JP2015529161A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 第１の面と、該第１の面の反対側の第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間の内部とを有するワークピースを用意し、
   ビーム内のレーザパルスが第１のフルエンスを得ることのできるビームウェストによって特徴付けられる焦点合わせされたレーザパルスビームを生成し、
   前記ワークピース内の複数の修正領域であって、それぞれが前記ワークピースの前記第２の面から前記内部に延びる複数の修正領域を形成し、
   前記複数の修正領域のうち各々の修正領域を形成する際に、
   前記ワークピースと前記レーザパルスビームとの間で相対運動を生じさせつつ、前記ビーム内のレーザパルスが前記ワークピースの前記第１の面を通過して前記内部に入り前記第２の面に向かうように、前記レーザパルスビームを前記ワークピース上に導き、前記ワークピースの複数の部分のうちの少なくとも１つが前記ワークピースの前記第２の面に位置するように、かつ、前記ワークピースの少なくとも１つの修正部分が前記第１のフルエンスよりも小さいが前記ワークピースの付加的な部分を修正するのに十分なフルエンスによって特徴付けられるレーザパルスで照射されるように、前記ワークピースの前記複数の部分を修正し、
   前記ワークピースの前記少なくとも１つの修正部分をレーザパルスで照射した後、前記ワークピースの少なくとも１つの修正部分が前記ワークピースの部分を修正するのに十分なフルエンスによって特徴付けられるレーザパルスで照射されないように、前記レーザパルスビームの特性を修正する、
   方法。
2. 第１の面と、該第１の面の反対側の第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間の内部とを有するワークピースを用意し、
   ビーム内のレーザパルスが第１のフルエンスを得ることのできるビームウェストによって特徴付けられる焦点合わせされたレーザパルスビームを生成し、
   前記ワークピース内の複数の修正領域であって、それぞれが前記ワークピースの前記第２の面から前記内部に延びる複数の修正領域を形成し、
   前記複数の修正領域のうち各々の修正領域を形成する際に、
   前記ワークピースと前記レーザパルスビームとの間で相対運動を生じさせつつ、前記ビーム内のレーザパルスが前記ワークピースの前記第１の面を通過して前記内部に入り前記第２の面に向かうように、焦点合わせされたレーザパルスビームを前記ワークピース上に導き、前記ワークピースの複数の部分のうちの少なくとも１つが前記ワークピースの前記第２の面に位置するように、かつ、前記ワークピースの少なくとも１つの修正部分が前記第１のフルエンスよりも小さいが前記ワークピースの付加的な部分を修正するのに十分なフルエンスによって特徴付けられるレーザパルスで照射されるように、前記ワークピースの複数の部分を修正し、
   前記ビーム内の少なくとも１つのレーザパルスは、紫外スペクトルの波長を有する光を含んでいる、
   方法。
3. 第１の面と、該第１の面と反対側の第２の面と、前記第１の面と前記第２の面との間の内部とを有するワークピースを加工するための装置であって、
   前記ワークピースを支持して移動させるためのサポートと、
   ビーム内のレーザパルスが第１のフルエンスを得ることのできるビームウェストによって特徴付けられる焦点合わせされたレーザパルスビームを生成してその位置を定めるためのビーム源と、
   前記サポート及び前記ビーム源からなる群から選択された少なくとも１つに連結されたコントローラであって、前記ワークピース内の複数の修正領域であって、それぞれが前記ワークピースの前記第２の面から前記内部に延びる複数の修正領域を形成するように前記サポート及び前記ビーム源からなる群から選択された少なくとも１つの動作を制御するように構成されたコントローラと、
   を備え、前記加工は、
   前記ワークピースと前記ビームとの間で相対運動を生じさせつつ、前記ビーム内のレーザパルスが前記ワークピースの前記第１の面を通過して前記内部に入り前記第２の面に向かうように、前記レーザパルスビームを前記ビーム源の出力から前記ワークピース上に照射し、前記ワークピースの複数の部分のうちの少なくとも１つが前記ワークピースの前記第２の面に位置するように、かつ、前記ワークピースの少なくとも１つの修正部分が前記第１のフルエンスよりも小さいが前記ワークピースの付加的な部分を修正するのに十分なフルエンスによって特徴付けられるレーザパルスで照射されるように、前記ワークピースの複数の部分を修正し、
   前記ワークピースの前記少なくとも１つの修正部分をレーザパルスで照射した後、前記ワークピースの少なくとも１つの修正部分が前記ワークピースの部分を修正するのに十分なフルエンスによって特徴付けられるレーザパルスで照射されないように、前記レーザパルスビームの特性を修正する
   ことを含む、装置。