JPWO2008093568A1 - 積層コイル部品 - Google Patents
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- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 51
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 51
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 39
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 24
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims abstract description 23
- 229910017518 Cu Zn Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 229910017752 Cu-Zn Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 229910017943 Cu—Zn Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 13
- TVZPLCNGKSPOJA-UHFFFAOYSA-N copper zinc Chemical compound [Cu].[Zn] TVZPLCNGKSPOJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 230000032798 delamination Effects 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 200
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 68
- 238000000034 method Methods 0.000 description 23
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 10
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 9
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 7
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 6
- 230000003254 anti-foaming effect Effects 0.000 description 4
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 4
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 4
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
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- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
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- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
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- C04B2235/327—Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
- C04B2235/3279—Nickel oxides, nickalates, or oxide-forming salts thereof
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- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
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- C04B2235/3281—Copper oxides, cuprates or oxide-forming salts thereof, e.g. CuO or Cu2O
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- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
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- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3284—Zinc oxides, zincates, cadmium oxides, cadmiates, mercury oxides, mercurates or oxide forming salts thereof
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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- C04B2235/6025—Tape casting, e.g. with a doctor blade
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Abstract
磁性層と非磁性層の界面における割れ、欠け、剥離の発生や、積層体の反りなどの発生を抑制、防止することが可能で、磁気飽和しにくく、直流重畳特性に優れた、開磁路型の積層コイル部品を提供する。磁性層と、非磁性層または低透磁率層とを積層してなる積層体11と、その内部に配設されたコイル導体5とを備えた、開磁路型の積層コイル部品1において、積層体11を構成する非磁性層または低透磁率層に、酸化ジルコニウムを含有させる。低透磁率層の酸化ジルコニウムの含有量を、0.02重量%以上、1.0重量%未満とする。また、磁性層にも1.0重量%未満の割合で酸化ジルコニウムを含有させる。磁性層としてNi−Cu−Zn系フェライト、非磁性層または低透磁率層としてCu−Zn系フェライトをそれぞれ主成分とする材料からなるものを用いる。
Description
本発明は、積層インダクタなどの積層コイル部品に関し、詳しくは、磁性層と非磁性層または低透磁率層とを積層してなる積層体の内部にコイル導体が配設された構造を有する開磁路型の積層コイル部品に関する。
複数のコイル用導体パターンと、複数の磁性セラミック層とを積層することにより形成された、積層体中にコイル導体が配設された構造を有する積層コイル部品は広く用いられている。そして、これらの積層型コイル部品のうち、閉磁路型の積層コイル部品は、重畳直流電流を徐々に大きくすると、ある電流値まではインダクタンス値が略一定もしくは緩やかに低下するが、その後は、磁気飽和が生じて急激にインダクタンス値が低下するという問題点がある。
そこで、このような問題点を改善するため、磁性体セラミック層(磁性層)が積層された積層体中に、積層方向についてみた場合のコイルの中央付近に非磁性セラミック層を挿入し、開磁路型とした積層コイル部品が知られている(特許文献1参照)。
この特許文献1の開磁路型の積層コイル部品は、図9に示すように、複数のコイル用導体パターン55を電気的に接続して構成した螺旋状コイルLが、磁性体セラミック層を積層してなる積層体60中に内蔵された構造を有している。そして、積層体60は、螺旋状コイルLが配設された領域であるコイル部51と、コイル部51の外側に積層された外層部52,53とを有しており、積層体60の積層方向において、コイルLの略中央の位置に非磁性セラミック層54が配置されている。また、積層体60には、螺旋状コイルLと導通する一対の外部電極56、57が配設されている。
このように構成された積層コイル部品においては、螺旋状コイルLによって発生した磁束φは、非磁性セラミック層54を横切ることになり、磁気飽和しにくいという特徴を有している。
しかしながら、上述のように、磁性体セラミック層(磁性層)が積層された積層体60中に、非磁性セラミック層54を挿入した開磁路型の積層コイル部品の場合、磁性層と非磁性層とを積層した積層体を焼成する工程を経て製造されるが、互いに接するように配設された磁性層(磁性体セラミック層)と、非磁性層(非磁性セラミック層)の焼成工程における収縮開始温度や収縮速度などの収縮挙動が異なることから、両者の界面に割れや欠け、剥離などが生じ、特性の劣化を生じるという問題点がある。
例えば、コイル用導体パターン55が印刷された磁性層と、非磁性層54とを所定の順序で積層した後、焼成する工程において、通常は非磁性層のほうが早く焼結して収縮するため、非磁性層54と、遅く焼結する磁性層との界面(特に磁性層側)で、割れや欠け、剥離などが生じやすいという問題点がある。
また、磁性層が積層された構造を有する積層チップ部品において、磁性体であるNi−Cu−Zn系フェライトに、酸化ジルコニウムを0.01〜1.2重量%の割合で含有させることにより、その機械的強度を向上させた積層チップ部品が提案されている(特許文献2参照)。
しかしながら、この積層チップ部品は、磁性層のみを積層した閉磁路構造のものであり、磁気飽和しやすく、直流重畳特性の向上を図るには限界があるため、積層コイル部品本来の特性の面で種々の要求に十分に応えられないという問題点がある。
特開2004−311944号公報
特開平7−57922号公報
本願発明は、上記課題を解決するものであり、磁性層と非磁性層または低透磁率層とを積層してなる積層体の内部にコイル導体が配設された構造を有する開磁路型の積層コイル部品であって、磁性層と非磁性層または低透磁率層の界面における割れ、欠け、剥離、あるいは積層体の反りなどの発生を防止することが可能で、磁気飽和しにくく、直流重畳特性に優れた、開磁路型の積層コイル部品を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本願発明(請求項1)の積層型コイル部品は、
磁性層と非磁性層または低透磁率層とを積層してなる積層体の内部にコイル導体が配設された構造を有する開磁路型の積層コイル部品であって、
前記非磁性層または前記低透磁率層が、酸化ジルコニウムを含有していること
を特徴としている。
磁性層と非磁性層または低透磁率層とを積層してなる積層体の内部にコイル導体が配設された構造を有する開磁路型の積層コイル部品であって、
前記非磁性層または前記低透磁率層が、酸化ジルコニウムを含有していること
を特徴としている。
また、請求項2の積層コイル部品は、請求項1の発明の構成において、前記非磁性層または前記低透磁率層の酸化ジルコニウムの含有量が、0.02重量%以上、1.0重量%未満であることを特徴としている。
また、請求項3の積層コイル部品は、請求項1または2記載の発明の構成において、前記磁性層にも酸化ジルコニウムを含有させたことを特徴としている。
また、請求項4の積層コイル部品は、請求項3の発明の構成において、前記磁性層の酸化ジルコニウムの含有量が、1.0重量%未満であることを特徴としている。
また、請求項5の積層コイル部品は、請求項1〜4のいずれかの発明の構成において、前記磁性層がNi−Cu−Zn系フェライトを主成分とする材料からなるものであり、前記非磁性層または前記低透磁率層がCu−Zn系フェライトを主成分とする材料からなるものであることを特徴としている。
本願請求項1の積層コイル部品では、積層体を構成する非磁性層または低透磁率層に、収縮速度を遅らせる働きをする酸化ジルコニウムを含有させて、通常は磁性層よりも先に焼結する非磁性層の焼結を遅らせ、磁性層と非磁性層の収縮速度を近似させることができるようにしているので、磁性層と非磁性層の収縮速度の差に起因する、磁性層と非磁性層の界面における割れ、欠け、剥離などの発生や、積層体の反りなどの発生を抑制、防止することが可能になる。
したがって、磁性層と非磁性層の界面における割れや欠け、剥離、反りなどの欠陥がなく、しかも、開磁路型の積層コイル部品の特徴である、磁気飽和しにくく、直流重畳特性が良好な積層コイル部品を提供することが可能になる。
また、請求項2のように、非磁性層または低透磁率層の酸化ジルコニウムの含有量を、0.02重量%以上、1.0重量%未満とすることにより、通常は磁性層よりも先に焼結する非磁性層の焼結を確実に遅らせて、収縮速度の差に起因する磁性層と非磁性層の界面における割れ、欠け、剥離などの発生や、積層体の反りなどの発生をより確実に防止することができる。
また、請求項3の積層コイル部品のように、磁性層にも酸化ジルコニウムを含有させるようにした場合、磁性層(積層体)の強度の向上を図ることができる。そして、その場合、非磁性層に対する酸化ジルコニウムの添加量を、磁性層に添加される酸化ジルコニウムの量に応じて調整することにより、磁性層と非磁性層の収縮速度を近似させることができる。
なお、磁性層にも酸化ジルコニウムを含有させるようにした場合、通常は、非磁性層に対する酸化ジルコニウムの添加量は、磁性層への酸化ジルコニウムの添加量よりも多くすることが必要になる。
なお、磁性層にも酸化ジルコニウムを含有させるようにした場合、通常は、非磁性層に対する酸化ジルコニウムの添加量は、磁性層への酸化ジルコニウムの添加量よりも多くすることが必要になる。
また、請求項4の積層コイル部品のように、磁性層の酸化ジルコニウムの含有量を、1.0重量%未満とした場合、非磁性層または低透磁率層の酸化ジルコニウムの含有量を、実用上問題となるほど多くすることなく、非磁性層または低透磁率層の焼結を遅らせて、収縮速度の差に起因する磁性層と非磁性層の界面における割れ、欠け、剥離などの発生や、積層体の反りなどの発生を防止することができる。
また、請求項5の積層コイル部品のように、磁性層がNi−Cu−Zn系フェライトを主成分とする材料からなるものであり、非磁性層または低透磁率層をCu−Zn系フェライトを主成分とする材料からなるものである場合、酸化ジルコニウムの添加による収縮速度の制御効果を確実に得ることが可能になり、本願発明をより実効あらしめることができる。
なお、磁性層としてNi−Cu−Zn系フェライトを主成分とする材料を用いた場合、Ni−Cu−Zn系フェライトの焼成温度が、コイル導体用の電極材料として通常用いられるAgの融点(960℃)よりも低いため(900℃以下)、電極材料であるAgの拡散や蒸発を抑制して、低直流抵抗化(低Rdc化)を実現することが可能になり、発熱の少ない積層コイル部品を提供することが可能になる。
1,1a,1b 積層コイル部品
2a,2b 磁性層用セラミックグリーンシート
2c 外層磁性層用セラミックグリーンシート
4 非磁性層(非磁性セラミック層)
4a 非磁性層用セラミックグリーンシート
5 コイル用導体
5a コイル用導体パターン
10 層間接続用ビアホール(導体)
11 積層体
11a 積層体の上側部分
11b 積層体の下側部分
20 非磁性領域
21,22 外部電極
31 磁性体セラミックを主成分とするセラミックスラリー
32 非磁性体セラミックを主成分とするセラミックスラリー
33 セラミックグリーンシート
33a 電極形成セラミックグリーンシート
L コイル
L1,L2 コイルの端部
φ 磁束
2a,2b 磁性層用セラミックグリーンシート
2c 外層磁性層用セラミックグリーンシート
4 非磁性層(非磁性セラミック層)
4a 非磁性層用セラミックグリーンシート
5 コイル用導体
5a コイル用導体パターン
10 層間接続用ビアホール(導体)
11 積層体
11a 積層体の上側部分
11b 積層体の下側部分
20 非磁性領域
21,22 外部電極
31 磁性体セラミックを主成分とするセラミックスラリー
32 非磁性体セラミックを主成分とするセラミックスラリー
33 セラミックグリーンシート
33a 電極形成セラミックグリーンシート
L コイル
L1,L2 コイルの端部
φ 磁束
以下に本願発明の実施例を示して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明する。
図1は本願発明の一実施例(実施例1)にかかる開磁路型の積層コイル部品(この実施例1では積層インダクタ)の構成を示す断面図、図2はその斜視図である。
図1,2に示すように、この積層コイル部品1は、開磁路型の積層コイル部品であり、磁性層が積層された積層体11と、積層体11に内蔵された、複数のコイル用導体5を電気的に接続してなる螺旋状のコイルLと、積層体11の積層方向において、コイルLの略中央の位置に配設された非磁性層(非磁性セラミック層)4と、積層体11の両端側に、コイルLの端部L1,L2と導通するように配設された外部電極21,22とを備えており、螺旋状のコイルLによって発生した磁束φが、非磁性層4を横切るように構成されている。
そして、この実施例1の積層コイル部品1においては、積層体11における、非磁性層4より上側部分11aおよび下側部分11bを構成する磁性層の材料として、Ni−Cu−Zn系フェライトを主成分とする磁性材料が用いられている。
また、積層体11の上側部分11aおよび下側部分11bの間に挿入、配設された非磁性層4の構成材料としては、Cu−Zn系フェライトを主成分とする非磁性材料が用いられている。
また、積層体11の上側部分11aおよび下側部分11bの間に挿入、配設された非磁性層4の構成材料としては、Cu−Zn系フェライトを主成分とする非磁性材料が用いられている。
そして、非磁性層4には、焼結速度を制御する機能を果たす酸化ジルコニウムが、磁性層と非磁性層の焼結速度が互いに近似するような割合で添加されている。
具体的には、非磁性層4には、酸化ジルコニウムが0.05重量%となるような割合で添加されており、磁性層には酸化ジルコニウムは添加されていない。
その結果、焼成工程における、磁性層と非磁性層の収縮速度の差が小さく、磁性層と非磁性層の界面における割れ、欠け、剥離などの発生や、積層体の反りなどの発生がなく、開磁路型の積層コイル部品の特徴である、磁気飽和しにくく、直流重畳特性が良好であるという特徴を備えた積層コイル部品を提供することが可能になる。
次に、この積層コイル部品1の製造方法について、図3を参照しつつ説明する。
(1)まず、Ni−Cu−Zn系フェライト粉末に、有機系または水系バインダ、可塑剤、分散材、消泡材などを加え、混合することによりセラミックスラリーを調製した。
それから、このセラミックスラリーを、キャリアフィルム上にコンマコーター法、ドクターブレード法などの方法で膜状に塗布し、これらを乾燥させて磁性層用セラミックグリーンシートを作製した。
(1)まず、Ni−Cu−Zn系フェライト粉末に、有機系または水系バインダ、可塑剤、分散材、消泡材などを加え、混合することによりセラミックスラリーを調製した。
それから、このセラミックスラリーを、キャリアフィルム上にコンマコーター法、ドクターブレード法などの方法で膜状に塗布し、これらを乾燥させて磁性層用セラミックグリーンシートを作製した。
(2)同様にCu−Zn系フェライト粉末に、有機系または水系バインダ、可塑剤、分散材、消泡材等を加え、さらに、酸化ジルコニウムを0.05重量%となるような割合で添加し、混合することによりセラミックスラリーを調製した。
それから、このセラミックスラリーをキャリアフィルム上にコンマコーター法、ドクターブレード法などの方法で膜状に塗布し、これらを乾燥させて非磁性層用セラミックグリーンシートを作製した。
それから、このセラミックスラリーをキャリアフィルム上にコンマコーター法、ドクターブレード法などの方法で膜状に塗布し、これらを乾燥させて非磁性層用セラミックグリーンシートを作製した。
(3)次に、レーザー加工機を使用し、上記(1)および(2)の方法で作製したセラミックグリーンシートの所定位置にビアホールとなるべき貫通孔を形成した。
(4)それから、セラミックグリーンシートの所定の領域に、AgあるいはAg合金を主成分とする導電性ペーストをスクリーン印刷して、コイル導体パターンを形成した。
(5)そして、これらのセラミックグリーンシートを、螺旋状のコイルL(図1)が形成されるように、図3に示すような態様で、順次積層し、熱圧着した。
すなわち、この実施例1では、図3に示すように、コイル用導体パターン5aおよび層間接続用ビアホール(導体)10をそれぞれ設けた磁性層用セラミックグリーンシート2aと、コイル用導体パターン5aおよび層間接続用ビアホール(導体)10をそれぞれ設けた磁性層用セラミックグリーンシート2bと、導体が設けられていない外層磁性層用セラミックグリーンシート2cと、コイル用導体パターン5aおよび層間接続用ビアホール(導体)10をそれぞれ設けた非磁性層用セラミックグリーンシート4aを、図3に示すような態様で積層し、磁路ギャップを形成するための非磁性層用のセラミックグリーンシート4aが、積層体11の積層方向における略中央の位置に介在する積層構造体を形成し、熱圧着した。
すなわち、この実施例1では、図3に示すように、コイル用導体パターン5aおよび層間接続用ビアホール(導体)10をそれぞれ設けた磁性層用セラミックグリーンシート2aと、コイル用導体パターン5aおよび層間接続用ビアホール(導体)10をそれぞれ設けた磁性層用セラミックグリーンシート2bと、導体が設けられていない外層磁性層用セラミックグリーンシート2cと、コイル用導体パターン5aおよび層間接続用ビアホール(導体)10をそれぞれ設けた非磁性層用セラミックグリーンシート4aを、図3に示すような態様で積層し、磁路ギャップを形成するための非磁性層用のセラミックグリーンシート4aが、積層体11の積層方向における略中央の位置に介在する積層構造体を形成し、熱圧着した。
(6)次に、熱圧着した後の積層構造体を必要な形状に切断し、積層コイル部品1となる未焼成積層体を形成した。
(7)それから、この未焼成積層体を、温度約300℃、180分間の条件で加熱して積層体に含有されているバインダ樹脂を燃焼させて除去した後、大気中で、温度約800〜900℃、150分間の条件で焼成処理を行い、焼結済みの積層体(焼結セラミック積層体)を得た。
(8)そして、焼結済みの積層体にバレル研磨を施し、稜線部(コーナー部)に丸みを付ける(R(アール)を付ける)加工を施した。
(9)その後、浸漬法により焼結済みの積層体11の両端に、Agを主成分とする導電性ペーストを塗布し、温度約700℃、60分間の条件で焼付け処理を行い、外部電極21,22を形成した。これにより図1,2に示すような構造を有する積層コイル部品(積層インダクタ)1が得られる。
この実施例1の積層コイル部品1においては、上述のように、非磁性層に0.05重量%の割合で酸化ジルコニウムを添加して、磁性層と非磁性層の、上記熱処理工程における収縮速度に大きな差が生じないようにしているので、磁性層と非磁性層の界面における割れや欠け、剥離などの発生や、積層体の反りなどの発生を抑制、防止しつつ、磁気飽和しにくく、直流重畳特性の良好な積層コイル部品を確実に製造することができる。
この実施例2では、磁性層と、非磁性層の両方に酸化ジルコニウムを添加した開磁路型の積層コイル部品について説明する。
なお、この実施例2の積層コイル部品の構成および製造方法は、基本的に上記実施例1の場合と同じであることから、図1,2および3に基づいて、この実施例2の積層コイル部品の構成および製造方法について説明する。
なお、この実施例2の積層コイル部品の構成および製造方法は、基本的に上記実施例1の場合と同じであることから、図1,2および3に基づいて、この実施例2の積層コイル部品の構成および製造方法について説明する。
図1,2に示すように、この積層コイル部品1は、開磁路型の積層コイル部品であり、磁性層が積層された積層体11と、積層体11に内蔵された、複数のコイル用導体5を電気的に接続してなる螺旋状のコイルLと、積層体11の積層方向において、コイルLの略中央の位置に配設された非磁性層(非磁性セラミック層)4と、積層体11の両端側に、コイルLの端部L1,L2と導通するように配設された外部電極21,22とを備えており、螺旋状のコイルLによって発生した磁束φが、非磁性層4を横切るように構成されている。
そして、この実施例2の積層コイル部品1においては、積層体11における、非磁性層4より上側部分11aおよび下側部分11bを構成する磁性層の材料として、Ni−Cu−Zn系フェライトを主成分とする磁性材料が用いられている。
また、積層体11の上側部分11aおよび下側部分11bの間に挿入、配設された非磁性層4の構成材料としては、Cu−Zn系フェライトを主成分とする非磁性材料が用いられている。
また、積層体11の上側部分11aおよび下側部分11bの間に挿入、配設された非磁性層4の構成材料としては、Cu−Zn系フェライトを主成分とする非磁性材料が用いられている。
そして、非磁性層4より上側部分11aおよび下側部分11bを構成する磁性層および非磁性層4には、焼結速度を制御する機能を果たす酸化ジルコニウムが、磁性層と非磁性層の焼結速度が互いに近似するような割合で添加されている。
具体的には、磁性層には、酸化ジルコニウムが0.01重量%となるような割合で添加されている。
また、非磁性層には、酸化ジルコニウムが0.03重量%となるような割合で添加されている。
また、非磁性層には、酸化ジルコニウムが0.03重量%となるような割合で添加されている。
その結果、焼成工程における、磁性層と非磁性層の収縮速度の差が小さく、磁性層と非磁性層の界面における割れ、欠け、剥離などの発生や、積層体の反りなどの発生がなく、開磁路型の積層コイル部品の特徴である、磁気飽和しにくく、直流重畳特性が良好であるという特徴を備えた積層コイル部品を提供することが可能になる。
次に、この積層コイル部品1の製造方法について、図3を参照しつつ説明する。
(1)まず、Ni−Cu−Zn系フェライト粉末に、有機系または水系バインダ、可塑剤、分散材、消泡材などを加え、さらに酸化ジルコニウムを0.01重量%となるような割合で添加し、混合することによりセラミックスラリーを調製した。
それから、このセラミックスラリーを、キャリアフィルム上にコンマコーター法、ドクターブレード法などの方法で膜状に塗布し、これらを乾燥させて磁性層用セラミックグリーンシートを作製した。
(1)まず、Ni−Cu−Zn系フェライト粉末に、有機系または水系バインダ、可塑剤、分散材、消泡材などを加え、さらに酸化ジルコニウムを0.01重量%となるような割合で添加し、混合することによりセラミックスラリーを調製した。
それから、このセラミックスラリーを、キャリアフィルム上にコンマコーター法、ドクターブレード法などの方法で膜状に塗布し、これらを乾燥させて磁性層用セラミックグリーンシートを作製した。
(2)同様にCu−Zn系フェライト粉末に、有機系または水系バインダ、可塑剤、分散材、消泡材等を加え、さらに、酸化ジルコニウムを0.03重量%となるような割合で添加し、混合することによりセラミックスラリーを調製した。
それから、このセラミックスラリーをキャリアフィルム上にコンマコーター法、ドクターブレード法などの方法で膜状に塗布し、これらを乾燥させて非磁性層用セラミックグリーンシートを作製した。
それから、このセラミックスラリーをキャリアフィルム上にコンマコーター法、ドクターブレード法などの方法で膜状に塗布し、これらを乾燥させて非磁性層用セラミックグリーンシートを作製した。
(3)次に、レーザー加工機を使用し、上記(1)および(2)の方法で作製したセラミックグリーンシートの所定位置にビアホールとなるべき貫通孔を形成した。
(4)それから、セラミックグリーンシートの所定の領域に、AgあるいはAg合金を主成分とする導電性ペーストをスクリーン印刷して、コイル導体パターンを形成した。
(5)そして、これらのセラミックグリーンシートを、螺旋状のコイルL(図1)が形成されるように、図3に示すような態様で、順次積層し、熱圧着した。
すなわち、この実施例2では、図3に示すように、コイル用導体パターン5aおよび層間接続用ビアホール(導体)10をそれぞれ設けた磁性層用セラミックグリーンシート2aと、コイル用導体パターン5aおよび層間接続用ビアホール(導体)10ををそれぞれ設けた磁性層用セラミックグリーンシート2bと、導体が設けられていない外層磁性層用セラミックグリーンシート2cと、コイル用導体パターン5aおよび層間接続用ビアホール(導体)10をそれぞれ設けた非磁性層用セラミックグリーンシート4aを、図3に示すような態様で積層し、磁路ギャップを形成するための非磁性層用のセラミックグリーンシート4aが、積層体11の積層方向における略中央の位置に介在する積層構造体を形成し、熱圧着した。
すなわち、この実施例2では、図3に示すように、コイル用導体パターン5aおよび層間接続用ビアホール(導体)10をそれぞれ設けた磁性層用セラミックグリーンシート2aと、コイル用導体パターン5aおよび層間接続用ビアホール(導体)10ををそれぞれ設けた磁性層用セラミックグリーンシート2bと、導体が設けられていない外層磁性層用セラミックグリーンシート2cと、コイル用導体パターン5aおよび層間接続用ビアホール(導体)10をそれぞれ設けた非磁性層用セラミックグリーンシート4aを、図3に示すような態様で積層し、磁路ギャップを形成するための非磁性層用のセラミックグリーンシート4aが、積層体11の積層方向における略中央の位置に介在する積層構造体を形成し、熱圧着した。
(6)次に、熱圧着した後の積層構造体を必要な形状に切断し、積層コイル部品1となる未焼成積層体を形成した。
(7)それから、この未焼成積層体を、温度約300℃、180分間の条件で加熱して積層体に含有されているバインダ樹脂を燃焼させて除去した後、大気中で、温度800〜900℃、150分間の条件で焼成処理を行い、焼結済みの積層体(焼結セラミック積層体)を得た。
(8)そして、焼結済みの積層体にバレル研磨を施し、稜線部(コーナー部)に丸みを付ける(R(アール)を付ける)加工を施した。
(9)その後、浸漬法により焼結済みの積層体11の両端に、Agを主成分とする導電性ペーストを塗布し、温度約700℃、60分間の条件で焼付け処理を行い、外部電極21,22を形成した。これにより図1,2に示すような構造を有する積層コイル部品(積層インダクタ)1が得られる。
この実施例2の積層コイル部品1においては、上述のように、磁性層に0.01重量%、非磁性層に0.03重量%の割合で酸化ジルコニウムを添加して、磁性層と非磁性層の、上記熱処理工程における収縮速度に大きな差が生じないようにしているので、磁性層と非磁性層の界面における割れや欠け、剥離などの発生や、積層体の反りなどの発生を抑制、防止しつつ、磁気飽和しにくく、直流重畳特性の良好な積層コイル部品を確実に製造することができる。
また、磁性層にも酸化ジルコニウムを添加していることから、機械的強度の大きい積層コイル部品を得ることができる。
また、磁性層にも酸化ジルコニウムを添加していることから、機械的強度の大きい積層コイル部品を得ることができる。
[評価]
また、上記実施例1および実施例2に示した構成を有する積層コイル部品において、磁性層中の酸化ジルコニウムの含有率を0.00重量%(無添加)、0.01重量%、0.1重量%、0.5重量%、1.0重量%の範囲で変化させるとともに、非磁性層中の酸化ジルコニウムの含有量を0.00重量%(無添加)〜2.0重量%の範囲(図4および図5参照)で変化させて、積層体の割れの発生割合を調べた。その結果を、図4および図5に示す。
また、上記実施例1および実施例2に示した構成を有する積層コイル部品において、磁性層中の酸化ジルコニウムの含有率を0.00重量%(無添加)、0.01重量%、0.1重量%、0.5重量%、1.0重量%の範囲で変化させるとともに、非磁性層中の酸化ジルコニウムの含有量を0.00重量%(無添加)〜2.0重量%の範囲(図4および図5参照)で変化させて、積層体の割れの発生割合を調べた。その結果を、図4および図5に示す。
図4および図5に示すように、磁性層中の酸化ジルコニウムが1.0重量%以上になると、上記範囲で非磁性層中の酸化ジルコニウムの量を変化させた場合のいずれの条件でも割れの発生が認められ、好ましくないことが確認された。
一方、非磁性層中の酸化ジルコニウムを0.02重量%以上、1.0重量%未満とすることにより、磁性層中の酸化ジルコニウムを1.0重量%未満とした場合に、積層体の割れの発生を効率よく、抑制、防止できることが確認された。
この結果より、本願発明における磁性層および非磁性層中の酸化ジルコニウムの割合は、磁性層では1.0重量%未満、非磁性層では0.02重量%以上、1.0重量%未満とすることが望ましいものと考えられる。
なお、上記の各実施例に示すNi−Cu−Zn系フェライト材料のみを用いた焼結体を構成し、その酸化ジルコニウムの含有量を調べたところ、焼結前のスラリーに含有されている酸化ジルコニウムの含有量と大差のないことが確認された。また、同様に、上記の各実施例に示すCu−Zn系フェライト材料のみを用いた焼結体を構成し、その酸化ジルコニウムの含有量を調べたところ、焼結前のスラリーに含有されている酸化ジルコニウムの含有量と大差のないことが確認された。
なお、上記の各実施例に示すNi−Cu−Zn系フェライト材料のみを用いた焼結体を構成し、その酸化ジルコニウムの含有量を調べたところ、焼結前のスラリーに含有されている酸化ジルコニウムの含有量と大差のないことが確認された。また、同様に、上記の各実施例に示すCu−Zn系フェライト材料のみを用いた焼結体を構成し、その酸化ジルコニウムの含有量を調べたところ、焼結前のスラリーに含有されている酸化ジルコニウムの含有量と大差のないことが確認された。
図6は、本願発明のさらに他の実施例(実施例3)にかかる積層コイル部品(積層インダクタ)を示す断面図である。
この積層コイル部品1aは、図6に示すように、内部に螺旋状のコイルLが配設された、磁性層が積層されてなる積層体11に、積層方向に所定の間隔をおいて2層の非磁性層4が配設された構造を有する開磁路型の積層コイル部品(積層インダクタ)である。
この積層コイル部品1aは、図6に示すように、内部に螺旋状のコイルLが配設された、磁性層が積層されてなる積層体11に、積層方向に所定の間隔をおいて2層の非磁性層4が配設された構造を有する開磁路型の積層コイル部品(積層インダクタ)である。
そして、この実施例3の積層コイル部品においても、積層体11を構成する磁性層および非磁性層4には、焼結速度を制御する機能を果たす酸化ジルコニウムが、磁性層と非磁性層の焼結速度を互いに近似させることが可能な割合で添加されている。
具体的には、磁性層には、酸化ジルコニウムが0.01重量%となるような割合で添加されており、非磁性層には、酸化ジルコニウムが0.03重量%となるような割合で添加されている。
具体的には、磁性層には、酸化ジルコニウムが0.01重量%となるような割合で添加されており、非磁性層には、酸化ジルコニウムが0.03重量%となるような割合で添加されている。
なお、この実施例3の積層コイル部品1aの、その他の部分の基本的な構成は実施例1,2の場合と同様であり、実施例1,2の場合と同様の方法で製造することが可能であり、図6において、図1〜3と同一符号を付した部分は図1〜3と同一または相当する部分を示す。
この実施例3の積層コイル部品1aにおいても、焼成工程における、磁性層と非磁性層の収縮速度の差が小さいため、磁性層と非磁性層の界面における割れ、欠け、剥離の発生や、積層体の反りなどの発生を抑制、防止しつつ、開磁路型の積層コイル部品の特徴である、磁気飽和しにくく、直流重畳特性の良好な積層コイル部品を提供することができる。
特に、この実施例3の積層コイル部品1aのように、非磁性層4を2層配設することにより、非磁性層4を一層とした実施例1および2の積層コイル部品の場合に比べて、磁界がより多くコイルLの外部に漏れるようにすることが可能になり、さらに効率よく磁気飽和を緩和することができる。
図7は、本願発明のさらに他の実施例(実施例4)にかかる積層コイル部品(積層インダクタ)を示す断面図である。
この実施例4の積層コイル部品1bは、図7に示すように、内部に螺旋状のコイルLが配設された、磁性層が積層されてなる積層体11の、コイルLを構成するコイル導体5を取り囲むように、非磁性層からなる非磁性領域20が配設された構造を有する、開磁路型の積層コイル部品(積層インダクタ)である。
この実施例4の積層コイル部品1bは、図7に示すように、内部に螺旋状のコイルLが配設された、磁性層が積層されてなる積層体11の、コイルLを構成するコイル導体5を取り囲むように、非磁性層からなる非磁性領域20が配設された構造を有する、開磁路型の積層コイル部品(積層インダクタ)である。
この実施例4の積層コイル部品のように、コイル導体5を取り囲むように、コイル導体5の周囲に非磁性層からなる非磁性領域20を配設するようにした場合にも、磁路の磁気抵抗を増加させて、磁気飽和しにくく、直流重畳特性に優れた、開磁路型の積層コイル部品を得ることができる。
なお、この実施例4の積層コイル部品は、例えば、図8(a)に示すように、中央部と、周辺部に、磁性体セラミックを主成分とするセラミックスラリー31を印刷し、磁性体セラミックを主成分とするセラミックスラリー31が印刷されていない環状の領域に、図8(b)に示すように、非磁性体セラミックを主成分とするセラミックスラリー32を印刷し、形成されたセラミックグリーンシート33上にコイル導体パターン5aを印刷した電極形成セラミックグリーンシート33aを用意し、この電極形成セラミックグリーンシート33aを所定の順序で積層し、その上下両側に、全面が磁性層からなり、コイル導体パターンの形成されていない外層用セラミックグリーンシートを積層して積層体を形成する工程を経て製造することができる。
なお、上記の各実施例にかかる積層コイル部品は、上述のように、いずれもセラミックグリーンシートを積層する工程を備えたいわゆるシート積層工法により製造することが可能であるが、磁性体セラミックスラリー、非磁性体セラミックスラリー、および電極ペーストを用意し、これらを、各実施例で示したような構成を有する積層体が形成されるように印刷してゆく、いわゆる逐次印刷工法によっても製造することが可能である。
さらに、例えば、キャリアフィルム上にセラミックスラリーを印刷(塗布)することにより形成されたセラミック層をテーブル上に転写し、その上に、キャリアフィルム上に電極ペーストを印刷(塗布)することにより形成された電極ペースト層を転写し、これを繰り返して、各実施例で示したような構成を有する積層体を形成する、いわゆる逐次転写工法によっても製造することが可能である。
本願発明の積層コイル部品は、さらに他の方法によっても製造することが可能であり、その具体的な製造方法に特別の制約はない。
そして、いずれの方法を用いる場合にも、上述のような本願発明に特有の作用効果を得ることが可能である。
そして、いずれの方法を用いる場合にも、上述のような本願発明に特有の作用効果を得ることが可能である。
また、上記の各実施例では、1個ずつ積層コイル部品を製造する場合(個産品の場合)を例にとって説明しているが、量産する場合には、多数のコイル導体パターンをマザーセラミックグリーンシートの表面に印刷し、このマザーセラミックグリーンシートを複数枚積層圧着して未焼成の積層体ブロックを形成した後、積層体ブロックをコイル導体パターンの配置に合わせてカットし、個々の積層コイル部品用の積層体を切り出す工程を経て多数個の積層コイル部品を同時に製造する、いわゆる多数個取りの方法を適用して製造することが可能である。
また、上記各実施例では、積層コイル部品が積層インダクタである場合を例にとって説明したが、本願発明は、積層インピーダンス素子や積層トランスなど種々の開磁路型の積層コイル部品に適用することが可能である。
また、上記各実施例では、磁性層と非磁性層とが積層された構造を有する積層コイル部品を例にとって説明したが、非磁性層の全てあるいは一部が低透磁率層である場合にも本願発明を適用することが可能であり、その場合にも、上記各実施例の場合に準じる作用効果を得ることができる。
本願発明はさらにその他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、非磁性層の配設態様、コイル導体の具体的な構成、磁性層および非磁性層を構成する材料などに関し、発明の範囲内において種々の応用、変形を加えることができる。
上述のように、本願発明によれば、磁性層と非磁性層また低透磁率層の界面における割れ、欠け、剥離などの発生や、積層体の反りなどの発生を抑制、防止することが可能で、磁気飽和しにくく、直流重畳特性に優れた、信頼性の高い開磁路型の積層コイル部品を確実に得ることが可能になる。
したがって、本願発明は、磁性層と、非磁性層または低透磁率層とを積層してなる積層体と、その内部に配設されたコイル導体とを備えた、開磁路型の積層コイル部品の分野に広く適用することができる。
したがって、本願発明は、磁性層と、非磁性層または低透磁率層とを積層してなる積層体と、その内部に配設されたコイル導体とを備えた、開磁路型の積層コイル部品の分野に広く適用することができる。
Claims (5)
- 磁性層と非磁性層または低透磁率層とを積層してなる積層体の内部にコイル導体が配設された構造を有する開磁路型の積層コイル部品であって、
前記非磁性層または前記低透磁率層が、酸化ジルコニウムを含有していること
を特徴とする積層コイル部品。 - 前記非磁性層または前記低透磁率層の酸化ジルコニウムの含有量が、0.02重量%以上、1.0重量%未満であることを特徴とする請求項1記載の積層コイル部品。
- 前記磁性層にも酸化ジルコニウムを含有させたことを特徴とする請求項1または2記載の積層コイル部品。
- 前記磁性層の酸化ジルコニウムの含有量が、1.0重量%未満であることを特徴とする請求項3記載の積層コイル部品。
- 前記磁性層がNi−Cu−Zn系フェライトを主成分とする材料からなるものであり、前記非磁性層または前記低透磁率層がCu−Zn系フェライトを主成分とする材料からなるものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の積層コイル部品。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007023808 | 2007-02-02 | ||
JP2007023808 | 2007-02-02 | ||
PCT/JP2008/050808 WO2008093568A1 (ja) | 2007-02-02 | 2008-01-22 | 積層コイル部品 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008093568A1 true JPWO2008093568A1 (ja) | 2010-05-20 |
Family
ID=39673880
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008556056A Pending JPWO2008093568A1 (ja) | 2007-02-02 | 2008-01-22 | 積層コイル部品 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8058964B2 (ja) |
JP (1) | JPWO2008093568A1 (ja) |
KR (1) | KR101174541B1 (ja) |
CN (1) | CN101568978B (ja) |
WO (1) | WO2008093568A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010067758A (ja) * | 2008-09-10 | 2010-03-25 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品 |
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CN101568978A (zh) | 2009-10-28 |
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Legal Events
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
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