融状態に予熱する請求項1又は2に記載のセラミックス回路基板の製造方法。
- 前記複合材の溶融物をダイキャスト鋳造による方法で行う請求項1〜3のいずれかに記載のセラミックス回路基板の製造方法。
- 前記アルミニウム合金が、シリコン成分を6〜19質量%含有するアルミニウム−シリコン合金である請求項1〜4のいずれかに記載のセラミックス回路基板の製造方法。
- 前記セラミックス基板が、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、炭化ケイ素、又は窒化ケイ素からなる請求項1〜5のいずれかに記載のセラミックス回路基板の製造方法。
- 前記セラミックス基板が、四隅に半径1mm以上の面取りを有する矩形状体である請求項1〜6のいずれかに記載のセラミックス回路基板の製造方法。
- 前記フィラーが、炭化ケイ素、窒化アルミニウム又は炭素である請求項1〜7のいずれかに記載のセラミックス回路基板の製造方法。
- 前記メタライズ処理を、超音波メタライズ又は無電解メッキにより行う請求項1〜8のいずれかに記載のセラミックス回路基板の製造方法。
- 前記セラミックス基板が、他方の面に回路用金属板が接合されたセラミックス基板である請求項1〜9のいずれかに記載のセラミックス回路基板の製造方法。
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