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通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
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붕소 및 갈륨을 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
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한국세라믹기술원 |
내플라즈마 세라믹 부재 및 그 제조 방법
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