JPS62260373A - 積層型圧電アクチユエ−タの製造方法 - Google Patents
積層型圧電アクチユエ−タの製造方法Info
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- JPS62260373A JPS62260373A JP61103292A JP10329286A JPS62260373A JP S62260373 A JPS62260373 A JP S62260373A JP 61103292 A JP61103292 A JP 61103292A JP 10329286 A JP10329286 A JP 10329286A JP S62260373 A JPS62260373 A JP S62260373A
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- green sheet
- piezoelectric actuator
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/05—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
- H10N30/053—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes by integrally sintering piezoelectric or electrostrictive bodies and electrodes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の分野〕
本発明は圧電セラミックスを層状に多数積層して形成さ
れる圧電アクチュエータの製造方法に関するものである
。
れる圧電アクチュエータの製造方法に関するものである
。
本発明は、圧電セラミックス粉末を泥状にすると共に金
属箔上にドクターブレード法又は印刷法によって圧電セ
ラミックス層を形成し、こうして形成したグリーンシー
トを多数枚積層して一体化して焼結し、外部電極を設け
て構成した圧電アクチュエータの製造方法である。
属箔上にドクターブレード法又は印刷法によって圧電セ
ラミックス層を形成し、こうして形成したグリーンシー
トを多数枚積層して一体化して焼結し、外部電極を設け
て構成した圧電アクチュエータの製造方法である。
（従来技術）
近年電磁型アクチュエータに比べて小型、軽量で省電力
の圧電型のアクチュエータが用いられ始めている。この
ような圧電型アクチュエータは例えば特開昭６０−１２
８６８３号に示されているように、圧電セラミックス粉
末を有機バインダ、溶媒等と混合することによって泥状
にし、ドクターブレード法によりポリエステル等の有機
フィルム上に例えば１００μｍ厚の圧電セラミックス層
を塗布してその上部に内部電極となる金属ペーストを印
刷する。こうして形成されたグリーンシートから有機フ
ィルムを引きはがし、用途に応じて数枚ないし数百枚積
層し熱プレスにより一体化して焼結し側面に外部電極を
形成して構成していた。
の圧電型のアクチュエータが用いられ始めている。この
ような圧電型アクチュエータは例えば特開昭６０−１２
８６８３号に示されているように、圧電セラミックス粉
末を有機バインダ、溶媒等と混合することによって泥状
にし、ドクターブレード法によりポリエステル等の有機
フィルム上に例えば１００μｍ厚の圧電セラミックス層
を塗布してその上部に内部電極となる金属ペーストを印
刷する。こうして形成されたグリーンシートから有機フ
ィルムを引きはがし、用途に応じて数枚ないし数百枚積
層し熱プレスにより一体化して焼結し側面に外部電極を
形成して構成していた。
（発明が解決しようとする問題点）
このような従来の製造方法によれば、グリーンシートを
形成し乾燥した後又は内部電極を印刷して形成した後に
、シート上の圧電セラミックス材を有機フィルム膜から
剥がす工程が必要となる。
形成し乾燥した後又は内部電極を印刷して形成した後に
、シート上の圧電セラミックス材を有機フィルム膜から
剥がす工程が必要となる。
そのためグリーンシートの量産化が困難であり、積層型
圧電アクチュエータの価格が上昇するという問題点があ
った。又圧電セラミックス層に電極を印刷する場合には
、電極材料の圧電セラミックス層内部への拡散が設けら
れず耐電圧が低下することがあるという問題点もあった
。
圧電アクチュエータの価格が上昇するという問題点があ
った。又圧電セラミックス層に電極を印刷する場合には
、電極材料の圧電セラミックス層内部への拡散が設けら
れず耐電圧が低下することがあるという問題点もあった
。
本発明はこのような従来の積層型圧電アクチュエータの
製造時の問題点に鑑みてなされたものであって、有機フ
ィルムからグリーンシートを剥がしたり、電極を印刷す
る工程をなくすようにすることを技術的課題とする。
製造時の問題点に鑑みてなされたものであって、有機フ
ィルムからグリーンシートを剥がしたり、電極を印刷す
る工程をなくすようにすることを技術的課題とする。
（構成）
本発明は圧電セラミックスを積層して形成される積層型
の圧電アクチュエータの製造方法であって、金属箔上に
圧電セラミックスを形成してグリーンシートを構成する
工程と、グリーンシートを層状に積層して焼結する工程
と１．グリーンシートの積層体の相対向する２側面に夫
々一層おきに絶縁処理する工程と、グリーンシートの積
層体の絶縁処理された両側面に外部電極を形成する工程
と、を有することを特徴とするものである。
の圧電アクチュエータの製造方法であって、金属箔上に
圧電セラミックスを形成してグリーンシートを構成する
工程と、グリーンシートを層状に積層して焼結する工程
と１．グリーンシートの積層体の相対向する２側面に夫
々一層おきに絶縁処理する工程と、グリーンシートの積
層体の絶縁処理された両側面に外部電極を形成する工程
と、を有することを特徴とするものである。
（作用）
このような特徴を有する本発明によれば、有機フィルム
を用いることなく金属箔上に圧電セラミックス膜を形成
してグリーンシートを構成し、複数枚積層して焼結して
外部電極を設けて圧電アクチュエータが形成される。
を用いることなく金属箔上に圧電セラミックス膜を形成
してグリーンシートを構成し、複数枚積層して焼結して
外部電極を設けて圧電アクチュエータが形成される。
（効果）
そのため本発明によれば、有機フィルムが不要となり有
機フィルム上に形成されたグリーンシートを剥がす工程
を除（ことができる。又金属箔を電極としたためグリー
ンシート上に電極ペーストを用いて電極を印刷していな
いので、電極を印刷する工程が不要となる。更に圧電セ
ラミックスへの電極材料が拡散しな（なるので耐電圧を
向上させることができる。
機フィルム上に形成されたグリーンシートを剥がす工程
を除（ことができる。又金属箔を電極としたためグリー
ンシート上に電極ペーストを用いて電極を印刷していな
いので、電極を印刷する工程が不要となる。更に圧電セ
ラミックスへの電極材料が拡散しな（なるので耐電圧を
向上させることができる。
（第１実施例の説明）
第１．２図は本発明の第１実施例による積層型圧電アク
チュエータの製造に用いられるドクターブレード装置を
示す図である。本図においてスラリ一槽１には圧電セラ
ミックス粉末をバインダ。
チュエータの製造に用いられるドクターブレード装置を
示す図である。本図においてスラリ一槽１には圧電セラ
ミックス粉末をバインダ。
溶媒等に混合して泥状に形成したスラリー２を有してお
り、その側面にブレード３が設けられる。
り、その側面にブレード３が設けられる。
さて本発明ではあらかじめベース４上に所定の厚さの金
属箔５を配置しておき、この金属箔５の上にスラリー２
を塗布しスラリー２の圧力を一定に制御して所定の速度
で移動させ、図示のように金属箔ｓ上に圧電セラミック
ス膜６を形成して一定厚さのグリーンシート７を形成す
る。
属箔５を配置しておき、この金属箔５の上にスラリー２
を塗布しスラリー２の圧力を一定に制御して所定の速度
で移動させ、図示のように金属箔ｓ上に圧電セラミック
ス膜６を形成して一定厚さのグリーンシート７を形成す
る。
こうして形成されたグリーンシート７を乾燥′させて所
定の形状とし、第３，４図に示すように用途に応じて多
数枚、例えば数枚ないし数百枚を積層する。こうして層
状に積層されたグリーンシート７を熱プレスにより一体
化して焼結する。そして第４．５図に示すように一定の
大きさに切断した後、焼結体の相対向する二側面にその
端部の金属箔５の電極を一層おきに樹脂８にて！！＠縁
処理する。そしてこの樹脂８を含んで夫々の側面に外部
電極９を形成する。
定の形状とし、第３，４図に示すように用途に応じて多
数枚、例えば数枚ないし数百枚を積層する。こうして層
状に積層されたグリーンシート７を熱プレスにより一体
化して焼結する。そして第４．５図に示すように一定の
大きさに切断した後、焼結体の相対向する二側面にその
端部の金属箔５の電極を一層おきに樹脂８にて！！＠縁
処理する。そしてこの樹脂８を含んで夫々の側面に外部
電極９を形成する。
第５図はこうして形成された積層型圧電アクチュエータ
の構造を示す断面図である。こうすれば有機フィルムを
用いてグリーンシートを形成し積層セラミックス材料を
有機フィルムから剥がす必要がなく、グリーンシートを
損傷の恐れなく量産することが可能であり、圧電アクチ
ュエータの製造が容易となる。
の構造を示す断面図である。こうすれば有機フィルムを
用いてグリーンシートを形成し積層セラミックス材料を
有機フィルムから剥がす必要がなく、グリーンシートを
損傷の恐れなく量産することが可能であり、圧電アクチ
ュエータの製造が容易となる。
（第２実施例の説明）
前述した第１実施例は金属箔の一面にドクターブレード
法によって圧電セラミックス材料を一定の厚さで塗布す
ることによってグリーンシートを形成したが、本実施例
では例えばスクリーン印刷によって圧電セラミックス膜
を金属箔上の全面に均一に形成する。
法によって圧電セラミックス材料を一定の厚さで塗布す
ることによってグリーンシートを形成したが、本実施例
では例えばスクリーン印刷によって圧電セラミックス膜
を金属箔上の全面に均一に形成する。
第６図は金属箔５上にスクリーン印刷によって圧電セラ
ミックス膜６を形成している状態を示す図であり、前述
した第１実施例と同一部分は同一符号を用いて示してい
る。本実施例においては金属膜５はベース１０上に配置
されており、スクリーン枠１１間に張架されたスクリー
ン面１２をスキージ１３を用いて金属箔５より所定の間
隔を隔てて移動させることによって金属箔５上に圧電セ
ラミックス膜６を形成している。スクリーン印刷により
圧電セラミックス膜６を形成する場合には、スキージ１
３の角度や移動速度によって圧電セラミックス膜６の膜
厚を細か（制御することが可能であり、又複数回の重ね
印刷も可能である。こうして金属箔５上に圧電セラミッ
クス膜６を印刷してグリーンシート７を形成する。
ミックス膜６を形成している状態を示す図であり、前述
した第１実施例と同一部分は同一符号を用いて示してい
る。本実施例においては金属膜５はベース１０上に配置
されており、スクリーン枠１１間に張架されたスクリー
ン面１２をスキージ１３を用いて金属箔５より所定の間
隔を隔てて移動させることによって金属箔５上に圧電セ
ラミックス膜６を形成している。スクリーン印刷により
圧電セラミックス膜６を形成する場合には、スキージ１
３の角度や移動速度によって圧電セラミックス膜６の膜
厚を細か（制御することが可能であり、又複数回の重ね
印刷も可能である。こうして金属箔５上に圧電セラミッ
クス膜６を印刷してグリーンシート７を形成する。
そして前述した実施例と同様にグリーンシート７を多数
枚積層して焼結し、所定の大きさに切断し側面に樹脂８
によって一層おきに絶縁処理を施した後、外部電極９を
形成して積層型圧電アクチュエータを形成する。この場
合にも有機シートを用いていないのでセラミックス材料
を有機シートから引き離したり電極を印刷する工程がな
くなり量産化が容易となる。又圧電セラミックス膜へ電
極が拡散することがなく、耐電圧を向上させることがで
きる。
枚積層して焼結し、所定の大きさに切断し側面に樹脂８
によって一層おきに絶縁処理を施した後、外部電極９を
形成して積層型圧電アクチュエータを形成する。この場
合にも有機シートを用いていないのでセラミックス材料
を有機シートから引き離したり電極を印刷する工程がな
くなり量産化が容易となる。又圧電セラミックス膜へ電
極が拡散することがなく、耐電圧を向上させることがで
きる。
第１図は本発明の一実施例によるドクターブレード法を
用いてグリーンシートを形成する工程を示す斜視図、第
２図はドクターブレード装置の側面図、第３図はこうし
て形成されたグリーンシートをを示す図、第４図はグリ
ーンシートを積層した状態を示す図、第５図は側壁に絶
縁処理し外部電極を形成して完成した圧電アクチュエー
タを示す断面図、第６図は本発明の第２実施例によるス
クリーン印刷によってグリーンシートを形成する状態を
示す図である。 １・・−・スラリ一層 ２−−−−−・−スラリー
３−・−ブレード ４−−−−−−・ベース ５
−・・−・金属箔６−・−圧電セラミックス膜 ７−
・−・−・グリーンシート ８・・−−〜−−樹脂
９−・−外部電極特許出願人 立石電機株式会社 代理人 弁理士 岡本官喜（他１名） 第１図 １−・−一一一スラ′ノー１ ５−−−−−・金属箔 ６−−−−−−五ｔセラミックス庫 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図
用いてグリーンシートを形成する工程を示す斜視図、第
２図はドクターブレード装置の側面図、第３図はこうし
て形成されたグリーンシートをを示す図、第４図はグリ
ーンシートを積層した状態を示す図、第５図は側壁に絶
縁処理し外部電極を形成して完成した圧電アクチュエー
タを示す断面図、第６図は本発明の第２実施例によるス
クリーン印刷によってグリーンシートを形成する状態を
示す図である。 １・・−・スラリ一層 ２−−−−−・−スラリー
３−・−ブレード ４−−−−−−・ベース ５
−・・−・金属箔６−・−圧電セラミックス膜 ７−
・−・−・グリーンシート ８・・−−〜−−樹脂
９−・−外部電極特許出願人 立石電機株式会社 代理人 弁理士 岡本官喜（他１名） 第１図 １−・−一一一スラ′ノー１ ５−−−−−・金属箔 ６−−−−−−五ｔセラミックス庫 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図
Claims (3)
- （１）圧電セラミックスを積層して形成される積層型の
圧電アクチュエータの製造方法であって、金属箔上に圧
電セラミックスを形成してグリーンシートを構成する工
程と、 前記グリーンシートを層状に積層して焼結する工程と、 前記グリーンシートの積層体の相対向する２側面に夫々
一層おきに絶縁処理する工程と、 前記グリーンシートの積層体の絶縁処理された両側面に
外部電極を形成する工程と、を有することを特徴とする
積層型圧電アクチュエータの製造方法。 - （２）前記グリーンシートを形成する工程は、金属箔上
にドクターブレード法によって圧電セラミックス膜を形
成するものであることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の積層型圧電アクチュエータの製造方法。 - （３）前記グリーンシートを形成する工程は、金属箔上
に印刷法によってペースト状の圧電セラミックス膜を形
成するものであることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の積層型圧電アクチュエータの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61103292A JPS62260373A (ja) | 1986-05-06 | 1986-05-06 | 積層型圧電アクチユエ−タの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61103292A JPS62260373A (ja) | 1986-05-06 | 1986-05-06 | 積層型圧電アクチユエ−タの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62260373A true JPS62260373A (ja) | 1987-11-12 |
Family
ID=14350211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61103292A Pending JPS62260373A (ja) | 1986-05-06 | 1986-05-06 | 積層型圧電アクチユエ−タの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62260373A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200089614A (ko) | 2019-01-17 | 2020-07-27 | 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 | 세라믹 부재 |
-
1986
- 1986-05-06 JP JP61103292A patent/JPS62260373A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200089614A (ko) | 2019-01-17 | 2020-07-27 | 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 | 세라믹 부재 |
| JP2020114789A (ja) * | 2019-01-17 | 2020-07-30 | 新光電気工業株式会社 | セラミック部材及びその製造方法 |
| US11370709B2 (en) | 2019-01-17 | 2022-06-28 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Ceramic member |
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