JP2015170768A - 半導体接合方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体チップ5の接合部及び/又はリードフレーム6の接合領域に金属ナノ結晶層2を形成する第1工程と、接合部と接合領域の間に金属ナノ結晶層2が挟まれた状態となるようにリードフレーム6に半導体チップ5をダイボンドする第2工程と、金属ナノ結晶層2を焼結して接合層10を形成する第3工程を有する。
【選択図】図2
Description
そして、従来の高融点半田材やPbフリー半田材では、その要求を満足できないため、従来利用してきた材料とは異なる接合材や接合方法の開発が進められている。
しかし、この接合技術は、接合プロセスにおいて450〜650℃の高温、真空状態で加圧しながら3時間程度保持する必要があるため、生産性の面で難点が多く存在し、また、450〜650℃の高温、真空状態とすることで半導体チップ表面の配線パターン等にダメージが発生するおそれがあるため、信頼性の面でも懸念材料が多い。
ここで、金属ナノ粒子を用いた導電性接合材(以下「金属ナノ接合材」という。)について説明すると、5〜100nmサイズの金属ナノ粒子と、これらが常温で凝集してしまうことを防止するために各金属ナノ粒子の周囲を被覆する有機分散剤と、有機溶剤からなるものである。
この金属ナノ接合材は、量子サイズ効果により融点よりはるかに低い温度で焼結が可能であるとともに、焼結後は有機分散剤と有機溶剤が揮発して完全に金属化してしまうことから、その金属固有の融点に相当する耐熱性、電気抵抗値、放熱性を有するものとなる。
そのため、融点が高く、電気抵抗値が低く、放熱性が高い材料(例えば、Ag、Au、Cu)を選択することによって、パワー半導体等のさらなる性能向上や信頼性向上を達成できる接合が可能になるものと期待されている。
また、特許文献2に記載の接合方法は、常温で被接合材間の強固な接合を可能とする優れた方法ではあるものの、請求項1や段落0075〜0076等に記載されているように、高真空度雰囲気内で接合するため、大型の装置を必要とし処理時間が長くなるという問題があり、量産化や低コスト化には不利な方法である。
そして、その工程は接合雰囲気を格別調整することなく行うことも可能であり、接合雰囲気を調整するとしてもフレーム酸化防止用のホーミングガス雰囲気中とする程度で済むため、量産化と低コスト化を実現することができる。
また、金属ナノ結晶層を焼結しているので、金属ナノ接合材を焼結する時のように有機分散剤や有機溶剤の揮発がなく、焼結後の体積収縮が小さい。そのため、焼結後における接合層の厚さ調整が容易であるとともに、形成する金属ナノ結晶層を均一な厚さとすることにより、接合層の厚さを均一なものとすることができる。
また、高い温度による焼結を必要としないので、加熱時間や冷却時間を短縮することができ、さらに、生産設備に耐熱性の高い特殊な装置や部品を用いる必要がないので、量産化及び低コスト化に有利である。
図1(1)〜(6)は、本発明の実施例における半導体接合方法の工程のうち、半導体チップ5の接合部に銀ナノ結晶層2を形成する第1工程の詳細を示す図である。
なお、図面の記載は模写的なものであり、厚みと平面寸法の比率、各層の厚みの比率等は現実のものとは異なる。
図1(1)に示すように、一方の面に厚さ1000ÅのAu層、厚さ3000ÅのNi層及び厚さ20000ÅのAg層を、この順に積層したウエハバックメタルを有する半導体ウエハ1を準備する。
次に、図1(2)に示すように、準備した半導体ウエハ1のウエハバックメタルの表面に、電気めっきによって厚さ1〜40μmの銀ナノ結晶層2を形成する。
なお、銀ナノ結晶層2における銀結晶の粒子サイズは5〜100nmである。
図1(3)に示すように、銀ナノ結晶層2を形成した半導体ウエハ1を、40〜70℃のお湯に10〜180秒間浸漬して湯洗する。
図1(4)に示すように、湯洗した半導体ウエハ1を銀ナノ結晶層2が上側となるように載置した後、上方から40〜100℃の温風を30〜300秒間当てて乾燥する。
図1(5)に示すように、乾燥させた半導体ウエハ1を銀ナノ結晶層2が下側となるようにウエハ固定シート3の上面に載置した後、上方から円盤状のブレード4を用いて縦方向及び横方向に適宜の間隔でカットし、複数の半導体チップ5に個片化する。図1(6)は個片化した半導体チップ5を示す拡大図である。
図2(1)〜(3)は、本発明の実施例における半導体接合方法の工程のうち、半導体チップ5の接合部をリードフレーム6の接合領域表面にダイボンドする第2工程の詳細を示す図である。
まず、図2(1)に示すように、銅を主な材料とし、表面に厚さ4μm程度の銀めっき層を形成して接合領域としたリードフレーム6を準備する。
次に、接合領域が上側となるようにしてホーミングガス7の雰囲気中に置かれたホットプレート上にリードフレーム6を載置する。
ホットプレートの表面は250〜350℃に加熱してあり、その上にリードフレーム6を1〜90秒間載置することによって、表面の接合領域を含むリードフレーム6全体を加熱しておく。
その後、図2(2)に示すように、ホーミングガス7の雰囲気中において、第1工程によって製造した半導体チップ5を、その銀ナノ結晶層2全面がリードフレーム6の接合領域に接触するようにダイボンドして図2(3)に示す状態とする。
なお、ホーミングガス7は半導体チップ5(特に、配線パターンに使用される金属やチップバックメタル9)、リードフレーム6及び銀ナノ結晶層2の酸化を防止するためのものであり、窒素ガス95%及び水素ガス5%を含有するガスである。
第2工程によって半導体チップ5がリードフレーム6の接合領域にダイボンドされると、その接合領域は予め加熱してあるため、ダイボンド直後から銀ナノ結晶層2は熱せられ焼結が開始される。
ホットプレートの表面は250〜350℃を保持できるようになっており、その上にリードフレーム6を0.5〜60分間載置しておくことによって、銀ナノ結晶層2の焼結が終了する。
そして、焼結終了後にリードフレーム6をホットプレートから移して冷却すると接合工程が完了する。
焼結が終了すると銀ナノ結晶層2はバルクのAg層となるため、融点が高く(約960℃)電気抵抗率の低い(3〜5μΩ・cm)接合層10で半導体チップ5とリードフレーム6が接合された図2(4)の接合体が得られる。
図3及び図4において、8はリードフレーム6の表面に形成されている厚さ4μm程度の銀めっき層、9は半導体チップ5の接合部となるチップバックメタル、10はバルクのAg層よりなる接合層、11はモールド樹脂である。
そして、図4の写真から、ボイドがなく半導体チップ5の下の接合層10の厚さが均一であるとともに、接合層10とリードフレーム6の接合領域である銀めっき層8及びチップバックメタル9との密着性が極めて良好であることが分かる。
なお、図4の接合層10の部分には、小さい穴があることを示す黒い部分が散在しているが、この穴は焼結によってナノ結晶が成長することで自然に生じる細孔であり、焼結の際に発生したガスや金属ナノ接合材塗布時等における空気巻き込みによって生じる一般的なボイドとは異なるものである。
高融点半田材を用いた接合強度を同強度試験によって確認した結果、平均29N/平方mmであり、10N/平方mm程度でも半導体装置の組立てに耐えられることが分かっているので、250〜350℃(焼結時間1分)で銀ナノ結晶層2を焼結した実施例の接合体はいずれも通常の使用に耐え得るものと評価できる。
(1)実施例の第1工程の工程Aにおいては、電気めっきによって厚さ1〜40μmの銀ナノ結晶層2を形成したが、電気めっきに限らず、半導体ウエハ1の上面に金属ナノ結晶層2を形成できるものであれば、非電解めっきや蒸着等どのような方法でも良い。
また、その厚さは接合する半導体チップの大きさや用途に応じて適宜選択する。
さらに、その材質も銀に限らず、バルク状態における融点が高く電気抵抗値が低い金属(例えば、Au、Cu及びAg、Au、Cuを主材料とする合金)であればどのようなものでも良い。
(2)銀ナノ結晶層2における銀結晶の粒子サイズは5〜100nmであったが、量子サイズ効果により融点よりはるかに低い温度で焼結が可能なサイズの範囲であれば良い。
量子サイズ効果が発揮されるサイズ範囲は材質によっても若干異なるが、銀の場合は通常は5〜100nmである。
(3)実施例の第1工程の工程Bにおいては、半導体ウエハ1を40〜70℃のお湯に10〜180秒間浸漬して湯洗したが、湯洗は場合によっては必要なく、お湯の温度や浸漬時間は金属ナノ結晶層の形成手法、厚さ及び材質に応じて調整する。
また、お湯に代えて洗浄液に浸漬したり、浸漬に代えてお湯や洗浄液を金属ナノ結晶層2の表面に流したりして洗浄しても良く、めっき液の組成や半導体ウエハ1の材質、製品への影響等を考慮して決定する。
(4)実施例の第1工程の工程Cにおいては、半導体ウエハ1に40〜100℃の温風を30〜300秒間当てて乾燥したが、乾燥は場合によっては必要なく、乾燥時間は温風の温度や半導体ウエハ1のサイズ及び材質、めっき液の組成、製品への影響等によって大きく変化するので、製造に際しては実施例の温度範囲や時間範囲にとらわれることなく温度や時間を最適化する必要がある。
また、酸化を防止するために温風に代えて窒素ガスや不活性ガスを当てても良い。
さらに、温風を当てず表面を40〜100℃に熱したプレートの上に載置するか、内部を40〜100℃に保てる乾燥室内に収容して乾燥させても良い。その場合、酸化を防止するために窒素ガスや不活性ガス雰囲気下で乾燥させるとより良い。
(5)実施例の第2工程においては、250〜350℃に加熱したホットプレートの上にリードフレーム6を1〜90秒間載置することによって、表面の接合領域を含むリードフレーム6全体を加熱したが、加熱時間はホットプレートの表面温度及びリードフレーム6の材質やサイズによって大きく変化するので、製造に際しては実施例の温度範囲や時間範囲にとらわれることなく温度や時間を最適化する必要がある。
(6)実施例の第2工程においては、半導体チップ5をリードフレーム6にダイボンドしてから銀ナノ結晶層2の焼成が終了するまでの時間を短縮するため、ダイボンド前にリードフレーム6をホットプレート上に載置し全体を加熱したが、加熱は必ずしも必要なく、加熱する場合でも接合領域のみ加熱するようにしても良い。
また、加熱手段もホットプレートに限らず、内部の温度を500℃程度までの任意の温度に保持できる焼成室を用いる等、少なくとも接合領域である銀めっき層8を加熱できるものであれば適宜選択することができる。
(7)実施例の第2工程においては、ダイボンドをホーミングガス7の雰囲気中で行い、同じく第3工程においては、銀ナノ結晶層2の焼成をホーミングガス7の雰囲気中で行ったが、半導体チップ、リードフレーム6及び金属ナノ結晶層に使用する材料が酸化しない、又は酸化してもその影響が小さくて酸化にこだわる必要がない場合等には、通常の大気雰囲気中で行っても良い。
特に、第3工程はダイボンド後の処理であり、銀ナノ結晶層2や銀めっき層8の露出部分が少ないので、ホーミングガス7の雰囲気中で行う必要性はより低い。
また、ホーミングガス7としては、窒素ガス95%及び水素ガス5%を含有するガスを用いたが、酸素を含まない安定したガス(例えば、窒素ガスや不活性ガス)であれば、どのようなガスであっても良い。
(8)実施例では、第2工程において銀ナノ結晶層2全面が250〜350℃に加熱されたリードフレーム6の接合領域に接触するように半導体チップ5をダイボンドし、第3工程においてリードフレーム6を250〜350℃に保持することによって、銀ナノ結晶層2の焼結が終了するようにしたが、ダイボンド時にはリードフレーム6の温度を200〜250℃の比較的低温とし、ダイボンド後にホットプレートの表面温度を350〜400℃の比較的高温として銀ナノ結晶層2を焼結するようにしても良い。
そうすることによって、ダイボンド時に発生する応力を緩和できるとともに、焼結時間を短縮することができるという効果が得られる。
(9)実施例の第3工程においては、ホットプレートの表面温度を250〜350℃に保持し、その上にリードフレーム6を0.5〜60分間載置しておくことによって、銀ナノ結晶層2の焼結が終了するようにしたが、加熱温度や加熱時間はこの範囲に限らず、半導体チップ5やその接合部(チップバックメタル9)、リードフレーム6やその接合領域(銀めっき層8)及び金属ナノ結晶層の材質や用途等に応じて、適宜選択可能である。
また、同じ材質であっても、ナノ結晶の平均粒径によって融点が変化するため、加熱温度や加熱時間は異なり、例えば銀ナノ結晶層の場合、平均粒径が非常に小さければ150℃程度でも焼成が可能である。
そして、焼成する際の上限温度は接合部や接合領域等への影響や半導体チップ5の表面に形成される配線パターン(Al−Si)へのダメージを考慮すると、配線パターンに使用される金属の融点(Al−Siの場合577℃)以下とする必要があることから、第3工程における加熱温度は150〜577℃の範囲で選択可能である。
ただし、低い温度で焼成するには金属ナノ結晶層の材料を厳選する必要があり、高い温度で焼成すると装置コストが上がるとともに歩留まりや信頼性が下がるおそれがあるので、加熱温度の適値は200〜450℃、最適値は250〜350℃である。
なお、加熱温度の適値や最適値の範囲は、金属ナノ結晶層の材料だけでなく加熱装置、半導体チップ5、リードフレーム6等の仕様等にもよるので、銀ナノ結晶層2に代えて他の金属ナノ結晶層(金ナノ結晶層や銅ナノ結晶層等)を用いた場合にもあてはまるものである。
(10)実施例においては、半導体チップ5に銀ナノ結晶層2を形成し、リードフレーム6の接合領域に半導体チップ5をダイボンドしたが、半導体チップ5の銀ナノ結晶層2に代えて、又は加えてリードフレーム6の接合領域に銀ナノ結晶層を形成し、実施例と同様に半導体チップ5をダイボンドするようにしても良い。
そのうち、半導体チップ5及びリードフレーム6の両方に銀ナノ結晶層を形成する場合には、ダイボンド前及びダイボンド中に半導体チップ5やリードフレーム6を加熱することは行わず、ダイボンド後に加熱を開始する(予め加熱するとダイボンド前に銀ナノ結晶層の焼結が始まってしまうため)。
また、半導体チップ5には銀ナノ結晶層2を形成せず、リードフレーム6の接合領域に銀ナノ結晶層を形成する場合には、ダイボンド前及びダイボンド中に半導体チップ5又はその接合部(チップバックメタル9)を予め加熱するようにしても良い。
(11)実施例は、リードフレーム6に半導体チップ5を接合する方法であったが、リードフレーム6に限らず、接合領域を有する支持体に半導体チップ5を接合する場合においては本発明の半導体接合方法を適用することが可能である。
4 ブレード 5 半導体チップ 6 リードフレーム
7 ホーミングガス 8 銀めっき層 9 チップバックメタル
10 接合層 11 モールド樹脂
Claims (4)
- 半導体チップの接合部及び/又は支持体の接合領域に金属ナノ結晶層を形成する第1工程と、
前記接合部と前記接合領域の間に前記金属ナノ結晶層が挟まれた状態となるように前記支持体に前記半導体チップをダイボンドする第2工程と、
前記金属ナノ結晶層を焼結する第3工程
を有する半導体接合方法。 - 前記第1工程は前記接合部に前記金属ナノ結晶層を形成する工程であり、
前記第2工程前及び前記第2工程中に前記接合領域を加熱する工程をさらに有する
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体接合方法。 - 前記第1工程は前記接合領域に前記金属ナノ結晶層を形成する工程であり、
前記第2工程前及び前記第2工程中に前記接合部を加熱する工程をさらに有する
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体接合方法。 - 前記第3工程における焼結温度が450℃以下である
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体接合方法。
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