JP2020114789A5 - - Google Patents
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本開示の一形態によれば、セラミックの焼結体と、前記焼結体内に設けられたアルミニウム又はアルミニウム合金の導電部材と、を有し、前記焼結体を構成するセラミックのうち９６質量％以上が酸化アルミニウムであるセラミック部材が提供される。
Claims (8)
- セラミックの焼結体と、
前記焼結体内に設けられたアルミニウム又はアルミニウム合金の導電部材と、
を有し、
前記焼結体を構成するセラミックのうち９６質量％以上が酸化アルミニウムであることを特徴とするセラミック部材。 - 前記焼結体に前記導電部材まで達する孔が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のセラミック部材。
- 前記焼結体の相対密度が９０％以上であることを特徴とする請求項１又は２に記載のセラミック部材。
- アルミニウム又はアルミニウム合金の金属膜を第１のグリーンシートと第２のグリーンシートとで挟み込む工程と、
前記金属膜の融点以上の温度で前記第１のグリーンシート及び前記第２のグリーンシートの焼成を行ってセラミックの焼結体を得る工程と、
を有し、
前記第１のグリーンシート若しくは前記第２のグリーンシート又はこれらの両方の前記金属膜と接する面の一部に空隙が設けられていることを特徴とするセラミック部材の製造方法。 - 前記焼成を酸化性雰囲気中で行うことを特徴とする請求項４に記載のセラミック部材の製造方法。
- 前記焼成を大気雰囲気中で行うことを特徴とする請求項５に記載のセラミック部材の製造方法。
- 前記焼成を７００℃以上１６００℃以下の温度で行うことを特徴とする請求項４乃至６のいずれか１項に記載のセラミック部材の製造方法。
- 前記焼成を１３００℃以上１６００℃以下の温度で行うことを特徴とする請求項７に記載のセラミック部材の製造方法。
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