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ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
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실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
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토폴로지-제어된 비정질 탄소 중합체 막을 형성하는 방법
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비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법
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희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
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기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
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질소 함유 탄소 막을 형성하는 방법 및 이를 수행하기 위한 시스템
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
크롬 나이트라이드 층을 형성하는 방법 및 크롬 나이트라이드 층을 포함하는 구조
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(en)
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Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods
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바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템
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바나듐 보라이드 및 바나듐 포스파이드 층을 포함한 구조체를 형성하는 방법
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전구체 캡슐, 용기 및 방법
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具匹配器的電漿處理裝置
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Asm Ip Holding B.V. |
Gas flow control plate
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2021-11-29 |
2025-10-21 |
Asm Ip Holding B.V. |
Weighted lift pin
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USD1060598S1
(en)
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2021-12-03 |
2025-02-04 |
Asm Ip Holding B.V. |
Split showerhead cover
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2021-12-30 |
2023-07-07 |
엘지디스플레이 주식회사 |
표시장치
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US12249525B1
(en)
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2024-05-31 |
2025-03-11 |
Applied Materials, Inc. |
Using spectroscopic measurements for substrate temperature monitoring
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